特表2023-500361 | 知財ポータル「IP Force」

知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」

▶ インテグリス・インコーポレーテッドの特許一覧

特表2023-500361環境調整物質ホルダ

書誌要約請求の範囲詳細な説明課題実施例実施するための形態図面の説明

目に優しい文字サイズ小中大 PDF Top

< >

1A
1B
1C
2A
2B
2C
2D
2E
3A
3B
3C
3D
3E
4A
4B
4C
5A
5B
5C
5D

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2023-01-05

(54)【発明の名称】環境調整物質ホルダ

(51)【国際特許分類】

H01L 21/673 20060101AFI20221223BHJP

B65D 81/26 20060101ALI20221223BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

B65D81/26 Q

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2022526379

(86)(22)【出願日】2020-11-06

(85)【翻訳文提出日】2022-07-01

(86)【国際出願番号】 US2020059431

(87)【国際公開番号】W WO2021092396

(87)【国際公開日】2021-05-14

(31)【優先権主張番号】62/932,748

(32)【優先日】2019-11-08

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】505307471

【氏名又は名称】インテグリス・インコーポレーテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110002077

【氏名又は名称】園田・小林弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】ステファンズ，ジェーソンティー．

(72)【発明者】

【氏名】ハリス，アンドリュー

(72)【発明者】

【氏名】ジャブカ，マイケルシー．

(72)【発明者】

【氏名】ライバーン，ブライアントエル．

(72)【発明者】

【氏名】ラングレン，ビー．ヨルゲン

【テーマコード（参考）】

3E067

5F131

【Ｆターム（参考）】

3E067AA12

3E067AB94

3E067AB97

3E067AC04

3E067AC11

3E067BA09A

3E067BA10A

3E067BB14A

3E067BC02A

3E067DA08

3E067EA22

3E067EE25

3E067EE29

3E067FA01

3E067FC02

3E067GB12

5F131AA02

5F131CA12

5F131GA03

5F131GA33

5F131GA43

5F131GA53

5F131GA72

5F131GA74

(57)【要約】

環境調整物質ホルダは環境調整物質をウエハキャリア内に保持することができ、環境調整物質を固止しながら環境調整物質によってウエハを水分から保護することを可能にする。環境調整物質ホルダは、ベースプレートと、環境調整物質を維持するための空間を画定するタブと、を含むことができ、ウエハカセットのハンドルに係合するように構成され得る。環境調整物質ホルダは１つまたは複数の環境調整物質を保持し得る。更に、環境調整物質ホルダはまた、湿度指示器も保持するように構成され得る。
【選択図】図１Ａ

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ウエハキャリア用の環境調整物質ホルダであって、
ベースプレートと、
１つまたは複数のタブであり、そのうちの少なくとも１つはウエハカセットのハンドルと係合するように構成されている保持機構を含む、１つまたは複数のタブと、を備え、
前記環境調整物質ホルダが畳まれた状態にあるとき、前記ベースプレートおよび前記１つまたは複数のタブの各々は、環境調整物質を中に保持するための１つまたは複数の空間が画定されるように互いから離隔される、環境調整物質ホルダ。

【請求項2】

前記ベースプレートから延在する複数の環境調整物質保持タブを更に備える、請求項１に記載の環境調整物質ホルダ。

【請求項3】

前記１つまたは複数のタブは複数のタブであり、前記ベースプレートは前記複数のタブのうちの２つの間に配置されているチャネルを含む、請求項１に記載の環境調整物質ホルダ。

【請求項4】

前記１つまたは複数の空間のうちの少なくとも１つの中に保持されている環境調整物質を更に備え、前記環境調整物質は、乾燥剤、イオン吸収剤、または揮発性有機化合物吸収剤のうちの少なくとも１つを含む、請求項１に記載の環境調整物質ホルダ。

【請求項5】

前記環境調整物質は、シリカゲル、ベントナイト粘土、活性炭、硫酸カルシウム、塩化カルシウム、またはゼオライトのうちの少なくとも１つを含む、請求項４に記載の環境調整物質ホルダ。

【請求項6】

少なくとも１つの環境調整物質を収容しているパケットを更に備え、前記パケットは前記１つまたは複数の空間のうちの少なくとも１つの中に保持されている、請求項１に記載の環境調整物質ホルダ。

【請求項7】

前記少なくとも１つの環境調整物質は、乾燥剤、イオン吸収剤、または揮発性有機化合物吸収剤のうちの少なくとも１つを含む、請求項６に記載の環境調整物質ホルダ。

【請求項8】

前記保持機構はウエハカセットのハンドルとスナップ嵌合を形成するように構成されている、請求項１に記載の環境調整物質ホルダ。

【請求項9】

前記１つまたは複数のタブのうちの少なくとも１つのタブは、湿度指示器を保持するように構成されている保持機構を含む、請求項１に記載の環境調整物質ホルダ。

【請求項10】

前記１つまたは複数のタブのうちの少なくとも１つを前記ベースプレートに連結する少なくとも１つのヒンジを更に備える、請求項１に記載の環境調整物質ホルダ。

【請求項11】

前記保持機構は、ウエハカセットのハンドルへの前記環境調整物質ホルダの挿入を容易にするように構成されている傾斜表面と、ウエハカセットのハンドルとの接触によって前記環境調整物質ホルダを所定位置に保持するように構成されている係合表面と、を含む、請求項１に記載の環境調整物質ホルダ。

【請求項12】

前記環境調整物質ホルダは、ポリオレフィン、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ペルフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）、およびこれらの組合せから成る群から選択される少なくとも１つのポリマー材料から形成されている、請求項１に記載の環境調整物質ホルダ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

関連出願の相互参照
本願は２０１９年１１月８日に出願された米国仮出願第６２／９３２，７４８号に対する利益および優先権を主張し、その全体をあらゆる目的のために参照によって本明細書に組み込む。

【0002】

本開示は環境調整物質ホルダを含む半導体基板キャリアに向けられている。

【背景技術】

【0003】

ウエハキャリアはウエハをある期間の間、例えば処理の前、処理の後、または処理ステップ同士の間保管することができる。この時間中にウエハキャリアに水分が入ることがある。水分はウエハキャリア内のウエハに損傷または劣化をもたらす可能性がある。

【発明の概要】

【0004】

本開示は環境調整物質ホルダを含む半導体基板キャリアに向けられている。

【0005】

ウエハキャリアまたは輸送ユニットなどの半導体基板キャリア内に位置付けられた環境調整物質ホルダを使用することによって、ウエハキャリア内に環境調整物質を固止することができる。このことによって、ウエハキャリア内のウエハを水分から保護することが可能になるとともに、例えば、輸送、あるいは落下または他の急な加速もしくは減速などの何らかの衝撃事象中に、固定されていない要素がウエハキャリア内で移動するリスクが低減される。このことによってウエハが損傷するリスクが低減される。

【0006】

ある実施形態では、ウエハキャリア用の環境調整物質ホルダは、ベースプレートと１つまたは複数のタブとを含む。１つまたは複数のタブのうちの少なくとも１つは、ウエハカセットのハンドルと係合するように構成されている保持機構を含む。ベースプレートおよび１つまたは複数のタブの各々は、環境調整物質が１つまたは複数の空間の各々の中に配置され得るような間隔で配置される。

【0007】

ある実施形態では、環境調整物質ホルダは、ベースプレートから延在し１つまたは複数の空間のうちの１つの中に環境調整物質を保持するように構成されている、複数の環境調整物質保持タブを更に含む。

【0008】

ある実施形態では、１つまたは複数のタブは複数のタブであり、ベースプレートは平面視して複数のタブのうちの２つの間に配置されているチャネルを含む。

【0009】

ある実施形態では、環境調整物質ホルダは、ポリオレフィン、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ペルフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）、およびこれらの組合せから成る群から選択される少なくとも１つのポリマー材料を含む。

【0010】

ある実施形態では、環境調整物質ホルダは、環境調整物質を更に含む。環境調整物質の非限定的な例としては、乾燥剤、イオン吸収剤、揮発性有機化合物吸収剤、またはこれらの組合せのうちの少なくとも１つが挙げられる。別法として、環境調整物質は、乾燥剤およびイオン吸収剤として作用するなどの複数の機能を果たす物質であってもよい。ある実施形態では、環境調整物質は、シリカゲル、ベントナイト粘土、活性炭、硫酸カルシウム、塩化カルシウム、またはゼオライトのうちの少なくとも１つを含む。

【0011】

ある実施形態では、保持機構はウエハカセットのハンドルとのスナップ嵌合を形成するように構成されている。

【0012】

ある実施形態では、ウエハキャリア用の環境調整物質ホルダは、環境調整物質ホルダの第１の端部に配置されているウエハカセットの開口と接合するように構成されているピンを含む。環境調整物質ホルダはまた、環境調整物質ホルダの第１の端部の反対側の第２の端部に配置されている、ウエハカセットと係合するように構成されている固止機構も含む。その場合、環境調整物質ホルダは、１つまたは複数のビームを含む環境調整物質保持部を更に含む。

【0013】

ある実施形態では、環境調整物質保持部は２つのビームを含み、ビームの各々はビームから延在する保持タブを含む。

【0014】

ある実施形態では、環境調整物質保持部は湾曲部分と真っ直ぐな部分とを含み、湾曲部分は固止機構から真っ直ぐな部分との接合部まで延在し、ピンは真っ直ぐな部分の端部に配置されている。ある実施形態では、真っ直ぐな部分は内部空間を画定する側壁を含む。

【0015】

【0016】

ある実施形態では、環境調整物質ホルダは、乾燥剤、イオン吸収剤、または揮発性有機化合物吸収剤のうちの少なくとも１つを含む環境調整物質を更に含む。ある実施形態では、環境調整物質は、シリカゲル、ベントナイト粘土、活性炭、硫酸カルシウム、塩化カルシウム、またはゼオライトのうちの少なくとも１つを含む。

