(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公表特許公報(A)
(11)【公表番号】
(43)【公表日】2022-07-06
(54)【発明の名称】気化容器及び方法
(51)【国際特許分類】
C23C 16/448 20060101AFI20220629BHJP
H01L 21/205 20060101ALN20220629BHJP
H01L 21/31 20060101ALN20220629BHJP
【ＦＩ】
C23C16/448
H01L21/205
H01L21/31 B
【審査請求】有
【予備審査請求】未請求
(21)【出願番号】P 2021562801
(86)(22)【出願日】2020-04-23
(85)【翻訳文提出日】2021-12-17
(86)【国際出願番号】 US2020029560
(87)【国際公開番号】W WO2020219702
(87)【国際公開日】2020-10-29
(31)【優先権主張番号】62/839,181
(32)【優先日】2019-04-26
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(81)【指定国・地域】
(71)【出願人】
【識別番号】505307471
【氏名又は名称】インテグリス・インコーポレーテッド
(74)【代理人】
【識別番号】110002077
【氏名又は名称】園田・小林特許業務法人
(72)【発明者】
【氏名】ヘンドリックス， ブライアン シー．
(72)【発明者】
【氏名】バトル， スコット エル．
(72)【発明者】
【氏名】エルドリッジ， デービッド ジェイ．
(72)【発明者】
【氏名】グレッグ， ジョン エヌ．
(72)【発明者】
【氏名】トーマス， ジェイコブ
(72)【発明者】
【氏名】ゴンザレス， マヌエル エフ．
(72)【発明者】
【氏名】ジョーダン， ケニー アール．
(72)【発明者】
【氏名】オルソン， ベンジャミン エイチ．
【テーマコード（参考）】
4K030
5F045
【Ｆターム（参考）】
4K030AA02
4K030AA03
4K030EA01
4K030KA10
4K030KA46
4K030KA47
4K030LA15
5F045AA03
5F045AC03
5F045AC04
5F045AC14
5F045AC16
5F045AC17
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5F045EE02
(57)【要約】
側壁、底板、底板を通って延在している１つ又は複数の開孔部、及び底板を通って延在しているダクトを有するトレイを備える気化容器のためのトレイ。気化する固体試薬を支持するように構成されているトレイ。側壁及び底板を有する第１のトレイを形成することを含む、トレイを組み立てるための方法。１つ又は複数のトレイを含む気化容器。
【選択図】図２
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
気化容器のためのトレイであって：固体試薬を支持するように構成されている表面を有する底板と；
側壁と；
底板と側壁とによって画定される内部空間と；
底板を通って延在している１つ又は複数の貫通孔であって、底板の表面より上に延びている１つ又は複数の貫通孔と；
底板を通り、底板から離れるように延びている中央ダクトと、
を含み、
中央ダクトが、第１のトレイの上又は下に積み重ねられている少なくとも１つの他のトレイと流体的に接続し、キャリアガスがトレイを通って流れることを可能にするように構成されている、気化容器のためのトレイ。
【請求項2】
側壁の内面に沿って位置している１つ又は複数の接触部材であって、１つ又は複数の接触部材のそれぞれは、側壁の上端を越えて上方に延在している弾性部材を含む、請求項１に記載のトレイ。
【請求項3】
弾性部材が、固体試薬と化学的に適合性である、請求項２に記載のトレイ。
【請求項4】
固体試薬が、塩化アルミニウム、塩化タングステン、ヨウ化ケイ素、塩化カドミウム、及び塩化タンタルからなる群からの金属ハロゲン化物である、請求項３に記載のトレイ。
【請求項5】
内壁が中央ダクトを形成し、内壁はシールのための凹み部を画定し、シールは、キャリアガス及び試薬と化学的に適合性であるように構成されているエラストマー材料で作製されている、請求項１に記載のトレイ。
【請求項7】
トレイが回転すると、１つ又は複数の貫通孔のいずれも、１つ又は複数の貫通孔のうちの１つの前の位置と重ならず、それにより、キャリアガスは固体試薬に沿って流れる、請求項１に記載のトレイ。
【請求項8】
内壁が中央ダクトを形成し、内壁は側壁の上端より上に延在している上面を有する、請求項１に記載のトレイ。
【請求項9】
グラファイト、ニッケル、ステンレス鋼、及びアルミニウム合金の少なくとも１つを含む材料でコーティングされているか又は作製されている、請求項１に記載のトレイ。
【請求項10】
トレイがアルミニウム合金で作製されており、試薬が金属ハロゲン化物試薬である、請求項９に記載のトレイ。
【請求項11】
スパッタリング堆積を使用してニッケルでコーティングされている、請求項９に記載のトレイ。
【請求項12】
グラファイトでコーティングされており、体積の２０％以上又は８０％超のアモルファスカーボン含有量を有する多結晶グラファイトで構成されている、請求項９に記載のトレイ。
【請求項13】
ハウジングと；ハウジング内に位置している第１のトレイであって：底板、側壁、底板を通り、底板より上に延びている１つ又は複数の貫通孔、底板を通り、底板から離れるように延びている第１の中央ダクト、及び気化される固体試薬を支持するための表面を含む、第１のトレイと；
気化容器内の第１のトレイの上又は下にそれぞれが積み重ねられている１つ又は複数のトレイであって、第１のトレイの中央ダクトは、１つ又は複数のトレイと流体的に接続し、キャリアガスが１つ又は複数のトレイを通って流れることを可能にしている、１つ又は複数のトレイと
を含む、気化容器。
【請求項14】
１つ又は複数のトレイが第２のトレイを含み、第２のトレイは、第１のトレイと同じ構成を有し、第２のトレイの第２の中央ダクトは、第１のトレイの第１の中央ダクトと位置合わせされ、流体的に接続されており、第２のトレイは、第１のトレイの貫通孔のいずれも、第２のトレイの対応する貫通孔と重ならないように回転される、請求項１３に記載の気化容器。
【請求項15】
１つ又は複数のトレイが回転されるときに、１つ又は複数の貫通孔のいずれも、１つ又は複数の貫通孔のうちの１つの前の位置と重ならないようにすることで、キャリアガスが固体試薬に沿って流れるようにする、請求項１３に記載の気化容器。
【請求項16】
第１のトレイの第１の中央ダクトと第２のトレイの第２の中央ダクトとを直接流体的に接続するシールであって、第１のトレイは、中央ダクトを形成する内壁を含み、シールは内壁と第２のトレイに直接接触している、シールをさらに含む、請求項１３に記載の気化容器。
【請求項17】
シールが、キャリアガス及び試薬と化学的に適合性であるように構成されているエラストマー材料で作製されている、請求項１３に記載の気化容器。
【請求項18】
第１のトレイが、側壁の内面に沿って位置している１つ又は複数の接触部材を含み、１つ又は複数の接触部材のそれぞれは、側壁の上端を越えて上方に延在している弾性部材を含む、請求項１３に記載の気化容器。
【請求項19】
気化した試薬の量に対して百万分率で１０部以下の金属不純物を含む試薬ガスの流れを提供するように構成されている、請求項１３に記載の気化容器。
【請求項20】
側壁、底板、側壁と底板とによって画定される内部空間、及び底板を通って延在する１つ又は複数の開孔部を含む第１のトレイを形成することと；１つ又は複数の予め作製されたアームを第１のトレイに配置することと；
