特表 2022-544902 コンテナ内の燃料の量を判定するための装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2022-10-24

(54)【発明の名称】コンテナ内の燃料の量を判定するための装置

(51)【国際特許分類】

   G03F 7/20 20060101AFI20221017BHJP

   G01G 17/04 20060101ALI20221017BHJP

   H05G 2/00 20060101ALI20221017BHJP

【ＦＩ】

G03F7/20 503

G01G17/04 A

H05G2/00 K

【審査請求】未請求

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2022506170

(86)(22)【出願日】2020-07-17

(85)【翻訳文提出日】2022-03-25

(86)【国際出願番号】 EP2020070236

(87)【国際公開番号】W WO2021037435

(87)【国際公開日】2021-03-04

(31)【優先権主張番号】19193373.8

(32)【優先日】2019-08-23

(33)【優先権主張国・地域又は機関】EP

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】504151804

【氏名又は名称】エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ．

(74)【代理人】

【識別番号】100079108

【弁理士】

【氏名又は名称】稲葉 良幸

(74)【代理人】

【識別番号】100109346

【弁理士】

【氏名又は名称】大貫 敏史

(74)【代理人】

【識別番号】100117189

【弁理士】

【氏名又は名称】江口 昭彦

(74)【代理人】

【識別番号】100134120

【弁理士】

【氏名又は名称】内藤 和彦

(72)【発明者】

【氏名】メリソルゴス，ゲオルギオス

(72)【発明者】

【氏名】デ グラーフ，ウベルトゥス，ペトラス，アドリアヌス

(72)【発明者】

【氏名】リプマ，アルベルト，ピーター

(72)【発明者】

【氏名】シャウト，トゥヴァン，ヤコブス

【テーマコード（参考）】

2H197

4C092

【Ｆターム（参考）】

2H197AA10

2H197CA10

2H197DC01

2H197DC12

2H197GA01

2H197GA04

2H197GA05

2H197GA06

2H197GA24

2H197HA03

4C092AA06

4C092AA15

4C092AC09

4C092BD20

(57)【要約】

コンテナ内に収集された燃料の量を判定するように構成された装置であって、燃料はＥＵＶ放射源においてＥＵＶ放射ビームを生成するために用いられる。装置は力測定デバイスを備え、力測定デバイスは、コンテナ内に収集された燃料の質量を判定するためにコンテナに関連する力を測定するように構成されている。
【選択図】 図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

コンテナ内に収集された燃料の量を判定するように構成された装置であって、前記燃料はＥＵＶ放射源においてＥＵＶ放射ビームを生成するために用いられるものであり、
前記装置は力測定デバイスを備え、
前記力測定デバイスは前記コンテナ内に収集された前記燃料の質量を判定するために前記コンテナに関連する力を測定するように構成されている、装置。

【請求項2】

前記装置は更に、前記コンテナに関連する前記測定された力に基づいて前記コンテナ内に収集された前記燃料の前記質量を判定するように構成されている、請求項１の装置。

【請求項3】

前記装置は更に、前記コンテナ内に収集された前記燃料の前記質量に基づいて前記コンテナ内に収集された前記燃料のレベルを判定するように構成されている、請求項２の装置。

【請求項4】

前記力測定デバイスは圧縮測定デバイスである、請求項１から３のいずれかの装置。

【請求項5】

前記圧縮測定デバイスは前記コンテナの下に位置している、請求項４の装置。

【請求項6】

前記力測定デバイスは張力又はトルク測定デバイスである、請求項１～３の装置。

【請求項7】

前記力測定デバイスはロードセルである、請求項１から６のいずれかの装置。

【請求項8】

前記装置は少なくとも１つのヒンジを備え、前記少なくとも１つのヒンジは、少なくとも１つの方向での前記コンテナの運動を制約しつつ少なくとも１つの別の方向での運動を比較的制約されないままにするための留め具として構成されている、請求項１から７のいずれかの装置。

【請求項9】

前記装置はロードセルヒンジを備え、前記ロードセルヒンジは前記力測定デバイスと前記コンテナとの間に位置している、請求項１から８のいずれかの装置。

【請求項10】

前記力測定デバイスは前記コンテナと直接接触しない、請求項１から９のいずれかの装置。

【請求項11】

前記装置は更に、前記力測定デバイスを熱負荷から保護するための伝熱バイパスシステムを備える、請求項１から１０のいずれかの装置。

【請求項12】

前記伝熱バイパスシステムは前記力測定デバイスの一方側から前記力測定デバイスの反対側に延伸する力測定デバイスハウジングを備える、請求項１１の装置。

【請求項13】

請求項１～１２のいずれかに記載の装置を備えるＥＵＶ放射源。

【請求項14】

請求項１３に記載のＥＵＶ放射源を備えるリソグラフィシステム。

【請求項15】

コンテナ内に収集された燃料の量を判定する方法であって、前記燃料はＥＵＶ放射源においてＥＵＶ放射ビームを生成するために用いられ、
力測定デバイスを備える装置を提供することと、
前記コンテナ内に収集された前記燃料の質量を判定するために前記力測定デバイスを用いて前記コンテナに関連する力を測定することと、
を備える方法。

【請求項16】

前記コンテナに関連する前記測定された力に基づいて前記燃料の前記質量を判定することを更に備える、請求項１５の方法。

【請求項17】

前記コンテナ内に収集された前記燃料の前記質量に基づいて前記コンテナ内に収集された前記燃料のレベルを判定することを更に備える、請求項１６の方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

関連出願の相互参照
[0001] 本願は２０１９年８月２３日に提出された欧州出願第１９１９３３７３．８号の優先権を主張するものであり、同出願は参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。

【0002】

[0002] 本発明は、コンテナ内の燃料の量を判定するための装置に関する。特に、本発明は、コンテナ内の燃料の量を判定するための装置に係り、その燃料はＥＵＶ放射源においてＥＵＶ放射ビームを生成するために用いられる。

【背景技術】

【0003】

[0003] リソグラフィ装置は、所望のパターンを基板に適用するように構築された機械である。リソグラフィ装置は、例えば集積回路（ＩＣ）の製造に使用可能である。リソグラフィ装置は例えば、パターニングデバイス（例えばマスク）でのパターンを、基板上に設けられた放射感応性材料（レジスト）の層に投影することができる。

