特許7909598IP Force 特許公報全文掲載

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第１の本発明は、概して、顕微鏡を用いて試料を測定するための方法および方法を実施する顕微鏡に関する。より詳細には、本方法は、試料の位置付けの傾きが補償または補正されることを可能にする。

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1A】 現行技術水準による、試料を測定するための方法の段階を説明するための試料１００の概略斜視図である。
【図1B】 現行技術水準による、試料を測定するための方法の段階を説明するための試料１００の概略斜視図である。
【図1C】 現行技術水準による、試料を測定するための方法の段階を説明するための試料１００の概略斜視図である。
【図1D】 現行技術水準による、試料を測定するための方法の段階を説明するための試料１００の概略斜視図である。
【図2A】 測定方法２００の概略図である。
【図2B】 試料１００の概略上面図である。
【図2C】 試料１００の概略側面図である。
【図3】 測定方法３００を示す概略図である。
【図4】 測定方法４００を示す概略図である。
【図5】 測定方法５００を示す概略図である。
【図6】 試料１００および試料の位置を測定するための構成要素の概略側面図である。
【図7】 測定ステップ７１０を示す概略図である。
【図8】 測定ステップ８１０を示す概略図である。
【図9】 走査ステップ９３０を示す概略図である。
【図10】 測定方法１０００を示す概略図である。
【図11】 顕微鏡１１００を示す概略図である。
１００ 試料 １０１ 上面 １０２Ａ～１０２Ｎ チャネル １０３ 角度 １０４、１０５ 側面 １０６ 底面 １０７Ａ、１０７Ｎ 水平層 １１０ エッチング手段 １２０ 走査手段 １３０ 塵芥 １３１ 角度 １３２ 傾斜 ２００ 試料を測定するための方法 Ｓ２１０ 傾斜を測定する Ｓ２２０ 試料を補正する Ｓ２３０ 試料を走査する ２４０ 集束マーカ ３００ 試料を測定するための方法 Ｓ３４０ 傾斜値をチェックする ４００ 試料を測定するための方法 Ｓ４５０ ボリューム再構築を補正する ６５０ ビーム放出器 ６５１ ビーム ６６０ 検出器 Ｓ７１０ 傾斜を測定する Ｓ７１１ 点を測定する Ｓ７１２ 適合させる Ｓ８１０ 傾斜を測定する Ｓ８１１ 点を測定する Ｓ８１３ 外れ値フィルタリング Ｓ９３０ 試料を走査する Ｓ９３１ 上面の一部分を除去する Ｓ９３２ 試料を走査する １１００ 顕微鏡 １１７０ プロセッサ １１７１ メモリ １０００ 試料を測定するための方法 Ｓ１０６０ 垂直構造を測定する

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