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特表2023-507565ＣＯ／ＣＵ選択的ウェットエッチング液

書誌要約請求の範囲詳細な説明課題実施例実施するための形態図面の説明

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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2023-02-24

(54)【発明の名称】ＣＯ／ＣＵ選択的ウェットエッチング液

(51)【国際特許分類】

C23F 11/14 20060101AFI20230216BHJP

C23F 1/34 20060101ALI20230216BHJP

H01L 21/308 20060101ALI20230216BHJP

【ＦＩ】

C23F11/14

C23F1/34

H01L21/308 F

【審査請求】未請求

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2022537472

(86)(22)【出願日】2020-09-30

(85)【翻訳文提出日】2022-06-17

(86)【国際出願番号】 US2020053434

(87)【国際公開番号】W WO2021126340

(87)【国際公開日】2021-06-24

(31)【優先権主張番号】62/951,067

(32)【優先日】2019-12-20

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(31)【優先権主張番号】63/062,733

(32)【優先日】2020-08-07

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】517114182

【氏名又は名称】バーサムマテリアルズユーエス，リミティドライアビリティカンパニー

(74)【代理人】

【識別番号】100099759

【弁理士】

【氏名又は名称】青木篤

(74)【代理人】

【識別番号】100123582

【弁理士】

【氏名又は名称】三橋真二

(74)【代理人】

【識別番号】100195213

【弁理士】

【氏名又は名称】木村健治

(74)【代理人】

【識別番号】100173107

【弁理士】

【氏名又は名称】胡田尚則

(74)【代理人】

【識別番号】100202441

【弁理士】

【氏名又は名称】岩田純

(74)【代理人】

【識別番号】100210697

【弁理士】

【氏名又は名称】日浅里美

(72)【発明者】

【氏名】チュン－イーチャン

(72)【発明者】

【氏名】ウェンダーリウ

(72)【発明者】

【氏名】イー－チアリー

【テーマコード（参考）】

4K057

4K062

5F043

【Ｆターム（参考）】

4K057WA13

4K057WB04

4K057WE01

4K057WE11

4K057WG06

4K057WN01

4K062AA03

4K062BB12

4K062BB15

4K062CA03

4K062FA09

5F043AA26

5F043AA27

5F043BB18

5F043BB28

5F043DD10

(57)【要約】

【課題】２つの金属間のエッチング速度比を変更することができる、高い銅及びコバルトエッチング速度を示すウェットエッチング液の提供。
【解決手段】開示され、請求された主題は、２つの金属間のエッチング速度比を変更することができる、高い銅及びコバルトエッチング速度を示すウェットエッチング液に関する。ウェットエッチング液は、少なくとも２つの炭素原子、少なくとも１つのアミノ置換基及び少なくとも１つのヒドロキシル置換基を有し、アミノ及びヒドロキシル置換基が２つの異なる炭素原子に結合している少なくとも１種のアルカノールアミン；配合物のｐＨを約９～約１２に調節するための少なくとも１種のｐＨ調節剤；少なくとも１種のキレート剤；及び水を含む組成物を有する。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

（ｉ）少なくとも２つの炭素原子、少なくとも１つのアミノ置換基及び少なくとも１つのヒドロキシル置換基を有し、アミノ及びヒドロキシル置換基が２つの異なる炭素原子に結合している少なくとも１種のアルカノールアミン、
（ｉｉ）配合物のｐＨを約９～約１２に調節するための少なくとも１種のｐＨ調節剤；
（ｉｉｉ）少なくとも１種のキレート剤；及び
（ｉｖ）水を含む配合物。

【請求項2】

本質的に、
（ｉ）少なくとも２つの炭素原子、少なくとも１つのアミノ置換基及び少なくとも１つのヒドロキシル置換基を有し、アミノ及びヒドロキシル置換基が２つの異なる炭素原子に結合している少なくとも１種のアルカノールアミン、
（ｉｉ）配合物のｐＨを約９～約１２に調節するための少なくとも１種のｐＨ調節剤；
（ｉｉｉ）少なくとも１種のキレート剤；及び
（ｉｖ）水からなる配合物。

【請求項3】

【請求項4】

【請求項5】

【請求項6】

【請求項7】

【請求項8】

【請求項9】

【請求項10】

少なくとも１種のアルカノールアミンが式（Ｉ）の化合物を含む、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【化1】

（式中、Ｒ^１及びＲ^２の各々は、Ｈ、非置換Ｃ_１～Ｃ_６アルキル、置換Ｃ_１～Ｃ_６アルキル、分岐状Ｃ_３～Ｃ_６アルキル及びＣ_１～Ｃ_６アルキルアミノから独立して選択される。）

【請求項11】

少なくとも１種のアルカノールアミンが、本質的に式（Ｉ）の化合物からなる、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【化2】

【請求項12】

少なくとも１種のアルカノールアミンが、式（Ｉ）の化合物からなる、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【化3】

【請求項13】

少なくとも１種のアルカノールアミンが、

【化4】

を含む、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項14】

少なくとも１種のアルカノールアミンが、本質的に

【化5】

からなる、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項15】

少なくとも１種のアルカノールアミンが、

【化6】

からなる、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項16】

少なくとも１種のアルカノールアミンが、

【化7】

を含む、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項17】

少なくとも１種のアルカノールアミンが、本質的に

【化8】

からなる、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項18】

少なくとも１種のアルカノールアミンが、

【化9】

からなる、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項19】

少なくとも１種のアルカノールアミンが、

【化10】

を含む、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項20】

少なくとも１種のアルカノールアミンが、本質的に

【化11】

からなる、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項21】

少なくとも１種のアルカノールアミンが、

【化12】

からなる、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項22】

少なくとも１種のアルカノールアミンが、

【化13】

を含む、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項23】

少なくとも１種のアルカノールアミンが、本質的に

【化14】

からなる、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項24】

少なくとも１種のアルカノールアミンが、

【化15】

からなる、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項25】

少なくとも１種のｐＨ調節剤が、クエン酸、硫酸、リン酸、シュウ酸、マロン酸、乳酸、アジピン酸、酢酸、トリフルオロ酢酸、メタンスルホン酸、トルエンスルホン酸及び式Ｈ－Ｘ（式中、Ｘ＝Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ又はＩ）のハロゲン酸のうちの１種又はそれより多くを含む、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項26】

少なくとも１種のｐＨ調節剤がフッ化水素酸を含む、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項27】

少なくとも１種のｐＨ調節剤が本質的にフッ化水素酸からなる、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項28】

少なくとも１種のｐＨ調節剤がフッ化水素酸からなる、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項29】

少なくとも１種のｐＨ調節剤がメタンスルホン酸を含む、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項30】

少なくとも１種のｐＨ調節剤が本質的にメタンスルホン酸からなる、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項31】

