(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公表特許公報(A)
(11)【公表番号】
(43)【公表日】2022-06-29
(54)【発明の名称】基板容器
(51)【国際特許分類】
H01L 21/673 20060101AFI20220622BHJP
B65D 85/30 20060101ALI20220622BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 T
B65D85/30 500
【審査請求】有
【予備審査請求】未請求
(21)【出願番号】P 2021563724
(86)(22)【出願日】2020-04-17
(85)【翻訳文提出日】2021-11-29
(86)【国際出願番号】 US2020028760
(87)【国際公開番号】W WO2020219361
(87)【国際公開日】2020-10-29
(31)【優先権主張番号】62/839,124
(32)【優先日】2019-04-26
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(81)【指定国・地域】
(71)【出願人】
【識別番号】505307471
【氏名又は名称】インテグリス・インコーポレーテッド
(74)【代理人】
【識別番号】100105957
【弁理士】
【氏名又は名称】恩田 誠
(74)【代理人】
【識別番号】100068755
【弁理士】
【氏名又は名称】恩田 博宣
(74)【代理人】
【識別番号】100142907
【弁理士】
【氏名又は名称】本田 淳
(72)【発明者】
【氏名】エッグム、ショーン ディ．
(72)【発明者】
【氏名】スミス、マーク ブイ．
(72)【発明者】
【氏名】フラー、マシュー エイ．
【テーマコード（参考）】
3E096
5F131
【Ｆターム（参考）】
3E096AA01
3E096AA06
3E096BA16
3E096BB04
3E096CA01
3E096CB10
3E096DA11
3E096DA18
3E096DA23
3E096EA06
3E096FA40
3E096GA03
5F131AA02
5F131CA12
5F131GA14
5F131GA15
5F131GA52
5F131GA62
5F131GA63
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5F131GA92
5F131JA04
5F131JA24
5F131JA33
5F131JA35
(57)【要約】
プレート、シェル、コネクタおよびシールを含む基板容器。コネクタはナットで螺合されて固定され、シールはシェル、プレートおよびコネクタのそれぞれに接触する。プレートには、コネクタの端とナットを収容する凹部がある。逆止弁を含む現場で修理可能で取り外し可能なパージモジュールは、基板容器とともに使用でき、プレートの凹部で基板容器に固定できる。フィルタはコネクタに固定するか、パージモジュールに含めることができる。これらのフィルタの直径は、コネクタの内径よりも大きくてもよい。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板容器であって、壁および壁によって画成される内部空間を含む容器シェルであって、第１の内径を有するシェル開口部をさらに含む、容器シェルと、
容器シェルに固定されるように構成されたプレートであって、表面と、第１の表面からの凹部と、凹部内に位置する、第２の内径を有するプレート開口部と、を含む、プレートと、
第１および第２の内径よりも小さい外径を有する部分と、第３の内径を有する中空部分と、第１の内径よりも大きい外径を有する第１の端部と、ねじ山を有する第２の端部と、を含むコネクタと、
コネクタのねじ山に係合するように構成されたねじ山を有するナットと、
容器シェルとプレートとの間に配置されたシールと、を備えており、
コネクタの第１の端部が容器シェルの第１の側に位置し、コネクタの第２の端部、シールおよびプレートが容器シェルの第１の側とは反対側の容器シェルの第２の側に位置しており、
コネクタが容器シェルの開口部およびプレートの開口部を貫通しており、
ナットがコネクタに螺合されて締め付けられると、シールが容器シェル、プレートおよびコネクタのそれぞれに接触する、基板容器。
【請求項2】
コネクタのねじ山およびナットのねじ山の少なくとも一方は、ロック特徴部を含む、請求項１に記載の基板容器。
【請求項3】
シールがＯリングである、請求項１に記載の基板容器。
【請求項4】
コネクタが、コネクタの第１の端部に配置されたフィルタ膜、フィルタグリル、およびコネクタの第１の端部に機械的に係合するとともに、フィルタグリルおよびフィルタ膜をコネクタの端部に固定するように構成されたフィルタキャップをさらに備えている、請求項１に記載の基板容器。
【請求項5】
基板容器が逆止弁を含む前方パージモジュールと、第３の内径よりも小さい外径を有する端部を含むノズルと、をさらに備えており、前方入口パージモジュールが、ノズルの端部がコネクタの中空部分内にあるように配置されている、請求項１に記載の基板容器。
【請求項6】
前方パージモジュールが複数のタブを有し、プレートが、前方入口パージモジュールのタブを受け入れるように構成された複数の傾斜スロットを有している、請求項５に記載の基板容器。
【請求項7】
複数のタブのそれぞれが凹部を有し、プレートが、凹部に係合するように構成された複数の戻り止めリブを有している、請求項６に記載の基板容器。
【請求項8】
コネクタが開口部を有する出口を有しており、開口部の中心がコネクタの内径の中心からずれている、請求項１に記載の基板容器。
【請求項9】
散気管が出口に接続されている、請求項８に記載の基板容器。
【請求項10】
ナットがコネクタに螺合されると、ナットおよびコネクタの第２の端部の全体が凹部内に位置する、請求項１に記載の基板容器。
【請求項11】
凹部内に配置されたフィルタ膜をさらに備えている、請求項１０に記載の基板容器。
【請求項12】
フィルタ膜がコネクタの内径よりも大きい直径を有している、請求項１１に記載の基板容器。
【請求項13】
後方入口パージモジュールであって、逆止弁を含むグロメットと、
フィルタ膜と、
フィルタ膜を支持するように構成されたグリルと、
後方入口パージモジュール本体であって、グロメットの外径よりも大きい内径を有するとともに、グロメットを受け入れるように構成された部分と、第３の内径よりも小さい外径を有するノズルと、を含み、ノズルの端部がコネクタ内に位置する、後方入口パージモジュール本体と、を含む後方入口パージモジュールをさらに備えている、請求項１に記載の基板容器。
【請求項14】
グロメットが、基板およびエラストマー構成要素を含むオーバーモールドされたグロメットである、請求項１３に記載の基板容器。
【請求項15】
逆止弁が傘弁である、請求項１３に記載の基板容器。
【請求項16】
フィルタ膜がコネクタの内径よりも大きい直径を有している、請求項１３に記載の基板容器。
【請求項17】
後方入口パージモジュール本体が複数のタブを有し、プレートが、それぞれが複数のタブのうちの１つを受け入れるように構成された複数の傾斜スロットを有している、請求項１３に記載の基板容器。
【請求項18】
後方入口パージモジュール本体が、複数のタブの全体が複数のスロット内にあるときに後方入口パージモジュールの回転を防ぐためにプレートと係合するように構成された複数のフィンガを有している、請求項１７に記載の基板容器。
【請求項19】
基板容器であって、前開口部および内部空間を含むシェルと、
シェルに固定されるように構成されたプレートと、
内径を有するねじ端を含むコネクタであって、シェルおよびプレートを貫通するとともに、ねじ端でナットによって固定されるコネクタと、
逆止弁、およびコネクタのねじ端の内径よりも小さい外径を有する端部を含むノズルを備える、交換可能な、現場で修理可能な入口または出口モジュールであって、ノズルの端部がコネクタのねじ端の内径内に位置している、交換可能な、現場で修理可能な入口または出口モジュールと、を備えている、基板容器。
【請求項20】