【0004】

[0004] 基板上にパターンを投影するために、リソグラフィ装置は電磁放射を使用することができる。この放射の波長は、基板上に形成可能なフィーチャの最小サイズを決定する。４～２０ｎｍの範囲内、例えば６．７ｎｍ又は１３．５ｎｍの波長を有する、極端紫外線（ＥＵＶ）放射を使用するリソグラフィ装置を使用して、例えば、１９３ｎｍの波長を伴う放射を使用するリソグラフィ装置より基板上に小さなフィーチャを形成することができる。

【0005】

[0005] ＥＵＶ放射の生成においてはスズ（Ｓｎ）などの燃料が用いられ得るものであり、その燃料は、ＥＵＶ放射の生成に用いられた後、コンテナ又はバケツに収集され得る。例えばコンテナが溢れないように、コンテナ内のスズの充填レベルがわかるのが望ましい。コンテナ全体の温度勾配を測定するために、温度センサが用いられてもよい。熱勾配の変化は、充填レベルの変化及び対応するコンテナ内のスズの体積に変換することができる。

【0006】

[0006] 従来技術に関連する１つ以上の課題を克服又は緩和する、コンテナ内の燃料の量を判定するための装置及び方法を提供するのが望ましい。

【発明の概要】

【0007】

[0007] 本発明の第１の態様によれば、コンテナ内に収集された燃料の量を判定するように構成された装置が提供され、燃料はＥＵＶ放射源においてＥＵＶ放射ビームを生成するために用いられ、装置は力測定デバイスを備え、力測定デバイスは、コンテナ内に収集された燃料の質量を判定するためにコンテナに関連する力を測定するように構成されている。

【0008】

[0008] これには、コンテナ内に取集された燃料の質量を判定することの精度の向上を提供するという利点があり得る。この精度の向上は、燃料のために使用可能なコンテナの容量の増大をもたらし得る。更なる利点は、放射源の効果的な燃料流出の表示の精度の向上を提供することにあり得る。

【0009】

[0009] 装置は更に、測定された力に基づいてコンテナ内に収集された燃料の質量を判定するように構成され得る。

【0010】

[00010] 装置は更に、コンテナ内に収集された燃料の質量に基づいてコンテナ内に収集された燃料のレベルを判定するように構成され得る。これには、コンテナ内に取集された燃料のレベルを判定することの精度の向上を提供するという利点があり得る。

【0011】

[00011] 装置は１つの力測定デバイスを備え得る。これには、部品の数の削減（例えばセンサの数の削減）及びひいては費用の削減という利点があり得る。

【0012】

[00012] 力測定デバイスは圧縮測定デバイスであってもよい。

【0013】

[00013] 圧縮測定デバイスはコンテナの下に位置し得る。

【0014】

[00014] 力測定デバイスは張力又はトルク測定デバイスであってもよい。

【0015】

[00015] 力測定デバイスはロードセルであってもよい。

【0016】

[00016] ロードセルはひずみゲージを備え得る。

【0017】

[00017] 装置は少なくとも１つのヒンジを備えていてもよく、その少なくとも１つのヒンジは、少なくとも１つの方向でのコンテナの運動を制約しつつ少なくとも１つの別の方向での運動を比較的制約されないままにするための留め具として構成され得る。これには、留め具が結果に実質的に影響を及ぼすことなしに正確な力の読み取りを提供するのに役立つという利点があり得る。

【0018】

[00018] 装置はロードセルヒンジを備えていてもよく、そのロードセルヒンジは力測定デバイスとコンテナとの間に位置し得る。これには、コンテナ重量の力を力測定デバイスに均等に分配するという利点があり得る。

【0019】

[00019] 装置は複数のヒンジを備え得る。複数のヒンジのうち少なくとも１つが力測定デバイスとコンテナとの間に位置していてもよい。複数のヒンジのうち少なくとも１つは、少なくとも１つの方向でのコンテナの運動を制約しつつ少なくとも１つの別の方向での運動を比較的制約されないままにするための留め具として構成され得る。複数のヒンジのうち少なくとも２つが力測定デバイスとコンテナとの間に位置していてもよい。複数のヒンジのうち少なくとも２つは、少なくとも１つの方向でのコンテナの運動を制約しつつ少なくとも１つの別の方向での運動を比較的制約されないままにするための留め具として構成され得る。２つのヒンジを用いることの利点は、コンテナが空から充満するまで、重心が２つのヒンジと第３の接点（例えばロードセルヒンジ）との間に留まるということであり得る。

【0020】

[00020] 力測定デバイスはコンテナと直接接触していなくてもよい。これは、コンテナを交換するのにかかる時間の短縮という利点を有し得ると共に、多くの切断手順に起因する力測定デバイスの摩耗又は故障の可能性が小さくなることも意味し得る。

【0021】

[00021] 燃料はスズであり得る。

【0022】

[00022] 装置は更に、力測定デバイスを熱負荷から保護するための伝熱バイパスシステムを備え得る。これには、力測定デバイスを高温から保護するという利点があり得る。

【0023】

[00023] 伝熱バイパスシステムは、力測定デバイスの一方側から力測定デバイスの反対側に延伸する力測定デバイスハウジングを備え得る。

【0024】

[00024] 力測定デバイスハウジングの少なくとも一部は、比較的高熱伝導性の材料を備え得る。比較的高熱伝導性の材料は、アンプコロイなど、Ｃｕ合金であり得る。

【0025】

[00025] 本発明の第２の態様によれば、上述した装置を備えるＥＵＶ放射源が提供される。

【0026】

[00026] 本発明の第３の態様によれば、上述したＥＵＶ放射源を備えるリソグラフィシステムが提供される。

【0027】

[00027] 本発明の第４の態様によれば、コンテナ内に収集された燃料の量を判定する方法が提供され、燃料はＥＵＶ放射源においてＥＵＶ放射ビームを生成するために用いられ、方法は、力測定デバイスを備える装置を提供することと、コンテナ内に収集された燃料の質量を判定するために力測定デバイスを用いてコンテナに関連する力を測定することと、を備えている。