少なくとも１種のｐＨ調節剤がメタンスルホン酸からなる、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項32】

少なくとも１種のキレート剤が、エチレンジアミン四酢酸（ＥＤＴＡ）、ブチレンジアミンテトラ酢酸、（１，２－シクロヘキシレンジアミン）四酢酸（ＣｙＤＴＡ）、ジエチレントリアミン五酢酸（ＤＥＴＰＡ）、エチレンジアミンテトラプロピオン酸、（ヒドロキシエチル）エチレンジアミン三酢酸（ＨＥＤＴＡ）、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’－エチレンジアミンテトラ（メチレンホスホン）酸（ＥＤＴＭＰ）、トリエチレンテトラミン六酢酸（ＴＴＨＡ）、１，３－ジアミノ－２－ヒドロキシプロパン－Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’－四酢酸（ＤＨＰＴＡ）、イミノ二酢酸、メチルイミノ二酢酸、プロピレンジアミンテトラ酢酸、ニトロ三酢酸（ＮＴＡ）、クエン酸、酒石酸、グルコン酸、糖酸、グリセリン酸、シュウ酸、フタル酸、マレイン酸、マンデル酸、マロン酸、乳酸、サリチル酸、没食子酸プロピル、ピロガロール、８－ヒドロキシキノリン及びシステインのうちの１種又はそれより多くである、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項33】

少なくとも１種のキレート剤がＥＤＴＡを含む、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項34】

少なくとも１種のキレート剤が本質的にＥＤＴＡからなる、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項35】

少なくとも１種のキレート剤がＥＤＴＡからなる、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項36】

少なくとも１種のキレート剤がＣｙＤＴＡを含む、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項37】

少なくとも１種のキレート剤が本質的にＣｙＤＴＡからなる、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項38】

少なくとも１種のキレート剤がＣｙＤＴＡからなる、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項39】

少なくとも１種のキレート剤がイミノ二酢酸を含む、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項40】

少なくとも１種のキレート剤が本質的にイミノ二酢酸からなる、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項41】

少なくとも１種のキレート剤がイミノ二酢酸からなる、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項42】

少なくとも１種のキレート剤が約０．１質量％のＥＤＴＡを含む、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項43】

少なくとも１種のキレート剤が本質的に約０．１質量％のＥＤＴＡからなる、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項44】

少なくとも１種のキレート剤が約０．１質量％のＥＤＴＡからなる、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項45】

少なくとも１種のキレート剤が約０．１質量％のイミノ二酢酸を含む、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項46】

少なくとも１種のキレート剤が本質的に約０．１質量％のイミノ二酢酸からなる、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項47】

少なくとも１種のキレート剤が約０．１質量％のイミノ二酢酸からなる、請求項１～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項48】

少なくとも１種の水混和性溶媒が、エチレングリコール、プロピレングリコール（ＰＧ）、１，４－ブタンジオール、トリプロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールプロピルエーテル、ジエチレングリコールｎ－ブチルエーテル（ＢＤＧ）、ジプロピレングリコールメチルエーテル（ＤＰＭ）ヘキシロキシプロピルアミン、ポリ（オキシエチレン）ジアミン、ジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）、テトラヒドロフラン、テトラヒドロフルフリルアルコール、グリセロール、アルコール類、スルホラン、スルホキシド及びこれらの混合物のうちの１種又はそれより多くを含む、請求項４～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項49】

少なくとも１種の水混和性溶媒がプロピレングリコール、スルホラン及びジエチレングリコールブチルエーテルのうちの１種又はそれより多くを含む、請求項４～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項50】

少なくとも１種の水混和性溶媒がプロピレングリコールを含む、請求項４～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項51】

少なくとも１種の水混和性溶媒がスルホランを含む、請求項４～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項52】

少なくとも１種の水混和性溶媒がジエチレングリコールブチルエーテルを含む、請求項４～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項53】

少なくとも１種の水混和性溶媒が本質的にプロピレングリコールからなる、請求項４～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項54】

少なくとも１種の水混和性溶媒が本質的にスルホランからなる、請求項４～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項55】

少なくとも１種の水混和性溶媒が本質的にジエチレングリコールブチルエーテルからなる、請求項４～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項56】

少なくとも１種の水混和性溶媒がプロピレングリコールからなる、請求項４～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項57】

少なくとも１種の水混和性溶媒がスルホランからなる、請求項４～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項58】

少なくとも１種の水混和性溶媒がジエチレングリコールブチルエーテルからなる、請求項４～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項59】

少なくとも１種の水混和性溶媒が、約１０質量％～約２０質量％のプロピレングリコールを含む、請求項４～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項60】

少なくとも１種の水混和性溶媒が、約１５質量％～約２０質量％のプロピレングリコールを含む、請求項４～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項61】

少なくとも１種の水混和性溶媒が、約２０質量％のプロピレングリコールを含む、請求項４～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項62】

少なくとも１種の水混和性溶媒が、約１０質量％～約２０質量％のスルホランを含む、請求項４～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項63】

少なくとも１種の水混和性溶媒が、約１５質量％～約２０質量％のスルホランを含む、請求項４～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項64】

少なくとも１種の水混和性溶媒が、約２０質量％のスルホランを含む、請求項４～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項65】

少なくとも１種の水混和性溶媒が、約１０質量％～約２０質量％のジエチレングリコールブチルエーテルを含む、請求項４～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項66】

少なくとも１種の水混和性溶媒が、約１５質量％～約２０質量％のジエチレングリコールブチルエーテルを含む、請求項４～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項67】

少なくとも１種の水混和性溶媒が、約２０質量％のジエチレングリコールブチルエーテルを含む、請求項４～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項68】

少なくとも１種のぬれ性調節材料が界面活性剤を含む、請求項７～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項69】

少なくとも１種のぬれ性調節材料が本質的に界面活性剤からなる、請求項７～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項70】

少なくとも１種のぬれ性調節材料が界面活性剤からなる、請求項７～９のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項71】

銅及びコバルトが連結される場合、配合物が約５０Å／分を超える銅エッチング速度、及び約５０Å／分を超えるコバルトエッチング速度を有する、請求項１～７０のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項72】

銅及びコバルトが連結される場合、配合物が約０．９～約２．２５の銅対コバルトのエッチング速度比を有する、請求項１～７０のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項73】

銅及びコバルトが連結される場合、配合物が約１．０～約２．２０の銅対コバルトのエッチング速度比を有する、請求項１～７０のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項74】

銅及びコバルトが連結される場合、配合物が約０．９５～約１．２５の銅対コバルトのエッチング速度比を有する、請求項１～７０のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項75】

銅及びコバルトが連結される場合、配合物が約０．９５～約１．１の銅対コバルトのエッチング速度比を有する、請求項１～７０のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項76】

