特表2022-541906静電チャック用の多層のための接地機構および関連する方法

発明の名称　静電チャック用の多層のための接地機構および関連する方法

出願人　インテグリス・インコーポレーテッド　（識別番号 505307471）

　　　　特許公開件数ランキング 306 位（98件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 338 位（72件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2022-541906

公報発行日　2022年9月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2022-541906

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特表-2022-541906「静電チャック用の多層のための接地機構および関連する方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録