それぞれが底板と１つ又は複数の予め作製されたアームの１つとを通って延在する貫通孔を形成するように、予め作製されたアーム中の開孔部の１つが、底板の開孔部のそれぞれに設けられるように、予め作製されたアームを位置合わせすることと；
１つ又は複数の予め作製されたアームを第１の部分に固定することと
を含む、請求項１３に記載の気化容器を組み立てる方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、概して、容器がキャリアガス及び固体試薬の流れを利用して、気化した試薬の流れを提供することに関する。より具体的には、本開示は、気化される固体試薬を支持するように構成されている構造体に関する。
【背景技術】
【0002】
一部の製造プロセスでは、気化した材料の流れを利用する。例えば、化学気相堆積は、気化した材料の流れを利用して、表面に材料の固体層又は膜を形成するプロセスである。別の製造プロセスでは、気化した材料の流れを利用して、材料を基板に注入する。この材料は試薬と呼ばれることがある。半導体製造では、化学気相堆積を使用して、基板上に固体試薬の正確な薄膜を形成することができる。気化容器は、固体試薬をキャリアガスの流れで気化させることにより、気化した試薬の流れを提供するように構成することができる。固体試薬は、粒子、例えば、焼結若しくは非焼結、顆粒、又は液体の形態であり得る。
【発明の概要】
【0003】
気化容器は、ハウジングと、ハウジング内に配置された１つ又は複数のトレイとを含む。トレイは、気化する固体試薬を支持するように構成されている。キャリアガスが気化容器に供給され、トレイを通って固体試薬を通過して流れる。キャリアガスが固体試薬に沿って流れると、固体試薬は気化する。気化容器は、気化した試薬とキャリアガスとを含む試薬ガスの流れを生成する。
【0004】
気化容器、気化容器用トレイ、及び気化容器用トレイを組み立てるための方法の実施形態が開示されている。いくつかの実施形態では、気化容器は、固体試薬を支持するためのトレイを含む。いくつかの実施形態では、トレイは、固体試薬を支持するための表面を提供する。一実施形態では、気化容器は、複数のトレイを含む。
【0005】
一実施形態では、トレイは、固体試薬を支持するように構成されている表面を有する底板、側壁、底板を通って延在している１つ又は複数の貫通孔、及び底板を通って延在しているダクトを含む。ダクトは、第１のトレイ上に積み重ねられている第２のトレイのダクトに流体的に接続するように構成されている。一実施形態では、貫通孔は底板の表面より上に延びている。一実施形態では、貫通孔は底板の下面の下に延在している。
【0006】
一実施形態では、トレイは、側壁の内面に沿って配置されている１つ又は複数の接触部材を含む。接触部材のそれぞれは、側壁の上端を越えて上方に延在している固体試薬と化学的に適合性のある弾性部材を含む。
【0007】
一実施形態では、トレイは、側壁から内側に延在している１つ又は複数のアームを含む。貫通孔は、１つ又は複数のアームを貫通している。いくつかの実施形態では、１つ又は複数のアームが、トレイの側壁から内壁まで延在している。一実施形態では、アームは底板とは別に形成され、その後、側壁がトレイ内に固定される。
【0008】
一実施形態では、トレイは、アルミニウム合金、ニッケル、グラファイト、又はステンレス鋼を含む材料で作製されている。
【0009】
一実施形態では、トレイは、グラファイト又は処理されたグラファイトを含む材料で作製されている。いくつかの実施形態では、トレイは、側壁の内面に沿って配置されている１つ又は複数の接触部材を含む。接触部材のそれぞれは、側壁の上端を越えて上方に延在している弾性部材を含む。
【0010】
一実施形態では、トレイを組み立てるための方法は、第１のトレイ部分を形成することを含む。第１のトレイ部分は、側壁及び底板を含む。一実施形態では、予め作製されたアームは、第１のトレイ部分内に固定される。別の実施形態では、複数のチューブが底板の開孔部を通して圧入されている。一実施形態におけるチューブ及び底板は、チューブを底板に溶接することを可能にする金属材料で作製されている。
【0011】
本開示の一部を形成し、ここに記載の気化容器及び気化容器のためのトレイを実施することができる実施形態を示す添付の図面を参照する。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【図1A】一実施形態による、気化容器の側面図及び上面図である。
【図1B】一実施形態による、気化容器の側面図及び上面図である。
【図3】一実施形態による、気化容器のためのトレイの透視図である。
【図5A】別の実施形態による、気化容器のためのトレイの透視図である。
【図7A】別の実施形態による、気化容器のためのトレイの透視図である。
【図8A】一実施形態による、気化容器のためのトレイの透視図である。
【図9A】一実施形態による、気化容器のためのトレイを形成するための方法である。
【図9B】別の実施形態による、気化容器のためのトレイを形成するための方法である。
【0013】
同様の符号は、全体を通して同様の部品を表す。
【発明を実施するための形態】
【0014】
気化容器によって固体試薬から生成された試薬ガスの流れを利用して、例えば、基板上に固体試薬の層を形成するか、又は材料を注入することができる。試薬ガスの流れには、気化した試薬とキャリアガスが含まれる。キャリアガスは、一般に、反応しない不活性ガスである。例えば、不活性ガスは、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、及び窒素のうちの１つ又は複数を含み得る。特に、気化した試薬の流れは、半導体の形成に使用することができる。現在、多くの半導体は、ナノメートルスケールなどのより小さなスケールで製造されている。半導体はより小さなスケールで形成されるため、故障や操作上の問題を防ぐために、より低濃度の金属不純物が求められてきた。したがって、金属不純物の濃度がより低い気化試薬が、半導体製造業界で求められてきた。
【0015】
気化容器のためのトレイと試薬との間の反応は、半導体製造において相当量の金属不純物を形成する可能性があることが決定されている。特に、不純物の量は、ナノメートルスケールの半導体製造において有意になる可能性がある。例えば、一部のステンレス鋼トレイに含まれる鉄は、一部の試薬と反応して金属不純物を形成することが判明している。例えば、ハロゲン化金属は鉄と反応して金属不純物を形成することが判明している。これらの化学反応は、固体試薬とトレイの表面との間、及び／又は気化した試薬とトレイの表面との間で起こり得る。
【0016】
ここに開示される実施形態は、気化容器、気化容器のためのトレイ、及びそれらを組み立てるための方法及び／又は形成する方法に関する。気化容器を使用して、気化した試薬の流れを提供することができる。１つ又は複数のトレイは、気化する固体試薬を保持するように構成される。気化容器は、固体試薬の一部が気化してキャリアガスと共に流れるように、例えば、固体試薬と接触するように、固体試薬に沿ってキャリアガスの流れを通過させることによって気化試薬の流れを提供するように構成される。
【0017】
ここに開示される実施形態は、より低い金属不純物を有する試薬ガスの流れを生成する構成を有する。いくつかの実施形態では、試薬と接触する１つ又は複数のトレイ部品は、著しく低いレベルの不純物を生成する材料で作製されているか、あるいはコーティングされている。ここに開示されるいくつかの実施形態は、トレイを通るキャリアガスの改善された流れを提供するように構成され、したがって、著しく低いレベルの不純物を提供する。
【0018】