銅及びコバルトが連結される場合、配合物が約１．０～約１．１の銅対コバルトのエッチング速度比を有する、請求項１～７０のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項77】

銅及びコバルトが連結される場合、配合物が約１．０の銅対コバルトのエッチング速度比を有する、請求項１～７０のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項78】

（ｉ）銅及びコバルトが連結される場合、配合物が約５０Å／分を超える銅エッチング速度、及び約５０Å／分を超えるコバルトエッチング速度を有し、かつ、（ｉｉ）銅及びコバルトが連結される場合、配合物が約０．９５～約１．２５の銅対コバルトのエッチング速度比を有する、請求項１～７０のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項79】

（ｉ）銅及びコバルトが連結される場合、配合物が約５０Å／分を超える銅エッチング速度、及び約５０Å／分を超えるコバルトエッチング速度を有し、かつ、（ｉｉ）銅及びコバルトが連結される場合、配合物が約０．９５～約１．１の銅対コバルトのエッチング速度比を有する、請求項１～７０のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項80】

（ｉ）銅及びコバルトが連結される場合、配合物が約５０Å／分を超える銅エッチング速度、及び約５０Å／分を超えるコバルトエッチング速度を有し、かつ、（ｉｉ）銅及びコバルトが連結される場合、配合物が約１の銅対コバルトのエッチング速度比を有する、請求項１～７０のいずれか一項に記載の配合物。

【請求項81】

（ｉ）請求項１～８０のいずれか一項に記載の配合物を含む組成物を基材の上に適用することを含む、銅、及びコバルトを含む基材をエッチングする方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

分野
開示され、請求される対象は、ウェットエッチング液に関する。特に、開示され、請求される対象は、２つの金属間のエッチング速度比を変更することができる、高い銅及びコバルトエッチング速度を示すウェットエッチング液に関する。

【背景技術】

【0002】

関連技術
Ｃｏ／Ｃｕコンポジット相互接続システムは、その良好なＥＭ及びＴＤＤＢ（絶縁膜経時破壊）信頼性のために、高度化したＩＣデバイスに関し、ＢＥＯＬにおいて広く適用される。次の先進技術デバイスに関し、Ｃｕ及びＣｏのへこみは、設計による完全な自己整合にとってより重要になる。しかしながら、従来の高速銅ウェットエッチング液は、（ｉ）銅及びコバルトの化学的特性の違い、並びに（ｉｉ）２つの金属間のガルバニック腐食効果のために、同時に高いコバルトエッチング速度を達成することができない。

【0003】

例えば、塩化第二銅二水和物を含む配合に基づいたモノエタノールアミンが高い銅エッチング速度を与えることができることが記載されている（ＪｏｕｒｎａｌｏｆＡｐｐｌｉｅｄＥｌｅｃｔｒｏｃｈｅｍｉｓｔｒｙ、３３：４０３－１０（２００３）を参照）。銅の従来のウェットエッチング液は高いｐＨ値で高いエッチング速度を提供するが、コバルトエッチング速度は、コバルト表面の不活性Ｃｏ（ＯＨ）_２層の形成により、高いｐＨで非常に低い。

【発明の概要】

【0004】

概要
この概要セクションは、開示され、請求された主題の全ての実施態様及び／又は漸増的に新規な側面を特定するものではない。代わりに、この概要は、従来の技術及び既知の技術に対する種々の実施態様及び対応する新規性の点の予備的な議論を提供するのみである。開示され、請求された主題及び実施態様の追加の詳細及び／又は可能な展望については、読者は、詳細な説明のセクション及び更に以下で議論される開示の対応する図面に導かれる。

【0005】

本開示に記載された種々の工程の議論の順序は明快さの目的のために示された。一般に、本開示に開示された工程は、任意の適切な順序で実施することができる。加えて、本開示で開示される種々の特徴、技術、構成などの各々は、この開示の異なる場所において議論されてよいが、概念の各々は、互いに独立して、または適切なように互いに組み合わされて実施され得ることが意図される。したがって、開示され、請求された主題は、多くの種々の方法で具体化され、示されることができる。

【0006】

開示され、請求された主題は、高いエッチング速度（銅及びコバルトが連結される場合は＞５０Å／分）で銅及びコバルトの両方を除去することができる新規の化学配合物に向けられ、それはさらに２つの金属間の化学的特性の違い及びガルバニック腐食効果を克服した。さらなる側面において、新規の配合物は、約１対１の範囲でＣｕ及びＣｏの優れたエッチング選択性を示す。

【0007】

開示され、請求された化学配合物は次のものを含む：
（ｉ）少なくとも２つの炭素原子、少なくとも１つのアミノ置換基及び少なくとも１つのヒドロキシル置換基を有し、アミノ及びヒドロキシル置換基が２つの異なる炭素原子に結合している、好ましくは式（Ｉ）の少なくとも１種のアルカノールアミン：

【化1】

（式中、Ｒ^１及びＲ^２の各々は、Ｈ、非置換Ｃ_１～Ｃ_６アルキル、置換Ｃ_１～Ｃ_６アルキル、分岐状Ｃ_３～Ｃ_６アルキル及びＣ_１～Ｃ_６アルキルアミノから独立して選択される。）；
（ｉｉ）配合物のｐＨを約９～約１２に調節するための少なくとも１種のｐＨ調節剤；
（ｉｉｉ）少なくとも１種のキレート剤；及び
（ｉｖ）水。
この実施態様のさらなる側面において、開示され、請求された化学配合物は、本質的に（ｉ）、（ｉｉ）、（ｉｉｉ）及び（ｉｖ）からなる。この実施態様のさらなる側面において、開示され、請求された化学配合物は（ｉ）、（ｉｉ）、（ｉｉｉ）及び（ｉｖ）からなる。

【0008】

別の実施態様において、開示され、請求された化学配合物は、上記の（ｉ）、（ｉｉ）、（ｉｉｉ）、（ｉｖ）を含み、（ｖ）少なくとも１種の水混和性溶媒をさらに含む。この実施態様のさらなる側面において、開示され、請求された化学配合物は、本質的に（ｉ）、（ｉｉ）、（ｉｉｉ）、（ｉｖ）及び（ｖ）からなる。この実施態様のさらなる側面において、開示され、請求された化学配合物は、（ｉ）、（ｉｉ）、（ｉｉｉ）、（ｉｖ）及び（ｖ）からなる。

【0009】

別の実施態様において、開示され、請求された化学配合物は、上記の（ｉ）、（ｉｉ）、（ｉｉｉ）及び（ｉｖ）を含み、（ｖｉ）粗さ性能を改善する少なくとも１種のぬれ性調節材料（例えば界面活性剤）をさらに含む。この実施態様のさらなる側面において、開示され、請求された化学配合物は、本質的に（ｉ）、（ｉｉ）、（ｉｉｉ）、（ｉｖ）及び（ｖｉ）からなる。この実施態様のさらなる側面において、開示され、請求された化学配合物は、（ｉ）、（ｉｉ）、（ｉｉｉ）、（ｉｖ）及び（ｖｉ）からなる。