【0028】

[00028] 方法は更に、測定された力に基づいて燃料の質量を判定することを備え得る。

【0029】

[00029] 方法は更に、コンテナ内に収集された燃料の質量に基づいてコンテナ内に収集された燃料のレベルを判定することを備え得る。

【0030】

[00030] 本発明の第５の態様によれば、上述した方法をプロセッサに実行させるように構成されたコンピュータ可読命令を備えるコンピュータプログラムが提供される。

【0031】

[00031] 本発明の第６の態様によれば、上述したコンピュータプログラムを保持するコンピュータ可読媒体が提供される。

【0032】

[00032] 本発明の第７の態様によれば、プロセッサ可読命令を記憶するメモリと、そのメモリに記憶された命令を読み出して実行するように構成されたプロセッサと、を備える、コンテナ内に収集された燃料の量を判定するためのコンピュータ装置が提供され、そのプロセッサ可読命令は、上述した方法を実行するようにコンピュータを制御するように構成された命令を備える。

【図面の簡単な説明】

【0033】

[00033] 本発明の実施形態を、添付の図面を参照して、単なる例示として以下に説明する。

【0034】

【図1】本発明の一実施形態による、リソグラフィ装置及び放射源を備えるリソグラフィシステムを示す。

【図2】本発明の一実施形態による、コンテナに関連する力を測定するための装置とコンテナとの概略図を示す。

【図3】本発明の一実施形態による、コンテナに関連する力を測定するための装置の拡大図の概略図を示す。

【図4】本発明の一実施形態による、コンテナに関連する力を測定するための装置のヒンジの概略図を示す。

【発明を実施するための形態】

【0035】

[00034] 図１は、放射源ＳＯ及びリソグラフィ装置ＬＡを備えるリソグラフィシステムを示す。放射源ＳＯは、ＥＵＶ放射ビームＢを発生させるように、及び、ＥＵＶ放射ビームＢをリソグラフィ装置ＬＡに供給するように、構成される。リソグラフィ装置ＬＡは、照明システムＩＬ、パターニングデバイスＭＡ（例えば、マスク）を支持するように構成された支持構造ＭＴ、投影システムＰＳ、及び基板Ｗを支持するように構成された基板テーブルＷＴを備える。

【0036】

[00035] 照明システムＩＬは、ＥＵＶ放射ビームＢがパターニングデバイスＭＡ上に入射する前にＥＵＶ放射ビームＢを調節するように構成される。それに加えて、照明システムＩＬは、ファセットフィールドミラーデバイス１０及びファセット瞳ミラーデバイス１１を含むことができる。ファセットフィールドミラーデバイス１０及びファセット瞳ミラーデバイス１１は共に、所望の断面形状及び所望の強度分布を伴うＥＵＶ放射ビームＢを提供する。照明システムＩＬは、ファセットフィールドミラーデバイス１０及びファセット瞳ミラーデバイス１１に加えて、又はそれらの代わりに、他のミラー又はデバイスを含むことができる。

【0037】

[00036] このように調節された後、ＥＵＶ放射ビームＢはパターニングデバイスＭＡと相互作用する。この相互作用の結果として、パターン付きＥＵＶ放射ビームＢ’が発生する。投影システムＰＳは、パターン付きＥＵＶ放射ビームＢ’を基板Ｗ上に投影するように構成される。そのために、投影システムＰＳは、パターン付きＥＵＶ放射ビームＢ’を、基板テーブルＷＴによって保持される基板Ｗ上に投影するように構成された、複数のミラー１３、１４を備えることができる。投影システムＰＳは、パターン付きＥＵＶ放射ビームＢ’に縮小係数を適用することが可能であり、したがって、パターニングデバイスＭＡ上の対応するフィーチャよりも小さなフィーチャを伴うイメージを形成する。例えば、４又は８の縮小係数が適用可能である。投影システムＰＳは、図１では２つのミラー１３、１４のみを有するように示されているが、投影システムＰＳは異なる数のミラー（例えば、６つ又は８つのミラー）を含むことができる。

【0038】

[00037] 基板Ｗは、以前に形成されたパターンを含むことができる。このような場合、リソグラフィ装置ＬＡは、パターン付きＥＵＶ放射ビームＢ’によって形成されたイメージを、基板Ｗ上に以前に形成されたパターンと位置合わせする。

【0039】

[00038] 相対的真空、すなわち、大気圧をはるかに下回る圧力での少量のガス（例えば、水素）を、放射源ＳＯ内、照明システムＩＬ内、及び／又は投影システムＰＳ内に提供することが可能である。

【0040】

[00039] 図１に示される放射源ＳＯは、例えば、レーザ生成プラズマ（ＬＰＰ）源と呼ばれることのあるタイプである。例えばＣＯ_２レーザを含むことが可能なレーザシステム１は、例えば燃料放出器３から提供されるスズ（Ｓｎ）などの燃料内に、レーザビーム２を介してエネルギーを堆積させるように配置される。下記の記述ではスズに言及しているが、任意の適切な燃料が使用可能である。燃料は、例えば液体の形であってよいが、例えば金属又は合金とすることができる。燃料放出器３は、プラズマ形成領域４に向けた軌道に沿って、例えば液滴の形でスズを誘導するように構成された、ノズルを備えることができる。レーザビーム２は、プラズマ形成領域４においてスズ上に入射する。レーザエネルギーのスズ内への蓄積は、プラズマ形成領域４においてスズプラズマ７を作成する。ＥＵＶ放射を含む放射は、電子の脱励起及びプラズマイオンとの再結合の間に、プラズマ７から放出される。

【0041】

[00040] プラズマからのＥＵＶ放射は、コレクタ５によって収集及び合焦される。コレクタ５は、例えば近法線入射放射コレクタ５（時折、より一般的には、法線入射放射コレクタと呼ばれる）を備える。コレクタ５は、ＥＵＶ放射（例えば、１３．５ｎｍなどの所望の波長を有するＥＵＶ放射）を反射するように配置された、多層ミラー構造を有することができる。コレクタ５は、２つの焦点を有する楕円構成を有することができる。下記で考察するように、焦点のうちの第１はプラズマ形成領域４にあり、焦点のうちの第２は中間焦点６にあるものとすることができる。