本開示は、本発明のいくつかの実施形態（ただしこれらに限定されない）を説明し、ここで、気化容器は、気化した試薬の量に対して百万分率で１０部（「ｐｐｍ」）以下の金属不純物、又は気化した試薬の量に対して３ｐｐｍ未満の金属不純物、又は気化した試薬の量に対して１ｐｐｍの金属不純物を含む。他の実施形態では、気化容器は、使用される特定の気化試薬と比較して検出可能な量の不純物以下である試薬ガスの流れを提供するように構成される。
【0019】
本発明による気化容器は、図１Ａに記載されている。図１Ａは、一実施形態による気化容器１の側面図である。図１Ｂは、図１Ａの気化容器の上面図である。気化容器１は、容器１０及びカバー２０を含む。カバー２０は円形である。しかしながら、一実施形態におけるカバー２０は、異なる形状（例えば、長方形、正方形、又は三角形など）を有し得る。容器とカバー２０とは、気化容器１のハウジングを形成する。ボルト２５は、カバー２０を容器１０に固定する。入口３０及び出口３５は、カバー２０に設けられている。シール部材２７は、容器１０とカバー２０との間に配置されている。シール部材２７は、容器１０の上端とカバー２０との間にシールを提供するように構成される。シール部材２７は、粒子の脱落が少ないか全くない材料で作製されており、一般に試薬と反応しない。一実施形態では、シール部材２７は、金属シールリング又はエラストマーガスケットであり得る。例えば、エラストマーガスケットは、ＡＳＨＭ国際規格１４１８によって定義されるように、１つ又は複数のＦＫＭフルオロエラストマー及び／又はＦＦＫＭパーフルオロエラストマーで形成することができるが、これらに限定されない。例えば、金属シールリングは、ステンレス鋼、ニッケル、又は容器及び試薬と化学的に適合性のある柔らかい材料でコーティングされた金属を含み得る。例えば、気化容器で使用される（例えば、試薬ガスの流れ中の気化した試薬と比較して、気化容器１から流れる試薬ガスの流れ中の不純物の１ｐｐｍ以上の増加を引き起こす）ときに（キャリアガス、試薬、及び／又は容器との反応によって、あるいは材料を損失することによって）検出可能なレベルの不純物を生成しないとき、エラストマー材料は化学的に適合性を有する。
【0020】
図２は、図１Ｂの線Ｆ２－Ｆ２に沿った気化容器１の断面図である。気化容器１は、ハウジングによって画定された内部体積４０を有する。例えば、一実施形態では、容器１０及びカバー２０は、内部体積４０を画定する。容器１０及びカバー２０の内面は、耐食性材料で作製され得る。例えば、容器１０及びカバー２０の内面は、限定されないが、ステンレス鋼（例えば、３１６Ｌ ＳＳ）で作製され得る。
【0021】
気化容器１は、固体試薬５０を保持するように構成されたトレイ１００を含む。説明のために、最下部のトレイ１００Ａの内部構造は、固体試薬５０を示すために省略されている。しかしながら、トレイ１００は同様の特徴を有し、固体試薬５０が各トレイ１００に提供されることを理解されたい。固体試薬５０は、図３に顆粒として示されている。しかしながら、固体試薬５０は、一実施形態では、任意の非ガス性物質又は材料であり得る。例えば、固体試薬５０は、実施形態では、粒子（焼結もしくは非焼結）、粉末、又は液体であり得る。図２の気化容器１は、６個のトレイ１００を有する。トレイ１００は、内部体積４０内で垂直方向Ｄｖに積み重ねられている。一実施形態では、気化容器１は、１つ又は複数のトレイ１００を含み得る。別の実施形態では、気化容器１は、２個以上のトレイ１００を含み得る。
【0022】
各トレイ１００は、上面１１４及び下面１１６を備えた底板１１０と、底板１１０を通って延在している貫通孔１１２とを含む。内部体積４０は、トレイ１００の下に位置する下部４５を含む。トレイ１００は、キャリアガスが入口３０から内部体積４０の下部４５に流れることを可能にする通路を形成するためのダクト１４５を含む。次に、キャリアガスは、図２の流路ＦＰによって示されるように、出口３５に流れる。一実施形態では、チューブ（図示せず）が入口３０から下部４５まで延在していてもよく、入口３０のキャリアガスがチューブを通って流れて下部４５に到達する。一実施形態では、入口３０及び出口３５の位置を逆にすることができる。このような実施形態では、図２の流路ＦＰも逆にされるであろう。したがって、そのような実施形態について、ガスの流れに関して以下に提供される説明、入口３０、及び／又は出口３５は、より低い金属不純物を有する試薬ガスの流れを生成するように変更されることを理解されたい。様々な実施形態におけるトレイ１００の構造的特徴は、以下により詳細に説明される。
【0023】
一実施形態では、試薬は金属ハロゲン化物である。例えば、試薬は、塩化アルミニウム、塩化タングステン、ヨウ化ケイ素、塩化カドミウム、及び塩化タンタルのうちの少なくとも１つであり得る。一実施形態では、試薬は、塩化アルミニウム及び塩化タングステンのうちの１つであり得る。一実施形態では、試薬は、気化容器１内で不活性ガスで気化することができる無機又は有機金属の固体であり得る。
【0024】
図３は、気化容器（例えば、気化容器１）用のトレイ２００の透視図である。図４は、図３の直径Ｄｉ２に沿ったトレイ２００の断面図である。トレイ２００は、底板２１０、側壁２３０、内壁２４０によって画定される中央ダクト２４５、及びアーム２５０Ａ、２５０Ｂ、及び貫通孔２１２を含む。トレイ２００は、底板２１０及び側壁２３０によって画定される内部空間を有する。図３の底板２１０は、概して平坦である。しかしながら、一実施形態における底板２１０は、非平坦部分（例えば、湾曲部分、上向き若しくは下向きに延在している部分など）を有し得ることは理解されるべきである。
【0025】
図３に示されるように、トレイ２００は、側壁２３０、内壁２４０、及びアーム２５０Ａによって画定される内部空間内に４つの区画２０２を有する。一実施形態では、トレイ２００は、１つ又は複数の区画２０２を有し得る。区画２０２は、固体試薬（例えば、固体試薬５０）を支持及び／又は含むように構成される。底板２１０の上面２１０は、固体試薬と接触して支持するように構成されている。アーム２５０Ａ、２５０Ｂは、側壁２３０から延在している。より具体的には、アーム２５０Ａ、２５０Ｂは、側壁２３０と内壁２４０との間に延在している。アーム２５０Ａ、２５０Ｂは、内側に（すなわち、トレイ２００の内部空間内で）延在している。アーム２５０Ａ、２５０Ｂは、底板２１０に沿って延在し、底板２１０に接続されている。より具体的には、アーム２５０Ａ、２５０Ｂは、底板２１０の上面２１０に沿って延在し、それに直接接続されている。アーム２５０Ａ、２５０Ｂは、第１のアーム２５０Ａ及び第２のアーム２５０Ｂを含む。図３のトレイ２００は、４個の第１のアーム２５０Ａ及び８個の第２のアーム２５０Ｂを含む。一実施形態では、トレイ２００は、アーム２５０Ａ、２５０Ｂのうちの１つ又は複数を含み得る。別の実施形態では、トレイ２００は、１つ又は複数の第１のアーム２５０Ａ、及び１つ又は複数の第２のアーム２５０Ｂを含み得る。
【0026】
第１のアーム２５０Ａのそれぞれは、側壁２３０を内壁２４０に接続する。第１のアーム２５０Ａのそれぞれは、トレイ２００の直径（例えば、直径Ｄｉ１、直径Ｄｉ２）に沿って延在している。第１のアーム２５０Ａは、対応する対で提供され、各対応する対の第１のアーム２５０Ａは、トレイ２００の同じ直径（例えば、直径Ｄｉ１、直径Ｄｉ２）に沿って延在している。第１のアーム２５０Ａの第１の対は、第１のアーム２５０Ａの第２の対が延在している方向に垂直な方向に延在している。しかしながら、一実施形態では、トレイ２００は、１つ又は複数の第１のアーム２５０Ａを含み得る。別の実施形態では、１つ又は複数の第１のアーム２５０Ａは、対応する対で及び／又はトレイ２００の直径に沿って延在させることができる。
【0027】