【0010】

別の実施態様において、開示され、請求された化学配合物は、（ｉ）、（ｉｉ）、（ｉｉｉ）、（ｉｖ）、（ｖ）及び（ｖｉ）を含む。この実施態様のさらなる側面において、開示され、請求された化学配合物は、本質的に（ｉ）、（ｉｉ）、（ｉｉｉ）、（ｉｖ）、（ｖ）及び（ｖｉ）からなる。この実施態様のさらなる側面において、開示され、請求された化学配合物は、（ｉ）、（ｉｉ）、（ｉｉｉ）、（ｉｖ）、（ｖ）及び（ｖｉ）からなる。

【0011】

さらなる側面において、少なくとも１種の水混和性溶媒（ｖ）は少なくとも２種の水混和性溶媒を含む。

【0012】

１つの実施態様において、配合物は、Ｒ^１及びＲ^２の一方又は両方がＨである式（Ｉ）のアルカノールアミンを含む。

【0013】

１つの実施態様において、配合物は、Ｒ^１及びＲ^２の両方がＨである式（Ｉ）のアルカノールアミン：

【化2】

を含む。

【0014】

１つの実施態様において、配合物は、Ｒ^１及びＲ^２の一方がＨであり、Ｒ^１及びＲ^２のもう一方が－ＣＨ_３基である式（Ｉ）のアルカノールアミン：

【化3】

を含む。

【0015】

１つの実施態様において、配合物は、Ｒ^１及びＲ^２の一方がＨであり、Ｒ^１及びＲ^２のもう一方が式－ＣＨ_２ＣＨ_２ＯＨの置換Ｃ_１～Ｃ_６アルキルである式（Ｉ）のアルカノールアミン：

【化4】

を含む。

【0016】

１つの実施態様において、配合物は、Ｒ^１及びＲ^２の両方が式－ＣＨ_２ＣＨ_２ＯＨの置換Ｃ_１～Ｃ_６アルキルである式（Ｉ）のアルカノールアミン：

【化5】

を含む。

【0017】

１つの実施態様において、配合物は、Ｒ^１及びＲ^２の一方がＨであり、Ｒ^１及びＲ^２のもう一方が式－ＣＨ_２ＣＨ_２ＮＨ_２の置換Ｃ_１～Ｃ_６アルキルである式（Ｉ）のアルカノールアミン：

【化6】

を含む。

【0018】

開示され、請求された主題は、開示され、請求された化学配合物の使用及び合成にさらに向けられる。

【0019】

開示され、請求された主題は、デバイスウェハのガルバニック腐食効果をシミュレートする（本開示では「連結された」と記載される）エッチング配合物のＣｕ及びＣｏエッチング速度を試験する方法へさらに向けられる。連結試験は図１において示される。

【図面の簡単な説明】

【0020】

図面の簡単な説明
開示された主題についてのさらなる理解を提供するように含まれ、本明細書の一部に組み入れられ、これを構成する添付の図面は、開示された主題の実施態様を説明し、詳細な説明とともに、開示された主題の原理を説明する役目を果たす。図面において：

【図1】図１は、Ｃｕ及びＣｏエッチング速度を試験する連結ビーカー試験を示す。

【図2】図２は、幾つかのアルカノールアミンに関する連結されたＣｏ／Ｃｕのエッチング速度をグラフで示す。

【図3】図３は、ｐＨ調節剤を含まない溶液（例１）と比較した、ｐＨ調節剤を加えること（例２）による連結されたエッチング速度に対する効果をグラフで示す。

【図4】図４は、Ｃｕ及びＣｏ選択性へのキレート剤を加えることによるエッチング速度に対する効果をグラフで示す。

【図5】図５は、表面ぬれ性を変更することができる溶媒の添加によるエッチング速度に対する効果をグラフで示す。

【図6】図６は、例１３及び例１６における界面活性剤の添加によるエッチング速度に対する効果をグラフで示す。

【図7】図７は、例１３及び例１６についての銅上のＡＦＭ表面粗さ分析を示す。

【発明を実施するための形態】

【0021】

定義
別段の記載がない限り、明細書及び特許請求の範囲において用いられる以下の用語は、本件について以下の意味を有するものとする。

【0022】

本件において、単数形の使用は複数形を包含し、語「１つの（ａ）」、「１つの（ａｎ）」及び「その（ｔｈｅ）」は、具体的に別段の記載がない限り、「少なくとも１つの」を意味する。さらに、用語「含む（ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ)」、並びに「含む（ｉｎｃｌｕｄｅｓ）」及び「含まれる（ｉｎｃｌｕｄｅｄ）」などの他の形態の使用は、限定的でない。さらに、「要素」又は「構成要素」などの用語は、具体的に別段の記載がない限り、１つの単位を含む要素又は構成要素、及び１つより多くの単位を含む要素又は構成要素の両方を包含する。本開示で用いられる接続詞「及び」は、包括的であることを意図し、接続詞「又は」は、別段の示唆がない限り排他的であることを意図しない。例えば、句「又は、代わりに」は、排他的であることを意図する。本開示で用いられる用語「及び／又は」は、単一の要素を用いることを包含する、前述の要素の任意の組み合わせを指す。

【0023】

用語「約（ａｂｏｕｔ）」又は「約（ａｐｐｒｏｘｉｍａｔｅｌｙ）」は、測定可能な数の変数に関して用いられる場合、変数の示された値、及び示された値の実験誤差（例えば、中間のものについて９５％の信頼限界内）、又は示された値のパーセンテージ（例えば±１０％、±５％）のいずれか大きいほうの範囲内にある変数のすべての値を指す。

【0024】

本開示で用いられる「Ｃ_ｘ～ｙ」は、鎖における炭素原子の数を指定する。例えば、Ｃ_１～６アルキルは、１～６つの炭素の鎖を有するアルキル鎖（例えばメチル、エチル、プロピル、ブチル、ペンチル及びヘキシル）を指す。特に別段の記載がない限り、鎖は直鎖又は分岐状であることができる。

【0025】

別段の示唆がない限り、「アルキル」は、直鎖、分岐状（例えばメチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ｔｅｒｔ－ブチルなど）、環式（例えばシクロヘキシル、シクロプロピル、シクロペンチルなど）又は多環式（例えばノルボルニル、アダマンチルなど）であることができる炭化水素基を指す。適切な非環式の基は、メチル、エチル、ｎ－又はイソ－プロピル、ｎ－、イソ又はｔｅｒｔ－ブチル、直鎖又は分岐状のペンチル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、デシル、ドデシル、テトラデシル及びヘキサデシルであることができる。別段の記載がない限り、アルキルは１～１０炭素原子部分を指す。これらのアルキル部分は置換又は非置換であることができる。