【0042】

[00041] レーザシステム１は、放射源ＳＯから空間的に分離することができる。このような場合、レーザビーム２は、例えば適切な誘導ミラー及び／又はビームエキスパンダ、及び／又は他の光学系を備える、ビームデリバリシステム（図示せず）の助けによって、レーザシステム１から放射源ＳＯへと渡すことができる。レーザシステム１、放射源ＳＯ、及びビームデリバリシステムは、共に、放射システムであるとみなすことができる。

【0043】

[00042] コレクタ５によって反射された放射は、ＥＵＶ放射ビームＢを形成する。ＥＵＶ放射ビームＢは、プラズマ形成領域４に存在するプラズマの中間焦点６においてイメージを形成するために、中間焦点６において合焦される。中間焦点６におけるイメージは、照明システムＩＬのための仮想放射源として作用する。放射源ＳＯは、中間焦点６が放射源ＳＯの閉鎖構造９内の開口８に、又は開口８の近くに位置するように配置される。

【0044】

[00043] スズプラズマ７がＥＵＶ放射を生成するために用いられた後、液体スズは、バケツとも称され得るコンテナ２０に流出する。コンテナ２０は鋼であり得る。装置２２が提供され、コンテナ２０に流出され収集されたスズの量（例えば質量）を判定するために用いられる。これは後でより詳細に説明される。いくつかの実施形態においては、装置２２（及び／又はコンテナ２０）は、放射源ＳＯに位置するか又は放射源ＳＯの一部であると考えられてもよく、他の実施形態においては、装置２２（及び／又はコンテナ２０）は、少なくとも部分的に放射源ＳＯの外部に位置するか又は少なくとも部分的に放射源ＳＯの一部を形成しないと考えられてもよい。コンテナが放射源ＳＯの容器の外部に位置している実施形態においては、コンテナが放射源ＳＯの容器の内部に位置している実施形態といくつかの相違があり得るが、全体的な概念は同じままであろう。例えば、容器の外部に位置しているコンテナは、水平に対して、後で説明されるのと同じ角度ではないかもしれない。

【0045】

[00044] 図１は、放射源ＳＯをレーザ生成プラズマ（ＬＰＰ）源として示しているが、放電生成プラズマ（ＤＰＰ）源又は自由電子レーザ（ＦＥＬ）などの任意の適切な放射源を使用してＥＵＶ放射を発生させることができる。

【0046】

[00045] 図２は、液体スズを収集するためのコンテナ２０と、コンテナ２０内のスズの質量を測定するための装置２２とを、より詳細に示す。コンテナ２０は、実質的に矩形（すなわち開いた頂部を有する直方体形状）であり、底部２０Ａと、底部２０Ａを包囲して底部２０Ａから上方に延伸する側壁２０Ｂとを有するが、他の実施形態においては異なる形状を有し得ることは理解されるであろう。コンテナ２０はヒータプレート２４上にあり、ヒータプレート２４によって定位置に保持されている。ヒータプレート２４は、ヒータプレート基部２４Ａと、コンテナ２０の下端部２０Ｄにおいてコンテナ２０の上端部２０Ｃにおけるよりも更に上方に延伸するヒータプレート側壁２４Ｂとを有する。ヒータプレート側壁２４Ｂはコンテナ２０を定位置に保持する。ヒータプレート２４は、コンテナ２０を加熱してコンテナ２０内のスズ液体を維持するために用いられる。これは、スズがコンテナ２０全体により均一に分配され、それによってコンテナ２０の容量がより効果的に使われるようにするためである。

【0047】

[00046] コンテナ２０は水平、すなわちｙ方向（地面）に対して、ある角度で配向されている。これは、（ＥＵＶ）放射源ＳＯも水平に対して角度が付けられているからである。本実施形態においてコンテナ２０が上端部２０Ｃ及び下端部２０Ｄを有すると考えられるのは、このためである。他の実施形態においては、コンテナは水平に配向されてもよく（すなわち、コンテナの底部はｙ方向、すなわち地面と平行に配向されてもよく）、コンテナの端部は同じ高さにあってもよい。

【0048】

[00047] ヒータプレート２４は、コンテナ２０の底部２０Ａの２つの隅部に位置する２つのヒンジ２８（図２には１つのヒンジ２８のみが示されている）を介して、インターフェイスプレート２６に固定されている。これらの２つの隅部は、底部２０Ａの他の２つの隅部よりも高く位置しており、コンテナ２０の底部２０Ａの上端部２０Ｃにあるものと考えられ得る。ヒンジ２８は、ヒータプレート２４とインターフェイスプレート２６との間の第１及び第２の接点を形成する。ヒンジ２８は板バネの形をとる。ヒンジ２８をインターフェイスプレート２６に結合するために、ねじ２９（１つのみが示されている）が用いられてもよい。このコンテナの形状及び配向によって、コンテナがスズで満たされると重心は動く。２つのヒンジ２８は、コンテナ２０が空から充満するまで（すなわち、コンテナ２０が満ちるにつれて）、２つのヒンジ２８とコンテナ２０の底部２０Ａの下端部２０Ｄの第３の接点（例えばロードセルヒンジ。後述を参照）との間に重心が留まるように用いられ得る。換言すれば、重心は、２つのヒンジ２８と第３の接点（例えばロードセルヒンジ）とによって名目上形成される「三角形」の中になければならない。本実施形態においては、ヒンジ２８が２度用いられている。しかしながら、他の実施形態においては１つ以上のヒンジを有する他の構成が用いられてもよいことは理解されるであろう。

【0049】

[00048] コンテナ２０の底部２０Ａの下端部２０Ｄに位置しているのは、ロードセルハウジング３０及び力測定デバイスである２つのロードセル３２（図２には１つのロードセルのみが示されている）である。本実施形態においては２つのロードセル３２があるが、他の実施形態においては単一のロードセル又は２つよりも多くのロードセルがあってもよい。明瞭にするため、以下では１つのロードセルを参照するが、特徴及び機能が両方（又はより多く）のロードセルに当てはまることは理解されるであろう。

