特許 7898282出願番号特願 2022-33912
干渉計測方法及び干渉計測装置

出願人カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー（識別番号 503263355）

2026年特許公開件数ランキング 386位 57件（※）

2026年特許取得件数ランキング 560位 29件（※）

公報発行日　2026年7月31

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7898282　ログイン済みの方はこのURLへ

［この特許公報を共有したい場合］あなたがログインしてこの特許公報を表示すれば、他の人はログインしなくてもこのURLで見ることができるようになります。

※ 共同出願を含む

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、この公報の全文を閲覧できます。ログインはこちら ログイン・ユーザー登録

被検物の表面の形状を干渉計測する計測方法及び計測装置

本発明は、被検物の表面の形状を干渉計測するための計測方法及び計測装置であって、回折光学素子を用いて動作すると共に、計測装置の比較的単純な光学セットアップで短い計測時間内の精密な計測を可能にする、計測方法及び計測装置を提供するという目的に基づく。

この目的を達成するために、本発明は、請求項１の特徴を有する計測方法と、請求項９の特徴を有する計測装置とを提供する。好ましい発展形態は独立請求項で特定される。全ての請求項の文言が、参照により説明の内容に援用される。

【図1】従来技術の参照計測装置の概略図を示す。

【図2】本発明の第１実施形態による計測装置の概略図を示す。

【図3】本発明の第２実施形態による計測装置の概略図を示す。

【図4】本発明の第３実施形態による計測装置の概略図を示す。

全ての図面はログインすると無料で閲覧できます。ログイン・ユーザー登録

［広告欄］

ログインすれば広告は減ります