第２のアーム２５０Ｂのそれぞれは、側壁２３０から内壁２４０に向かって部分的に延在している（すなわち、内壁２４０に直接接続しない）。第２のアーム２５０Ｂのそれぞれは、トレイ２００の直径（例えば、直径Ｄｉ３）に沿って延在している。第２のアーム２５０Ｂの１つは、隣接する第１のアーム２５０Ａの各対の間に提供される。第２のアーム２５０Ｂは、対応する対で提供され、各対応する対の第２のアーム２５０Ｂは、トレイ２００の同じ直径（例えば、直径Ｄｉ３）に沿って延在している。しかしながら、一実施形態では、トレイ２００は、第２のアーム２５０Ｂのうちの１つ又は複数を含み得る。別の実施形態では、１つ又は複数の第２のアーム２５０Ｂは、対応する対で及び／又はトレイ２００の直径に沿って延在するように配置されてはならない。
【0028】
底板２１０は、上面２１４及び下面２１６を有する。側壁２３０は、内面２３２及び上端２３４を有する。貫通孔２１２は、底板２１０を通って延在し、底板２１０の下の空間をトレイ２００の内部空間に流体的に接続する。貫通孔２１２の上部２５２は、アーム２５０Ａ、２５０Ｂの上面２５４に画定されている。区画２０２は、貫通孔２１２の上部２５２の下に位置している。したがって、貫通孔２１２の上部２５２は、固体試薬が落下及び／又は貫通孔２１２を通って流れることができないように、固体試薬の上に配置されるように構成される。
【0029】
内壁２４０は、底板２１０から延在する中央ダクト２４５を形成する。中央ダクト２４５は、ダクト開孔部２１８を介して底板２１０を通って延在している。中央ダクト２４５は、図３及び図４のトレイ２００の中央にある。しかしながら、一実施形態では、中央ダクト２４５は、トレイ２００の正確な中心にある必要はない。複数のトレイ２００が気化容器（例えば、気化容器１）内で垂直方向ＤＶに積み重ねられている場合、ダクト２４５は、キャリアガスが気化容器の入口（例えば、入口３０）から気化容器の内部体積の下部（例えば、図２の内部体積４０の下部４５）に流れることを可能にする。
【0030】
図４に示されるように、内壁２４０は、シール部材２７０を収容するための凹み部２４２を画定する。図４のシール部材２７０は、Ｏリングである。別の実施形態では、シール２７０は、Ｅリングであり得る。シール部材２７０は、上のトレイ（例えば、上のトレイの下面）に接触する。シール部材２７０は、トレイ２００上に積み重ねられた第２のトレイ（例えば、トレイ２００と同様の構造を有するトレイ）のための支持面を提供することができる。一実施形態では、第２のトレイは、第１のトレイ２００と同様の構成を有することができる。一実施形態では、第２のトレイは、第１のトレイ２００とは異なる高さを有することを除いて、第１のトレイ２００と同様の構成を有することができる。トレイ２００の高さは、図２のＤＶ方向に沿って測定される。シール部材２７０は、トレイ２００のダクト２４５と第２のトレイのダクトとの間のシールを提供する。例えば、シール部材２７０は、内壁２４０と第２のトレイの下面（例えば、下面２１６）との間にシールを提供する。トレイ２００が気化容器（例えば、気化容器１）の一番上のトレイである場合、シール部材２７０は、気化容器のカバー（例えば、カバー１０）に接触し、ダクト２４５と気化容器の入口（例えば、入口３０）との間のシールを提供する。シール部材２７０は、キャリアガスがダクト２４５からトレイ２００の内部空間に直接流れるのを防ぐように構成される。一実施形態におけるダクト２４５は、シール部材２７０、内壁２４０、及び底板２１０のダクト開孔部２１８によって画定される。
【0031】
別の実施形態では、内壁２４０は、凹み部２４２を含まなくてもよい。そのような実施形態では、内壁２４０の上端２４４は、トレイ２００又はカバー１０上に積み重ねられた第２のトレイに接触するように構成される。そのような実施形態では、内壁２４０は、ダクト２４５と第２のトレイのダクト又は入口（例えば、入口３０）との間のシーリングを提供するように、内壁２４０は、（例えば、図４のシール部材２７０と同様に）側壁２３０の上端２３４よりも高く延在している。側壁２３０の上端２３４と第２のトレイの下面との間に小さな間隙を形成することができる。
【0032】
図４に示されるように、貫通孔２１２のそれぞれは、底板２１０の下面２１６に接続され、そこから延在する下部２６０を含み得る。貫通孔２１２の下部開孔部２６４は、底板２１０の反対側の下部２６０の端部に配置されている。図４に示すように、貫通孔２１２は、底板２１０の下面２１６の下に延在する。下部２６０の長さｌＬＰは、対応する貫通孔２１２の上部からトレイ２００の上部までの距離ｄＯ（垂直方向ＤＶ１）（例えば、圧縮されたときのシール部材２７０の上面、内壁２４０の上端２４４まで）よりも大きい。したがって、第２のトレイ（例えば、トレイ２００と同様の構造を有するトレイ）がトレイ２００上に積み重ねられるとき、貫通孔２１２から流れるキャリアガスは、下向きに（すなわち、垂直方向ＤＶ１と反対に）流れなければならず、固体試薬（例えば、固体試薬５０）により近く、第２のトレイの貫通穴に流れ込む。例えば、図２は、キャリアガスの流路ＦＰと、キャリアガスが１つのトレイ１００から次のトレイ１００に流れるときにどのように下向きに流れなければならないかを示している。一実施形態におけるトレイ２００は、下部２６０を含まなくてもよいことを理解されたい。そのような実施形態では、貫通孔は、底板２１０を通って底板２１０の下面２１６まで延在するであろう。
【0033】
シール２７０は、キャリアガス及び気化した試薬と化学的に適合性があるように構成されたエラストマー材料で作製されている。例えば、エラストマー材料は、気化容器で使用したときに検出可能なレベルの不純物を生成しない場合（キャリアガス又は試薬との反応によって、又は材料を失うことによって）、化学的に適合性がある。本発明の目的のために、検出不可能なレベルの不純物は、気化した試薬の量と比較して、金属不純物の百万分率で１０部（「ｐｐｍ」）未満、又は気化した試薬の量に対して３ｐｐｍ未満の金属不純物、又は気化した試薬の量に対して１ｐｐｍの金属不純物を含み得る。一実施形態では、Ｏリング２７０のエラストマー材料は、１つ又は複数のＦＫＭフルオロエラストマー及び／又はＦＦＫＭパーフルオロエラストマーを含み得る。
【0034】
図３のトレイ２００は第１の位置にある。トレイ２００は、円周方向ＣＤに対して４５度回転して、第２の位置に到達することができる。トレイ２００は、第２の位置にある貫通孔２１２のいずれも、第１の位置にあるときの貫通孔２１２の１つの位置と重ならないように構成される。上記のように、複数のトレイ２００は、気化容器の内部体積（例えば、気化容器１の内部体積４０）内で垂直方向ＤＶに積み重ねられるように構成される。第１のトレイ２００は、第２の隣接するトレイ２００に対して回転するように構成される。例えば、第２の隣接するトレイ２００は、第１のトレイ２００上に積み重ねられたトレイ、又は第１のトレイ２００が積み重ねられたトレイである。一実施形態では、第１のトレイ２００は、第２の隣接するトレイに対して４５、１３５、２２５、又は３１５度回転する。したがって、第１のトレイ２００の貫通孔２１２のいずれも、垂直方向ＤＶにおいて、第２の隣接するトレイ２００の貫通孔２１２の１つと重ならない。したがって、キャリアガスは、第１のトレイ２００の貫通孔２１２から第２のトレイ２００の貫通孔２１２に流れるために、半径方向又は円周方向の少なくとも１つに流れなければならない。円周方向及び／又は半径方向に流れるとき、キャリアガスは、固体試薬（例えば、固体試薬５０）に沿って流れ、有利には、生成された試薬ガスの流れが、固体試薬をより効率的に気化させ、及び／又は気化した試薬の濃度をより高くするという結果をもたらす。
【0035】