【0017】

ある実施形態では、環境調整物質ホルダは、ウエハキャリアの基部の隅角内に嵌合するように構成されている基部と、環境調整物質を保持するように構成されている複数のビームと、を各々含む、１つまたは複数の環境調整物質保持部を含む。

【0018】

ある実施形態では、環境調整物質ホルダは、複数の環境調整物質保持部と、１つまたは複数のアームであって、その各々が複数の環境調整物質保持部のうちの２つの環境調整物質保持部を接続している、１つまたは複数のアームと、１つまたは複数のアームの各々から延在する１つまたは複数のばねアームであって、その各々が、複数の環境調整物質保持部の基部がウエハキャリアの基部の隅角内にありウエハカセットがウエハキャリア内に配置されているときに、ウエハカセットと接触するように構成されている、１つまたは複数のばねアームと、を含む。

【0019】

ある実施形態では、２つ以上のばねアームは、１つまたは複数のアームの各々から延在する。

【0020】

【0021】

【0022】

本開示は、様々な例示的な実施形態の以下の説明を添付の図面と関連させて検討することで、より完全に理解され得る。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1A】ある実施形態に係る環境調整物質ホルダを含むウエハカセットを示す図である。

【図1B】ある実施形態に係る環境調整物質ホルダを示す図である。

【図1C】様々な実施形態に係る環境調整物質を保持するためのパケットを示す図である。

【図2A】本開示の別の実施形態に係る環境調整ホルダを含むウエハカセットの図である。

【図2B】図２Ａに示す環境調整ホルダの図である。

【図2C】図２Ａに示す環境調整ホルダの図である。

【図2D】図２Ａに示す環境調整ホルダの図である。

【図2E】図２Ａ～図２Ｄの環境調整ホルダによって保持され得る例示的な湿度指示器カードを示す図である。

【図3A】本開示の別の実施形態に係る環境調整ホルダを含むウエハカセットの図である。

【図3B】図３Ａに示す環境調整ホルダの図である。

【図3C】図３Ａに示す環境調整ホルダの図である。

【図3D】図３Ａに示す環境調整ホルダの図である。

【図3E】図３Ａ～図３Ｄの環境調整ホルダによって保持され得る例示的な湿度指示器カードを示す図である。

【図4A】ウエハカセットと本開示の別の実施形態に係る環境調整ホルダとを含むウエハキャリアを示す図である。

【図4B】取り付けられた本開示のある実施形態に係る環境調整物質ホルダを含む、図４Ａに示すウエハカセットの一部の拡大図である。

【図4C】図４Ｂの環境調整物質ホルダを示す図である。

【図5A】本開示のある実施形態に従って提供される環境調整物質ホルダを示す図である。

【図5B】ウエハキャリア内に設置された図５Ａの環境調整物質ホルダを示す図である。

【図5C】図５Ａの環境調整物質ホルダを示す図である。

【図5D】本開示の別の実施形態に従って提供される、湿度指示器用の保持機構を含む図５Ａの環境調整ホルダを示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0024】

本開示は様々な修正および代替形態を受け入れることができるが、その詳細は図面において例として示されており、以下で詳しく説明される。ただし、本開示の態様を記載されている特定の例示的な実施形態に限定することは意図していないことが理解されるべきである。そうではなく、意図しているのは、本開示の精神および範囲内にあるあらゆる修正、等価物、および代替を包含することである。

【0025】

本明細書および付属の特許請求の範囲において使用するとき、単数形「ａ」、「ａｎ」、および「ｔｈｅ」は、そうではないと内容が明確に示していない限りは、複数の言及対象を含む。本明細書および付属の特許請求の範囲において使用するとき、用語「または」は、そうではないと内容が明確に示していない限りは、その「および／または」を含む意味で一般的に使用される。

【0026】

用語「約」は一般に、引用された値と等価である（例えば、同じ機能または結果を有する）と見なされる数の範囲を指す。多くの場合において、用語「約」は最も近い有効数字に丸められている数を含み得る。

【0027】

以下の詳細な説明は図面を参照して読まれるべきであり、図面では異なる図面中の類似の要素には同じ番号が付されている。詳細な説明および図面（必ずしも正確な縮尺では描かれていない）には例示的な実施形態が描写されているが、本開示の範囲を限定することは意図されていない。描写されている例示的な実施形態は例示的なものとしてのみ意図されている。明確に否定されていない限りは、任意の例示的な実施形態の選択された特徴を追加の実施形態に組み込むことができる。

【0028】

図１Ａは、ウエハカセット１００と、本開示のある実施形態に従って提供される環境調整物質ホルダ１０２と、を含むウエハキャリア１３０を示す。図１Ｂは、開いた構成にある図１Ａの環境調整物質ホルダ１０２を示す。

【0029】

ウエハキャリア１３０は、半導体ウエハをそれらウエハの処理前、処理中、および処理後に保管または輸送するための容器であり得る。一実施形態では、ウエハキャリア１３０はウエハ保管ユニットである。ウエハキャリア１３０はウエハカセット１００以外に外側シェル１３２を含む。外側シェル１３２は、図１Ａに示す外側シェル１３２の下側部分に取り付けられてウエハカセット１００を包囲するように構成されている、上側部分（図示せず）を含み得る。

【0030】

ウエハカセット１００は、ウエハキャリア１３０内に複数のウエハを維持するように構成されている。ウエハカセット１００は、ウエハキャリアと共に使用される２５ウエハのカセットなどの、任意の好適なウエハカセットであり得る。ウエハは、ウエハカセット１００の壁によって画定される内部空間１２２内にある、ウエハカセット１００内に維持され得る。ウエハカセット１００はハンドル１０４を含む。ハンドル１０４は、ウエハカセット１００の壁のうちの１つの外側表面１２４上に配設され得る。

【0031】

ウエハカセット１００はポリマー材料で製作され得る。ある実施形態では、ポリマー材料は、低い水蒸気透過率を有する溶融加工可能なポリマーである。ある実施形態では、ポリマー材料はポリオレフィンである。ある実施形態では、ポリマー材料は、ポリオレフィン（例えば高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）もしくはポリプロピレン（ＰＰ））、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ペルフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）、または任意の他の好適な溶融加工可能なポリマー、およびこれらの組合せから選択される材料である。ある実施形態では、ポリマー材料はポリプロピレンである。

【0032】

ハンドル１０４はウエハカセット１００上に設けられたハンドルである。ハンドル１０４は、ウエハカセット１００の外側表面１２４から延在する１つまたは複数のハンドル支持部１２６と、ハンドル支持部１２６の端部に外側表面１２４から離れて位置付けられているクロスバー１２８と、を含み得る。ある実施形態では、ハンドル１０４は、ウエハカセット１００から延在する３つのハンドル支持部１２６と、これら３つのハンドル支持部１２６を連結してハンドル１０４を形成するクロスバー１２８と、を含む。ある実施形態では、隣り合う各ハンドル支持部１２６間の距離が同じになるようにハンドル支持部１２６を均等に分散してもよく、例えば３つのハンドル支持部１２６が存在する場合、２番目のハンドル支持部１２６は、１番目および３番目のハンドル支持部１２６の間の中間点にあり得る。

【0033】

環境調整物質ホルダ１０２はハンドル１０４においてウエハカセット１００に固止されており、環境調整物質（図示せず）を、例えば、限定するものではないが環境調整物質を収容した１つまたは複数のパケットを、維持するように構成されている。環境調整物質ホルダ１０２はベースプレート１０６とタブ１０８とを含む。チャネル１１０はベースプレート１０６においてタブ１０８同士の間に形成される。タブ１０８の各々は、ウエハカセット１００のハンドル１０４とのスナップ嵌合を形成するように構成されている保持機構１１２を含む。各保持機構１１２は、ハンドル１０４内への環境調整物質ホルダ１０２の挿入を可能にするように構成されている傾斜表面１１４と、ハンドル１０４との接触によって環境調整物質ホルダ１０２を所定位置に保持するように構成されている係合表面１１６と、を含み得る。タブ１０８とベースプレート１０６は組み合わされて、それらの間に環境調整物質格納空間１１８を画定する。環境調整物質格納空間１１８は、図１Ａに示すようにベースプレート１０６から延在するかまたはタブ１０８から延在するかのいずれかである、環境調整物質保持タブ１２０によって更に画定される。環境調整物質（図示せず）は、環境調整物質格納空間１１８のうちの１つまたは複数に含まれ得る。ある実施形態では、環境調整物質に加えてまたはその代わりに、相対湿度（ＲＨ）指示器カードを含めることができる。

【0034】

環境調整物質（図示せず）は、ウエハキャリア１３０内の環境を調整するために使用できる物質を含む。環境調整物質は例えば、ウエハキャリア１３０内の相対湿度、またはイオンの存在量もしくは濃度、または揮発性有機化合物（ＶＯＣ）の濃度のうちの１つまたは複数を調整するための物質であり得る。環境調整物質は、環境調整物質ホルダ１０２を含むウエハキャリア１３０内から水分を吸収することのできる乾燥剤を含み得る。環境調整物質はイオン吸収剤を含み得る。環境調整物質はＶＯＣ吸収剤を含み得る。他の実施形態では、環境調整物質は、水分およびイオンの吸収などの、複数の機能を提供し得る。好適な環境調整物質としては、非限定的な例として、シリカゲル、ベントナイト粘土、活性炭、硫酸カルシウム、塩化カルシウム、ゼオライト、または任意の他の好適な環境調整物質を挙げることができる。

