特表2022-533528長寿命レーザチャンバ電極

発明の名称　長寿命レーザチャンバ電極

出願人　サイマー　リミテッド　ライアビリティ　カンパニー　（識別番号 513192029）

　　　　特許公開件数ランキング 1346 位（15件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1415 位（12件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2022-533528

公報発行日　2022年7月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2022-533528

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