発明の名称 CVDリアクタ用の壁冷却されたガス導入部材
出願人 アイクストロン、エスイー (識別番号 502010251)
特許公開件数ランキング 3971 位(4件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 1795 位(9件)(共同出願を含む)
公報番号 特表-2023-502751
公報発行日 2023年1月25
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2023-502751
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