【0035】

いくつかの実施形態では、１つまたは複数の環境調整物質が、例えば図１Ｃに示すパケット１０１などのパケット内に収容され得る。いくつかの実施形態では、環境調整物質は、環境調整物質を包む多孔質の紙または布などの、水蒸気透過性材料内にパッケージングされ得る。パッケージング材料および環境調整物質は、ウエハキャリア内のウエハに影響するガス放出または粒子生成を低減または回避するように選択され得る。他の実施形態では、環境調整物質の代わりに環境調整物質の固体片が使用され得る。

【0036】

ベースプレート１０６は環境調整物質ホルダ１０２の一部を形成する。ベースプレート１０６は全体に平面状の構造を有し得る。チャネル１１０は、ベースプレート１０６の、ハンドル１０４に含まれるハンドル支持部１２６のうちの１つに対応する位置に形成され得る。ある実施形態では、ハンドル１０４に含まれるハンドル支持部１２６ごとにチャネル１１０を設けることができる。ある実施形態では、最も外側のハンドル支持部１２６同士の間にあるハンドル支持部１２６ごとにチャネル１１０を設けることができる。ベースプレート１０６は、環境調整物質格納空間１１８の反対側に平坦な表面を有し得る。ベースプレート１０６は、ウエハカセット１００の外側表面１２４に沿って摺動できるように構成され得る。ある実施形態では、ベースプレート１０６は、ウエハカセット１００との接触に適合性のある材料を含み得る。適合性のある材料は、ウエハカセット１００の材料と接触したときの粒子生成を低減するように選択された、好適なポリマー材料であり得る。ある実施形態では、適合性のある材料は、ポリオレフィン、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ペルフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）、または任意の他の好適な溶融加工可能なポリマー、およびこれらの組合せから選択される材料である。ある実施形態では、適合性のある材料はポリプロピレンである。ある実施形態では、環境調整物質ホルダ１０２全体が適合性のある材料で製作され得る。ある実施形態では、環境調整物質ホルダ１０２は単一の部片として形成され得る。ある実施形態では、環境調整物質ホルダ１０２は、例えば射出成形、三次元プリント、機械加工、熱成形、プレス加工、または任意の他の好適な製造方法のうちの、１つまたは複数によって形成され得る。

【0037】

タブ１０８はベースプレート１０６から離れるように延び、タブ１０８は延びるにつれてベースプレート１０６に向かって湾曲し、その結果タブ１０８の各々は、ベースプレート１０６の表面の反対側の表面を見せる。ある実施形態では、湾曲部は鋭角である。ある実施形態では、ベースプレート１０８に向かうタブ１０８の湾曲部は直角である。ベースプレート１０６に面するタブ１０８の表面とベースプレート１０６の反対側の表面を離隔させて、タブ１０８の各々とベースプレート１０６の対応する部分との間に、環境調整物質格納空間１１８を画定することができる。環境調整物質ホルダ１０２をウエハカセット１００のハンドル１０４に挿入するとき、タブ１０８はウエハカセット１００の外側表面１２４から離れるように位置付けられ、かつ、それらがハンドル１０４のクロスバー１２８に近くなるように外向きに位置付けられる。

【0038】

チャネル１１０はベースプレート１０６に形成される開口部である。チャネル１１０は、環境調整物質ホルダ１０２がハンドル１０４に挿入される間にチャネル１１０の位置がハンドル１０４のハンドル支持部１２６に対応するように位置付けられ得る。チャネル１１０はハンドル支持部１２６の厚さよりも大きい幅を有し得る。チャネル１１０はベースプレート１０６の長手方向の一部に延びていてもよく、このときベースプレート１０６の一部はベースプレート１０６のチャネル１１０の両側にある部分を接続している。チャネル１１０はベースプレート１０６をベースプレートの一方側で分割することができ、そこでタブ１０８はベースプレート１０６から延在しベースプレート１０６へと戻るように湾曲する。チャネル１１０によって分割されるベースプレート１０６のこの一方側は、環境調整物質ホルダ１０２がハンドル１０４と組み合わされるときにハンドル１０４に挿入される挿入端部であり得る。

【0039】

タブ１０８には保持機構１１２が設けられている。ある実施形態では、環境調整物質ホルダ１０２の全てのタブ１０８に保持機構１１２を設けることができる。ある実施形態では、環境調整物質ホルダのタブ１０８のうちのただ１つまたはいくつかに、保持機構１１２を設けることができる。保持機構１１２は、環境調整物質ホルダ１０２をハンドル１０４に挿入すること、および環境調整物質ホルダ１０２が挿入されたらそれをハンドル１０４に固止することを可能にするように構成されている。保持機構はハンドル１０４のクロスバー１２８に係合し得る。

【0040】

保持機構１１２は傾斜表面１１４を各々含む。傾斜表面１１４は、環境調整物質ホルダ１０２がハンドル１０４に挿入されるときにハンドル１０４と接触するように構成されている。傾斜表面１１４はハンドル１０４とクロスバー１２８において接触し得る。環境調整物質ホルダ１０２がハンドル１０４に挿入されるとき、傾斜表面１１４とハンドル１０４の接触によって傾斜表面１１４が押し下げられ、保持機構１１２が屈曲し、タブ１０８がハンドル１０４を通ることができるようになる。

【0041】

保持機構１１２は係合表面１１６を各々含む。係合表面１１６は、係合表面１１６とハンドル１０４の間の接触によって環境調整物質ホルダ１０２が所定位置に維持されるような様式で、ハンドル１０４と接触するように構成されている。係合表面１１６は、傾斜表面１１４を例えば手によってまたは器具を使用して押し下げることによって、ハンドル１０４との接触から離すことができる。傾斜表面１１４が押し下げられその結果係合表面１１６が接触ハンドル１０４との接触から離れると、環境調整物質ホルダ１０２をハンドル１０４から取り出すことができる。ハンドル１０４から環境調整物質ホルダ１０２を取り外すことによって、例えば、環境調整物質の交換が可能になり得る、または、ウエハカセット１００を運搬するもしくはそれ以外で取り回すためにハンドル１０４を使用することが可能になり得る。

【0042】

環境調整物質格納空間１１８は、タブ１０８の各々とベースプレート１０６のそのタブ１０８に対向する部分とによって画定される。環境調整物質格納空間１１８の各々は、環境調整物質、または例えば１つもしくは複数の環境調整物質を収容したパケット、例えばパケット１０１などのうちの、１つまたは複数を収容するのに十分な大きさの空間である。環境調整物質または環境調整物質パケットは、環境調整物質格納空間１１８内に収容される。いくつかの実施形態では、環境調整物質または環境調整物質パケットは、ベースプレート１０６の互いに対向する表面および１つまたは複数のタブ１０８と接触することによって、格納空間１１８内に挟持される。

【0043】

環境調整物質保持タブ１２０は、環境調整物質格納空間１１８を更に画定するように、ベースプレート１０６およびタブ１０８の一方または両方から延在し得る。環境調整物質保持タブ１２０は、ベースプレート１０６の平面に対して垂直な方向に延在し得る。環境調整物質保持タブ１２０は、タブ１０８の各々の周縁部またはその近くに形成され得る。環境調整物質保持タブ１２０は、タブ１０８のうちの１つに対置されるベースプレート１０６の部分の周縁部またはその近くに形成され得る。環境調整物質保持タブ１２０は、ベースプレート１０６とタブ１０８の間の距離以下の高さまで延在し得る。

【0044】

図１Ｂは、展開状態の環境調整物質ホルダ１０２を示す。環境調整物質ホルダ１０２はベースプレート１０６とタブ１０８とを含む。チャネル１１０はベースプレート１０６においてタブ１０８同士の間に形成される。タブ１０８の各々は、ウエハカセット１００のハンドル１０４とのスナップ嵌合を形成するように構成されている保持機構１１２を含む。各保持機構１１２は、ハンドル１０４内への環境調整物質ホルダ１０２の挿入を可能にするように構成されている傾斜表面１１４と、ハンドル１０４との接触によって環境調整物質ホルダ１０２を所定位置に保持するように構成されている係合表面１１６と、を含み得る。環境調整物質ホルダ１０２が畳まれた状態にあるとき、タブ１０８とベースプレート１０６は組み合わされて、それらの間に環境調整物質格納空間１１８を画定する。環境調整物質格納空間１１８は、図１Ａに示すようにベースプレート１０６から延在するかまたはタブ１０８から延在するかのいずれかである、環境調整物質保持タブ１２０によって更に画定され得る。

【0045】

図１Ｂに示すように、環境調整物質ホルダ１０２は、タブ１０８の各々をベースプレート１０６に連結するヒンジ１３８を含む。ヒンジは、複数の可撓性領域１３４と、可撓性領域１３４のうちの２つの間にある少なくとも１つの剛性領域１３６と、を含む。可撓性領域１３４は例えば、ベースプレート１０６、タブ１０８、または剛性領域１３６の厚さと比較して、相対的に小さい厚さを有する領域であり得る。タブ１０８は、タブ１０８の面１４０がベースプレート１０６の面１４２に対置されるように、ヒンジ１３８を中心に曲げることができる。環境調整物質ホルダ１０２は、例えば、熱成形、環境調整物質ホルダに含まれる機械的保持機構、または、例えばウエハカセット１００のハンドル１０４への環境調整物質ホルダ１０２の挿入といった外的保持によって、この曲げられた位置に固定され得る。

【0046】

環境調整物質ホルダ１０２は、１つまたは複数のウエハカセットコンタクト１４４を含み得る。ウエハカセットコンタクトはベースプレート１０６の面１４２の反対側でベースプレート１０６から突出しており、環境調整物質ホルダ１０２がウエハカセット１００のハンドル１０４に挿入されると、ウエハカセットコンタクト１４２はウエハカセット１００の外側表面１２４と接触するようになっている。ウエハカセットコンタクト１４２は可撓性部材であり得る。ウエハカセットコンタクトは、環境調整物質ホルダ１０２をハンドル１０４とウエハカセット１００の外側表面１２４との間で更に保持する機械的フィットをもたらし得る。