交換可能な、現場で修理可能な入口または出口モジュールが、逆止弁がシェルへの流入を可能にするように構成された入口パージモジュール、および逆止弁がシェルからの流出を可能にするように構成された出口パージモジュールの群から選択されるものである、請求項１９に記載の基板容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、例えば、半導体製造で使用される前面開閉一体型ポッド（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ（ＦＯＵＰ））などの基板容器に使用されるコネクタおよびパージモジュールに関する。より詳細には、本開示は、基板容器シェルとコンベアプレートとの間のねじ式コネクタであって、基板容器へのパージガスの流入または流出を可能にするものに関する。
【背景技術】
【0002】
基板容器は、半導体製造工程のさまざまな段階でウェハを搬送するために使用される。基板容器には、たとえば、前面開閉一体型ポッド（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ（ＦＯＵＰ））（以下、「ＦＯＵＰ」と称する。）が含まれる。ＦＯＵＰには通常、ウェハを保持するための内部空間を提供するシェルと、たとえば、ＦＯＵＰを処理施設内で移動できるように、さまざまなコンベヤやその他のデバイスとインターフェースするために使用されるプレートとが含まれる。シェルとプレートは、たとえば溶接、コネクタなどによって互いに固定される。
【0003】
処理中には、パージ工程などで、ＦＯＵＰからガスを導入および除去する必要がある。これには、ガスがＦＯＵＰに出入りできる１つ以上の場所が必要である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本発明の目的は、上記した基板容器をより向上させた基板容器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本開示は、例えば、半導体製造で使用される前面開閉一体型ポッド（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ（ＦＯＵＰ））などの基板容器に使用されるコネクタおよびパージモジュールに関する。より詳細には、本開示は、基板容器のシェルとコンベアプレートとの間のねじ式コネクタであって、基板容器へのパージガスの流入または流出を可能にするものに関する。
【0006】
基板容器のシェルと基板容器のプレートは、ねじ付きコネクタと、ねじ付きコネクタ、プレートおよびシェルの間に配置されたシールとによって結合することができる。ナットをねじ付きコネクタに装着して締め付けてプレートとシェルを固定するときに、シールを圧縮することができる。このねじ付きコネクタは、基板容器の寸法を維持し、基板容器の輸送や取り扱いを良好に行うために必要な、シェルとプレートとの強固な接続を可能にする。
【0007】
コネクタは、基板容器に出入りする流れを制御するパージモジュールから分離することができる。取り外し可能で現場で修理可能な構成部品は、そのような基板容器のパージモジュールとして使用することができる。これらの取り外し可能で現場で修理可能な構成部品は、基板容器の寸法に影響を与えることなく修理または交換することができる。基板容器の寸法は、特に半導体ウェハの製造中に自動位置決めやその他の操作で使用される基板容器にとって注意を要するものである。これにより、基板容器全体を交換するのではなく、ユニットを修理または交換することも可能になる。
【0008】
このようなコネクタを使用すると、直径の大きいフィルタを使用できるようになり、たとえば、フィルタを取り外し可能で現場で修理可能なパージモジュールに配置したり、コネクタの端部に取り付けたりすることで、基板容器に出入りするガスの流れに対する抵抗を減らすことができる。
【0009】
一実施形態では、基板容器は、開口部を有する壁と、壁によって画成された内部空間とを有する容器シェルを含む。容器シェルは、第１の内径を有するシェル開口部を含む。基板容器はまた、シェルに固定されるように構成されたプレートを含む。プレートは、表面、凹部、および第２の内径を有する凹部内に位置する開口部を含む。基板容器はさらにコネクタを含む。コネクタは、第１および第２の内径よりも小さい外径を有する部分、第３の内径を有する中空部分、第１の内径よりも大きい外径を有する第１の端部、およびねじ山を有する第２の端部を含む。ナットには、コネクタの第２の端部のねじ山にかみ合うように構成されたねじ山が備わっている。容器シェルとプレートの間にシールが配置されている。コネクタの第１の端部は、容器シェルの第１の側に配置され、コネクタの第２の端部、シールおよびプレートは、容器シェルの第１の側の反対側の容器シェルの第２の側に配置される。コネクタは、シェル開口部とプレート開口部を貫通している。ナットをコネクタに螺合して締め付けると、シールは容器シェル、プレートおよびコネクタのそれぞれに接触する。
【0010】
一実施形態では、コネクタのねじ山およびナットのねじ山の少なくとも一方は、ロック特徴部を含む。
一実施形態では、シールはＯリングである。
一実施形態では、シールはＯリングである。
【0011】
一実施形態では、コネクタは、コネクタの第１の端部に配置されたフィルタ膜、フィルタグリル、およびコネクタの第１の端部に機械的に係合し、フィルタグリルおよびフィルタ膜をコネクタの第１の端部に固定するように構成されたフィルタキャップをさらに含む。
【0012】
一実施形態では、基板容器は、逆止弁を含む前方パージモジュールと、第３の内径よりも小さい外径を有する端部を含むノズルとをさらに含み、前方入口パージモジュールは、ノズルの端部がコネクタの中空部分内にあるように配置される。一実施形態では、前方パージモジュールは複数のタブを含み、プレートは、前方入口パージモジュールのタブを受け入れるように構成された複数の傾斜スロットを含む。一実施形態では、複数のタブのそれぞれは凹部を有し、プレートは、凹部に係合するように構成された複数の戻り止めリブを有する。
【0013】
一実施形態では、コネクタは、開口部を有する出口を含み、開口部の中心は、コネクタの内径の中心からずれて（ｏｆｆｓｅｔ）いる。一実施形態では、散気管（ｄｉｆｆｕｓｅｒ ｔｕｂｅ）が出口に接続されている。
【0014】
一実施形態では、ナットがコネクタに螺合される（ｔｈｒｅａｄｅｄ ｏｎｔｏ）と、ナットおよびコネクタの第２の端部は、その全体が凹部内に置かれる。一実施形態では、フィルタ膜は凹部内に配置されている。一実施形態では、フィルタ膜は、コネクタの内径よりも大きい直径を有する。
【0015】
一実施形態では、基板容器は後方入口パージモジュールを含み、後方入口パージモジュールは、逆止弁を含むグロメット、フィルタ膜、フィルタ膜を支持するように構成されたグリル、および後方入口パージモジュール本体を含む。後方入口パージモジュール本体は、グロメットの外径よりも大きい内径を有するとともに、グロメットを受け入れるように構成された部分と、第３の内径よりも小さい外径を有するノズルとを含む。ノズルの端部はコネクタ内にある。一実施形態では、グロメットは、基板およびエラストマー構成要素を含むオーバーモールドされたグロメットであり、基板は、ポリカーボネートおよびカーボンナノチューブの少なくとも一方を含む。エラストマー構成要素はエラストマーで形成され、基板上にオーバーモールドされる。一実施形態では、逆止弁は傘弁である。一実施形態では、フィルタ膜は、第３の内径よりも大きい直径を有する。一実施形態では、後方入口パージモジュール本体は複数のタブを含み、プレートは、それぞれが複数のタブのうちの１つを受け入れるように構成された複数の傾斜スロットを含む。一実施形態では、後方入口パージモジュール本体は、複数のタブの全体が複数のスロット内にあるときに後方入口パージモジュールの回転を防ぐためにプレートと係合するように構成された複数のフィンガを含む。
【0016】
一実施形態では、ＦＯＵＰは、前開口部および内部空間を含むシェルと、シェルに固定されるように構成されたプレートと、内径を有するねじ端を含むコネクタであって、シェルおよびプレートを貫通するとともに、ねじ端でナットを介して固定されるコネクタと、逆止弁、およびコネクタのねじ端の内径よりも小さい外径を有する端部を含むノズルを備える、交換可能な、現場で修理可能な入口または出口モジュールと、を備える。この実施形態では、交換可能な、現場で修理可能な入口または出口モジュールはプレート内に配置され、ノズルの端部はコネクタのねじ山付き端部の内径内に配置される。