【0050】

[00049] ロードセル３２は、コンテナ２０がヒータプレート２４上に位置決めされるときにコンテナ２０に関連する力を測定するためのものである。力は、重力であり得、すなわちコンテナ２０の重量に関連し得る。コンテナ２０の重量の力がロードセル３２に向かうこと及びコンテナ２０が適切に支持されることが重要である。「コンテナ２０の重量」は、コンテナ２０の構造自体（例えば底部２０Ａ及び側壁２０Ｂ）とコンテナ２０の内部のスズとの重量を含むと考えられ得る。ロードセル３２は、円盤状であってもよく、およそ１～２ｃｍの直径を有し得ると共に、５～１０ｍｍの高さを有し得る。ロードセル３２は圧縮測定デバイスであるが、他の実施形態においては、力測定デバイスは、異なる位置にある張力又はトルク測定デバイスであってもよいことは理解されるであろう。例えば、コンテナは、コンテナに関連する力を測定するために、張力測定デバイスから懸架されてもよい。

【0051】

[00050] ロードセルは一種の力計である。測定されている力（すなわち、内部に液体スズを含むコンテナ２０に関連する力）に大きさが比例する電気信号を作り出すために用いられるトランスデューサを備えている。ロードセル３２は１つ以上のひずみゲージ（図示しない）を備えるが、ロードセルの正確な種類が極めて重要なのではないことは理解されるであろう。むしろ、コンテナに関連する力を測定できることが重要である。力測定デバイスは、異なる種類のロードセル又は異なる種類の力測定センサであってもよい。例えば、力測定デバイスは、圧電抵抗センサ、誘導性で磁気抵抗ベースのロードセル、磁気弾性ロードセル、圧電ロードセル、光ファイバロードセル、共振ワイヤロードセル、容量ロードセルなどであり得る。

【0052】

[00051] ロードセル３２は、ヒータプレート２４と、コンテナ２０と、コンテナ２０の内容物（すなわち液体スズ）とに関連する力を測定し得る。より具体的には、ロードセル３２は、ヒータプレート２４と、コンテナと、コンテナ２０の内容物とによってロードセル３２に加えられる力を測定する。ロードセル３２はこの力を経時的に連続して測定することができる。より多くのスズがコンテナ２０内へと流出するにつれ、ロードセル３２は、力の増加、すなわち重量の増加を連続して測定するであろう。スズの質量の計算においては、ヒータプレート２４及びコンテナ２０自体による力が考慮される必要があることは理解されるであろう。

【0053】

[00052] ロードセル３２によって測定される力は、コンテナ２０の重量に換算され得る（そして、いくつかの実施形態においては、ロードセル３２に力を加えているヒータプレート２４又は他の構成要素による力を考慮する）。装置２２は、コンテナ２０内に収集されるスズの質量を、コンテナ２０による重量に基づいて（そして、いくつかの実施形態においては、ロードセル３２に力を加えているヒータプレート２４又は他の構成要素による力を考慮して）判定し得る。ロードセル３２によって測定される力は、コンテナ２０内に収集済みのスズの質量を計算するために用いられ得る。これは、コンテナ２０を既知の質量と置換すること、及びその後、その既知の質量を用いてロードセル３２の応答を測定することによって行われてもよい。

【0054】

[00053] ロードセル３２によって測定される力は、コンテナ２０におけるスズのレベルを計算するために用いられ得る。つまり、コンテナ２０におけるスズの判定された質量は、コンテナ２０におけるスズのレベルを判定するために用いられ得る。コンテナ２０におけるスズの質量がわかるということは、スズによって占められるコンテナ２０の容積を算定することができ、したがってコンテナ２０におけるスズのレベルを判定することができることを意味する。スズのレベルは、充填レベル、又はコンテナ２０がどの程度充満しているか、又はスズがコンテナ２０の側壁２０Ｂで到達する高さと考えられてもよい。コンテナ２０が充満されるにつれ、スズのレベルはそれに応じて増大するであろう。

【0055】

[00054] いくつかの実施形態においては、コンテナ２０の重量、スズの重量、スズの質量、スズの体積、及び／又はコンテナ２０におけるスズのレベル等が、例えば装置２２のソフトウェア（コンピュータプログラム）を用いて判定（すなわち計算）されてもよく、他の実施形態においては、コンテナ２０の重量、スズの重量、スズの質量、スズの体積、及び／又はコンテナ２０におけるスズのレベル等の判定（計算）は、例えば別個の外部システム（図示しない）のソフトウェア（コンピュータプログラム）を用いて実行されてもよい。つまり、例えばコンテナ内のスズの質量を判定するために用いられるソフトウェアは、装置２２の一部を形成すると考えらえてもよいし、又は装置２２と別個であると考えられてもよい。コンテナ２０の重量、スズの重量、スズの質量、スズの体積、及び／又はコンテナ２０におけるスズのレベルは、装置の又は別個のシステムのソフトウェア（コンピュータプログラム）を用いて、ロードセル３２からの読み出し（すなわちコンテナ２０に関連する力）に基づいて、計算されてもよい。

【0056】

[00055] ロードセル３２を用いることは、６％以下の総質量測定誤差を提供し得る。液体スズのレベルを判定するべくコンテナの熱勾配を測定するために以前用いられていた温度センサを用いての１３％以下の測定誤差と比較が行われてもよい。このように、ロードセル３２を用いることは、コンテナ２０における収集されたスズの質量（又は充填レベル）の測定の精度の向上を提供し得る。この精度の向上は、液体スズのために使用可能なコンテナの容量の増大をもたらし得る。これは、コンテナの溢れを回避するためには安全マージンが維持される必要があり、より正確な測定によれば低減された安全マージンが使用され得るからである。センサ（例えばロードセル３２）の全体性能は、センサの精度／ドリフト及び種々の設計詳細に依存し得る。

