発明の名称 湿式エッチング湿式エッチング組成物及び方法
出願人 インテグリス・インコーポレーテッド (識別番号 505307471)
特許公開件数ランキング 300 位(103件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 340 位(75件)(共同出願を含む)
公報番号 特表-2022-552196
公報発行日 2022年12月15
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2022-552196
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