特表2022-536293マルチステーション半導体処理における独立して調整可能な流路コンダクタンス

発明の名称　マルチステーション半導体処理における独立して調整可能な流路コンダクタンス

出願人　ラム　リサーチ　コーポレーション　（識別番号 592010081）

　　　　特許公開件数ランキング 126 位（253件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 136 位（202件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2022-536293

公報発行日　2022年8月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2022-536293

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