【0017】
一実施形態では、交換可能な、現場で修理可能な入口または出口モジュールは、逆止弁がシェルへの流入を可能にするように構成された傘逆止弁である前方入口パージモジュール、逆止弁がシェルからの流出を可能にするように構成された機械的逆止弁である前方出口パージモジュール、および逆止弁がシェルへの流入を可能にするように構成された傘逆止弁であり、さらにグロメットおよびフィルタ膜をさらに含む後方入口パージモジュールの群から選択されるものである。
【図面の簡単な説明】
【0018】
【図1】一実施形態による、シェルがコネクタを介してプレートに接合されている基板容器の一部を示す分解図である。
【図2】一実施形態による、基板容器のシェル内のコネクタにおけるフィルタ接続部を示す分解図である。
【図3】一実施形態によるフィルタおよびコネクタの端部を示す断面図である。
【図4】一実施形態による入口パージモジュールを示す分解図である。
【図5】一実施形態による出口パージモジュールを示す分解図である。
【図6】一実施形態による、基板容器に設置されたパージモジュールを示す底面図である。
【図7】一実施形態による入口パージモジュールを示す断面図である。
【図8A】一実施形態による、基板容器のシェルと組み合わせたときのコネクタを示す上面図である。
【図8B】一実施形態による散気管およびコネクタを示す分解図である。
【図10】一実施形態による、基板容器に設置されたパージモジュールを示す底面図である。
【発明を実施するための形態】
【0019】
本開示は、例えば、半導体製造で使用される前面開閉一体型ポッド（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ（ＦＯＵＰ））などの基板容器に使用されるコネクタおよびパージモジュールに関する。より詳細には、本開示は、基板容器シェルとコンベアプレートとの間のねじ式コネクタであって、基板容器へのパージガスの流入または流出を可能にするものに関する。
【0020】
基板容器は、半導体ウェハの輸送および／または処理中にそのようなウェハを運ぶための容器である。基板容器は、例えば、ＦＯＵＰまたはＦＯＳＢ（前面開閉輸送容器Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｓｈｉｐｐｉｎｇ Ｂｏｘ）であってもよい。
【0021】
図１は、一実施形態による、基板容器１００の一部を示す分解図であって、シェル１０２がコネクタ１０６によってプレート１０４に接合されている。ナット１１２は、シェル１０２とプレート１０４を結合するためにコネクタ１０６とともに使用される。シール１２０は、シェル１０２とプレート１０４との間に配置されている。シール１２０は、ポリマーシールであってもよい。一実施形態では、シール１２０は、フルオロポリマーシールである。一実施形態では、シール１２０はエラストマーシールである。シールの材料は、ガス放出、粒子生成、低揮発性などの設計態様に基づいて選択することができる。
【0022】
シェル１０２は、基板容器１００の一部である。シェル１０２は、ウェハが保管および処理される内部空間を画成することができる。シェル１０２の内部空間は、ウェハがシェルに装填される一方の側で開放されていてもよい。別のカバーにより、内部空間のその開放された側を、ウェハ処理中に閉じることができる。シェル１０２は、ウェハがシェル１０２の内部空間に配置されるときに、ウェハを支持する１つまたは複数の突起を含むことができる。シェル１０２は、１つまたは複数のシェル開口部１１０を含む。シェル開口部１１０のそれぞれは、コネクタ１０６がプレート１０４をシェル１０２に結合する位置に対応していてもよい。シェル開口部１１０は、例えば、シェル１０２の下側の角部など、シェル１０２の片側の角部の近くに設けることができる。シェル開口部１１０のそれぞれは、製造公差および位置制約内で、例えば内部空間の開口側から離れた内部空間の閉鎖された後端に向かうように、円形またはほぼ円形であってもよい。シェル開口部は、シェル１０２の第１の側面１２２からシェル１０２の第２の側面１２４へ貫通していてもよい。第１の側面１２２は、内部空間を画成するシェルの側面であってもよい。第２の側面１２４は、シェル１０２およびプレート１０４が基板容器１００用に組み立てられるとき、側面に面するプレート１０４であってもよい。
【0023】
プレート１０４は、シェル１０２に接続されたプレートである。プレート１０４は、基板容器１００の移動および配置を容易にするためのコンベヤプレートであってもよい。プレート１０４は、プレート１０４およびシェル１０２が組み立てられて基板容器１００を形成するときに、シェル１０２から外側を向く表面１２６を含んでもよい。プレート１０４の表面１２６は、パージ装置などの１つまたは複数のウェハ処理装置に基板容器１００を位置決めして支持するために使用される１つまたは複数の位置合わせ凹部を含むことができる。プレート１０４は、１つまたは複数の凹部１０８を含む。凹部１０８は、プレート１０４の表面１２６から、シェル１０２およびプレート１０４が組み立てられて基板容器１００を形成するときにシェル１０２が位置する方向に向かって凹んでいる。凹部１０８のそれぞれは、コネクタ１０６がプレート１０４とシェル１０２とを結合する箇所に対応していてもよい。凹部１０８のそれぞれは、コネクタ１０６がプレート１０４を貫通することができるプレート開口部１２８を含むことができる。プレート開口部１２８のそれぞれは、製造公差および位置制約の範囲内で、円形またはほぼ円形であってもよい。
【0024】
コネクタ１０６は、プレート１０４とシェル１０２とを結合するために使用されてもよい。コネクタ１０６は、第１の端部１１４および第２の端部１１６を有する。コネクタ１０６の第１の端部１１４は、シェル開口部１１０の内径よりも大きい直径を有する。第１の端部１１４は、コネクタ１０６がシェル１０２の動きを維持および制限するように、シェル１０２、プレート１０４およびコネクタ１０６が組み立てられるときに、シェル１０２によって画成される内部空間に配置されてもよい。コネクタ１０６の第２の端部１１６は、シェル開口部１１０および凹部１０８に位置するプレート開口部１２８を通過できるように、これらの開口部１１０、１２８の内径よりも小さい外径を有する。第２の端部１１６には、ナット１１２のねじ山と係合するように構成されたねじ山が形成されている。一実施形態では、シェル１０２、プレート１０４、およびコネクタ１０６が組み合わされるとき、コネクタ１０６の第２の端部１１６は、プレート１０４の凹部１０８内に全体が配置される。
【0025】
コネクタ１０６は、パージガス（例えば、窒素）または基板容器１００からパージされるガスなどの流体が、シェル１０２によって画成される内部空間に出入りすることができる通路を有する。
【0026】
ナット１１２は、プレート１０４とシェル１０２を結合するためにコネクタ１０６と共に使用することができる。ナット１１２はねじ切りされ、コネクタ１０６のねじ切りされた第２の端部１１６と係合することができる。ナット１１２およびコネクタ１０６の第２の端部１１６のうちの１つまたは複数でのねじ山は、１つまたは複数のロック特徴部（ｌｏｃｋｉｎｇ ｆｅａｔｕｒｅ）（図示せず）を含むことができる。ロック特徴部は、ナット１１２がコネクタ１０６の第２の端部１１６に螺合されたときに回転を制限するための、例えば、鋸歯状の表面、隆起、スカラップ、または他のそのような特徴部を含むことができる。一実施形態では、プレート１０２、シェル１０４およびコネクタ１０６が組み合わされ、ナット１１２がコネクタ１０６の第２の端部１１６に螺合されると、ナット１１２は全体がプレート１０４の凹部１０８内に収まる。ナット１１２は、例えば、キャッスルナットであってもよく、ナット１１２をコネクタ１０６の第２の端部１１６に螺合する際にナット１１２をコネクタ１０６に対して回転させるためのツール（図示せず）と係合するための複数の突起１１８を有する。
【0027】