【0047】

図２Ａは、本開示の別の実施形態に従って提供される環境調整物質ホルダ１００２を含むウエハカセット１００を示す。ウエハカセット１００については図１Ａを参照して上に詳細に記載されている。図２Ｂ～図２Ｄは、環境調整ホルダ１００２の様々な図を示す。

【0048】

図２Ａに示すように、環境調整物質ホルダ１００２は、ハンドル１０４においてウエハカセット１００に固止される。環境調整物質ホルダ１００２は、環境調整物質（図示せず）を、例えば、限定するものではないが環境調整物質を収容した１つまたは複数のパケットを、維持するように構成されている。更に、環境調整物質ホルダ１００２は、例えば図２Ｅに示す湿度指示器カード１００１などの湿度指示器カードを維持するように構成されている、窓１００４を含む。

【0049】

環境調整物質ホルダ１００２は、ベースプレート１００６とタブ１００８とを含む。チャネル１０１０はベースプレート１００６においてタブ１００８同士の間に形成される。タブ１００８の各々は、ウエハカセット１００のハンドル１０４とのスナップ嵌合を形成するように構成されている保持機構１０１２を含む。各保持機構１０１２は、ハンドル１０４内への環境調整物質ホルダ１０２の挿入を可能にするように構成されている傾斜表面１０１４と、ハンドル１０４との接触によって環境調整物質ホルダ１００２を所定位置に保持するように構成されている係合表面１０１６と、を含み得る。タブ１００８およびベースプレート１００６は組み合わされて、それらの間に環境調整物質格納空間１０１８を画定する。環境調整物質格納空間１０１８は、図２Ａおよび図２Ｄに示すようにベースプレート１００６から延在するかまたはタブ１００８から延在するかのいずれかである、環境調整物質保持タブ１０２０によって更に画定される。

【0050】

窓１００４は、タブ１００８の外側表面１０５４に画定される開口１０４６と、窪んだ背面プレート１０４８と、を含む。開口１０４６は、湿度指示器カードを中に受け入れるのに適した形状およびサイズであり得る。図２Ａおよび図２Ｃ～図２Ｄに示すように、開口１０４６は全体に矩形である。湿度指示器カードは、図２Ｂに示すような、タブ１００８の外側表面１０５４に画定される１つまたは複数のカード保持機構１０５２によって保持され得る。カード保持機構１０５２は、タブ１００８の外側表面に画定されたタブを含み得る。タブと窪んだ背面プレート１０４８の双方が連携して、窪んだ背面プレートの上側表面とタブの下側表面との間にスロットを画定する。スロットは、例えば図２Ｅに示す湿度指示器カード１００１などの湿度指示器カードの周縁縁部または隅角を受け入れ、これを保持するように構成されている。例示的な湿度指示器カードは、異なる湿度レベルと関連付けられる異なる色または異なる色合いに変わるように適合されている。カード保持機構１０５２によって保持されると、湿度指示器カードを窓１００４から見ることができる。開口１０４６は、湿度指示器カードを中に受け入れるのに適した形状およびサイズであり得る。図２Ａおよび図２Ｃ～図２Ｄに示すように、開口１０４６は円形である。

【0051】

ベースプレート１００６は全体に平面状の構造を有し得る。ベースプレート１００６は、環境調整物質格納空間１０１８の反対側に平坦な表面を有し得る。ベースプレート１００６は、ウエハカセット１００の外側表面１２４に沿って摺動できるように構成され得る。ある実施形態では、ベースプレート１００６は、ウエハカセット１００との接触に適合性のある材料から構成され得る。適合性のある材料は、ウエハカセット１００の材料と接触したときの粒子生成を低減するように選択された、好適なポリマー材料であり得る。ある実施形態では、適合性のある材料は、ポリオレフィン、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ペルフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）、または任意の他の好適な溶融加工可能なポリマー、およびこれらの組合せから選択される材料である。ある実施形態では、適合性のある材料はポリプロピレンである。ある実施形態では、環境調整物質ホルダ１００２全体が適合性のある材料で製作され得る。ある実施形態では、環境調整物質ホルダ１００２は単一の部片として形成され得る。ある実施形態では、環境調整物質ホルダ１００２は、例えば射出成形、三次元プリント、機械加工、熱成形、プレス加工、または任意の他の好適な製造方法のうちの、１つまたは複数によって形成され得る。

【0052】

タブ１００８はベースプレート１００６から離れるように延び、タブ１００８は延びるにつれ再びベースプレート１００６に向かって畳まれるかまたは湾曲するように構成されており、その結果タブ１００８の各々は、ベースプレート１００６が畳まれたまたは閉じた状態にあるとき、ベースプレート１００６の表面の反対側の表面を見せる。ある実施形態では、折り目または湾曲部は鋭角である。ある実施形態では、ベースプレート１００６に向かうタブ１００８の湾曲部または折り目は直角である。畳まれたまたは閉じた状態では、図２Ａおよび図２Ｄに示すように、ベースプレート１００６に面するタブ１００８の表面とベースプレート１００６の反対側の表面を離隔させて、タブ１００８の各々とベースプレート１００６の対応する部分との間に、環境調整物質格納空間１０１８を画定することができる。環境調整物質ホルダ１００２をウエハカセット１００のハンドル１０４に挿入するとき、タブ１００８はウエハカセット１００の外側表面１２４から離れるように位置付けられ、かつ、タブ１００８がハンドル１０４のクロスバー１２８に近くなるように外向きに位置付けられる。

【0053】

チャネル１０１０はベースプレート１００６に形成される開口部である。チャネル１０１０は、ベースプレート１００６の、ハンドル１０４に含まれるハンドル支持部１２６のうちの１つに対応する位置に形成され得る。ある実施形態では、最も外側のハンドル支持部１２６同士の間にあるハンドル支持部１２６ごとにチャネル１０１０を設けることができる。チャネル１０１０は、環境調整物質ホルダ１００２がハンドル１０４に挿入される間にその位置がハンドル１０４のハンドル支持部１２６に対応するように位置付けられ得る。チャネル１０１０はハンドル支持部１２６の厚さよりも大きい幅を有し得る。チャネル１０１０はベースプレート１００６の長手方向の一部に延びていてもよく、このときベースプレート１００６の一部はベースプレート１００６のチャネル１０１０の両側にある部分を接続している。チャネル１０１０はベースプレート１００６をベースプレートの一方側で分割することができ、そこでタブ１００８はベースプレート１００６から延在しベースプレート１００６へと戻るように湾曲する。チャネル１０１０によって分割されるベースプレート１００６のこの一方側は、環境調整物質ホルダ１００２がハンドル１０４と組み合わされるときにハンドル１０４に挿入される挿入端部であり得る。

【0054】

タブ１００８には保持機構１０１２が設けられている。ある実施形態では、図２Ａ～図２Ｄに示すように、環境調整物質ホルダ１００２の全てのタブ１００８に保持機構１０１２を設けることができる。別の実施形態では、環境調整物質ホルダのタブ１００８のうちのただ１つまたはいくつかに、保持機構１０１２を設けることができる。保持機構１０１２は、環境調整物質ホルダ１００２をハンドル１０４に挿入すること、および環境調整物質ホルダ１０２が挿入されたらそれをハンドル１０４に固止することを可能にするように構成されている。保持機構１０１２はハンドル１０４のクロスバー１２８に係合し得る。いくつかの実施形態では、保持機構１０１２は、ウエハカセット１００のハンドル１０４とスナップ嵌合を形成するように構成されている。

【0055】

各保持機構１０１２は、ハンドル１０４内への環境調整物質ホルダ１００２の挿入を可能にするように構成されている傾斜表面１０１４と、ハンドル１０４との接触によって環境調整物質ホルダ１０２を所定位置に保持するように構成されている係合表面１０１６と、を含み得る。傾斜表面１０１４はハンドル１０４とクロスバー１２８において接触し得る。環境調整物質ホルダ１００２がハンドル１０４に挿入されるとき、傾斜表面１０１４とハンドル１０４の接触によって傾斜表面１０１４が押し下げられ、保持機構１０１２が屈曲し、タブ１００８がハンドル１０４を通過できるようになる。

【0056】

係合表面１０１６は、係合表面１０１６とハンドル１０４の間の接触によって環境調整物質ホルダ１００２が所定位置に維持されるような様式で、ハンドル１０４と接触するように構成されている。係合表面１０１６は、傾斜表面１０１４を例えば手によってまたは器具を使用して押し下げることによって、ハンドル１０４との接触から離すことができる。傾斜表面１０１４が押し下げられその結果係合表面１０１６が接触ハンドル１０４との接触から離れると、環境調整物質ホルダ１００２をハンドル１０４から取り出すことができる。ハンドル１０４から環境調整物質ホルダ１００２を取り外すことによって、例えば、任意の環境調整物質および／もしくは湿度指示器カードの交換が可能になり得る、または、ウエハカセット１００を運搬するもしくはそれ以外で取り回すためにハンドル１０４を使用することが可能になり得る。

【0057】

環境調整物質格納空間１０１８は、タブ１００８の各々と、ベースプレートが図２Ａおよび図２Ｄに示すような畳まれた状態にあるときにそのタブ１００８に対向するベースプレート１００６の部分と、によって画定される。環境調整物質格納空間１０１８の各々は、環境調整物質、または例えば図１Ｃに示すパケット１０１などの１つもしくは複数の環境調整物質を収容したパケットのうちの、１つまたは複数を収容するのに十分な大きさの空間である。例示的な環境調整物質については、図１Ａ～図１Ｃを参照して上で詳細に検討されている。環境調整物質または環境調整物質パケットは、環境調整物質格納空間１０１８内に収容される。いくつかの実施形態では、環境調整物質または環境調整物質パケットは、ベースプレート１００６の互いに対向する表面および１つまたは複数のタブ１００８と接触することによって、格納空間１０１８内に挟持される。

