特表2022-538554フォトレジスト膜のチャンバ乾式洗浄

発明の名称　フォトレジスト膜のチャンバ乾式洗浄

出願人　ラム　リサーチ　コーポレーション　（識別番号 592010081）

　　　　特許公開件数ランキング 125 位（244件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 135 位（197件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2022-538554

公報発行日　2022年9月5

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2022-538554

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