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特表2022-520744テクスチャリングされたシリコン半導体処理チャンバ構成部品
発明の名称 テクスチャリングされたシリコン半導体処理チャンバ構成部品
出願人 ラム リサーチ コーポレーション （識別番号 592010081）
特許公開件数ランキング 125 位（244件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 135 位（197件）（共同出願を含む）
出願人 シルフェックス・インコーポレーテッド （識別番号 521341514）
特許公開件数ランキング 6928 位（2件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 24686 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特表-2022-520744
公報発行日 2022年4月1
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2022-520744
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