一実施形態では、トレイ２００は、アルミニウム合金を含む材料で作ることができる。特に、トレイ２００の内面（例えば、上面２１０、内面２３２、アーム２５０Ａ、２５０Ｂの表面、内壁２４０の外面）は、アルミニウム合金で作製されている。アルミニウム合金は、固体又は蒸気として試薬と著しく反応することなく、固体試薬と接触するように構成されている。一実施形態では、トレイ２００のアルミニウム合金は、試薬と実質的に非反応性であるように構成される。気化容器で使用される（例えば、試薬ガスの流れ中の気化された試薬と比較して、気化容器１から流れる試薬ガスの流れ中の不純物の１ｐｐｍ以上の増加を引き起こす）場合、例えば、アルミニウム合金は（キャリアガス又は試薬との反応を通じて、及び／又は材料を失うことによって）検出可能なレベルの不純物を生成しないので、実質的に非反応性である。
【0036】
一実施形態では、アルミニウム合金は、有利には、金属ハロゲン化物試薬と有意に反応しない（すなわち、実質的に非反応性である）。例えば、固体試薬は塩化アルミニウムであり、トレイ２００のアルミニウム合金は、有利には、固体又は気化した塩化アルミニウムと実質的に反応しない。したがって、トレイ２００を使用して生成された気化試薬の流れは、不純物の濃度が制限されている。別の実施形態では、コーティングがアルミニウム合金トレイに適用されて、前駆体材料との反応及び不純物の輸送を制限する。
【0037】
底板２１０、側壁２３０、内壁２４０、及びアーム２５０Ａ、２５０Ｂは、単一の連続部品である。一実施形態では、トレイ２００は、単一の材料片を機械加工することによって形成される。しかしながら、一実施形態におけるトレイ２００は、トレイ５００に関して以下で論じられるように、アーム２５０Ａ、２５０Ｂが非破壊的に取り外し可能であるように構成され得ることは理解されるべきである。
【0038】
図５Ａは、気化容器（例えば、気化容器１）のためのトレイ３００の透視図である。トレイ３００は、底板３１０、貫通孔３１２、側壁３３０、内壁３４０によって画定される中央ダクト３４５、及びアーム３５０Ａ、３５０Ｂを含む。ダクト３４５は、図３及び図４のダクト２４５と同様に、トレイ３００を通って延在している。
【0039】
トレイ３００は、底板３１０及び側壁３３０によって画定される内部空間を有する。より具体的には、内部空間は、底板３００、側壁３３０、及び内壁３４０によって画定される。一実施形態のトレイ３００はまた、トレイ２００の下部２６０と同様に、そして上で論じたように、下部（図５Ａには示されていない）を含み得る。
【0040】
トレイ３００のアーム３５０Ａ、３５０Ｂは、トレイ２００に関して上で論じたのと同様の構成を有する。一実施形態では、アーム３５０Ａ、３５０Ｂは、アーム２５０Ａ、２５０Ｂに関して上で論じたのと同様の方法（例えば、数、位置決め）で変更することができる。例えば、一実施形態のトレイ３００は、アーム３５０Ａ、３５０Ｂのうちの１つ又は複数を含み得る。例えば、一実施形態のトレイ３００は、１つ又は複数の第１のアーム３５０Ａ、及び１つ又は複数の第２のアーム３５０Ｂを含み得る。
【0041】
トレイ３００の貫通穴３１２もまた、トレイ２００の貫通穴２１２と同様の方法で構成される。特に、トレイ３００は、それが円周方向に特定の量だけ（例えば、４５度、１３５度）回転したときに、回転位置にある貫通穴３１２のいずれも、事前回転位置にある貫通穴３１２のうちの１つの位置と重ならないように構成されている。
【0042】
不純物のレベルを低減するための別の実施形態では、気化容器又は気化容器の一部（すなわちトレイ）は、グラファイトでコーティングされているか、又はグラファイトでできており、トレイ３００は、グラファイト及び／又は処理されたグラファイトを含む材料でできている。一実施形態では、処理されたグラファイトは、表面処理されたグラファイトである。
【0043】
例えば、グラファイトでコーティングされた気化容器又はトレイの表面処理は、グラファイトをシールする熱分解コーティングを提供する熱分解処理であり得る。特定の例では、熱分解処理は、熱分解炭素を使用してグラファイト粒子を捕捉し、トレイをグラファイトでコーティングする。そのような実施形態では、トレイは、体積の２０％以上又は８０％超のアモルファスカーボン含有量を有する多結晶グラファイトから構成される。グラファイトの粒子サイズは平均１ミクロン～１２ミクロンで、体積密度は１．５０ｇ／ｃｍ３～１．９０ｇ／ｃｍ３である。グラファイトを囲む熱分解炭素処理は、表面近くの多孔性を０．１インチの深さまで浸透させ、５０ミクロンのグラファイト上に最大コーティング厚さを提供する。トレイのグラファイト処理により、気化した薬剤の量に比べて検出可能な不純物の量を低下することができる（以下の表１を参照）。
【0044】
一実施形態では、底板３１０、側壁３３０、内壁３４０、アーム３５０Ａ、３５０Ｂは、グラファイトで作製されている。一実施形態では、底板３１０、側壁３３０、内壁３４０、及びアーム３５０Ａ、３５０Ｂは、単一の連続したグラファイト片で作製されている。
【0045】
トレイがコーティングされているか、又はグラファイトで作製されているいくつかの実施形態では、トレイ３００は、トレイ３００とトレイ３００上に積み重ねられた同様のトレイとの間の摩擦を低減することができる接触構造体３８０を含む。
【0046】
接触構造体３８０は、側壁３３０の内面３３２に沿って配置されている。図５Ａのトレイ３００は、例として、４つの接触構造体３８０を有する。一実施形態では、トレイ３００は、２つ以上の接触構造３８０を含み得る。別の実施形態では、トレイ３００は、４個以上の接触構造体３８０を含み得る。図５Ａの各接触構造体３８０は、底板３１０の上面３１４及び側壁３３０の内面３３２に直接接続されている。しかしながら、一実施形態における接触構造体３８０は、側壁３３０に直接接続されることなく、側壁３３０の近く（例えば、内壁３４０よりも側壁３３０に近く）に配置され得る。
【0047】
接触構造体３８０のそれぞれは、弾性部材３９０のための上面３８２を有する。説明のために、弾性部材３９０は、図５Ａの接触構造体３８０の１つから省略されている。図５Ａに示されるように、接触構造体３８０の上面３８２は、弾性部材３９０を保持するためのはめ込み部分３８４を含む。弾性部材３９０のそれぞれは、側壁３３０の上端３３４を超えて上向きに（例えば、垂直方向ＤＶ２に）延在している。弾性部材３９０は、キャリアガス及び気化した試薬と化学的に適合性のあるエラストマー材料でできている。一実施形態では、弾性部材３９０は、シール部材２７０に関して上で同様に論じられたように、エラストマー材料でできている。
【0048】
上で論じたように、トレイ３００は、それが円周方向に特定の量だけ回転したとき（例えば、４５度、１３５度）、回転位置にある接触構造３８０のいずれも、事前回転位置にある貫通孔３１２のうちの１つの位置と重なることはない。したがって、トレイ３００と同様の構成を有する第２のトレイがトレイ３００上に積み重ねられるとき、第２のトレイの貫通穴のいずれも、トレイ３００の接触構造体３８０のいずれとも重ならない。
【0049】
接触構造体３８０は、トレイ３００の非エラストマー表面と上に積み重ねられたトレイの下面との間の摩擦の量を低減しながら、トレイ３００上に積み重ねられた第２のトレイのための支持面を提供することができる。特に、接触構造体３８０は、トレイ３８０の表面が耐摩耗性の低い材料でできている場合に有利であり得る。
【0050】
一実施形態では、トレイ若しくは気化容器は、ニッケルで作製するか、又はニッケルでコーティングすることができる。ニッケル材料は、金属ハロゲン化物試薬と化学的に適合性があり、検出可能な不純物のレベルを低減します。トレイ又は気化容器は、化学気相堆積、物理気相堆積、スパッタ堆積、及び関連技術で知られている他の関連技術を含むがこれらに限定されない堆積技術を使用してコーティングすることができる。一実施形態では、スパッタリング堆積を使用してニッケル材料をグラファイトトレイ上にコーティングすると、不純物のレベルが大幅に減少する。