【0058】

環境調整物質保持タブ１０２０は、環境調整物質格納空間１０１８を更に画定するように、ベースプレート１００６およびタブ１００８の一方または両方から延在し得る。環境調整物質保持タブ１０２０は、ベースプレート１００６の平面に対して垂直な方向に延在し得る。環境調整物質保持タブ１０２０は、タブ１００８の各々の周縁部またはその近くに形成され得る。環境調整物質保持タブ１０２０は、タブ１００８のうちの１つに対置されるベースプレート１００６の部分の周縁部またはその近くに形成され得る。環境調整物質保持タブ１０２０は、ベースプレート１００６とタブ１００８の間の距離以下の高さまで延在し得る。

【0059】

図２Ｂ～図２Ｄはそれぞれ、展開状態、途中まで畳まれた状態、および畳まれた状態の、環境調整ホルダ１００２を示す。図２Ｂ～図２Ｄに示すように、環境調整物質ホルダ１００２は、タブ１００８の各々をベースプレート１００６に連結するヒンジ１０３８を含む。ヒンジは、複数の可撓性領域１０３４と、可撓性領域１０３４のうちの２つの間にある少なくとも１つの剛性領域１０３６と、を含む。可撓性領域１０３４は例えば、ベースプレート１００６、タブ１００８、または剛性領域１０３６の厚さと比較して、相対的に小さい厚さを有する領域であり得る。タブ１００８は、タブ１００８の面１０４０がベースプレート１００６の面１０４２に対置されるように、ヒンジ１０３８を中心に曲げることができる。環境調整物質ホルダ１００２は、例えば、熱成形、環境調整物質ホルダに含まれる機械的保持機構、または、例えばウエハカセット１００のハンドル１０４への環境調整物質ホルダ１００２の挿入といった外的保持によって、この曲げられた位置に固定され得る。

【0060】

環境調整物質ホルダ１００２は、１つまたは複数のウエハカセットコンタクト１０４４を含み得る。ウエハカセットコンタクトはベースプレート１００６の面１０４２の反対側でベースプレート１００６から突出しており、環境調整物質ホルダ１００２がウエハカセット１００のハンドル１０４に挿入されると、ウエハカセットコンタクト１０４２はウエハカセット１００の外側表面１２４と接触するようになっている。ウエハカセットコンタクト１０４４は可撓性部材であり得る。ウエハカセットコンタクト１０４４は、環境調整物質ホルダ１０２をハンドル１０４とウエハカセット１００の外側表面１２４との間で更に保持する機械的フィットをもたらし得る。

【0061】

図３Ａは、本開示の別の実施形態に従って提供される環境調整物質ホルダ２００２を含むウエハカセット１００を示す。ウエハカセット１００については図１Ａを参照して上に詳細に記載されている。図２Ｂ～図２Ｄは、環境調整ホルダ２００２の様々な図を示す。

【0062】

図３Ａに示すように、環境調整物質ホルダ２００２は、ハンドル１０４においてウエハカセット１００に固止される。環境調整物質ホルダ２００２は、環境調整物質（図示せず）を、例えば、限定するものではないが環境調整物質を収容した１つまたは複数のパケットを、維持するように構成されている。更に、環境調整物質ホルダ２００２は、例えば図３Ｅに示す湿度指示器カード２００１などの湿度指示器カードを維持するように構成されている、窓２００４を含む。

【0063】

環境調整物質ホルダ２００２はベースプレート２００６とタブ２００８とを含む。チャネル２０１０はベースプレート２００６においてタブ２００８同士の間に形成される。タブ２００８の各々は、ウエハカセット１００のハンドル１０４とのスナップ嵌合を形成するように構成されている保持機構２０１２を含む。各保持機構２０１２は、ハンドル１０４内への環境調整物質ホルダ１０２の挿入を可能にするように構成されている傾斜表面２０１４と、ハンドル１０４との接触によって環境調整物質ホルダ２００２を所定位置に保持するように構成されている係合表面２０１６と、を含み得る。タブ２００８とベースプレート２００６は組み合わされて、それらの間に環境調整物質格納空間２０１８を画定する。環境調整物質格納空間２０１８は、図２Ａおよび図２Ｄに示すようにベースプレート２００６から延在するかまたはタブ２００８から延在するかのいずれかである、環境調整物質保持タブ２０２０によって更に画定される。

【0064】

窓２００４は、タブ１００８の外側表面１０５４に画定される開口２０４６と、窪んだ背面プレート２０４６と、を含む。開口２０４６は、湿度指示器カードを中に受け入れるのに適した形状およびサイズであり得る。図３Ａおよび図３Ｃ～図３Ｄに示すように、開口２０４６は円形である。湿度指示器カードは、図２Ｂに示すような、タブ１００８の外側表面１０５４に画定される１つまたは複数のカード保持機構１０５２によって保持され得る。カード保持機構１０５２は、タブ１００８の外側表面に画定された１つまたは複数のタブを含み得る。タブと窪んだ背面プレート１０４８の双方が連携して、窪んだ背面プレート１０４８の上側表面とタブの下側表面との間にスロットを画定する。スロットは、例えば図３Ｅに示す湿度指示器カード２００１などの湿度指示器カードの周縁縁部を受け入れ、これを保持するように構成されている。例示的な湿度指示器カードは、異なる湿度レベルと関連付けられる異なる色または異なる色合いに変わるように適合されている。カード保持機構１０５２によって保持されると、湿度指示器カードを窓１００４から見ることができる。

【0065】

ベースプレート２００６は全体に平面状の構造を有し得る。ベースプレート２００６は、環境調整物質格納空間２０１８の反対側に平坦な表面を有し得る。ベースプレート２００６は、ウエハカセット１００の外側表面１２４に沿って摺動できるように構成され得る。ある実施形態では、ベースプレート２００６は、ウエハカセット１００との接触に適合性のある材料から構成され得る。適合性のある材料は、ウエハカセット１００の材料と接触したときの粒子生成を低減するように選択された、好適なポリマー材料であり得る。ある実施形態では、適合性のある材料は、ポリオレフィン、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ペルフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）、または任意の他の好適な溶融加工可能なポリマー、およびこれらの組合せから選択される材料である。ある実施形態では、適合性のある材料はポリプロピレンである。ある実施形態では、環境調整物質ホルダ２００２全体が適合性のある材料で製作され得る。ある実施形態では、環境調整物質ホルダ２００２は単一の部片として形成され得る。ある実施形態では、環境調整物質ホルダ２００２は、例えば射出成形、三次元プリント、機械加工、熱成形、プレス加工、または任意の他の好適な製造方法のうちの、１つまたは複数によって形成され得る。

【0066】

タブ２００８はベースプレート２００６から離れるように延び、タブ２００８は延びるにつれ再びベースプレート２００６に向かって畳まれるかまたは湾曲するように構成されており、その結果タブ２００８の各々は、ベースプレート２００６が畳まれたまたは閉じた状態にあるとき、ベースプレート２０６の表面の反対側の表面を見せる。ある実施形態では、折り目または湾曲部は鋭角である。ある実施形態では、ベースプレート２００６に向かうタブ２００８の湾曲部または折り目は直角である。畳まれたまたは閉じた状態では、図２Ａおよび図２Ｄに示すように、ベースプレート２００６に面するタブ２００８の表面とベースプレート２００６の反対側の表面を離隔させて、タブ２００８の各々とベースプレート２００６の対応する部分との間に、環境調整物質格納空間２０１８を画定することができる。環境調整物質ホルダ２００２をウエハカセット１００のハンドル１０４に挿入するとき、タブ２００８はウエハカセット１００の外側表面１２４から離れるように位置付けられ、かつ、タブ２００８がハンドル１０４のクロスバー１２８に近くなるように外向きに位置付けられる。

【0067】

チャネル２０１０はベースプレート２００６に形成される開口部である。チャネル２０１０は、ベースプレート２００６の、ハンドル１０４に含まれるハンドル支持部１２６のうちの１つに対応する位置に形成され得る。ある実施形態では、最も外側のハンドル支持部１２６同士の間にあるハンドル支持部１２６ごとにチャネル２０１０を設けることができる。チャネル２０１０は、環境調整物質ホルダ２００２がハンドル１０４に挿入される間にその位置がハンドル１０４のハンドル支持部１２６に対応するように位置付けられ得る。チャネル２０１０はハンドル支持部１２６の厚さよりも大きい幅を有し得る。チャネル２０１０はベースプレート２００６の長手方向の一部に延びていてもよく、このときベースプレート２００６の一部はベースプレート２００６のチャネル２０１０の両側にある部分を接続している。チャネル２０１０はベースプレート２００６をベースプレートの一方側で分割することができ、そこでタブ２００８はベースプレート２００６から延在しベースプレート２００６へと戻るように湾曲する。チャネル２０１０によって分割されるベースプレート２００６のこの一方側は、環境調整物質ホルダ２００２がハンドル１０４と組み合わされるときにハンドル１０４に挿入される挿入端部であり得る。

【0068】

タブ２００８には保持機構２０１２が設けられている。ある実施形態では、図３Ａ～図３Ｄに示すように、環境調整物質ホルダ２００２の全てのタブ２００８上に保持機構２０１２を設けることができる。別の実施形態では、環境調整物質ホルダのタブ２００８のうちのただ１つまたはいくつかに、保持機構２０１２を設けることができる。保持機構２０１２は、環境調整物質ホルダ２００２をハンドル１０４に挿入すること、および環境調整物質ホルダ１０２が挿入されたらそれをハンドル１０４に固止することを可能にするように構成されている。保持機構２０１２はハンドル１０４のクロスバー１２８に係合し得る。いくつかの実施形態では、保持機構２０１２は、ウエハカセット１００のハンドル１０４とスナップ嵌合を形成するように構成されている。

