特許7908987IP Force 特許公報全文掲載

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ドイツ特許出願第１０２０２３２０４１７１．５号の内容が、参照により本明細書に組み込まれる。

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 物体を測定するための計測システムを概略的に示す図である。
【図2】 計測システムの光学系の物体視野の領域内の照射焦点を生成する透過型光学的集束構成要素としてのゾーンプレートの上面図を示す図である。
【図3】 ゾーンプレートの下流側のビーム経路内の、計測システムの光源からの照射光の相異なる波長成分についての光学系の物体平面の領域内の照射焦点を示す図である。
【図4】 光学系の検出装置のスペクトル感応性(spectrally sensitive)実施形態までの、ゾーンプレートの下流側の光学系の照射光ビーム経路の一実施形態を示す図である。
【図5】 アクチュエータによる物体平面に対して垂直に変位可能である物体ホルダの追加の使用と共に、図４による検出装置の使用の変形形態を概略的に示す図である。
【図6】 照射光から少なくとも１つの選択されたウェーブライト成分をフィルタリングするための帯域フィルタとして格子が設計される、光学系のスペクトル感応性検出装置の別の実施形態の図４と類似の図である。
【図7】 ゾーンプレートによって生成された照射焦点を物体視野の領域内の別の照射焦点に結像する(imaging)ための結像光学ユニットを使用する、ゾーンプレートと物体視野との間の光学系のビーム経路の別の実施形態を示す図である。
【図8】 図７の細部ＶＩＩＩの拡大図である。

代表図 図1本件の代表的な図

１ 計測システム ２ 物体 ３ 主光線 ４ 照射光 ５ 光源 ６ 検出装置 ７ 中間焦点面 ８ 中間焦点絞り ９ 光学系 １０ 折り畳みミラー １１ ゾーンプレート １２ 物体視野 １３ 物体平面 １４ 物体ホルダ １５ アクチュエータ １６ 照射焦点 １７ 折り畳みミラー １８ 分散型光学的構成要素、格子 １９ 配置平面、検出平面 ２０ アクチュエータ ２１ 光学系 ２２ 結像光学ユニット Ｍ１ ミラー Ｍ２ ミラー

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