【0057】

[00056] また、ロードセル３２からの経時的な（例えば充満するにつれての）連続した読み出しは、生産サイクルの１つ以上の最適な時刻にコンテナ２０を交換することを可能にし得る。例えば、格納容器２０が充満に近づいているかもしれないし、生産スケジュールの中断があるかもしれず、その中断は、格納容器２０が充満するのを待って交換を実行するために生産を一時停止しなくてはならないよりもむしろ、その時に略充満した格納容器２０を空のものと交換する機会を与える。このように、コンテナ２０におけるスズの質量測定を利用することによって、生産スケジュールの時間が節約され得る。これは、コンテナが充満したことを示すセンサが１つしかない場合には、可能ではないであろう。

【0058】

[00057] ロードセル３２のもう１つの機能は、放射源ＳＯの効果的なスズ流出の表示を提供することである。コンテナ２０内には最終的にある量の液体スズが残ることが予期され、（ロードセル３２によって測定される）この量が予期されるよりも少ないときには、放射源ＳＯの排出機能が故障していると結論付けることができる。これは、排出不良の原因が何であり得るかを理解するために対処が取られることを可能にすると共に、適時的にその不良を修正すること、例えば（固化し得る）スズを保持するように設計されていない領域の汚染を限定すること及び清掃の時間を最小化することを可能にする。

【0059】

[00058] １つよりも多くのロードセル３２を有していると、両方のロードセルが良好に機能しているかどうかの点検が実行されることが可能になる（例えば、ロードセル３２の一方が他方とは実質的に異なる読み出しを示しているのであれば、それは、問題があることを意味し得る）。これは冗長性も提供する。すなわち、ロードセル３２の一方が動作を停止する場合に、他方のロードセル３２は依然として測定を提供することができ、装置２２は分解される必要がない。もっとも、先に言及したように、いくつかの実施形態においては、力測定を提供するために単一のロードセルが用いられてもよい。

【0060】

[00059] また、ロードセル３２をセンサとして使用してスズの質量を判定することは、（例えば、充填レベルを判定するために光センサが用いられた場合の）光学部品の汚染又は（例えば、充填レベルを判定するためにコンテナの内部で液中センサが用いられた場合の）センサの腐食の危険がないことを意味する。

【0061】

[00060] ヒンジ２８は、コンテナ２０が水平に対して角度を付けられることによってコンテナ２０及びヒータプレート２４がインターフェイスプレート２６から滑り落ちるのを止めるために提供される。つまり、ヒンジ２８は、インターフェイスプレート２６とヒータプレート２４（及びひいてはコンテナ２０）との間の留め具として機能する。ヒンジ２８は、（コンテナ２０を保持するヒータプレート２４の一端を支持することによって）コンテナ２０の一端を支持していると考えられ得る。ヒンジ２８はコンテナ２０を一方向又は二方向、すなわちｘ及び／又はｙ方向で実質的に制約するが、ｚ方向（すなわち重力が作用する方向）では実質的に制約しない。これは、留め具が結果に実質的に影響を及ぼすことなくロードセル３２が正確な力の読み出し（すなわちｚ方向の力）を提供できるようにするためである。ヒンジ２８は、いくつかの方向での運動を制約しつつ少なくとも一次元（方向）での運動を比較的制約されないままにすることができる任意の構成要素（板バネなど）であり得る。

【0062】

[00061] ヒンジ２８と、コンテナ２０の角度及び重心移動とによって、力測定は安定した線形応答を提供しない（すなわち、コンテナ２０内のスズの質量の１キロ増加毎に、ロードセルによって測定される１キロの力（ニュートンで測定される）の対応する増加はないであろう）。しかしながら、この非線形応答は設定毎に校正され得るので、コンテナ２０内のスズの質量（及びしたがってコンテナ充填レベル）は、特定の時刻の対応する力測定から知ることができる。

【0063】

[00062] 他の実施形態においては、コンテナは水平に配向されてもよく（すなわち、コンテナの底部は地面と平行に配向されてもよく）、したがって留め具としてのヒンジの必要はないであろう。この場合、コンテナは、この種の留め具を要さずに１つ以上（好適には２つ又は３つ）のロードセル上にある。

【0064】

[00063] ロードセル３２はヒータプレート２４の下方に取り付けられるので、コンテナ２０は、ロードセル３２を移動させること又はロードセル３２をその付随する電子機器及び配線等から切断することなしに、ヒータプレート２４上の位置から取り外す（すなわち放射源ＳＯから取り外す）ことができる。つまり、ロードセル３２はコンテナ２０に直接的には接続されず、又は直接接触しない。換言すれば、ロードセル３２とコンテナ２０との間には空間又は他の構成要素があると考えられ得る。

【0065】

[00064] これは、（例えばコンテナ２０が充満している場合に）コンテナ２０を交換するのにかかる時間の短縮という利点を有すると共に、多くの切断手順に起因するロードセルの摩耗又は故障の可能性が小さくなることも意味する。これは放射源ＳＯの利用可能性の０．０１１％の向上（損失）に繋がり得る。すなわち、埋め込まれた充填レベルセンサ（例えばロードセル３２）を有するコンテナ２０を用いることは、サービス時間の１時間延長をもたらし得る。これは、熱勾配の変化を用いて結果を生成するべく十分に正確な読み出しを得るためにコンテナに結合されるか又は少なくとも直接接触する（すなわちコンテナ上にある）必要のあった温度センサと比べて改良された点である。さらに、実施形態においては、例えば熱測定のためにいくつかの温度センサが必要とされるのではなく、コンテナに関連する力を測定するために１つのロードセルのみが必要とされるので、構成要素の数の削減（例えばセンサの数の削減）、及びひいては費用の削減があり得る。

【0066】

[00065] 図３は、ロードセル３２の周辺の領域をより詳細に示す。ピン３４（ステンレス鋼であり得る）及びロードセルヒンジ３６があり、ロードセル３２（１つのロードセルのみが視認できる）の上方に位置している。重力によって下向きに作用するコンテナ２０の力は、ヒータプレート２４とロードセルヒンジ３６及びピン３４とを通じて、ロードセル３２自体に作用する。したがって、ロードセルヒンジ３６はロードセル３２とコンテナ２０との間に位置している。