シェル１０２、プレート１０４、コネクタ１０６、および／またはナット１１２は、射出成形可能なポリマーなどのポリマーで作ることができる。一実施形態では、シェル１０２、プレート１０４、コネクタ１０６、および／またはナット１１２は、１つまたは複数種類のポリオレフィンを含む。一実施形態では、シェル１０２、プレート１０４、コネクタ１０６、および／またはナット１１２は、ポリカーボネートを含む。一実施形態では、シェル１０２、プレート１０４、コネクタ１０６、および／またはナット１１２で使用されるポリマーは、カーボンフィル（ｃａｒｂｏｎ ｆｉｌｌ）を含んでもよい。一実施形態では、シェル１０２、プレート１０４、コネクタ１０６、および／またはナット１１２に含まれるカーボンフィルは、静電気の放散を行うことができる。シェル１０２、プレート１０４、コネクタ１０６、および／またはナット１１２は、様々な熱可塑性ポリマー材料、より具体的には、粒子の飛散を最小限に抑えるように設計された熱可塑性ポリマーから作られてもよい。基板容器の一部を射出成形することができる。
【0028】
シール１２０は、シェル１０２、コネクタ１０６およびプレート１０４の間のパージガスおよび／または反応ガスなどの流体の漏れを制限するシールである。シール１２０は、例えば、フラットガスケット、オーバーモールドシール、またはＯリングであってもよい。シール１２０は、シェル１０２、プレート１０４およびコネクタ１０６が組み合わされ、ナット１１２がコネクタ１０６の第２の端部１１６に螺合され締め付けられるときに、シェル１０２、コネクタ１０６およびプレート１０４のそれぞれに接触するように配置することができる。一実施形態では、シール１２０は、ナット１１２をコネクタ１０６に螺合する前に、コネクタ１０６の周り、およびプレート１０４とシェル１０２との間に配置されたＯリングである。この実施形態では、ナット１１２が締められると、Ｏリングが圧縮され、Ｏリングがシェル１０２、プレート１０４およびコネクタ１０６のそれぞれに押し付けられる。
【0029】
図２は、一実施形態による、基板容器のシェル２０２内のコネクタ２００の端部におけるフィルタ接続部の分解図である。コネクタ２００の端部は、上述され図１に示すコネクタ１０６のようなコネクタの第１の端部１１４であってもよい。フィルタ２０４は、上述され図１に示すコネクタ１０６のようなコネクタ上に配置することができる。フィルタ２０４の直径は、コネクタの内径より大きくてもよい。フィルタ２０４は、例えば、多孔質ポリマーフィルタ膜フィルタなどのフィルタ膜であってもよい。フィルタ２０４は、１つまたは複数種類のポリマー材料で作製することができ、非限定的な例には、ポリオレフィン、ポリアミド、フルオロポリマーなどが含まれる。フィルタ２０４は、任意のフィルタ構成、例えば、単層、多層、積層、織布、および／または不織布構造であってもよい。一実施形態では、フィルタ２０４は静電媒体を含む。フィルタ２０４は、コネクタ２００の端部とフィルタグリル２０６との間の機械的干渉によって所定の位置に保持される。フィルタグリル２０６は、フィルタキャップ２０８によって所定の位置に保持することができる。フィルタキャップ２０８は、コネクタ２００上のタブ２１２と係合するように構成されたコネクタ２１０を含む。フィルタキャップ２０８は、スポーク２１０の下側に戻り止めリブ（図示せず）をさらに含んでいてもよい。スポーク２１０上の戻り止めリブは、フィルタキャップ２０８がコネクタ２００上の位置にあるときに、フィルタグリル２０６およびフィルタキャップ２０８の回転を制限するためにフィルタグリル２０６と係合することができる。
【0030】
図３は、一実施形態による、フィルタ３０２およびコネクタ３００の端部の断面図である。図３は、図２の分解図に示すような組み立てられたフィルタ接続部の中心線における断面図を示す。コネクタ３００の端部は、第１のコネクタローブ３０４、第２のコネクタローブ３０６およびコネクタ凹部３０８を含む。第１のコネクタローブ３０４、第２のコネクタローブ３０６およびコネクタ凹部３０８のそれぞれは、環状であってもよい。フィルタグリル３１０は、第１のコネクタローブ３０４と位置合わせされた第１のフィルタグリル肩部３１２、第２のコネクタローブ３０６と位置合わせされた第２のコネクタ肩部３１４、およびコネクタ凹部３０８と位置合わせされたフィルタグリルローブ３１６を含む。フィルタグリル３１０が、例えば、フィルタキャップ（上述し図２に示すフィルタキャップ２０８など）を介してコネクタ３００の端部に固定されると、フィルタ３０２は、第１のコネクタローブ３０４と第１のフィルタグリル肩部３１２、コネクタ凹部３０８とフィルタグリルローブ３１６、ならびに第２のコネクタローブ３０６と第２のフィルタグリル肩部３１４との間で圧縮される。第１のコネクタローブ３０４および第１のフィルタグリル肩部３１２、コネクタ凹部３０８およびフィルタグリルローブ３１６、ならびに第２のコネクタローブ３０６および第２のフィルタグリル肩部３１４は、フィルタ３０２の中心からその周辺に移動するときに、この順序であってもよい。これは、フィルタ３０２を圧着および圧縮し、例えば、フィルタ３０２の縁を通る窒素などのパージガスなどの流体の漏れを低減する。
【0031】
図４は、一実施形態による入口パージモジュール４００の分解図である。入口パージモジュール４００は、端部４０４およびフランジ４０６を有するノズル４０２を含む。フランジ４０６は、１つまたは複数のタブ４０８および係合特徴部４１０を含むことができる。入口パージモジュール４００は、逆止弁４１２およびシール４１４をさらに含む。
【0032】
入口パージモジュール４００は、パージガス（例えば、窒素）などの流体が、入口パージモジュール４００が設置されている基板容器に流入することを可能にするように使用することができる。入口パージモジュール４００は、例えば、ＦＯＵＰの前面開口部（図示せず）の近くに配置された前方入口パージモジュールであってもよい。
【0033】
ノズル４０２は、端部４０４まで延びる。ノズル４０２の端部４０４は、入口パージモジュール４００が、上述し図１に示すプレート１０４のような、基板容器のプレートに取り付けられているときに、コネクタ内に収まるように構成される。ノズル４０２は流体を導くことができる通路を含む。入口パージモジュール４００が基板容器に取り付けられると、ノズル４０２は、上述し図１に示すコネクタ１０６のようなコネクタ内に延在することができる。ノズル４０２は、逆止弁４１２の一部を保持するための円筒形開口部のような、端部４０４に保持特徴部（ｒｅｔａｉｎｉｎｇ ｆｅａｔｕｒｅ）４１６を含むことができる。
【0034】
入口パージモジュール４００は、ノズル４０２を取り囲むフランジ４０６を含む。フランジ４０６は、プレート（上述し図１に示すプレート１０４など）と係合して、入口パージモジュール４００を保持および位置決めすることができる。フランジ４０６は、例えば、タブ４０８、および係合特徴部（ｅｎｇａｇｅｍｅｎｔ ｆｅａｔｕｒｅ）４１０を含むことができる。タブ４０８は、プレート上の溝（例えば、傾斜溝）とインターフェースすることができ、入口パージモジュール４００がプレートの凹部（上述し図１に示す凹部１０８など）に挿入されたときに回転させることによって、入口パージモジュール４００を固定および位置決めすることができ、そこで入口パージモジュール４００が取り付けられて回転する。係合特徴部４１０は、入口パージモジュール４００がその全体をプレートに取り付けられたときに、入口パージモジュール４００の回転に抵抗する機械的係合部の一部である。係合特徴部４１０は、例えば、入口パージモジュール４００が取り付けられたときに、対応する戻り止めリブと係合するように構成された凹部であってもよい。一実施形態では、係合特徴部４１０は、取り付けられたときにプレートの凹部と係合するように構成された入口パージモジュール４００の戻り止めリブであってもよい。フランジ４０６は、１つまたは複数のツールインターフェース４１８、例えば、図４に示す開口部をさらに含んでもよく、ツール（図示せず）は、回転力を入口パージモジュール４００に伝達できるように、入口パージモジュール４００と嵌合することができる。これにより、コネクタまたは基板容器の寸法に影響を与えることなく、入口パージモジュール４００の取り外しが可能になり、入口パージモジュール４００の取り外しおよび現場での修理が可能になる。
【0035】