【0051】
表１は、ニッケル又はグラファイトでコーティングされた気化容器と比較した、ステンレス鋼気化容器内の気化試薬と比較して検出された鉄（不純物）のレベルの比較を示している。この例では、４０Ｔｏｒｒ、２００ｓｃｃｍのＡｒキャリアガス、１５０℃での気化容器の輸送。固体試薬はハロゲン化金属試薬（ＷＣｌ６）であった。
【0052】
内壁３４０は、シール部材（例えば、シール部材２７０）を収容するための凹み部３４２を含む。シール部材は、図４のトレイ２００について上で説明したのと同様の方法で、トレイ３００の凹み部３４２に提供されるであろう。ダクト３４５及びシール部材は、キャリアガスがトレイ３００を完全に通過することを可能にする通路を形成する。シール部材は、ダクト３４５と、トレイ３００上に積み重ねられた第２のトレイのダクトとの間のシールを提供する。一実施形態では、シール部材及び内壁３４０は、図４のシール部材２７０及び内壁３４０について上で説明したのと同様の構成を有する。
【0053】
図５Ｂは、図５Ａの弾性部材３９０の透視図である。図５Ｃは、線５Ｃ－５Ｃに沿った図５Ｂの弾性部材３９０の断面図である。図５Ｄは、線５Ｃ－５Ｃに沿った図５Ｂの弾性部材３９０の断面図である。エラストマー部材３９０は、トレイ間又はトレイと気化容器のカバー（例えば、カバー１０）との間で圧縮されたときに仮想漏洩を生じさせないように構成される。図５Ｄ及び図５Ｃに示されるように、弾性部材３９０はレンズ状形状を有する。より具体的には、弾性部材３９０の上面３９２及び下面３９４のそれぞれが凸状である。凸状下面３９４の頂点Ａ１及び凸状上面３９２の頂点Ａ２は、トレイ３００及びトレイ３００上に積み重ねられた第２のトレイと接触する。したがって、弾性部材３９０は、圧縮されたときに仮想漏洩を生じさせない。
【0054】
図６Ａは、弾性部材のさらなる実施形態３９０Ａの透視図である。図６Ｂは、線６Ｂ－６Ｂに沿った図６Ａの弾性部材３９０Ａの断面図である。図６Ａ及び図６Ｂは、図５Ａ－５Ｄの弾性部材３９０の代替形状を示している。弾性部材３９０Ａは部分的なＯリングである。より具体的には、弾性部材３９０Ａは、ハーフＯリングである。一実施形態では、弾性部材３９０Ａは、トレイ３００のはめ込み部分３８４の凹部に配置される。弾性部材３９０Ａは、弾性部材３９０Ａが積み重ねられたトレイ間で圧縮された場合でも開いたままである開孔部３９２Ａを有する。弾性部材３９０Ａが圧縮されると、開孔部３９２Ａは、弾性部材３９０Ａの中央空間３９４Ａ内のガスを逃がすことを可能にする。したがって、弾性部材３９０Ａは、圧縮されたときに仮想漏洩を生じさせない。
【0055】
図６Ａは、気化容器（例えば、気化容器１）のためのトレイ４００の実施形態の前向き図である。トレイ４００は、底板４１０、側壁４３０、内壁４４０によって画定されるダクト４４５、及び複数のチューブ４５０を含む。図６Ｂは、底板４１０に沿った図６Ａのチューブ４５０のうちの１つの図である。底板４１０は、上面４１４、下面４１６、及び開孔部４２２を含む。開孔部４２２は、底板４１０の幅ＷＰを通って（例えば、上面４１４から下面４１６まで）延在している。チューブ４５０は、上部４５２、下部の開孔部４６４、及び外向きの突起部４５５を有する。外向きの突起部４５５は、底板４１０の開孔部４２２の１つに圧入されるように構成された外形（例えば、外径）を有する。
【0056】
トレイ４００は、底板４１０の開孔部４２２のそれぞれの１つに圧入される各チューブ４５０の外向きの突起部４５５によって組み立てられる。次に、各圧入チューブ４５０は、底板４１０に溶接される。外向きの突起部４５５は、有利には、チューブ４５０と底板４１０との間の継ぎ目４８０がチューブ４５０の垂直面４６７に沿っていないことを可能にする（例えば、継ぎ目４８０を横切る方向は、底板４１０の平面に沿っている）。より具体的には、トレイ４００を垂直方向Ｄｖに沿って見たときに、外向きの突起部は、継ぎ目４８０とチューブ４５０の垂直面４６７とを（例えば、距離ｄｓだけ）離して配置する。この間隔により、チューブ４５０を上面４１４に垂直な方向ＤＰで溶接することができる。距離ｄｓは、例えば、限定されないが、底板４１０の幅ＷＰに基づくことができる。一実施形態では、チューブ４５０の垂直面４６７から継ぎ目４８０までの距離ｄｓは、底板４１０の厚さＷＰの０．５以上（すなわち、ｄｓ≧０．５ＷＰ）であり得る。チューブ４５０は互いに適切な間隔で配置されているので、側壁４３０及び内壁４４０は、溶接中に適切な量のパージガスが提供されることを可能にし、その結果、溶接表面を清潔に保つことができ、これにより、溶接部での不純物形成が低減される。例えば、継ぎ目４８０の間隔は、レーザー溶接を使用して管４５０を底板４１０に溶接することを可能にする。例えば、レーザー溶接は、ＣＯ２レーザー溶接及び電子ビーム溶接であり得るが、これらに限定されない。管４５０の構成はまた、自動レーザー溶接（例えば、ＣＯ２レーザー溶接、電子ビーム溶接）を使用して、チューブ４５０をトレイ４００に溶接することを可能にする。
【0057】
各チューブ４５０はまた、底板４１０の上面４１４の上に延在している上部４６５と、底板４１０の下面４１６の下に延在している下部４６０とを含む。上部４６５は長さｌＵＰ１を有し、下部４６０は長さｌＬＰ２を有する。図４の下部２６０の長さｌＬＰに関して上記で説明したのと同様の方法では、下部４６０の長さｌＬＰ２は、対応する貫通孔４１２の上部４５２と側壁４３０の上端４３４との間の距離ｄＯ１よりも大きくなるように構成される。距離ｄＯ１は垂直方向ＤＶ３に沿っている。したがって、複数のトレイ４００が気化器容器（例えば、気化容器１）内で垂直方向ＤＶ３に互いに積み重ねられている場合、下部トレイのチューブ４５０の上部の開孔部４６４から流れるキャリアガスは、上部トレイのチューブ４５０に流入する前に、下向きに（例えば、垂直方向ＤＶ３に）流れる。
【0058】
フランジ４４２は、内壁４４０の上端から延在している。フランジ４４２は、ダクト４４５と、トレイ４００上に積み重ねられた第２のトレイのダクト４４５との間のシールを提供するシール（例えば、図４のシール２７０）を取り付けるためのはめ込み面４４４を含む。シール２７０と同様の方法で、シールは、側壁４３０の上端４３４の上に延在するであろう。
【0059】
トレイ４００は、金属材料で構成されている。本発明の特定の実施形態では、トレイ４００は、ステンレス鋼（例えば、３１６Ｌステンレス鋼）を含む材料で作製することができる。アルミニウム合金、グラファイト、又はニッケル。
【0060】
上記のように、複数のトレイ４００は、気化容器内で（例えば、図１Ａ～図１Ｂの気化容器１の内部体積４０内で）垂直方向ＤＶに積み重ねることができる。トレイ４００が気化容器内に積み重ねられる場合、各トレイ４００は、隣接するトレイ４００（例えば、第１のトレイ４００上に積み重ねられた第２の隣接トレイ、第１のトレイ４００が積み重ねられた第２の隣接トレイ）に対して回転（例えば、円周方向ＤＣ１に回転）されるように構成される。例えば、図６Ａに示されるようなトレイ４００は第１の位置にあり、隣接するトレイ４００は第２の位置を有し、第１の位置と第２の位置との間で異なるのは１８０度の回転である。トレイ４００は、１８０度回転したときに、トレイ４００が回転する前に、貫通孔４１２のいずれも貫通孔４１２の位置と重ならないように構成される。したがって、第１のトレイ４００の貫通孔４１２のいずれも、垂直方向ＤＶにおいて、隣接する第２のトレイ４００の貫通孔４１２と重なることはない。したがって、キャリアガスは、第１のトレイ４００の貫通孔４１２から第２の隣接するトレイ４００の貫通孔４１２に流れるために、半径方向又は円周方向の少なくとも１つに流れなければならない。円周方向及び／又は半径方向に流れるとき、キャリアガスは、固体試薬（例えば、固体試薬５０）に沿って流れ、有利には、生成された試薬ガスの流れが、固体試薬をより効率的に気化させ、及び／又は気化した試薬の濃度をより高くするという結果をもたらす。