【0067】

[00066] ロードセルヒンジ３６は取り付けられて中央で旋回することができる（ロードセルヒンジ３６の斜視側面図を示す図４を参照）。ピン３４は、ロードセルヒンジ３６の２つの扁平端部３６Ａ，３６Ｂと接触し得る。ロードセルヒンジ３６は、ヒンジ中央部３７を通じてヒータプレート２４の底部（図４には図示しない）に結合される。ヒンジ中央部３７は、ヒータプレート２４との２つの定義された接点を有するようにヒンジ中央部３７の頂部で外向きに突出する２つの面３７Ａ，３７Ｂを有している。ヒンジ中央部３７は２つの面３７Ａ，３７Ｂを介してヒータプレート２４と接触するが、２つの面３７Ａ，３７Ｂは、ヒンジ中央部３７を通じて互いに固く結合されているので、全体として、ヒータプレート２４とロードセルヒンジ３６との間に事実上単一の接点を形成する。ピボットピン（図示しない）が、旋回軸として作用するように、ロードセルヒンジ３６（円形開口３６Ｃ）及びヒンジ中央部３７を通って設置される。

【0068】

[00067] この構成は、ヒータプレート２４とロードセルヒンジ３６との間に事実上単一の接点があり、それがロードセル３２によって行われる測定の機械的精度を提供するのに役立つことを意味している。これは、３つの接点（すなわちヒンジ２８及びロードセルヒンジ３６）を有することは、例えば接点のうち２つが各ロードセルを直接押圧する４つの接点を有することよりも、機械的精度の観点から言って、良いからである。また、ロードセルヒンジ３６は２つのロードセル３２上にコンテナの重量の力を均等に分配するので、両方のロードセル３２が同じ力を測定する。単一のロードセル３２がある実施形態においては、ロードセルヒンジ３６は用いられなくてもよい。

【0069】

[00068] ヒータプレート２４は、ロードセル３２の最大動作温度（例えば１２０℃）よりも高い動作温度（例えば４００℃以下）を有し得る。ロードセル３２は最適温度範囲（例えば１５～８０℃）も有し得る。よって、ロードセル３２を高温から保護することは重要であろう。これは、例えば、ロードセル３２を熱負荷から保護するためのパスシステムによる伝熱（熱伝達）によって行われ得る。

【0070】

[00069] パスシステムによる伝熱はロードセルハウジング３０を含む。ロードセルハウジング３０は、ロードセル３２がヒータプレート２４との近接によって熱くなり過ぎるのを防止するための機械部品である。ロードセルハウジング３０（すなわち力測定デバイスハウジング）は、少なくともロードセル３２の頂部又はロードセル３２の上方からロードセル３２の底部又はロードセル３２の下方まで（すなわち力測定デバイスの一方の側から力測定デバイスの反対の側まで）延伸すると考えられ得る。いくつかの実施形態においては、ロードセルハウジング３０の少なくとも一部は、Ｃｕ合金アンプコロイなど、比較的高熱伝導性の材料を備え得る。ロードセル３２の頂部の熱負荷は、ロードセルハウジング３０を通じてロードセル３２の下方のクーラ本体３８に伝達され、冷却チャネル４０内に流れているであろう冷却水に投入される。ロードセルハウジング３０は比較的良好に熱を伝導するので、ロードセルハウジング３０はヒータプレート２４の高温から保護される。これはロードセルを動作温度の範囲内に維持するのに役立つ。他の実施形態においてはパスシステムによる伝熱は異なる形をとり得ることは理解されるであろう。

【0071】

[00070] 本文ではＩＣの製造におけるリソグラフィ装置の使用に特に言及しているが、本明細書で説明するリソグラフィ装置には他の用途もあることを理解されたい。考えられる他の用途は、集積光学システム、磁気ドメインメモリ用のガイダンス及び検出パターン、フラットパネルディスプレイ、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、薄膜磁気ヘッドなどの製造である。

【0072】

[00071] 本明細書ではリソグラフィ装置に関連して本発明の実施形態について具体的な言及がなされているが、本発明の実施形態は他の装置に使用することもできる。本発明の実施形態は、マスク検査装置、メトロロジ装置、又はウェーハ（あるいはその他の基板）もしくはマスク（あるいはその他のパターニングデバイス）などのオブジェクトを測定又は処理する任意の装置の一部を形成してよい。これらの装置は一般にリソグラフィツールと呼ばれることがある。このようなリソグラフィツールは、真空条件又は周囲（非真空）条件を使用することができる。

【0073】

[00072] 以上では光学リソグラフィと関連して本発明の実施形態の使用に特に言及しているが、本発明は、例えばインプリントリソグラフィなど、その他の適用例において使用されてもよく、文脈が許す限り、光学リソグラフィに限定されないことが理解されるであろう。

【0074】

[00073] 文脈上許される場合、本発明の実施形態は、ハードウェア、ファームウェア、ソフトウェア、又はそれらの任意の組み合わせにおいて実装することができる。本発明の実施形態は、１つ以上のプロセッサにより読み取られて実行され得る、機械可読媒体に記憶された命令として実装することも可能である。機械可読媒体は、機械（例えばコンピューティングデバイス）により読み取り可能な形態で情報を記憶又は伝送するための任意の機構を含むことができる。例えば機械可読媒体は、読み取り専用メモリ（ＲＯＭ）、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、磁気記憶媒体、光記憶媒体、フラッシュメモリデバイス、電気、光、音響又は他の形態の伝搬信号（例えば搬送波、赤外信号、デジタル信号など）、及び他のものを含むことができる。さらに、ファームウェア、ソフトウェア、ルーチン、命令は、特定のアクションを実行するものとして本明細書で説明されることがある。しかしながら、そのような説明は単に便宜上のものであり、そのようなアクションは実際には、ファームウェア、ソフトウェア、ルーチン、命令などを実行するコンピューティングデバイス、プロセッサ、コントローラ、又は他のデバイスから生じ、実行する際、アクチュエータ又は他のデバイスが物質世界と相互作用し得ることを理解すべきである。

【0075】

[00074] 以上、本発明の特定の実施形態を説明したが、説明とは異なる方法でも本発明を実践できることは理解されよう。上記の説明は例示的であり、限定的ではない。したがって、請求の範囲から逸脱することなく、記載されたような本発明を変更できることが当業者には明白である。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【手続補正書】