【0026】

「ハロゲン化アルキル」は、水素の１つ又はそれより多くがハロゲン（例えばＦ、Ｃｌ、Ｂｒ及びＩ）により置換された、上で定義された直鎖、環式、又は分岐状飽和アルキル基を指す。したがって、例えばフッ素化アルキル（別名「フルオロアルキル」）は、水素の１つ又はそれより多くがフッ素により置換された、上で定義された直鎖、環式、又は分岐状飽和アルキル基（例えばトリフルオロメチル、パーフルオロエチル、２，２，２－トリフルオロエチル、パーフルオロイソプロピル、パーフルオロシクロヘキシルなど）を指す。係るハロアルキル部分（例えばフルオロアルキル部分）は、パーハロゲン化／多ハロゲン化されていない場合、非置換であってよく、またはさらに置換されていてもよい。

【0027】

「アルコキシ」（別名「アルキルオキシ」）は、オキシ（－Ｏ－）部分を介して結合している、上で定義されたアルキル基（例えばメトキシ、エトキシ、プロポキシ、ブトキシ、１，２－イソプロポキシ、シクロペンチルオキシ、シクロヘキシルオキシなど）を指す。これらのアルコキシ部分は置換又は非置換であることができる。

【0028】

「アルキルカルボニル」は、カルボニル基（Ｃ（＝Ｏ－））部分を介して結合している、上で定義されたアルキル基（例えばメチルカルボニル、エチルカルボニル、プロピルカルボニル、ブチルカルボニル、シクロペンチルカルボニルなど）を指す。これらのアルキルカルボニル部分は置換又は非置換であることができる。

【0029】

「ハロ」又は「ハライド」はハロゲン（例えばＦ、Ｃｌ、Ｂｒ及びＩ）を指す。

【0030】

「ヒドロキシ」（別名「ヒドロキシル」）は、－ＯＨ基を指す。

【0031】

別段の示唆がない限り、用語「置換」は、アルキル、アルコキシ、フッ素化アルキルなどに言及する場合、これらの部分のうちの１つに言及し、それは、制限されないが、以下に挙げられる１つ又はそれより多くの置換基をさらに含む：アルキル、置換アルキル、非置換アリール、置換アリール、アルキルオキシ、アルキルアリール、ハロアルキル、ハライド、ヒドロキシ、アミノ及びアミノアルキル。同様に、用語「非置換」は、水素以外の置換基が存在しないこれらの同じ部分を指す。

【0032】

別段の定めがない限り、本開示で用いられる用語「芳香族」は、非局在化共有π系を有し、かつ、４～２０個の炭素原子を有する不飽和環式炭化水素（芳香族Ｃ_４～Ｃ_２０炭化水素）を指す。例示的な芳香族としては、以下に制限されるものではないが、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレン、エチルベンゼン、クメン、ナフタレン、メチルナフタレン、ジメチルナフタレン、エチルナフタレン、アセナフタレン、アントラセン、フェナントレン、テトラフェン、ナフタセン、ベンズアントラセン、フルオランテン、ピレン、クリセン、トリフェニレンなど、及びこれらの組み合わせが挙げられる。芳香族は、任意選択的に、例えば１つ又はそれより多くのアルキル基、アルコキシ基、ハロゲンなどで置換されていてよい。例えば、芳香族はアニソールを含むことができる。加えて、芳香族は１つ又はそれより多くのヘテロ原子を含むことができる。ヘテロ原子の例としては、以下に制限されるものではないが、窒素、酸素、リン、ホウ素、及び／又は硫黄が挙げられる。１つ又はそれより多くのヘテロ原子を含む芳香族としては、以下に制限されるものではないが、フラン、ベンゾフラン、チオフェン、ベンゾチオフェン、オキサゾール、チアゾールなど、及びこれらの組み合わせが挙げられる。芳香族は単環式、二環式、三環式、及び／又は多環式の環（幾つかの実施態様において、少なくとも単環式の環、単環式及び二環式の環のみ、又は単環式の環のみ）を含んでよく、縮合環であってよい。

【0033】

用語「非芳香族」は、環構造における４つ又はそれより多くの炭素原子のうちの少なくとも１つが芳香族炭素原子でない、少なくとも１つの環構造において結合された４つ又はそれより多くの炭素原子を意味する。

【0034】

本開示に記載された本発明のウェットエッチング液の組成を質量％で言及する場合、不純物などの非本質的な成分を含むすべての成分の質量％は、決して１００質量％を超えてはならないことが理解される。「本質的に」記載された成分「からなる」組成物において、係る成分は、組成物の１００質量％まで加えることができ、または１００質量％未満まで加えることができる。成分を１００質量％未満まで加える場合、係る組成物は幾つかの少量の非本質的なコンタミナント又は不純物を含むことができる。例えば、１つの係る実施態様において、配合物は２質量％又はそれより少ない不純物を含有することができる。別の実施態様において、配合物は１質量％又はそれより少ない不純物を含有することができる。さらなる実施態様において、配合物は０．０５質量％又はそれより少ない不純物を含有することができる。他の係る実施態様において、構成成分は少なくとも９０質量％、より好ましくは少なくとも９５質量％、より好ましくは少なくとも９９質量％、より好ましくは少なくとも９９．５質量％、最も好ましくは少なくとも９９．９質量％を形成することができ、ウェットエッチング液の性能に影響を与えない他の成分を含むことができる。そうでなければ、かなりの非本質的な不純物成分が存在しない場合、すべての必須の構成する成分の組成物を本質的に１００質量％まで加えるであろうことが理解される。

【0035】

本開示で用いられるセクションの見出しは、組織的な目的のためであり、記載された主題を制限するものとして解釈されるべきではない。以下に制限されないが、特許、特許出願、記事、書籍及び論文などの本件に列記されたすべての文書又は文書の部分は、これによって任意の目的についてその全体が参照によって明示的に本開示に組み入れられる。組み入れられた文献及び同様の資料のうちのいずれかが、本件における用語の定義と矛盾するようにその用語を定義する場合、本件が支配する。

【0036】

詳細な説明
前述の概要の記載及び以下の詳細な説明の両方は、説明的かつ例示的であり、請求された主題を限定するものではないことを理解されたい。開示された主題の目的、特徴、利点及び考えは、明細書において提供された説明から当業者に明らかであり、開示された主題は、本開示に現れる説明に基づいて当業者によって容易に実行可能であろう。任意の「好ましい実施態様」の説明及び／又は開示された主題を実行するための好ましい方法を示す例は、説明の目的で含まれており、特許請求の範囲の範囲を制限することを意図するものではない。