逆止弁４１２は、ノズル４０２からの一方向の流れを可能にする弁である。逆止弁４１２は、例えば、傘逆止弁であってもよい。逆止弁４１２のステム４２０は、ボール、隆起、傾斜部分、または保持特徴部４１６と機械的に係合する他の特徴部を含んでいてもよい。例えば、図４に示す実施形態では、逆止弁４１２のステム４２０は、ノズル４０２の保持特徴部４１６である、開口を通って引っ張られる円錐部分を含んでもよい。
【0036】
シール４１４を使用して、ノズル４０２と、上述し図１に示すようなコネクタ１０６などのコネクタとの間でのガス漏れを防止することができる。シール４１４は、例えば、Ｏリング、オーバーモールドシール、フラットガスケット、または他のそのようなシールであってもよい。図４に示す実施形態では、シール４１４は、ノズル４０２の外面に形成された溝４２２に配置されたＯリングである。
【0037】
図５は、一実施形態による出口パージモジュール５００の分解図である。出口パージモジュール５００は、端部５０４を有するノズル５０２、フランジ５０６および逆止弁５０８を含む。
【0038】
ノズル５０２は、端部５０４まで延びる。ノズル５０２は開口を含む。ノズル５０２を通る開口の内面は、１つまたは複数の逆止弁係合特徴部５１０を含んでもよい。逆止弁係合特徴部は、例えば、逆止弁５０８を固定および位置決めするために、ノズル５０２の内面と逆止弁５０８との間に機械的インターフェースを提供する。逆止弁係合特徴部５１０は、逆止弁５０８のケージ５１４のリブのための１つまたは複数のチャネル、および／または逆止弁５０８のケージ５１４の隆起した特徴を受け入れるように構成された１つまたは複数の戻り止めリブまたは凹部を含むことができる。
【0039】
フランジ５０６は、プレート（上述し図１に示すプレート１０４など）と係合して、出口パージモジュール５００を保持および位置決めすることができる。フランジ５０６は、例えば、タブ５２０および係合特徴部５２２を含んでもよい。タブ５０２は、プレート上の溝、例えば、（後述し図６に示す傾斜スロット６０４などの）傾斜スロットとインターフェースすることができ、出口パージモジュール５００をプレートの凹部（上述し図１に示す凹部１０８など）に挿入して回転させることを可能にし、その位置で出口パージモジュール５００をプレートに固定する。係合特徴部５２２は、出口パージモジュールを回転させてプレート内に位置決めすると、例えば、出口パージモジュールを全回転させてプレート内の所定の位置に位置決めすると、出口パージモジュールをその位置に固定することができる。係合特徴部５２２は、例えば、出口パージモジュール５００が取り付けられたときにプレート上の対応する戻り止めリブと係合するように構成された凹部を含むことができる。一実施形態では、係合特徴部５２２は、取り付けられたときにプレート上の凹部に係合するように構成された出口パージモジュール５００の戻り止めリブであってもよい。フランジ５０６は、１つまたは複数のツールインターフェース５２８、例えば、ツール（図示せず）が出口パージモジュール５００と嵌合して出口パージモジュール５００を回転させることができる、図５に示す開口部をさらに含んでもよい。これにより、コネクタまたは基板容器の寸法に影響を与えることなく、出口パージモジュール５００の取り外しが可能になり、出口パージモジュール５００の取り外しおよび現場での整備が可能になる。
【0040】
逆止弁５０８は、ＦＯＵＰなどの基板容器からパージされるガスのような流体が、ウェハ容器（図示せず）の内部空間からノズル５０２への一方向の流れを可能にする逆止弁である。逆止弁５０８は、例えば、ばね５１２およびばね５１２を取り囲むケージ５１４によって所定の位置に保持される機械的逆止弁であってもよい。ケージ５１４は、ノズル５０２内で逆止弁係合特徴部５１０によって係合されてもよい。逆止弁５０８は、逆止弁シール５１６を含んでいてもよい。逆止弁シール５１６は、逆止弁５０８とノズル５０２の内面との間のパージされたガスのような流体の漏れを防止するように構成されたシールである。逆止弁シール５１６は、例えば、Ｏリング、フラットガスケット、オーバーモールドシール、または他のそのようなシールであってもよい。一実施形態では、逆止弁シール５１６は、逆止弁の外面に形成された逆止弁シール溝５１８内に配置されたＯリングである。
【0041】
出口パージモジュール５００は、出口パージモジュール５００がコネクタを含む基板容器に取り付けられたときに、コネクタの内面とノズルの外面との間の漏れを防ぐためのシール５２４を含むことができる。シール５２４は、例えば、フラットガスケットまたはオーバーモールドシールであってもよい。一実施形態では、シール５２４は、ノズル５０２の外面の溝５２６内に配置されたＯリングであってもよい。
【0042】
図６は、一実施形態による、プレート６０２において基板容器に設置されたパージモジュール６００の底面図である。プレート６０２は、傾斜スロット６０４を含む。実施形態では、１つまたは複数の傾斜スロット６０４を使用することができる。傾斜スロット６０４のそれぞれは、パージモジュール６００のタブ６０８（例えば、上述し図４および５にそれぞれ示すタブ４０８またはタブ５２０など）を受け入れることができる開口６０６を含む。タブ６０８を開口６０６に挿入した後にパージモジュール６００が回転すると、プレート６０２は、プレート６０２の平面に垂直なパージモジュール６００の動きを制限する。パージモジュール６００が所定の位置に全回転すると、タブの係合部材（図示せず）（上述し図４および５にそれぞれ示す係合部材４１０または係合部材５２２など）およびスロットが係合して、パージモジュール６００の回転を制限して、プレート６０２に対するパージモジュール６００の位置を固定する。係合は、例えば、戻り止めリブと凹部の嵌合、または他のそのような機械的接続であってもよい。
【0043】
図７は、一実施形態による入口パージモジュール７００の断面図である。パージモジュール本体７０２は、第１の端部７０４と、第２の端部７０８に向かって延びるノズル７０６とを有する。パージモジュール本体７０２は、パージガス（例えば、窒素）などの流体がパージモジュール本体７０２を通って流れることができるように、第１の端部７０４から第２の端部７０８まで開いている。入口パージモジュール７００が、図１に示す基板容器１００などの基板容器に設置される場合、第２の端部７０８は、上述し図１に示すコネクタ１０６などのコネクタ内に延在することができる。第２の端部７０８は、コネクタの内径よりも小さい外径を有することができる。ノズル７０６は、シール７２０がコネクタと入口パージモジュール７００のノズル７０６との間の漏れを防ぐように、コネクタ内に延在することができる。シール７２０は、第２の端部７０８に向かって、ノズル７０６上に配置されてもよい。シール７２０は、例えば、フラットガスケット、オーバーモールドシール、または図７の実施形態に示すような、ノズル７０６の外面の溝７２２に配置されたＯリングであってもよい。パージモジュール本体７０２の第１の端部７０４の開口部は、グロメット７０９の外径よりも大きい内径を有し、その結果、グロメット７０９は、図示するように、第１の端部７０４でパージモジュール本体７０２に挿入することができる。
【0044】
グロメット７０９は、パージモジュール本体７０２の第１の端部７０４内に収まる寸法のグロメットであり、逆止弁７１２を含む。グロメット７０９は、パージモジュール本体７０２に配置された特徴部とのスナップフィット関係によって、パージモジュール本体７０２内に保持される。逆止弁７１２は、パージモジュール本体７０２の第１の端部７０４から第２の端部７０８に向かう方向に、パージガス（例えば、窒素）などの流体の一方向の流れを可能にする逆止弁である。逆止弁７１２は、例えば、傘逆止弁であってもよい。
【0045】
グロメット７０９は、シールの形成により、グロメット７０９の外径とパージモジュール本体７０２の第１の端部７０４の内径との間の漏れをさらに制限または防止することができる。グロメット７０９は、例えば、グロメット基板または別のそのようなシールを取り囲む環状溝に配置されたＯリングを含むことができる。図７に示す実施形態では、グロメット７０９は、基板７１４にオーバーモールドされたエラストマー構成要素７１０を含むオーバーモールドされたグロメットである。一実施形態では、グロメット７０９は、パージモジュール本体７０２との摩擦からの粒子生成を低減または排除するように選択された１つまたは複数の材料でできている。エラストマー構成要素７１０は、熱可塑性エラストマーから形成することができ、熱可塑性エラストマーは、１つの非限定的な例において、ポリブチレンテレフタレートを含むことができる。基板７１４は、ポリカーボネートおよびカーボンナノチューブのうちの少なくとも一方から形成することができる。
