特表2022-520735深紫外線光源のための光学素子

発明の名称　深紫外線光源のための光学素子

出願人　サイマー　リミテッド　ライアビリティ　カンパニー　（識別番号 513192029）

　　　　特許公開件数ランキング 1356 位（15件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1434 位（12件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2022-520735

公報発行日　2022年4月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2022-520735

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