技術分野
発光素子及び発光素子の製造方法
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明の一高い光取り出し効率を有する発光素子及び発光素子の製造方法を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明の一発光素子は、それぞれが窒化物半導体からなる、n側層と、p側層と、n側層とp側層の間に位置し紫外線を発する活性層と、を含む半導体構造体と、
前記n側層に電気的に接続されるn電極と、前記p側層に電気的に接続されるp電極と、を含み、前記活性層は、Alを含む井戸層と、Alを含む障壁層と、前記井戸層の側面と前記障壁層の側面とを含む孔部と、を有し、前記p側層は、Alを含む第1・・・ 続きを
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発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明の一実施形態によれば、高い光取り出し効率を有する発光素子及び発光素子の製造方法を提供することができる。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
本発明の一発光素子の構成を示す模式断面図である。
【図2】
本発明の一発光素子の構成を示す模式断面図である。
【図3】
本発明の一実施形態の変形例に係る発光素子の構成を示す模式断面図である。
【図4】
本発明の一発光素子の製造方法を説明するための模式断面図である。
【図5】
本発明の一発光素子の製造方法を説明するための模式断面図である。
【図6】
本発明の一発光素子の製造方法を説明するための模式断面図である。
【図7】
本発明の一発光素子の製造方法を説明するための模式断面図である。
【図8】
本発明の一発光素子の製造方法を説明するための模式断面図である。
【図9】
本発明の一発光素子の製造方法を説明するための模式断面図である。
【図10】
本発明の一発光素子の製造方法を説明するための模式断面図である。
1 発光素子
10 基板
11 バッファ層
12 超格子層
20 n側層
21 下地層
22 nコンタクト層
30 活性層
31 井戸層
32 障壁層
33 Vピット
40 電子ブロック層
50 p側層
51 第1層
52 第2層
53 第3層
54 第4層
60 n電極
70 p電極
100 半導体構造体
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