【提出日】2022-03-29

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

コンテナ内に収集された燃料の量を判定するように構成された装置であって、前記燃料はＥＵＶ放射源においてＥＵＶ放射ビームを生成するために用いられるものであり、
前記装置は力測定デバイスを備え、
前記力測定デバイスは前記コンテナ内に収集された前記燃料の質量を判定するために前記コンテナに関連する力を測定するように構成されている、装置。

【請求項2】

前記装置は更に、前記コンテナに関連する前記測定された力に基づいて前記コンテナ内に収集された前記燃料の前記質量を判定するように構成されている、請求項１の装置。

【請求項3】

前記装置は更に、前記コンテナ内に収集された前記燃料の前記質量に基づいて前記コンテナ内に収集された前記燃料のレベルを判定するように構成されている、請求項２の装置。

【請求項4】

前記力測定デバイスは圧縮測定デバイスである、請求項１から３のいずれかの装置。

【請求項5】

前記圧縮測定デバイスは前記コンテナの下に位置している、請求項４の装置。

【請求項6】

前記力測定デバイスは張力又はトルク測定デバイスである、請求項１～３の装置。

【請求項7】

前記力測定デバイスはロードセルである、請求項１から６のいずれかの装置。

【請求項8】

前記装置は少なくとも１つのヒンジを備え、前記少なくとも１つのヒンジは、少なくとも１つの方向での前記コンテナの運動を制約しつつ少なくとも１つの別の方向での運動を比較的制約されないままにするための留め具として構成されている、請求項１から７のいずれかの装置。

【請求項9】

前記装置はロードセルヒンジを備え、前記ロードセルヒンジは前記力測定デバイスと前記コンテナとの間に位置している、請求項１から８のいずれかの装置。

【請求項10】

前記力測定デバイスは前記コンテナと直接接触しない、請求項１から９のいずれかの装置。

【請求項11】

前記装置は更に、前記力測定デバイスを熱負荷から保護するための伝熱バイパスシステムを備える、請求項１から１０のいずれかの装置。

【請求項12】

前記伝熱バイパスシステムは前記力測定デバイスの一方側から前記力測定デバイスの反対側に延伸する力測定デバイスハウジングを備える、請求項１１の装置。

【請求項13】

請求項１～１２のいずれかに記載の装置を備えるＥＵＶ放射源。

【請求項14】

請求項１３に記載のＥＵＶ放射源を備えるリソグラフィシステム。

【請求項15】

コンテナ内に収集された燃料の量を判定する方法であって、前記燃料はＥＵＶ放射源においてＥＵＶ放射ビームを生成するために用いられ、
力測定デバイスを備える装置を提供することと、
前記コンテナ内に収集された前記燃料の質量を判定するために前記力測定デバイスを用いて前記コンテナに関連する力を測定することと、
を備える方法。

【手続補正2】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００７５

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0075】

[00074] 以上、本発明の特定の実施形態を説明したが、説明とは異なる方法でも本発明を実践できることは理解されよう。上記の説明は例示的であり、限定的ではない。したがって、請求の範囲から逸脱することなく、記載されたような本発明を変更できることが当業者には明白である。以下、出願当初の請求項を付記する。
［条項１］ コンテナ内に収集された燃料の量を判定するように構成された装置であって、前記燃料はＥＵＶ放射源においてＥＵＶ放射ビームを生成するために用いられ、
前記装置は力測定デバイスを備え、
前記力測定デバイスは前記コンテナ内に収集された前記燃料の質量を判定するために前記コンテナに関連する力を測定するように構成されている、装置。
［条項２］ 前記装置は更に、前記コンテナに関連する前記測定された力に基づいて前記コンテナ内に収集された前記燃料の前記質量を判定するように構成されている、上記１の装置。
［条項３］ 前記装置は更に、前記コンテナ内に収集された前記燃料の前記質量に基づいて前記コンテナ内に収集された前記燃料のレベルを判定するように構成されている、上記２の装置。
［条項４］ 前記力測定デバイスは圧縮測定デバイスである、上記１から３のいずれかの装置。
［条項５］ 前記圧縮測定デバイスは前記コンテナの下に位置している、上記４の装置。
［条項６］ 前記力測定デバイスは張力又はトルク測定デバイスである、上記１～３の装置。
［条項７］ 前記力測定デバイスはロードセルである、上記１から６のいずれかの装置。
［条項８］ 前記装置は少なくとも１つのヒンジを備え、前記少なくとも１つのヒンジは、少なくとも１つの方向での前記コンテナの運動を制約しつつ少なくとも１つの別の方向での運動を比較的制約されないままにするための留め具として構成されている、上記１から７のいずれかの装置。
［条項９］ 前記装置はロードセルヒンジを備え、前記ロードセルヒンジは前記力測定デバイスと前記コンテナとの間に位置している、上記１から８のいずれかの装置。
［条項１０］ 前記力測定デバイスは前記コンテナと直接接触しない、上記１から９のいずれかの装置。
［条項１１］ 前記装置は更に、前記力測定デバイスを熱負荷から保護するための伝熱バイパスシステムを備える、上記１から１０のいずれかの装置。
［条項１２］ 前記伝熱バイパスシステムは前記力測定デバイスの一方側から前記力測定デバイスの反対側に延伸する力測定デバイスハウジングを備える、上記１１の装置。
［条項１３］ 上記１～１２のいずれかに記載の装置を備えるＥＵＶ放射源。
［条項１４］ 上記１３に記載のＥＵＶ放射源を備えるリソグラフィシステム。
［条項１５］ コンテナ内に収集された燃料の量を判定する方法であって、前記燃料はＥＵＶ放射源においてＥＵＶ放射ビームを生成するために用いられ、
力測定デバイスを備える装置を提供することと、
前記コンテナ内に収集された前記燃料の質量を判定するために前記力測定デバイスを用いて前記コンテナに関連する力を測定することと、
を備える方法。
［条項１６］ 前記コンテナに関連する前記測定された力に基づいて前記燃料の前記質量を判定することを更に備える、上記１５の方法。
［条項１７］ 前記コンテナ内に収集された前記燃料の前記質量に基づいて前記コンテナ内に収集された前記燃料のレベルを判定することを更に備える、上記１６の方法。

【国際調査報告】