【0037】

開示された主題が、本開示に開示された、開示された主題の精神及び範囲から逸脱することなく、本明細書中に記載された側面に基づいて、種々の改変をなすことができることも当業者に明らかである。

【0038】

上に記載されるように、開示された主題は、高いエッチング速度（銅及びコバルトが連結される場合＞５０Å／分）で銅及びコバルトの両方を除去することができる化学配合物に関し、それは、２つの金属間の化学的特性の違い及びガルバニック腐食効果をさらに克服し、約１～１．２の範囲においてＣｕ及びＣｏのエッチング選択性を有する。したがって、配合物は、銅及びコバルトが連結される場合、約５０Å／分を超える銅エッチング速度、及び約５０Å／分を超えるコバルトエッチング速度を有する。別の実施態様において、配合物は、銅及びコバルトが連結される場合、約３０Å／分を超える銅エッチング速度、及び約３０Å／分を超えるコバルトエッチング速度を有する。

【0039】

１つの実施態様において、開示され、請求された化学配合物は次のものを含む：
（ｉ）少なくとも２つの炭素原子、少なくとも１つのアミノ置換基及び少なくとも１つのヒドロキシル置換基を有し、アミノ及びヒドロキシル置換基が２つの異なる炭素原子に結合している少なくとも１種のアルカノールアミン；
（ｉｉ）配合物のｐＨを約９～約１２に調節するための少なくとも１種のｐＨ調節剤；
（ｉｉｉ）少なくとも１種のキレート剤；及び
（ｉｖ）水。

【0040】

この実施態様の１つの側面において、少なくとも２つの炭素原子、少なくとも１つのアミノ置換基及び少なくとも１つのヒドロキシル置換基を有し、アミノ及びヒドロキシル置換基が２つの異なる炭素原子に結合している少なくとも１種のアルカノールアミンは、式（Ｉ）である。

【化7】

【0041】

上記の実施態様のさらなる側面において、配合物は、本質的に（ｉ）少なくとも２つの炭素原子、少なくとも１つのアミノ置換基及び少なくとも１つのヒドロキシル置換基を有し、アミノ及びヒドロキシル置換基が２つの異なる炭素原子に結合している少なくとも１種のアルカノールアミン、（ｉｉ）配合物のｐＨを約９～約１２に調節するための少なくとも１種のｐＨ調節剤；（ｉｉｉ）少なくとも１種のキレート剤；及び（ｉｖ）水からなる。係る実施態様において、（ｉ）、（ｉｉ）、（ｉｉｉ）及び（ｉｖ）の合計量は必ずしも１００質量％に等しいとは限らず、配合物の有効性を実質的に変更しない他の成分（例えば水などの追加の１種又は複数種の溶媒、一般の添加剤及び／又は不純物）を含むことができる。この実施態様の１つの側面において、少なくとも２つの炭素原子、少なくとも１つのアミノ置換基及び少なくとも１つのヒドロキシル置換基を有し、アミノ及びヒドロキシル置換基が２つの異なる炭素原子に結合している少なくとも１種のアルカノールアミンは、式（Ｉ）である。

【化8】

【0042】

この実施態様のさらなる側面において、配合物は、（ｉ）少なくとも２つの炭素原子、少なくとも１つのアミノ置換基及び少なくとも１つのヒドロキシル置換基を有し、アミノ及びヒドロキシル置換基が２つの異なる炭素原子に結合している少なくとも１種のアルカノールアミン、（ｉｉ）配合物のｐＨを約９～約１２に調節するための少なくとも１種のｐＨ調節剤；（ｉｉｉ）少なくとも１種のキレート剤；及び（ｉｖ）水からなる。係る実施態様において、（ｉ）、（ｉｉ）、（ｉｉｉ）及び（ｉｖ）の合計量は約１００質量％に等しいが、配合物の有効性を実質的に変更しないような少しの量において存在する他の少量及び／又は痕跡量の不純物を含むことができる。例えば、１つの係る実施態様において、配合物は２質量％又はそれより少ない不純物を含有することができる。別の実施態様において、配合物は１質量％又はそれより少ない不純物を含有することができる。さらなる実施態様において、配合物は０．０５質量％又はそれより少ない不純物を含有することができる。この実施態様の１つの側面において、少なくとも２つの炭素原子、少なくとも１つのアミノ置換基及び少なくとも１つのヒドロキシル置換基を有し、アミノ及びヒドロキシル置換基が２つの異なる炭素原子に結合している少なくとも１種のアルカノールアミンは、式（Ｉ）である。

【化9】

【0043】

別の実施態様において、開示され、請求された化学配合物は次のものを含む：
（ｉ）少なくとも２つの炭素原子、少なくとも１つのアミノ置換基及び少なくとも１つのヒドロキシル置換基を有し、アミノ及びヒドロキシル置換基が２つの異なる炭素原子に結合している少なくとも１種のアルカノールアミン；
（ｉｉ）配合物のｐＨを約９～約１２に調節するための少なくとも１種のｐＨ調節剤；
（ｉｉｉ）少なくとも１種のキレート剤；
（ｉｖ）水；及び
（ｖ）少なくとも１種の水混和性溶媒。

【0044】

【化10】

【0045】

この実施態様のさらなる側面において、配合物は、本質的に（ｉ）少なくとも２つの炭素原子、少なくとも１つのアミノ置換基及び少なくとも１つのヒドロキシル置換基を有し、アミノ及びヒドロキシル置換基が２つの異なる炭素原子に結合している少なくとも１種のアルカノールアミン、（ｉｉ）配合物のｐＨを約９～約１２に調節するための少なくとも１種のｐＨ調節剤；（ｉｉｉ）少なくとも１種のキレート剤；（ｉｖ）水；及び（ｖ）種々の濃度における少なくとも１種の水混和性溶媒からなる。係る実施態様において、（ｉ）、（ｉｉ）、（ｉｉｉ）、（ｉｖ）及び（ｖ）の合計量は必ずしも１００質量％に等しいとは限らず、配合物の有効性を実質的に変更しない他の成分（例えば水などの追加の１種又は複数種の溶媒、一般の添加剤及び／又は不純物）を含むことができる。この実施態様の１つの側面において、少なくとも２つの炭素原子、少なくとも１つのアミノ置換基及び少なくとも１つのヒドロキシル置換基を有し、アミノ及びヒドロキシル置換基が２つの異なる炭素原子に結合している少なくとも１種のアルカノールアミンは、式（Ｉ）である。

