特許7897465IP Force 特許公報全文掲載

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以下の開示は、２０２２年５月２５日に出願された整理番号（ｆｉｌｅ ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ）１０ ２０２２ ２０５ ２７２．２の独国特許出願に基づく。その特許出願の開示内容は、参照により本出願の内容となる。

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 １つの例示的な実施形態による投影露光装置の概略図である。
【図2】 ２つの有効軸外物体視野をもつ投影レンズの物体面の概略上面図である。
【図3】 インテグレータロッド構成を有する二重視野照明系の第１の例示的な実施形態の概略図である。
【図4】 図３のインテグレータロッド構成を詳細に示す図である。
【図5A-5D】 図５Ａ～図５Ｄは、他の例示的な実施形態のインテグレータロッド構成の変形を示す図である。
【図6】 ２つのテーパ状出口インテグレータロッドをもつインテグレータロッド構成を示す図である。
【図7】 均質化ユニット内のグリッド要素をもつ二重視野照明系の例示的な実施形態の概略図である。
【図8】 図７の均質化ユニットを詳細に示す図である。
【図9】 第１の例示的な実施形態による投影レンズの概略メリディオナルレンズ要素断面図である。
【図10】 図９の投影レンズにおける偏向ユニットの領域の拡大断面を示す図である。
【図11A-11C】 図１１Ａ～図１１Ｃは、３つの折り返し状況を比較して示す図である。
【図12A】 単一視野走査の変形を示す図である。
【図12B】 単一視野走査の変形を示す図である。
【図13A】 二重視野走査の変形を示す図である。
【図13B】 二重視野走査の変形を示す図である。
【図14】 ２つの中間像、凹面ミラー、２段反射偏向ユニット、および単一段偏向ユニットをもつ反射屈折投影レンズの概略メリディオナルレンズ要素断面図である。

代表図 図1本件の代表的な図

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