特表2022-517354波面センサ及び関連するメトロロジ装置

発明の名称　波面センサ及び関連するメトロロジ装置

出願人　エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．　（識別番号 504151804）

　　　　特許公開件数ランキング 225 位（145件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 339 位（79件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2022-517354

公報発行日　2022年3月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2022-517354

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