特表2022-548163イメージングベースのオーバレイ測定の品質指標として高調波検出率を適用するためのシステムと方法

発明の名称　イメージングベースのオーバレイ測定の品質指標として高調波検出率を適用するためのシステムと方法

出願人　ケーエルエー−テンカー　コーポレイション　（識別番号 500049141）

　　　　特許公開件数ランキング 290 位（36件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 465 位（18件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2022-548163

公報発行日　2022年11月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2022-548163

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特表-2022-548163「イメージングベースのオーバレイ測定の品質指標として高調波検出率を適用するためのシステムと方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録