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特許 7933032出願番号 特願 2023-561884
マイクロリソグラフィ投影露光装置のミラーを製造する方法。
出願人 カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー（識別番号 503263355）
2026年 特許公開件数ランキング 405位 62件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 558位 33件（※）
公報発行日 2026年10月9
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7933032 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
マイクロリソグラフィ投影露光装置のミラーを製造する方法に関する。本発明は、マイクロリソグラフィ投影露光装置のミラーを製造するための中間製品、照明光学ユニット、投影光学ユニット、及びマイクロリソグラフィ投影露光装置にも関する。
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明は、マイクロリソグラフィ投影露光装置のミラーの製造を簡略化し、特に高精度且つ高い再現性で２つのミラー部品を接続できるようにするという目的に基づく。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
この目的は、請求項１の特徴の組合せにより達成される。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
ＥＵＶ投影リソグラフィ用の投影露光装置の例示的な実施形態を子午線断面で概略的に示す。
【図2】
ＤＵＶ投影リソグラフィ用の投影露光装置の例示的な実施形態を概略図で示す。
【図3】
本発明による方法により製造されたミラーの例示的な要素を概略断面図で示す。
【図4】
図３に示すミラーの例示的な第１実施形態をさらに別の概略断面図で示す。
【図5】
下側部品への上側部品のオプティカルコンタクト接合中のスナップショットを概略断面図で示す。
【図6】
上側部品及び下側部品の概略断面図を示す。
【図7】
下側部品への上側部品のオプティカルコンタクト接合中のスナップショットを概略上面図で示す。
【図8】
下側部品への上側部品のオプティカルコンタクト接合中のさらに別のスナップショットを図７に対応する図で示す。
【図9】
下側部品への上側部品のオプティカルコンタクト接合中のさらに別のスナップショットを図５に対応する図で示す。
【図10】
下側部品への上側部品のオプティカルコンタクト接合中のさらに別のスナップショットを図７に対応する図で示す。
代表図 図1本件の代表的な図
１ 投影露光装置
２ 照明系
３ 放射源
４ 照明光学ユニット
５ 物体視野
６ 物体面
７ レチクル
８ レチクルホルダ
９ レチクル変位ドライブ
１０ 投影光学ユニット
１１ 像視野
１２ 像面
１３ ウェハ
１４ ウェハホルダ
１５ ウェハ変位ドライブ
１６ 照明放射線
１７ コレクタ
１８ 中間焦点面
１９ 偏向ミラー
２０ 第１ファセットミラー
２１ 第１ファセット
２２ 第２ファセットミラー
２３ 第２ファセット
２４ 冷却装置
２５ 制御装置
２６ ミラー
２７ 下側部品
２８ 上側部品
２９ 接続面
３０ 接続面
３１ 光学面
３２ 冷却チャネル
３３ 冷却チャネル開口
３４ 分配チャネル
３５ 回収チャネル
３６ 流体分配部
３７ 流体回収部
３８ 接触面
３９ ローリング方向
４０ 補助チャネル
４１ 補助チャネル開口
Ｍ ミラー
Ｍ１ ミラー
Ｍ２ ミラー
Ｍ３ ミラー
Ｍ４ ミラー
Ｍ５ ミラー
Ｍ６ ミラー
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