【0046】
いくつかの実施形態では、パージモジュール本体７０２は、グロメット７０９がパージモジュール本体７０２に対してシールするように、グロメット７０９のエラストマー構成要素７１０に接触して圧縮する第１の環状突起７２５ａを含むことができる。第１の環状突起７２５ａに加えて、またはその代替として、パージモジュール本体７０２はまた、第２の環状突起７２５ｂを含んでもよい。第２の環状突起７２５ｂは、グロメット７０９のエラストマー構成要素７１０とパージモジュール本体７０２との間のフィルタ要素７１６を圧縮およびシールする。いくつかの実施形態では、フィルタグリル７１８は、グロメット７０９とパージモジュール本体７０２との間に配置されてもよい。
【0047】
フィルタ７１６は、例えば、ポリマーフィルタ膜などのフィルタである。フィルタ７１６は、グロメット７０９とパージモジュール本体７０２との間でクランプすることによって所定の位置に固定することができる。一実施形態では、フィルタ７１６がクランプされるグロメット７０９とパージモジュール本体７０２とのインターフェースは、上述し図に示すものに対応するローブおよび凹部を含むことができる。フィルタ７１６は、第２の端部７０８でのパージモジュール本体７０２の外径よりも大きい直径を有することができる。フィルタ７１６は、入口パージモジュール７００が設置される基板容器で使用されるコネクタの内径よりも大きい直径を有することができる。
【0048】
パージモジュール本体７０２は、入口パージモジュール本体７０２が基板容器に取り付けられたときに基板容器と係合するタブ７２４をさらに含むことができる。入口パージモジュール７００は、１つまたは複数のタブ７２４を含んでもよい。タブ７２４は、例えば、後述し図１０に示す傾斜スロット１００４と同様のスロットと係合して、上述し図１０に示すプレート１００２のような基板容器のプレートに入口パージモジュール７００を配置および固定することができる。
【0049】
図８Ａは、一実施形態による、基板容器のシェル８０８と組み合わされたときのコネクタ８００の上面図である。コネクタ８００は、開口部８０４を有する出口８０２を含む。開口部８０４の中心は、コネクタ８００の中心８０６からずれており、コネクタ８００は、シェル８０８およびプレート（図示せず）を貫通する。コネクタ８００は、例えば、ＦＯＵＰの内部空間の開放端の反対側にあるＦＯＵＰの後部でコネクタとして使用することができる。
【0050】
図８Ｂは、一実施形態によるコネクタ８００と共に使用するための散気管アセンブリ８１０の分解図である。散気管アセンブリ８１０は、散気管８１２、散気管インターフェース８１６、およびシール８１８を含む。散気管インターフェース８１６は、散気管８１２を散気管インターフェース８１６に固定するために散気管８１２と機械的にインターフェースすることができる係合特徴部８１４を含む。散気管インターフェース８１６を使用して、散気管８１２を出口８０２に結合して、出口８０４からの流体の流れを受けることができる。係合特徴部８１４は、例えば、摩擦嵌合を提供するための棘（ｂａｒｂ）、スナップフィットを提供するためのタブまたはフランジ、または他のそのような機械的係合部であってもよい。散気管インターフェース８１６は、パージガス（例えば、窒素）などの流体が開口部８０４から散気管８１２に流れることを可能にする経路を含む。散気管インターフェース８１６は、係合特徴部８１４を有する端部の反対側に端部を有し、その端部を開口部８０４に挿入することができる。散気管８１２は、例えば、機械的係合によって、例えば、散気管インターフェース上のバーブを介して摩擦嵌合を行うか、タブまたはフランジを介してスナップフィットを行うことによって、散気管インターフェース８１６に接合することができる。散気管８１２は、散気管８１２が現場で保守可能であるように、例えば、交換または整備のために、散気管８１２を手動で取り外すことができるように、散気管インターフェース８１６に接合されてもよい。シール８１８は、開口部８０４と散気管インターフェース８１６との間の漏れを低減または防止するために設けることができる。シール８１８は、例えば、フラットガスケット、オーバーモールドシール、または図８Ｂに示す実施形態では、Ｏリングであってもよい。散気管８１２は、ＦＯＵＰなどの基板容器の内部空間全体に流体を分配する。１つまたは複数の散気管係合特徴部８１４は、例えば、散気管８１２の開口部（図示せず）の内側の隆起に対応する隆起、ねじ用のねじ山などであってもよい。
【0051】
図９は、一実施形態による、図８Ａおよび８Ｂに示すコネクタ８００および図７に示す入口パージモジュール７００を含む基板容９００の断面図である。
基板容器９００はシェル９０２を含む。シェル９０２は内部空間を画成し、内部空間に面する内面を有する。シェル９０２の内部には、シェル９０２の内面の側面から突出する１つまたは複数の棚９１６を設けることができる。棚はそれぞれ、例えば半導体ウェハの処理中に、ウェハ９１８を支持することができる。内部空間は片側で開いていてもよく、そこでウェハ９１８をシェルの棚９１６に装填することができる。シェルのこの開いた側は、例えばドアで覆われていてもよい。シェル９０２は、１つまたは複数のシェル開口部９２０を含む。シェル開口部９２０は、シェル９０２がコネクタ８００のようなコネクタによってプレート９０４に接合される位置に対応することができる。シェル開口部９２０のそれぞれは、製造公差および位置制約内で、例えば内部空間の開口側から離れた内部空間の閉鎖された後端に向かうように、円形またはほぼ円形であってもよい。
基板容器９００はシェル９０２を含む。シェル９０２は内部空間を画成し、内部空間に面する内面を有する。シェル９０２の内部には、シェル９０２の内面の側面から突出する１つまたは複数の棚９１６を設けることができる。棚はそれぞれ、例えば半導体ウェハの処理中に、ウェハ９１８を支持することができる。内部空間は片側で開いていてもよく、そこでウェハ９１８をシェルの棚９１６に装填することができる。シェルのこの開いた側は、例えばドアで覆われていてもよい。シェル９０２は、１つまたは複数のシェル開口部９２０を含む。シェル開口部９２０は、シェル９０２がコネクタ８００のようなコネクタによってプレート９０４に接合される位置に対応することができる。シェル開口部９２０のそれぞれは、製造公差および位置制約内で、例えば内部空間の開口側から離れた内部空間の閉鎖された後端に向かうように、円形またはほぼ円形であってもよい。
【0052】
基板容器９００はまた、プレート９０４を含む。プレート９０４は、例えば、ＦＯＵＰのようなコンベヤプレートであってもよい。プレート９０４は、シェル９０２およびプレート９０４が組み合わされるとシェル９０２から外側に向かう表面９１０を含んでもよい。表面９１０は、例えば、施設を通過する間またはウェハ処理中に、基板容器９００を配置および支持するために使用される１つまたは複数の位置合わせ凹部を含むことができる。表面９１０は、表面９１０からシェル９０２に向かって内側に凹む１つまたは複数の凹部９１２をさらに含むことができる。凹部９１２は、シェル９０２およびプレート９０４を結合するためにコネクタ８００を使用する位置に対応していてもよい。プレート開口部９１４は、凹部９１２に配置されてもよく、コネクタ８００がプレート９０４を通って少なくとも部分的に延びることを可能にする。プレート開口部９１４のそれぞれは、製造公差および位置制約の範囲内で、円形またはほぼ円形であってもよい。
【0053】