【0061】
図８Ａは、気化容器（例えば、気化容器１）のためのトレイ５００の実施形態の透視図である。トレイ３００と同様に、トレイ５００は、上面５１４備えた底板５１０、側壁５３０、内壁５４０によって画定される中央ダクト５４５、及びアーム５５０Ａ、５５０Ｂを含む。トレイ５００は、トレイ２００（例えば、下面２１６）と同様の下面（図８Ａ及び図８Ｄには示されていない）を有する。トレイ５００は、底板５１０及び側壁５３０によって画定される内部空間を含む。より具体的には、内部空間は、底板５１０、側壁５３０、及び内壁５４０によって画定される。
【0062】
アーム５５０Ａ、５５０Ｂは別個に形成され、次にねじ５９０によってトレイ５００の内部空間内に固定される。アーム５５０Ａ、５５０Ｂは、トレイ２００のアーム２５０Ａ、２５０Ｂと同様の配置で、第１のアーム５５０Ａ及び第２のアーム５５０Ｂを含む。図８Ｂは、第１のアーム５５０Ａのうちの１つの透視図を示している。図８Ｃは、第２のアーム５５０Ｂのうちの１つの透視図を示している。図８Ｄは、アーム５５０Ａ、５５０Ｂのないトレイ５００の上面図である。破線は、それぞれの透視図では見られないエッジ及び対応する表面を示すために、図８Ｂ及び図８Ｃに提供されている。ねじ５９０は、側壁５３０の孔５３６又は底板５１０の孔５２２を通って延在し、アーム５５０Ａ、５５０Ｂを内部空間内に固定する。
【0063】
図８Ｂに示されるように、第１のアーム５５０Ａは、第１の端部５８０Ａ、第２の端部５８２Ａ、上面５５４Ａ、底面５８４Ａ、及び開孔部５８６Ａを含む。開孔部５８６Ａは、第１のアーム５５０Ａを通って延びる（例えば、上面５５４Ａから底面５８４Ａまで）。第１のアーム５５０Ａはまた、第１のアーム５５０Ａを底板５１０及び側壁５３０に取り付けるためのねじ５９０を収容するように構成されている第１の端部５８０Ａ及び底面５８４Ａにねじ孔５９２を含む。
【0064】
図８Ｃに示されるように、第２のアーム５５０Ｂは、第１の端部５８０Ｂ、上面５５４Ｂ、底面５８４Ｂ、及び開孔部５８６Ｂを含む。開孔部５８６Ｂは、第２のアーム５５０Ｂを通って（例えば、上面５５４Ｂから底面５８４Ｂまで）延在している。第２のアーム５５０Ｂはまた、第１の端部５８０Ｂ及び底面５８４Ｂにねじ孔５９２を含み、これらは、第２のアーム５５０Ｂを底板５１０及び側壁５３０に取り付けるためのねじ５９０を収容されるように構成される。
【0065】
図８Ｄに示されるように、底板５１０は、開孔部５２０及び孔５２２を含む。孔５２２のそれぞれは、アーム５５０Ａ、５５０Ｂをねじで底板５１０に固定するためのものである。トレイが図８Ａに示されるように組み立てられるとき、トレイ５００は、少なくともトレイ５００の下面からトレイ５００の内部空間まで延在している貫通孔５１２を含む。各貫通孔５１２は、底部板５１０の開孔部５２０のそれぞれの１つと、アーム５５０Ａ、５５０Ｂの開孔部５８６Ａのそれぞれの１つとによって形成される。
【0066】
一実施形態では、トレイ５００はまた、図４の下部２６０と同様の（図８Ａ～図８Ｄには示されていない）下部を含み得る。各貫通孔５１２は、下部の１つ、底板５１０の開孔部５２０の１つ、及びアーム５５０Ａ、５５０Ｂの開孔部５８６Ａ、５８６Ｂのそれぞれの１つによって形成される。例えば、貫通孔５１２の上部は、アーム５５０Ａ、５５０Ｂの開孔部５８６Ａ、５８６Ｂによって提供され、貫通孔５１２の中央部分は、底板５１０の開孔部５２０によって提供され、貫通孔５１２の下部は、下部（例えば、図４の下部２６０のうちの１つ）によって提供されるであろう．このような実施形態では、下部の１つを底板５１０の下面に取り付けることができる。別の実施形態では、下部は、アーム５５０Ａ、５５０Ｂの底面５８４Ａ、５８４Ｂに提供され得、底板５１０の開孔部５２０を通って延在する。
【0067】
図８Ａのトレイ５００は、アーム５５０Ａ、５５０Ｂをトレイ５００内の底板５１０に配置し、ねじ５９０を、底板５１０又は側壁５３０における対応するねじ孔５９２及び孔５２２、５３６の各対に挿入することによって組み立てられる。一実施形態では、アーム５５０Ａ、５５０Ｂは、第１の端部５８０Ａ、５８０Ｂ及び底面５８４Ａ、５８４Ｂに１つ又は複数のねじ孔５９２を有し得る。別の実施形態では、アーム５５０Ａ、５５０Ｂは、第１の端部５８０Ａ、５８０Ｂだけに１つ又は複数のねじ孔５９２を有し得る。そのような実施形態では、底板５１０は、孔５２２を含まないであろう。
【0068】
したがって、トレイ５００は、（非破壊的に）取り外し可能なアーム５５０Ａ、５５０Ｂを有する。アーム５５０Ａ、５５０Ｂの取り外し可能性は、トレイ５００のより良い洗浄を可能にし、これは、不純物形成を有利に低減する。一実施形態では、アーム５５０Ａ、５５０Ｂは、ねじ５９０の代わりに溶接によって固定され得る。一実施形態では、溶接によって取り付けられているアーム５５０Ａ、５５０Ｂは、トレイ５００の洗浄からの水分が存在する場合、それが閉じ込められ、不純物形成の増加を引き起こす可能性がある、トレイ５００によって引き起こされる仮想漏洩を低減することができる。そのような実施形態では、アーム５５０Ａ、５５０Ｂは（非破壊的に）取り外し可能ではないであろう。
【0069】
トレイ５００は金属材料を含む。例えば、トレイ５００は、鉄、アルミニウム、グラファイト、又はステンレス鋼を含む材料で作製され得る。一実施形態では、トレイ５００は、トレイ２００に関して上で論じたように、アルミニウム合金で作製され得る。
【0070】
図９Ａは、一実施形態による、トレイ（例えば、図７Ａのトレイ４００）を組み立てるための方法８００のブロック図である。方法８００は８１０から始まる。８１０で、底板（例えば、底板４１０）、側壁（例えば、側壁４３０）、底板と側壁とによって画定される内部空間、及び底板を通って延在する１つ又は複数の開孔部（例えば、開孔部４２２）を含む第１のトレイ部分が形成される。一実施形態における第１のトレイ部分は、単一の材料片を機械加工することによって形成することができる。別の実施形態では、第１のトレイ部分は、少なくとも側壁を底板に取り付ける（例えば、溶接する）ことによって形成することができる。次に、方法は８２０に進む。
【0071】
８２０で、チューブ（例えば、チューブ４５０）は、底板の開孔部を通して圧入される。各チューブは、底板の開孔部のそれぞれに圧入される。各チューブは、チューブの周りに延在する外向きの突起部（例えば、外向きの突起部）を含む。各チューブは、その外向きの突起部が底板のそれぞれの開孔部に配置されるように圧入される。各圧入チューブは、トレイの内部空間に延在している上部（例えば、上部４６５）を含む。一実施形態では、各圧入チューブはまた、底板の下面（例えば、下面４１６）を超えて延在する下部（例えば、下部４６５）を含み得る。次に、方法は８３０に進む。
【0072】
８３０で、各圧入チューブが底板に溶接され（例えば、ＣＯ２溶接）。各チューブは外向きの突起部を有するので、各チューブと底板との間の継ぎ目（例えば、継ぎ目４８０）は、チューブの垂直面（例えば、垂直面４６７）に沿っていない。例えば、継ぎ目を横切る方向は、底板の平面に沿う。圧入チューブのそれぞれは、底板の上面（例えば、上面４１４）に垂直な角度（例えば、図７Ｂの方向Ｄｐに沿って）で溶接される。底板とチューブは金属材料で作製されているため、チューブを底板に溶接することができる。