【化11】

【0046】

さらなる実施態様において、配合物は、（ｉ）少なくとも２つの炭素原子、少なくとも１つのアミノ置換基及び少なくとも１つのヒドロキシル置換基を有し、アミノ及びヒドロキシル置換基が２つの異なる炭素原子に結合している少なくとも１種のアルカノールアミン、（ｉｉ）配合物のｐＨを約９～約１２に調節するための少なくとも１種のｐＨ調節剤；（ｉｉｉ）少なくとも１種のキレート剤；（ｉｖ）水；及び（ｖ）種々の濃度における少なくとも１種の水混和性溶媒からなる。係る実施態様において、（ｉ）、（ｉｉ）、（ｉｉｉ）、（ｉｖ）及び（ｖ）の合計量は約１００質量％に等しいが、配合物の有効性を実質的に変更しないような少しの量において存在する他の少量及び／又は痕跡量の不純物を含むことができる。例えば、１つの係る実施態様において、配合物は２質量％又はそれより少ない不純物を含有することができる。別の実施態様において、配合物は１質量％又はそれより少ない不純物を含有することができる。さらなる実施態様において、配合物は０．０５質量％又はそれより少ない不純物を含有することができる。この実施態様の１つの側面において、少なくとも２つの炭素原子、少なくとも１つのアミノ置換基及び少なくとも１つのヒドロキシル置換基を有し、アミノ及びヒドロキシル置換基が２つの異なる炭素原子に結合している少なくとも１種のアルカノールアミンは、式（Ｉ）である。

【化12】

【0047】

別の実施態様において、開示され、請求された化学配合物は次のものを含む：
（ｉ）少なくとも２つの炭素原子、少なくとも１つのアミノ置換基及び少なくとも１つのヒドロキシル置換基を有し、アミノ及びヒドロキシル置換基が２つの異なる炭素原子に結合している少なくとも１種のアルカノールアミン；
（ｉｉ）配合物のｐＨを約９～約１２に調節するための少なくとも１種のｐＨ調節剤；
（ｉｉｉ）少なくとも１種のキレート剤；
（ｉｖ）水；
（ｖ）少なくとも１種の水混和性溶媒；及び
（ｖｉ）少なくとも１種のぬれ性調節材料。

【0048】

【化13】

【0049】

この実施態様のさらなる側面において、配合物は、本質的に（ｉ）少なくとも２つの炭素原子、少なくとも１つのアミノ置換基及び少なくとも１つのヒドロキシル置換基を有し、アミノ及びヒドロキシル置換基が２つの異なる炭素原子に結合している少なくとも１種のアルカノールアミン、（ｉｉ）配合物のｐＨを約９～約１２に調節するための少なくとも１種のｐＨ調節剤；（ｉｉｉ）少なくとも１種のキレート剤；（ｉｖ）水；種々の濃度における（ｖ）少なくとも１種の水混和性溶媒及び（ｖｉ）少なくとも１種のぬれ性調節材料からなる。係る実施態様において、（ｉ）、（ｉｉ）、（ｉｉｉ）、（ｉｖ）、（ｖ）及び（ｖｉ）の合計量は必ずしも１００質量％に等しいとは限らず、配合物の有効性を実質的に変更しない他の成分（例えば水などの１種又は複数種の追加の溶媒、一般の添加剤及び／又は不純物）を含むことができる。この実施態様の１つの側面において、少なくとも２つの炭素原子、少なくとも１つのアミノ置換基及び少なくとも１つのヒドロキシル置換基を有し、アミノ及びヒドロキシル置換基が２つの異なる炭素原子に結合している少なくとも１種のアルカノールアミンは、式（Ｉ）である。

【化14】

（式中、Ｒ^１及びＲ^２の各々は、Ｈ、非置換Ｃ_１～Ｃ_６アルキル、置換Ｃ_１～Ｃ_６アルキル、分岐状Ｃ_３～Ｃ_６アルキル及びＣ_１～Ｃ_６アルキルアミノから独立して選択される。）この実施態様の別の側面において、少なくとも１種のぬれ性調節材料は界面活性剤である。

【0050】

この実施態様のさらなる側面において、配合物は、（ｉ）少なくとも２つの炭素原子、少なくとも１つのアミノ置換基及び少なくとも１つのヒドロキシル置換基を有し、アミノ及びヒドロキシル置換基が２つの異なる炭素原子に結合している少なくとも１種のアルカノールアミン、（ｉｉ）配合物のｐＨを約９～約１２に調節するための少なくとも１種のｐＨ調節剤；（ｉｉｉ）少なくとも１種のキレート剤；（ｉｖ）水；種々の濃度における（ｖ）少なくとも１種の水混和性溶媒及び（ｖｉ）少なくとも１種のぬれ性調節材料からなる。係る実施態様において、（ｉ）、（ｉｉ）、（ｉｉｉ）、（ｉｖ）、（ｖ）及び（ｖｉ）の合計量は約１００質量％に等しいが、配合物の有効性を実質的に変更しないような少しの量において存在する他の少量及び／又は痕跡量の不純物を含むことができる。例えば、１つの係る実施態様において、配合物は２質量％又はそれより少ない不純物を含有することができる。別の実施態様において、配合物は１質量％又はそれより少ない不純物を含有することができる。さらなる実施態様において、配合物は０．０５質量％又はそれより少ない不純物を含有することができる。この実施態様の１つの側面において、少なくとも２つの炭素原子、少なくとも１つのアミノ置換基及び少なくとも１つのヒドロキシル置換基を有し、アミノ及びヒドロキシル置換基が２つの異なる炭素原子に結合している少なくとも１種のアルカノールアミンは、好ましくは式（Ｉ）である。

【化15】

【0051】

【0052】

【化16】

【0053】

この実施態様のさらなる側面において、配合物は、本質的に（ｉ）少なくとも２つの炭素原子、少なくとも１つのアミノ置換基及び少なくとも１つのヒドロキシル置換基を有し、アミノ及びヒドロキシル置換基が２つの異なる炭素原子に結合している少なくとも１種のアルカノールアミン、（ｉｉ）配合物のｐＨを約９～約１２に調節するための少なくとも１種のｐＨ調節剤；（ｉｉｉ）少なくとも１種のキレート剤；（ｉｖ）水；及び（ｖｉ）種々の濃度における少なくとも１種のぬれ性調節材料からなる。係る実施態様において、（ｉ）、（ｉｉ）、（ｉｉｉ）、（ｉｖ）及び（ｖｉ）の合計量は必ずしも１００質量％に等しいとは限らず、配合物の有効性を実質的に変更しない他の成分（例えば水などの追加の１種又は複数種の溶媒、一般の添加剤及び／又は不純物）を含むことができる。この実施態様の１つの側面において、少なくとも２つの炭素原子、少なくとも１つのアミノ置換基及び少なくとも１つのヒドロキシル置換基を有し、アミノ及びヒドロキシル置換基が２つの異なる炭素原子に結合している少なくとも１種のアルカノールアミンは、式（Ｉ）である。