コネクタ８００は、シェル９０２およびプレート９０４を貫通し、シェル９０２に面する側とは反対側のプレート９０４の側で、ナット９０６はコネクタ８００に螺合されて、コネクタ８００を所定の位置に固定し、シェル９０２をプレート９０４に固定する。ナット９０６がコネクタ８００に螺合されると、ナット９０６はその全体を、プレート９０４の表面９１０から凹部９１２内に配置することができる。ナット９０６および／またはコネクタ８００のねじ切りは、例えば鋸歯状の表面、隆起、スカラップ、または他のそのような特徴などの１つまたは複数のロック特徴部を含むことができ、ナット９０６とコネクタ８００とが螺合するときの回転を制限する。コネクタ８００の中心からの開口部８０２のずれ（ｏｆｆｓｅｔ）は、ナット９０６がコネクタ８００の反対側の端部に螺合されるとき、コネクタ８００がプレート９０４に対するシェル９０２の動きを制限することを可能にする。コネクタ８００の一部は、シェル開口部９２０およびプレート開口部９１４の内径よりも小さい外径を有することができ、その結果、コネクタ８００は、シェル９０２およびプレート９０４を通ってプレート９０４の凹部９１２内に延びることができる。コネクタ８００のこの部分は、ナット９０６が螺合されるねじ端を含むことができる。
【0054】
シール９０８は、シェル９０２、プレート９０４、およびコネクタ８００の間に配置される。シール９０８は、ガスがシェル９０２の内部に出入りすることを可能にできる、シェル開口部、プレート開口部、およびコネクタ８００の間の漏れを防ぐように構成されたシールである。シール９０８は、例えば、フラットガスケット、オーバーモールドシール、または図９の実施形態に示すようなＯリングであってもよい。図９に示す実施形態では、シェル９０２、プレート９０４、およびコネクタ８００が組み合わされ、ナット９０６がコネクタ８００に螺合されて締め付けられると、シール９０８は、シール９０８がシェル９０２、プレート９０４およびコネクタ８００のそれぞれを押すように、シェル９０２およびプレート９０４によって圧縮される。
【0055】
コネクタ８００の中心からのコネクタ８００の開口部８０４のずれは、基板容器９００の使用中に、棚９１６または棚９１６上にあるウェハ９１８に干渉することなく、散気管８１２が垂直に延びることを可能にする。
【0056】
入口パージモジュール７００は、例えば、タブ７２４をプレート９０４のスロット（図示せず）に挿入し、入口パージモジュールを回転させることによって、プレート９０４に設置することができる。第２の端部７０８およびノズル７０６の一部は、ノズル７０６の外部とコネクタ８００の内部との間にシール７２０を設けて、コネクタ８００内に延びることができる。
【0057】
図１０は、一実施形態による、基板容器のプレート１００２に設置されたパージモジュール１０００の底面図である。パージモジュール１０００は、図７に示し、上述した入口パージモジュール７００のような入口パージモジュールであってもよい。プレート１００２は、図示するように、第１の回転位置でパージモジュール１０００のタブ１００６を受け入れ、第２の回転位置でタブ１００６を保持するように構成された１つまたは複数の傾斜スロット１００４を有することができる。傾斜スロット１００４は、例えば、タブ１００６を受け入れ、傾斜スロット１００４の狭窄部分にタブ１００６を保持するための拡大された開口１００８を含むことができる。フィンガ１０１０は、タブ１００６のそれぞれから延びることができる。図１０に示すように、パージモジュール１０００が第２の回転位置に回転すると、フィンガ１０１０は、拡大された開口１００８の内側に接触し、パージモジュールのプレート１００２からの取り外しを可能にする方向へのパージモジュール１０００の回転を機械的に干渉する。フィンガ１０１０は、ツール（図示せず）によって内側に押されて、この機械的干渉を除去し、パージモジュール１０００の回転を可能にして、パージモジュール１０００の取り外しを可能にする。これにより、基板容器のコネクタまたは基板容器の寸法に影響を与えることなく、パージモジュール１０００を取り外して現場で整備することが可能になる。
【0058】
態様：
態様１～１８のいずれも、態様１９～２０のいずれかと組み合わせることができる。
態様１．基板容器であって、
壁および壁によって画成される内部空間を含む容器シェルであって、第１の内径を有するシェル開口部をさらに含む、容器シェルと、
容器シェルに固定されるように構成されたプレートであって、表面と、第１の表面からの凹部と、凹部内に位置する、第２の内径を有するプレート開口部と、を含む、プレートと、
第１および第２の内径よりも小さい外径を有する部分と、第３の内径を有する中空部分と、第１の内径よりも大きい外径を有する第１の端部と、ねじ山を有する第２の端部と、を含むコネクタと、
コネクタのねじ山に係合するように構成されたねじ山を有するナットと、
容器シェルとプレートとの間に配置されたシールと、を備えており、
コネクタの第１の端部が容器シェルの第１の側に位置し、コネクタの第２の端部、シールおよびプレートが容器シェルの第１の側とは反対側の容器シェルの第２の側に位置しており、
コネクタが容器シェルの開口部およびプレートの開口部を貫通しており、
ナットがコネクタに螺合されて締め付けられると、シールが容器シェル、プレートおよびコネクタのそれぞれに接触する、基板容器。
態様１～１８のいずれも、態様１９～２０のいずれかと組み合わせることができる。
態様１．基板容器であって、
壁および壁によって画成される内部空間を含む容器シェルであって、第１の内径を有するシェル開口部をさらに含む、容器シェルと、
容器シェルに固定されるように構成されたプレートであって、表面と、第１の表面からの凹部と、凹部内に位置する、第２の内径を有するプレート開口部と、を含む、プレートと、
第１および第２の内径よりも小さい外径を有する部分と、第３の内径を有する中空部分と、第１の内径よりも大きい外径を有する第１の端部と、ねじ山を有する第２の端部と、を含むコネクタと、
コネクタのねじ山に係合するように構成されたねじ山を有するナットと、
容器シェルとプレートとの間に配置されたシールと、を備えており、
コネクタの第１の端部が容器シェルの第１の側に位置し、コネクタの第２の端部、シールおよびプレートが容器シェルの第１の側とは反対側の容器シェルの第２の側に位置しており、
コネクタが容器シェルの開口部およびプレートの開口部を貫通しており、
ナットがコネクタに螺合されて締め付けられると、シールが容器シェル、プレートおよびコネクタのそれぞれに接触する、基板容器。
【0059】
態様２．コネクタのねじ山およびナットのねじ山の少なくとも一方が、ロック特徴部を含む、態様１の基板容器。
態様３．シールがＯリングである、態様１または２の基板容器。
態様３．シールがＯリングである、態様１または２の基板容器。
【0060】
態様４．コネクタが、コネクタの第１の端部に配置されたフィルタ膜、フィルタグリル、およびコネクタの第１の端部に機械的に係合するとともに、フィルタグリルおよびフィルタ膜をコネクタの端部に固定するように構成されたフィルタキャップをさらに備える、態様１～３のいずれかの基板容器。
【0061】
態様５．基板容器が逆止弁を含む前方パージモジュールと、第３の内径よりも小さい外径を有する端部を含むノズルとをさらに備えており、前方入口パージモジュールが、ノズルの端部がコネクタの中空部分内にあるように配置されている、態様１～４のいずれかの基板容器。
【0062】
態様６．前方パージモジュールが複数のタブを含み、プレートが、前方入口パージモジュールのタブを受け入れるように構成された複数の傾斜スロットを含む、態様５の基板容器。
【0063】
態様７．複数のタブのそれぞれが凹部を有し、プレートが、凹部に係合するように構成された複数の戻り止めリブを有する、態様５または６の基板容器。
態様８．コネクタが開口部を有する出口を有し、開口部の中心がコネクタの内径の中心からずれている、態様１～７のいずれかの基板容器。
態様８．コネクタが開口部を有する出口を有し、開口部の中心がコネクタの内径の中心からずれている、態様１～７のいずれかの基板容器。
【0064】
態様９．散気管が出口に接続されている、態様８の基板容器。
態様１０．ナットがコネクタに螺合されると、ナットおよびコネクタの第２の端部の全体が凹部内に位置する、態様１～９のいずれかの基板容器。
態様１０．ナットがコネクタに螺合されると、ナットおよびコネクタの第２の端部の全体が凹部内に位置する、態様１～９のいずれかの基板容器。
【0065】
態様１１．凹部内に配置されたフィルタ膜をさらに備えている、態様１０の基板容器。
態様１２．フィルタ膜がコネクタの内径よりも大きい直径を有している、態様１１の基板容器。
態様１２．フィルタ膜がコネクタの内径よりも大きい直径を有している、態様１１の基板容器。
【0066】
