特許 7901599出願番号特願 2023-550650
光学アセンブリ、光学素子を変形させる方法、及び投影露光システム

出願人カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー（識別番号 503263355）

2026年特許公開件数ランキング 393位 60件（※）

2026年特許取得件数ランキング 576位 30件（※）

公報発行日　2026年8月6

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7901599　ログイン済みの方はこのURLへ

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※ 共同出願を含む

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本願は、独国特許出願第１０２０２１２０１６８９．８号の優先権を主張し、その内容を参照により本明細書に完全に援用する。

既知の従来技術に鑑みて、本発明の一元的な目的は、高精度且つ好ましくは単純な技術的設計で投影露光装置の光学素子の変形を容易にする、特に有利な光学アセンブリを提供することにある。

この目的は、光学アセンブリ、変形方法の代替的な変形形態、コンピュータプログラム製品、及び投影露光装置について、各独立請求項により達成される。従属請求項及び以下に記載の特徴は、本発明の有利な実施形態及び変形形態に関するものである。

【図1】ＥＵＶ投影露光装置の子午線断面を概略的に示す。

【図2】ＤＵＶ投影露光装置を概略的に示す。

【図3】光学素子と、光学素子内に配置された光歪コンポーネントと、光歪コンポーネントを照明する複数の光源とを備えた光学アセンブリを概略的に示す。

【図4】光学素子と、光学素子内に配置された光歪コンポーネントと、光歪コンポーネントを照明する光学素子内に配置された複数の光源とを備えた光学アセンブリを概略的に示す。

【図5】光学素子と、光学素子の表側に配置された光歪コンポーネントと、光歪コンポーネントを照明する複数の光源とを備えた光学アセンブリを概略的に示す。

【図6】光学素子と、光学素子の裏側に配置された光歪コンポーネントと、光歪コンポーネントを照明する複数の光源とを備えた光学アセンブリを概略的に示す。

【図7】光学素子と、中間素子を介して光学素子の裏側に機械的に結合された複数の光歪コンポーネントと、基準体と、光歪コンポーネントを照明する複数の光源とを備えた光学アセンブリを概略的に示す。

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