１ 投影露光装置 ２ ビーム整形・照明系 ４ 照明光学ユニット ６ 光源 ８ 放射線 １０ フォトマスク １２ ウェハ １４ レンズ素子 １６ レンズ素子 １８ レンズ素子 ２０ ミラー ２２ ミラー ２４ 光軸 ２６ 媒体 １００ 光学系 １０２ 光学素子 １０２’ 光学素子 １０４ 基板 １０６ 光学有効面 １０６’ 光学有効面 １０８ 前側 １１０ 後側 １１２ ミラーソケット １１４ ミラーソケット １１６ ミラーソケット ２００ 調整装置 ２０２ バイポッド ２０２Ａ バイポッド ２０２Ｂ バイポッド ２０４ バイポッド ２０６ バイポッド ２０８ 接続点 ２１０ 接続点 ２１２ 固定環境 ２１４ 結合素子 ２１４’ 結合素子 ２１６ 開ループ・閉ループ制御ユニット ２１８ ベース部 ２２０ タワー部 ２２２ タワー部 ２２４ 機構 ２２６ 作動素子 ２２８ 作動素子 ２３０ ポケット ２３２ ポケット ２３４ 移動量 ２３６ 移動量 ２３８ 切欠き ２４０ 切欠き ２４２ 補剛素子 ２４４ 締結点 ２４６ 締結点 ２４８ 締結点 ２５０ 締結点 ２５２ 凹部 ２５４ 凹陥部 ２５６ 凹陥部 ２５８ 凹陥部 ２６０ 外骨格 ２６２ ベース部 ２６４ 開口 ２６６ 接続部 ２６８ 接続部 ２７０ 切欠き ２７２ 切欠き ２７４ 切欠き ＡＬ 開始姿勢 ＥＬ 終了姿勢 ＩＬ 実際姿勢 Ｍ１ ミラー Ｍ２ ミラー Ｍ３ ミラー Ｍ４ ミラー Ｍ５ ミラー Ｍ６ ミラー ＳＬ 目標姿勢 ｘ ｘ方向 ｙ ｙ方向 ｚ ｚ方向