態様１３．後方入口パージモジュールであって、
逆止弁を含むグロメットと、
フィルタ膜と、
フィルタ膜を支持するように構成されたグリルと、
後方入口パージモジュール本体であって、グロメットの外径よりも大きい内径を有するとともに、グロメットを受け入れるように構成された部分と、第３の内径よりも小さい外径を有するノズルとを含み、ノズルの端部がコネクタ内に位置する、後方入口パージモジュール本体と、を含む後方入口パージモジュールをさらに備えている、態様１～１２のいずれかの基板容器。
逆止弁を含むグロメットと、
フィルタ膜と、
フィルタ膜を支持するように構成されたグリルと、
後方入口パージモジュール本体であって、グロメットの外径よりも大きい内径を有するとともに、グロメットを受け入れるように構成された部分と、第３の内径よりも小さい外径を有するノズルとを含み、ノズルの端部がコネクタ内に位置する、後方入口パージモジュール本体と、を含む後方入口パージモジュールをさらに備えている、態様１～１２のいずれかの基板容器。
【0067】
態様１４．グロメットが、基板およびエラストマー構成要素を含むオーバーモールドされたグロメットである、態様１３の基板容器。
態様１５．逆止弁が傘弁である、態様１３または１４の基板容器。
態様１５．逆止弁が傘弁である、態様１３または１４の基板容器。
【0068】
態様１６．フィルタ膜が第３の内径よりも大きい直径を有している、態様１３～１５のいずれかの基板容器。
態様１７．後方入口パージモジュール本体が複数のタブを有し、プレートが、それぞれが複数のタブのうちの１つを受け入れるように構成された複数の傾斜スロットを有している、態様１３～１６のいずれかの基板容器。
態様１７．後方入口パージモジュール本体が複数のタブを有し、プレートが、それぞれが複数のタブのうちの１つを受け入れるように構成された複数の傾斜スロットを有している、態様１３～１６のいずれかの基板容器。
【0069】
態様１８．後方入口パージモジュールが、複数のタブの全体が複数のスロット内にあるときに後方入口パージモジュールの回転を防ぐためにプレートと係合するように構成された複数のフィンガを有している、態様１７の基板容器。
【0070】
態様１９．前面開閉一体型ポッド（ＦＯＵＰ）であって、
前開口部および内部空間を含むシェルと、
シェルに固定されるように構成されたプレートと、
内径を有するねじ端を含むコネクタであって、シェルおよびプレートを貫通するとともに、ねじ端でナットによって固定されるコネクタと、
逆止弁、およびコネクタのねじ端の内径よりも小さい外径を有する端部を含むノズルを備える、交換可能な、現場で修理可能な入口または出口モジュールであって、ノズルの端部がコネクタのねじ端の内径内に位置している、交換可能な、現場で修理可能な入口または出口モジュールと、を備えている、前面開閉一体型ポッド（ＦＯＵＰ）。
前開口部および内部空間を含むシェルと、
シェルに固定されるように構成されたプレートと、
内径を有するねじ端を含むコネクタであって、シェルおよびプレートを貫通するとともに、ねじ端でナットによって固定されるコネクタと、
逆止弁、およびコネクタのねじ端の内径よりも小さい外径を有する端部を含むノズルを備える、交換可能な、現場で修理可能な入口または出口モジュールであって、ノズルの端部がコネクタのねじ端の内径内に位置している、交換可能な、現場で修理可能な入口または出口モジュールと、を備えている、前面開閉一体型ポッド（ＦＯＵＰ）。
【0071】
態様２０．交換可能な、現場で修理可能な入口または出口モジュールが、逆止弁がシェルへの流入を可能にするように構成された入口パージモジュール、および逆止弁がシェルからの流出を可能にするように構成された出口パージモジュールの群から選択されるものである、態様１９のＦＯＵＰ。
【0072】
態様２１．交換可能な、現場で修理可能な入口または出口モジュールの一部がプレートから突出している、態様１９または２０のＦＯＵＰ。
本出願で開示される例は、すべての点で例示的であり、限定的ではないと見なされるべきである。本発明の範囲は、前述の説明ではなく、添付の特許請求の範囲によって示される。そして、請求項の意味と同等な範囲内にあるすべての変更は、請求項に含まれることを意図している。
本出願で開示される例は、すべての点で例示的であり、限定的ではないと見なされるべきである。本発明の範囲は、前述の説明ではなく、添付の特許請求の範囲によって示される。そして、請求項の意味と同等な範囲内にあるすべての変更は、請求項に含まれることを意図している。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8A】
【図8B】
【図9】
【図10】
【手続補正書】
【提出日】2021-11-29
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板容器であって、壁および壁によって画成される内部空間を含む容器シェルであって、第１の内径を有するシェル開口部をさらに含む、容器シェルと、
容器シェルに固定されるように構成されたプレートであって、表面と、第１の表面からの凹部と、凹部内に位置する、第２の内径を有するプレート開口部と、を含む、プレートと、
第１および第２の内径よりも小さい外径を有する部分と、第３の内径を有する中空部分と、第１の内径よりも大きい外径を有する第１の端部と、ねじ山を有する第２の端部と、を含むコネクタと、
コネクタのねじ山に係合するように構成されたねじ山を有するナットと、
容器シェルとプレートとの間に配置されたシールと、を備えており、
コネクタの第１の端部が容器シェルの第１の側に位置し、コネクタの第２の端部、シールおよびプレートが容器シェルの第１の側とは反対側の容器シェルの第２の側に位置しており、
コネクタが容器シェルの開口部およびプレートの開口部を貫通しており、
ナットがコネクタに螺合されて締め付けられると、シールが容器シェル、プレートおよびコネクタのそれぞれに接触する、基板容器。
【請求項2】
コネクタのねじ山およびナットのねじ山の少なくとも一方は、ロック特徴部を含む、請求項１に記載の基板容器。
【請求項3】
コネクタが、コネクタの第１の端部に配置されたフィルタ膜、フィルタグリル、およびコネクタの第１の端部に機械的に係合するとともに、フィルタグリルおよびフィルタ膜をコネクタの端部に固定するように構成されたフィルタキャップをさらに備えている、請求項１に記載の基板容器。
【請求項4】
基板容器が逆止弁を含む前方パージモジュールと、第３の内径よりも小さい外径を有する端部を含むノズルと、をさらに備えており、前方入口パージモジュールが、ノズルの端部がコネクタの中空部分内にあるように配置されている、請求項１に記載の基板容器。
【請求項5】
コネクタが開口部を有する出口を有しており、開口部の中心がコネクタの内径の中心からずれている、請求項１に記載の基板容器。
【請求項6】
後方入口パージモジュールであって、逆止弁を含むグロメットと、
フィルタ膜と、
フィルタ膜を支持するように構成されたグリルと、
後方入口パージモジュール本体であって、グロメットの外径よりも大きい内径を有するとともに、グロメットを受け入れるように構成された部分と、第３の内径よりも小さい外径を有するノズルと、を含み、ノズルの端部がコネクタ内に位置する、後方入口パージモジュール本体と、を含む後方入口パージモジュールをさらに備えている、請求項１に記載の基板容器。
【請求項7】
基板容器であって、前開口部および内部空間を含むシェルと、
シェルに固定されるように構成されたプレートと、
内径を有するねじ端を含むコネクタであって、シェルおよびプレートを貫通するとともに、ねじ端でナットによって固定されるコネクタと、
逆止弁、およびコネクタのねじ端の内径よりも小さい外径を有する端部を含むノズルを備える、交換可能な、現場で修理可能な入口または出口モジュールであって、ノズルの端部がコネクタのねじ端の内径内に位置している、交換可能な、現場で修理可能な入口または出口モジュールと、を備えている、基板容器。
【請求項8】
交換可能な、現場で修理可能な入口または出口モジュールが、逆止弁がシェルへの流入を可能にするように構成された入口パージモジュール、および逆止弁がシェルからの流出を可能にするように構成された出口パージモジュールの群から選択されるものである、請求項７に記載の基板容器。
【国際調査報告】