【0069】

各保持機構２０１２は、ハンドル１０４内への環境調整物質ホルダ２００２の挿入を可能にするように構成されている傾斜表面２０１４と、ハンドル１０４との接触によって環境調整物質ホルダ１０２を所定位置に保持するように構成されている係合表面２０１６と、を含み得る。傾斜表面２０１４はハンドル１０４とクロスバー１２８において接触し得る。環境調整物質ホルダ２００２がハンドル１０４に挿入されるとき、傾斜表面２０１４とハンドル１０４の接触によって傾斜表面２０１４が押し下げられ、保持機構２０１２が屈曲し、タブ２００８がハンドル１０４を通過できるようになる。

【0070】

係合表面２０１６は、係合表面２０１６とハンドル１０４の間の接触によって環境調整物質ホルダ２００２が所定位置に維持されるような様式で、ハンドル１０４と接触するように構成されている。係合表面２０１６は、傾斜表面２０１４を例えば手によってまたは器具を使用して押し下げることによって、ハンドル１０４との接触から離すことができる。傾斜表面２０１４が押し下げられその結果係合表面２０１６が接触ハンドル１０４との接触から離れると、環境調整物質ホルダ２００２をハンドル１０４から取り出すことができる。ハンドル１０４から環境調整物質ホルダ２００２を取り外すことによって、例えば、任意の環境調整物質および／もしくは湿度指示器カードの交換が可能になり得る、または、ウエハカセット１００を運搬するもしくはそれ以外で取り回すためにハンドル１０４を使用することが可能になり得る。

【0071】

環境調整物質格納空間２０１８は、タブ２００８の各々と、ベースプレートが図３Ａおよび図３Ｄに示すような畳まれた状態にあるときにそのタブ２００８に対向するベースプレート２００６の部分と、によって画定される。環境調整物質格納空間２０１８の各々は、環境調整物質、または例えば図１Ｃに示すパケット１０１などの１つもしくは複数の環境調整物質を収容したパケットのうちの、１つまたは複数を収容するのに十分な大きさの空間である。例示的な環境調整物質については、図１Ａ～図１Ｃを参照して上で詳細に検討されている。環境調整物質または環境調整物質パケットは、環境調整物質格納空間２０１８内に収容される。いくつかの実施形態では、環境調整物質または環境調整物質パケットは、ベースプレート２００６の互いに対向する表面および１つまたは複数のタブ２００８と接触することによって、格納空間２０１８内に挟持される。

【0072】

環境調整物質保持タブ２０２０は、環境調整物質格納空間２０１８を更に画定するように、ベースプレート２００６およびタブ２００８の一方または両方から延在し得る。環境調整物質保持タブ２０２０は、ベースプレート２００６の平面に対して垂直な方向に延在し得る。環境調整物質保持タブ２０２０は、タブ２００８の各々の周縁部またはその近くに形成され得る。環境調整物質保持タブ２０２０は、タブ２００８のうちの１つに対置されるベースプレート２００６の部分の周縁部またはその近くに形成され得る。環境調整物質保持タブ２０２０は、ベースプレート２００６とタブ２００８の間の距離以下の高さまで延在し得る。

【0073】

図３Ｂ～図３Ｄはそれぞれ、展開状態、途中まで畳まれた状態、および畳まれた状態の、環境調整ホルダ２００２を示す。図３Ｂ～図３Ｄに示すように、環境調整物質ホルダ２００２は、タブ２００８の各々をベースプレート２００６に連結するヒンジ２０３８を含む。ヒンジは、複数の可撓性領域２０３４と、可撓性領域２０３４のうちの２つの間にある少なくとも１つの剛性領域２０３６と、を含む。可撓性領域２０３４は例えば、ベースプレート２００６、タブ２００８、または剛性領域２０３６の厚さと比較して、相対的に小さい厚さを有する領域であり得る。タブ２００８は、タブ２００８の面２０４０がベースプレート１００６の面２０４２に対置されるように、ヒンジ２０３８を中心に曲げることができる。環境調整物質ホルダ２００２は、例えば、熱成形、環境調整物質ホルダに含まれる機械的保持機構、または、例えばウエハカセット１００のハンドル１０４への環境調整物質ホルダ２００２の挿入といった外的保持によって、この曲げられた位置に固定され得る。

【0074】

環境調整物質ホルダ２００２は、１つまたは複数のウエハカセットコンタクト２０４４を含み得る。ウエハカセットコンタクトはベースプレート２００６の面２０４２の反対側でベースプレート２００６から突出しており、環境調整物質ホルダ２００２がウエハカセット１００のハンドル１０４に挿入されると、ウエハカセットコンタクト２０４２はウエハカセット１００の外側表面１２４と接触する。ウエハカセットコンタクト２０４４は可撓性部材であり得る。ウエハカセットコンタクトは、環境調整物質ホルダ１０２をハンドル１０４とウエハカセット１００の外側表面１２４との間で更に保持する機械的フィットをもたらし得る。

【0075】

上記した実施形態は、ウエハカセットのハンドルと係合した環境調整物質ホルダに関する。環境調整物質ホルダは、本明細書に記載するように、ウエハキャリア内の環境条件を調整するために、ウエハカセットの他の領域または部分と係合され得る。

【0076】

図４Ａは、ウエハカセット２００と、本開示の別の実施形態に従って提供される環境調整物質ホルダ２０２と、を含むウエハキャリア２３０を示す。ウエハカセット２００は、ウエハキャリア２３０の外側シェル２３２内に受け入れられた状態で示されている。図４Ｂは、結合された環境調整物質ホルダ２０２を含むウエハカセット２００の一部の拡大図を示す。図４Ｃは、ウエハカセット２００から取り外されたときの環境調整物質ホルダ２０２を示す。ウエハカセット２００の図４Ｂに示す部分は、ウエハカセット２００の隅角におけるウエハカセット２００の全高である。

【0077】

ウエハカセット２００は、図１Ａを参照して本明細書に記載されているウエハカセット１００と同じ特徴を多く有する。更に、いくつかの実施形態では、ウエハカセット２００は、ウエハカセット２００の開放端２２４の隅角にまたはその近くに配置されている、開口２０４を含み得る。開口２０４は例えば、ウエハカセット２００に形成された穴、切り欠き、または凹部であり得る。環境調整物質ホルダ２０２は、ウエハカセット２００と外殻の間の間隙内に収容できるようなサイズであり得る。ウエハカセット２００は、ウエハキャリアと共に使用される２５ウエハのカセットなどの、任意の好適なウエハカセットであり得る。ウエハカセット２００はポリマー材料で製作され得る。ある実施形態では、ポリマー材料はポリオレフィンである。ある実施形態では、ポリマー材料は、高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ペルフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）、または任意の他の好適な溶融加工可能なポリマー、およびこれらの組合せから選択される材料である。ある実施形態では、ポリマー材料はポリプロピレンである。

【0078】

環境調整物質ホルダ２０２は、環境調整物質ホルダ本体２０６と、環境調整物質ホルダ本体２０６の第１の端部２１０にあるピン２０８と、環境調整物質ホルダ本体２０６の第２の端部２１４にある固止機構２１２と、環境調整物質ホルダ本体２０６上に配設されている環境調整物質保持部２１６と、を含む。環境調整物質保持部２１６は１つまたは複数のビーム２１８を含む。ビーム２１８は環境調整物質２２８を、環境調整物質保持部２１６に押し付けて保持することができる。

【0079】

環境調整物質ホルダ本体２０６は、ウエハカセット２００に沿ってウエハカセット２００の高さ方向に（ページに対して垂直に）延在する。環境調整物質ホルダ本体２０６によって、環境調整物質ホルダ２０２を互いから離隔された２つの別々の場所でウエハカセット２００に固止することが可能になり、この結果、環境調整物質保持部２１６をウエハカセット２００に対して固定された位置で固定できるようになる。ある実施形態では、環境調整物質ホルダ本体２０６は、それが設置される場所でウエハカセット２００に剛性を加えることができる。

【0080】

環境調整物質ホルダ本体２０６は、湾曲部分２２０と真っ直ぐな部分２２２とを含み得る。湾曲部分２２０は、ウエハカセット２００の外側表面２２６に形成された湾曲表面に対応し得る。真っ直ぐな部分２２２は、ウエハカセット２００の外側表面２２６に形成された平坦な表面に対応し得る。真っ直ぐな部分２２２は、真っ直ぐな部分２２２から外向きに延在する、１つまたは複数のリブ２３０を含み得る。１つまたは複数のリブ２３０は、真っ直ぐな部分２２２に対して縦または横方向に延在し得る。１つまたは複数のリブ２３０は、環境調整物質ホルダ２０２に追加の剛性を提供し得る。

【0081】

ピン２０８は、環境調整物質ホルダ本体２０６の第１の端部２１０に配置され得る。ピン２０８は、環境調整物質ホルダ本体２０６の第１の端部２１０をウエハカセット２００に固止するために使用され得る。ピン２０８は、ウエハカセット２００の開口２０４を通って延在し得るようなサイズであり得る。図４Ｂおよび図４Ｃに示す実施形態では、ピン２０８は、環境調整物質ホルダ本体２０６の真っ直ぐな部分２２２の端部に配置されている。ピン２０８は、開口２０４に押し通すことができるが加わる力がより弱いときには摩擦または機械的干渉によって開口２０４を通過するのに抵抗するようなサイズの、球根状の端部を有し得る。

【0082】

固止機構２１２は、環境調整物質ホルダ本体２０６の第２の端部２１４に配置され得る。第２の端部２１４は、環境調整物質ホルダ本体２０６の第１の端部２１０の反対側の端部であり得る。固止機構２１２は、例えば、フック、留め具（ｃａｔｃｈ）、または第２の端部２１４をウエハカセット２００に固止するのに適した他のそのような機構を含み得る。固止機構２１２は、ピン２０８が開口２０４に挿入されると、ウエハカセット２００の一部に係合して、環境調整物質ホルダ２０２をウエハカセット２００に沿って保持するように構成されている。固止機構２１２は、ウエハカセット２００に係合するのに適した任意の好適な形状を有し得る。

