特許 7914781出願番号特願 2024-545876
投影レンズ、投影露光装置および投影露光方法

出願人カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー（識別番号 503263355）

2026年特許公開件数ランキング 383位 58件（※）

2026年特許取得件数ランキング 572位 29件（※）

公報発行日　2026年9月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7914781　ログイン済みの方はこのURLへ

［この特許公報を共有したい場合］あなたがログインしてこの特許公報を表示すれば、他の人はログインしなくてもこのURLで見ることができるようになります。

※ 共同出願を含む

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、この公報の全文を閲覧できます。ログインはこちら ログイン・ユーザー登録

以下の開示は、参照により本出願に組み込まれる、２０２２年１月３１日に出願された独国特許出願第１０２０２２２０１００２．７号に基づく。

【図1】例示の一実施形態による投影露光装置の概略図を示す図である。

【図2】第１の例示の実施形態による投影レンズの概略メリジオナルレンズ素子断面図を示す図である。

【図3】第２の例示の実施形態による投影レンズの概略メリジオナルレンズ素子断面図を示す図である。

【図4】第３の例示の実施形態による投影レンズの概略メリジオナルレンズ素子断面図を示す図である。

【図5】第４の例示の実施形態による投影レンズの概略メリジオナルレンズ素子断面図を示す図である。

【図6】第５の例示の実施形態による投影レンズの概略メリジオナルレンズ素子断面図を示す図である。

全ての図面はログインすると無料で閲覧できます。ログイン・ユーザー登録

［広告欄］

ログインすれば広告は減ります