特表2022-538555金属含有レジストのリソグラフィ性能を向上させるためのベーキング方法

発明の名称　金属含有レジストのリソグラフィ性能を向上させるためのベーキング方法

出願人　ラム　リサーチ　コーポレーション　（識別番号 592010081）

　　　　特許公開件数ランキング 125 位（244件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 135 位（195件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2022-538555

公報発行日　2022年9月5

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2022-538555

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