【0083】

環境調整物質保持部２１６は環境調整物質ホルダ本体２０６に含まれている。環境調整物質保持部２１６は、１つまたは複数の環境調整物質２２８を保持するように構成されている。環境調整物質保持部２１６は、環境調整物質ホルダ本体２０６の湾曲部分２２０と、１つまたは複数のビーム２１８と、を含み得る。１つまたは複数のビーム２１８はいずれも、環境調整物質保持部２１６から延在する可撓性部材である。１つまたは複数のビーム２１８の各々は、環境調整物質２２８を環境調整物質保持部２１６に少なくとも部分的に挟み付けるように構成されている。ビーム２１８と環境調整物質保持部２１６の残りの部分との間の空間には、環境調整物質２２８を収容し得る。ビーム２１８の各々が屈曲されていない状態にあるとき、ビーム２１８から対向する表面、例えば湾曲部分２２０までの距離は環境調整物質２２８の厚さよりも小さく、このため環境調整物質２２８の存在によってビーム２１８は偏向し、ビーム２１８によって対向する表面に向かうばね力がもたらされる。ある実施形態では、物質環境調整物質保持部２１６内に保持されることになる環境調整物質２２８ごとに、２つ以上のビーム２１８を使用することができる。

【0084】

環境調整物質２２８は、環境調整物質ホルダ２０２を含むウエハキャリア内から水分を吸収できる環境調整物質を含む。環境調整物質２２８は例えば、環境調整物質を包む多孔質の紙または布などの水蒸気透過性材料のパッケージであり得る。パッケージング材料および環境調整物質は、ウエハキャリア内のウエハに影響するガス放出または粒子生成を低減または回避するように選択され得る。環境調整物質は、非限定的な例として、シリカゲル、活性炭、硫酸カルシウム、塩化カルシウム、ゼオライト、または任意の他の好適な環境調整物質であり得る。ある実施形態では、環境調整物質２２８の代わりに環境調整物質の固体片が使用され得る。いくつかの実施形態では、例えば本明細書で図１Ｃを参照して記載されているようなパケット１０１などの１つのパケット内に、１つまたは複数の環境調整物質２２８を納めることができる。

【0085】

ある実施形態では、環境調整物質ホルダ２０２は単一の部片として形成され得る。ある実施形態では、環境調整物質ホルダ２０２は、例えば射出成形、三次元プリント、機械加工、熱成形、プレス加工、または任意の他の好適な製造方法のうちの、１つまたは複数によって形成され得る。環境調整物質ホルダ２０２は、ウエハカセット２００との接触に適合性のある材料を含み得る。適合性のある材料は、ウエハカセット２００の材料と接触したときの粒子生成を低減するように選択された、好適なポリマー材料であり得る。ある実施形態では、適合性のある材料はポリオレフィンである。ある実施形態では、適合性のある材料は、ポリオレフィン、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ペルフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）、または任意の他の好適な溶融加工可能なポリマー、およびこれらの組合せから選択される材料である。ある実施形態では、適合性のある材料はポリプロピレンである。ある実施形態では、環境調整物質ホルダ２０２全体が適合性のある材料で製作され得る。

【0086】

図４Ｃでは、ビーム２１８上に保持タブ２３２が見えている。保持タブ２３２はビーム２１８から外向きに延在する。ある実施形態では、保持タブ２３２は環境調整物質２２８と接触する。ある実施形態では、保持タブ２３２は、環境調整物質２２８が配置される空間をビーム２１８同士の間に部分的に画定する。

【0087】

図５Ａおよび図５Ｂは、ある実施形態に係る環境調整物質ホルダ３００を示す。環境調整物質ホルダ３００は、図５Ｂに示すウエハキャリア３１４と共に使用されるように構成されている。ウエハキャリア３１４は、図５Ｂに示す外側シェル３１６と、ウエハキャリア３１４を組み立てるときに外殻３１６内に置かれるウエハカセット３１８と、を含み得る。外殻３１６は隅角３２０を有する。

【0088】

環境調整物質ホルダ３００は２つ以上の環境調整物質保持部３０２を含む。環境調整物質保持部３０２の各々は、基部３０４と２つ以上のビーム３０６とを含む。環境調整物質保持部３０２の２つ以上のビーム３０６は、それらの間に環境調整物質３０８を維持するように構成されている。環境調整物質保持部３０２はアーム３１０によって連結されており、アーム３１０の各々は環境調整物質保持部３０２のうちの２つの間に延在する。アーム３１０の各々は１つまたは複数のばねアーム３１２を含む。

【0089】

基部３０４は、図５Ｂに示すように、環境調整物質保持部３０２のうち、外殻３１６と接合するように構成されている部分である。基部３０４は、基部３０４を外殻３１６の隅角３２０の窪んだ部分に挿入できるように、外殻３１６のその隅角３２０と整合する形状を有し得る。１つまたは複数のビーム３０６および１つまたは複数のアーム３１０は、いずれも基部３０４から延在し得る。

【0090】

環境調整物質保持部３０２の各々は、少なくとも３つのビーム３０６を含む。ビーム３０６は基部３０４からの可撓性の突出部である。ビーム３０６は２つのグループで設けられており、グループのうちの少なくとも一方は少なくとも２つのビーム３０６を含む。ビーム３０６の２つのグループは、１つまたは複数の環境調整物質３０８がビーム３０６のグループ同士の間に固止され得るように構成される。ビーム３０６の２つのグループは互いに対向するように位置付けられ得る。ある実施形態では、それぞれのグループの各々のビーム３０６は、他方のグループに向かう成分を有する方向に延在する。ある実施形態では、ビーム３０６の第１のグループは、ある方向に沿って互いから離れて位置付けられた２つのビーム３０６を含み、ビーム３０６の第２のグループは、第１のグループの２つのビーム３０６の間に上記の方向に沿って位置付けられた１つのビーム３０６を含む。ビーム３０６の２つのグループは、それぞれのグループの間で１つまたは複数の環境調整物質３０８を挟持するための、互いに対向するばね力を各々提供するように構成され得る。

【0091】

環境調整物質３０８は、環境調整物質ホルダ３００を含むウエハキャリア内から水分を吸収できる環境調整物質を含む。環境調整物質３０８は例えば、環境調整物質を包む多孔質の紙または布などの水蒸気透過性材料のパッケージであり得る。パッケージング材料および環境調整物質は、ウエハキャリア内のウエハに影響するガス放出または粒子生成を低減または回避するように選択され得る。環境調整物質は、非限定的な例として、シリカゲル、活性炭、硫酸カルシウム、塩化カルシウム、ゼオライト、または任意の他の好適な環境調整物質であり得る。ある実施形態では、環境調整物質３０８の代わりに環境調整物質の固体片が使用され得る。いくつかの実施形態では、例えば本明細書で図１Ｃを参照して記載されているようなパケット１０１などの１つのパケット内に、１つまたは複数の環境調整物質３０８を納めることができる。

【0092】

アーム３１０は環境調整物質保持部３０２同士を連結する。アーム３１０の各々は、２つ環境調整物質保持部３０２のうちの２つを連結する。アーム３１０の各々は、２つの別個の環境調整物質保持部３０２の基部３０４に連結され得る。ある実施形態では、環境調整物質ホルダ３００は、１つのアーム３１０によって連結されている２つの環境調整物質保持部３０２を含む。ある実施形態では、環境調整物質ホルダ３００は、２つのアーム３１０によって連結されている３つの環境調整物質保持部３０２を含む。この実施形態では、１つの環境調整物質保持部３０２はそこからその他の環境調整物質保持部３０２まで延在する２つのアームを有し、これらその他の環境調整物質保持部３０２は、１つのアーム３１０に各々接続される。ある実施形態では、環境調整物質ホルダ３００は、３つのアーム３１０によって連結されている４つの環境調整物質保持部３０２を含む。この実施形態では、環境調整物質保持部３０２のうちの２つには各々２つのアーム３１０が連結されており、環境調整物質保持部３０２のうちの２つには各々１つのアーム３１０が連結されている。

【0093】

アーム３１０の各々から１つまたは複数のばねアーム３１２が延在する。ばねアーム３１２は可撓性を有するように各々構成される。ある実施形態では、アーム３１０の各々に１つのばねアーム３１２が設けられる。ある実施形態では、アーム３１０の各々に２つのばねアーム３１２が設けられる。ばねアーム３１２はウエハキャリアの外側シェル３１６の内側に向かってある距離だけ延在するように構成されており、ウエハカセット３１８が外殻３１６内に設置されると、ばねアーム３１２はウエハカセット３１８と接触する。ばねアーム３１２とウエハカセット３１８の間の接触によって、環境調整物質ホルダ３００に力が加わる。ばねアーム３１２とウエハカセット３１８の間の接触によってもたらされる力は外殻３１６の底部に向かう下向きの成分を有し、環境調整物質ホルダ３００の基部３０２を外殻３１６内に、例えば隅角３２０に固止する。

【0094】

図５Ｂに示すように、環境調整物質ホルダ３００は外側シェル３１６内に設置され得る。設置されると、環境調整物質ホルダ３０２の基部３０４は、外殻３１６の底部の例えば隅角３２０にある、対応する部分の中に嵌合する。ウエハカセット３１８が外側シェル３１６内に置かれるとき、空間３２２は外殻３１６とウエハカセット３１８の間に存在する。環境調整物質ホルダ３００の環境調整物質保持部３０２を連結するアーム３１０は、環境調整物質ホルダ３００およびウエハカセット３１８が外殻３１６内に置かれるとき、空間３２２を通って延在する。環境調整物質３０８の各々は、環境調整物質ホルダ３００およびウエハカセット３１８が外殻３１６内に置かれるときにビーム３０６によって空間３２２内に保持され、この結果ウエハキャリア３１４が組み立てられる。