【0073】
図９Ｂは、トレイ（例えば、図８Ａのトレイ５００）を組み立てるための方法９００の実施形態のブロック図である。方法９００は９１０から始まる。９１０において、底板（例えば、底板５１０）、側壁（例えば、側壁５３０）、底板と側壁とによって画定される内部空間、及び底板を通って延在する１つ又は複数の開孔部（例えば、開孔部５２２）を含む第１の部分が形成される。一実施形態の第１の部分は、単一の材料片を機械加工することによって形成することができる。別の実施形態では、第１の部分は、少なくとも側壁を底板に取り付ける（例えば、溶接する）ことによって形成することができる。次に、方法は９２０に進む。
【0074】
９２０で、１つ又は複数の、予め作製されたアーム（例えば、アーム５５０Ａ、アーム５５０Ｂ）がトレイに配置される。より具体的には、１つ又は複数の予め作製されたアームは、トレイの内部空間に配置される。１つ又は複数の予め作製されたアームは、アームを通って延在する開孔部（例えば、開孔部５８４Ａ、開孔部５８４Ｂ）を含む。一実施形態では、第１の部分は、ダクトを形成する内壁（例えば、内壁５４０）を含む。一実施形態では、１つ又は複数の予め作製されたアームは、内壁と側壁との間にある内部空間に配置される。次に、方法９００は９３０に進む。
【0075】
９３０で、予め作製されたアームは、アームの開孔部が底板の対応する開孔部と整列するようにトレイ内に配置される。貫通孔（例えば、貫通孔５１２）は、アーム及び底板の開孔部の対応する対に形成される。貫通穴は、底板の底面からトレイの内部まで延在している。一実施形態では、第１の部分はまた、下部（例えば、図４の下部２６０）を含み得る。下部は底板の下面から延在し、下部の１つは底板の各開孔部に設けられている。そのような実施形態では、各貫通孔は、底板の開孔部の１つ、予め作製されたアームの開孔部の１つ、及び下部の１つによって形成される。いくつかの実施形態では、９２０及び９３０を組み合わせることができることを理解されたい。次に、方法は９４０に進む。
【0076】
９４０で、予め作製されたアームが第１の部分に固定される。一実施形態では、予め作製されたアームを第１の部分に固定することは、予め作製されたアームを第１の部分にねじ込むことを含み得る。予め作製されたアームは、ねじ（例えば、ねじ５９０）で第１の部分にねじ止めされる。予め作製されたアームのそれぞれは、ねじ（例えば、ねじ５９０）を収容するように構成された１つ又は複数の孔（例えば、ねじ孔５９２）を含む。予め作製されたアームはそれぞれ、予め作製されたアームを底板に固定するための孔と、予め作製されたアームを側壁に固定するための孔とを有し得る。一実施形態では、予め作製されたアームは、予め作製されたアームを側壁だけに固定するための孔を有することができる。別の実施形態では、予め作製されたアームを第１の部分に固定することは、１つ又は複数の予め作製されたアームのそれぞれを第１の部分に溶接することを含み得る。予め作製されたアームは、底板の底面を通して第１の部分に溶接することができる。例えば、孔（例えば、孔５９２）を利用して、予め作製されたアームのそれぞれを第１の部分に溶接することができる。一実施形態では、予め作製されたアームは、フィレット溶接で第１の部分に固定され得る。別の実施形態では、予め作製されたアームは、高純度の接着剤又は予め作製されたアームのろう付けによって第１の部分に固定され得る。
【0077】
本出願で開示される実施形態の例は、すべての点で例示的であり、限定的ではないと見なされるべきである。本発明の範囲は、前述の説明ではなく、添付の特許請求の範囲によって示され；特許請求の範囲の意味及び同等性の範囲内にあるすべての変更は、そこに含まれることを意図している。
【図1A】
【図1B】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5A】
【図5B】
【図5C】
【図5D】
【図6A】
【図6B】
【図7A】
【図7B】
【図8A】
【図8B】
【図8C】
【図8D】
【図9A】
【図9B】
【手続補正書】
【提出日】2022-01-06
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
気化容器のためのトレイであって：固体試薬を支持するように構成されている表面を有する底板と；
側壁と；
底板と側壁とによって画定される内部空間と；
底板を通って延在している１つ又は複数の貫通孔であって、底板の表面より上に延びている１つ又は複数の貫通孔と；
底板を通り、底板から離れるように延びている中央ダクトと、
を含み、
中央ダクトが、第１のトレイの上又は下に積み重ねられている少なくとも１つの他のトレイと流体的に接続し、キャリアガスがトレイを通って流れることを可能にするように構成されている、気化容器のためのトレイ。
【請求項2】
側壁の内面に沿って位置している１つ又は複数の接触部材であって、１つ又は複数の接触部材のそれぞれは、側壁の上端を越えて上方に延在している弾性部材を含む、請求項１に記載のトレイ。
【請求項3】
弾性部材が、固体試薬と化学的に適合性である、請求項２に記載のトレイ。
【請求項4】
内壁が中央ダクトを形成し、内壁はシールのための凹み部を画定し、シールは、キャリアガス及び試薬と化学的に適合性であるように構成されているエラストマー材料で作製されている、請求項１に記載のトレイ。
【請求項5】
グラファイト、ニッケル、ステンレス鋼、及びアルミニウム合金の少なくとも１つを含む材料でコーティングされているか又は作製されている、請求項１に記載のトレイ。
【請求項6】
ハウジングと；ハウジング内に位置している第１のトレイであって：底板、側壁、底板を通り、底板より上に延びている１つ又は複数の貫通孔、底板を通り、底板から離れるように延びている第１の中央ダクト、及び気化される固体試薬を支持するための表面を含む、第１のトレイと；
気化容器内の第１のトレイの上又は下にそれぞれが積み重ねられている１つ又は複数のトレイであって、第１のトレイの中央ダクトは、１つ又は複数のトレイと流体的に接続し、キャリアガスが１つ又は複数のトレイを通って流れることを可能にしている、１つ又は複数のトレイと
を含む、気化容器。
【請求項7】
１つ又は複数のトレイが第２のトレイを含み、第２のトレイは、第１のトレイと同じ構成を有し、第２のトレイの第２の中央ダクトは、第１のトレイの第１の中央ダクトと位置合わせされ、流体的に接続されており、第２のトレイは、第１のトレイの貫通孔のいずれも、第２のトレイの対応する貫通孔と重ならないように回転される、請求項６に記載の気化容器。
【請求項8】
１つ又は複数のトレイが回転されるときに、１つ又は複数の貫通孔のいずれも、１つ又は複数の貫通孔のうちの１つの前の位置と重ならないようにすることで、キャリアガスが固体試薬に沿って流れるようにする、請求項６に記載の気化容器。
【請求項9】
第１のトレイの第１の中央ダクトと第２のトレイの第２の中央ダクトとを直接流体的に接続するシールであって、第１のトレイは、中央ダクトを形成する内壁を含み、シールは内壁と第２のトレイに直接接触している、シールをさらに含む、請求項６に記載の気化容器。
【請求項10】
シールが、キャリアガス及び試薬と化学的に適合性であるように構成されているエラストマー材料で作製されている、請求項６に記載の気化容器。
【請求項11】
第１のトレイが、側壁の内面に沿って位置している１つ又は複数の接触部材を含み、１つ又は複数の接触部材のそれぞれは、側壁の上端を越えて上方に延在している弾性部材を含む、請求項６に記載の気化容器。
【請求項12】
気化した試薬の量に対して１０パーツ・パー・ミリオン以下の金属不純物を含む試薬ガスの流れを提供するように構成されている、請求項６に記載の気化容器。
【国際調査報告】