【0095】

ある実施形態では、環境調整物質ホルダ３００は単一の部片として形成され得る。ある実施形態では、環境調整物質ホルダ３００は、例えば射出成形、三次元プリント、機械加工、熱成形、プレス加工、または任意の他の好適な製造方法のうちの、１つまたは複数によって形成され得る。環境調整物質ホルダ３００は、ウエハカセットとの接触、例えばアーム３１０における接触に適合性のある材料を含み得る。環境調整物質ホルダ３００は、ウエハキャリア３１４の外側シェル３１６との接触、例えば、環境調整物質保持部３０２の基部３０４の各々の外側表面における接触に、適合性のある材料を含み得る。適合性のある材料は、ウエハカセット３１８または外側シェル３１６の材料と接触したときの粒子生成を低減するように選択された、好適なポリマー材料であり得る。ある実施形態では、適合性のある材料はポリオレフィンである。ある実施形態では、適合性のある材料は、ポリオレフィン、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ペルフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）、または任意の他の好適な溶融加工可能なポリマー、およびこれらの組合せから選択される材料である。ある実施形態では、適合性のある材料はポリプロピレンである。ある実施形態では、環境調整物質ホルダ３００全体が適合性のある材料で製作され得る。

【0096】

図５Ｃは、ある実施形態に係る環境調整物質ホルダ３００を示す。図５Ａおよび図５Ｂに示す実施形態におけるように、環境調整物質ホルダ３００は２つ以上の環境調整物質保持部３０２を含む。環境調整物質保持部３０２の各々は、基部３０４と２つ以上のビーム３０６とを含む。環境調整物質保持部３０２の２つ以上のビーム３０６は、それらの間に環境調整物質３０８を維持するように構成されている。環境調整物質保持部３０２はアーム３１０によって連結されており、アーム３１０の各々は環境調整物質保持部３０２のうちの２つの間に延在する。アーム３１０の各々は１つまたは複数のばねアーム３１２を含む。

【0097】

図５Ｃに示す実施形態では、環境調整物質保持部３０２の各々の複数のビーム３０６のうちの最も外側のビーム３０６は、保持タブ３２４を含む。最も外側のビーム３０６は、複数のビーム３０６の互いに対向する端部にあるビーム３０６として定義できる。保持タブ３２４は、それらが取り付けられているビーム３０６から外向きに延在する。ある実施形態では、保持タブ３２４は、それらが延在する起点となっているビーム３０６に対向するビーム３０６のうちの、１つまたは複数に向かって延在する。ある実施形態では、保持タブ３２４は環境調整物質３０８と接触する。ある実施形態では、保持タブ３２４は、環境調整物質３０８が配置される空間を、最も外側のビーム３０６同士の間に部分的に画定する。

【0098】

図５Ｄは、本明細書に記載するもののような湿度指示器カードを受け入れ保持するための保持機構３５２を含む、環境調整物質ホルダ３００の代替の実施形態を示す。図５Ｄに示すように、保持機構は１対のアーム３５４ａ、３５４ｂを含む。アーム３５４ａ、３５４ｂは互いから離隔されて間隙を画定する。間隙は、それが湿度指示器カードを受け入れこれを湿度指示器カードの表面との摩擦嵌めによって保持することが可能となるような、十分な幅を有する。アーム３５４ａ、３５４ｂは全体にＵ形状であるものとして示されているが、いくつかの形状が企図される。

【0099】

態様
態様１～７のうちの任意の１つを、態様８～１４および１５～２０のうちの任意の１つと組み合わせることができる。態様８～１４のうちの任意の１つを、態様１５～２０のうちの任意の１つと組み合わせることができる。

【0100】

態様１．
ウエハキャリア用の環境調整物質ホルダであって、
ベースプレートと、
１つまたは複数のタブであり、そのうちの少なくとも１つはウエハカセットのハンドルと係合するように構成されている保持機構を含む、１つまたは複数のタブと、を備え、
ベースプレートおよび１つまたは複数のタブの各々は、環境調整物質が１つまたは複数の空間の各々の中に配置され得るような間隔で配置されている、環境調整物質ホルダ。

【0101】

態様２．
ベースプレートから延在し１つまたは複数の空間のうちの１つの中に環境調整物質を保持するように構成されている複数の環境調整物質保持タブを更に備える、態様１に記載の環境調整物質ホルダ。

【0102】

態様３．
１つまたは複数のタブは複数のタブであり、ベースプレートは平面視して複数のタブのうちの２つの間に配置されているチャネルを含む、態様１または２に記載の環境調整物質ホルダ。

【0103】

態様４．
環境調整物質ホルダは、高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ペルフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）、およびこれらの組合せから成る群から選択される少なくとも１つのポリマー材料を含む、態様１～３のいずれか１つに記載の環境調整物質ホルダ。

【0104】

態様５．
乾燥剤、イオン吸収剤、または揮発性有機化合物吸収剤のうちの少なくとも１つを含む環境調整物質を更に含む、態様１～４のいずれか１つに記載の環境調整物質ホルダ。

【0105】

態様６．
環境調整物質は、シリカゲル、ベントナイト粘土、活性炭、硫酸カルシウム、塩化カルシウム、またはゼオライトのうちの少なくとも１つを含む、態様５に記載の環境調整物質ホルダ。

【0106】

態様７．
保持機構はウエハカセットのハンドルとスナップ嵌合を形成するように構成されている、態様１～６のいずれか１つに記載の環境調整物質ホルダ。

【0107】

態様８．
ウエハキャリア用の環境調整物質ホルダであって、
環境調整物質ホルダの第１の端部に配置されているウエハカセットの開口と接合するように構成されているピンと、
環境調整物質ホルダの第１の端部の反対側の第２の端部に配置されている、ウエハカセットと係合するように構成されている固止機構と、
１つまたは複数のビームを含む環境調整物質保持部と、を備える、環境調整物質ホルダ。

【0108】

態様９．
環境調整物質保持部は２つのビームを備え、ビームの各々はビームから延在する保持タブを含む、態様８に記載の環境調整物質ホルダ。

【0109】

態様１０．
環境調整物質保持部は湾曲部分と真っ直ぐな部分とを備え、湾曲部分は固止機構から真っ直ぐな部分との接合部まで延在し、ピンは真っ直ぐな部分の端部に配置されている、態様８または９に記載の環境調整物質ホルダ。

【0110】

態様１１．
真っ直ぐな部分は内部空間を画定する側壁を含む、態様１０に記載の環境調整物質ホルダ。

【0111】

態様１２．
環境調整物質ホルダは、高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ペルフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）、およびこれらの組合せから成る群から選択される少なくとも１つのポリマー材料を含む、態様８～１１のいずれか１つに記載の環境調整物質ホルダ。

【0112】

態様１３．
乾燥剤、イオン吸収剤、または揮発性有機化合物吸収剤のうちの少なくとも１つを含む環境調整物質を更に含む、態様７～１２のいずれか１つに記載の環境調整物質ホルダ。

【0113】

態様１４．
環境調整物質は、シリカゲル、ベントナイト粘土、活性炭、硫酸カルシウム、塩化カルシウム、またはゼオライトのうちの少なくとも１つを含む、態様１３に記載の環境調整物質ホルダ。

【0114】

態様１５．
ウエハキャリアの基部の隅角内に嵌合するように構成されている基部と、
環境調整物質を保持するように構成されている複数のビームと、
を備える、１つまたは複数の環境調整物質保持部を各々含む、
ウエハキャリア用の環境調整物質ホルダ。

【0115】

態様１６．
複数の環境調整物質保持部と、
１つまたは複数のアームであって、その各々が複数の環境調整物質保持部のうちの２つの環境調整物質保持部を接続している、１つまたは複数のアームと、
１つまたは複数のアームの各々から延在する１つまたは複数のばねアームであって、その各々が、複数の環境調整物質保持部の基部がウエハキャリアの基部の隅角内にありウエハカセットがウエハキャリア内に配置されているときに、ウエハカセットと接触するように構成されている、１つまたは複数のばねアームと、
を備える、態様１５に記載の環境調整物質ホルダ。

【0116】

態様１７．
２つ以上のばねアームは１つまたは複数のアームの各々から延在する、態様１６に記載の環境調整物質ホルダ。

【0117】

態様１８．
環境調整物質ホルダは、ポリオレフィン、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ペルフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）、およびこれらの組合せから成る群から選択される少なくとも１つのポリマー材料を含む、態様１５～１７のいずれか１つに記載の環境調整物質ホルダ。

【0118】

態様１９．
乾燥剤、イオン吸収剤、または揮発性有機化合物吸収剤のうちの少なくとも１つを含む環境調整物質を更に含む、態様１５～１８のいずれか１つに記載の環境調整物質ホルダ。

【0119】

態様２０．
環境調整物質は、シリカゲル、ベントナイト粘土、活性炭、硫酸カルシウム、塩化カルシウム、またはゼオライトのうちの少なくとも１つを含む、態様１９に記載の環境調整物質ホルダ。

【0120】

このように本開示のいくつかの例示的な実施形態を記載してきたが、更に別の実施形態が本明細書に添付する特許請求の範囲の範囲内で製作および使用され得ることを、当業者は容易に諒解するであろう。上記の説明において本文書に含まれる開示の多数の利点について記載した。しかしながら、本開示が多くの点において単なる例示であることが理解されるであろう。本開示の範囲を超過することなく、細部の、特に部品の形状、サイズ、および配置に関する変更を行うことができる。本開示の範囲は当然ながら、付属の特許請求の範囲を表現している言語において規定される。

【図1A】