【化17】

【0054】

この実施態様のさらなる側面において、配合物は、（ｉ）少なくとも２つの炭素原子、少なくとも１つのアミノ置換基及び少なくとも１つのヒドロキシル置換基を有し、アミノ及びヒドロキシル置換基が２つの異なる炭素原子に結合している少なくとも１種のアルカノールアミン、（ｉｉ）配合物のｐＨを約９～約１２に調節するための少なくとも１種のｐＨ調節剤；（ｉｉｉ）少なくとも１種のキレート剤；（ｉｖ）水；及び（ｖｉ）種々の濃度における少なくとも１種のぬれ性調節材料からなる。係る実施態様において、（ｉ）、（ｉｉ）、（ｉｉｉ）、（ｉｖ）及び（ｖｉ）の合計量は約１００質量％に等しいが、配合物の有効性を実質的に変更しないような少しの量において存在する他の少量及び／又は痕跡量の不純物を含むことができる。例えば、１つの係る実施態様において、配合物は２質量％又はそれより少ない不純物を含有することができる。別の実施態様において、配合物は１質量％又はそれより少ない不純物を含有することができる。さらなる実施態様において、配合物は０．０５質量％又はそれより少ない不純物を含有することができる。この実施態様の１つの側面において、少なくとも２つの炭素原子、少なくとも１つのアミノ置換基及び少なくとも１つのヒドロキシル置換基を有し、アミノ及びヒドロキシル置換基が２つの異なる炭素原子に結合している少なくとも１種のアルカノールアミンは、好ましくは式（Ｉ）である。

【化18】

【0055】

アルカノールアミン
上に記載されたように、開示され、請求された配合物は、少なくとも２つの炭素原子、少なくとも１つのアミノ置換基及び少なくとも１つのヒドロキシル置換基を有し、アミノ及びヒドロキシル置換基が２つの異なる炭素原子に結合している少なくとも１種のアルカノールアミンを含む。幾つかの実施態様において、開示され、請求された配合物は、約１質量％～約１０質量％の１種又はそれより多くのアルカノールアミンを含む。さらなる側面において、開示され、請求された配合物は、約５質量％の１種又はそれより多くのアルカノールアミンを含む。さらなる側面において、開示され、請求された配合物は、約２質量％の１種又はそれより多くのアルカノールアミンを含む。さらなる側面において、開示され、請求された配合物は、約１質量％の１種又はそれより多くのアルカノールアミンを含む。

【0056】

幾つかの実施態様において、アルカノールアミンは式（Ｉ）の１，２アルカノールアミンである。

【化19】

（式中、Ｒ^１及びＲ^２の各々は、Ｈ、非置換Ｃ_１～Ｃ_６アルキル、置換Ｃ_１～Ｃ_６アルキル、分岐状Ｃ_３～Ｃ_６アルキル及びＣ_１～Ｃ_６アルキルアミノから独立して選択される。）幾つかの実施態様において、Ｒ^１及びＲ^２の各々は、Ｈ、非置換Ｃ_１～Ｃ_４アルキル、Ｃ_１～Ｃ_４アルキルアミノ及びアルコール又はハロゲンで置換されたＣ_１～Ｃ_４アルキルから独立して選択される。

【0057】

１つの実施態様において、配合物は、Ｒ^１及びＲ^２の一方又は両方がＨである式（Ｉ）のアルカノールアミンを含む。さらなる側面において、配合物の少なくとも１種のアルカノールアミンは、本質的にＲ^１及びＲ^２の一方又は両方がＨである式（Ｉ）のアルカノールアミンからなる。さらなる側面において、配合物の少なくとも１種のアルカノールアミンは、Ｒ^１及びＲ^２の一方又は両方がＨである式（Ｉ）のアルカノールアミンからなる。

【0058】

１つの実施態様において、配合物は、Ｒ^１及びＲ^２の両方がＨである式（Ｉ）のアルカノールアミンを含む。

【化20】

【0059】

さらなる側面において、配合物の少なくとも１種のアルカノールアミンは、本質的にＲ^１及びＲ^２の両方がＨである式（Ｉ）のアルカノールアミンからなる。さらなる側面において、配合物の少なくとも１種のアルカノールアミンは、Ｒ^１及びＲ^２の両方がＨである式（Ｉ）のアルカノールアミンからなる。

【0060】

１つの実施態様において、配合物は、Ｒ^１及びＲ^２の一方がＨであり、Ｒ^１及びＲ^２のもう一方が－ＣＨ_３基である式（Ｉ）のアルカノールアミンを含む。

【化21】

【0061】

さらなる側面において、配合物の少なくとも１種のアルカノールアミンは、本質的にＲ^１及びＲ^２の一方がＨであり、Ｒ^１及びＲ^２のもう一方が－ＣＨ_３基である式（Ｉ）のアルカノールアミンからなる。さらなる側面において、配合物の少なくとも１種のアルカノールアミンは、Ｒ^１及びＲ^２の一方がＨであり、Ｒ^１及びＲ^２のもう一方が－ＣＨ_３基である式（Ｉ）のアルカノールアミンからなる。

【0062】

１つの実施態様において、配合物は、Ｒ^１及びＲ^２の一方がＨであり、Ｒ^１及びＲ^２のもう一方が式－ＣＨ_２ＣＨ_２ＯＨの置換Ｃ_１～Ｃ_６アルキルである式（Ｉ）のアルカノールアミンを含む。

【化22】

【0063】

さらなる側面において、配合物の少なくとも１種のアルカノールアミンは、本質的にＲ^１及びＲ^２の一方がＨであり、Ｒ^１及びＲ^２のもう一方が式－ＣＨ_２ＣＨ_２ＯＨの置換Ｃ_１～Ｃ_６アルキルである式（Ｉ）のアルカノールアミンからなる。さらなる側面において、配合物の少なくとも１種のアルカノールアミンは、Ｒ^１及びＲ^２の一方がＨであり、Ｒ^１及びＲ^２のもう一方が式－ＣＨ_２ＣＨ_２ＯＨの置換Ｃ_１～Ｃ_６アルキルである式（Ｉ）のアルカノールアミンからなる。

【0064】

１つの実施態様において、配合物は、Ｒ^１及びＲ^２の両方が式－ＣＨ_２ＣＨ_２ＯＨの置換Ｃ_１～Ｃ_６アルキルである式（Ｉ）のアルカノールアミンを含む。

【化23】

【0065】

さらなる側面において、配合物の少なくとも１種のアルカノールアミンは、本質的にＲ^１及びＲ^２の両方が式－ＣＨ_２ＣＨ_２ＯＨの置換Ｃ_１～Ｃ_６アルキルである式（Ｉ）のアルカノールアミンからなる。さらなる側面において、配合物の少なくとも１種のアルカノールアミンは、Ｒ^１及びＲ^２の両方が式－ＣＨ_２ＣＨ_２ＯＨの置換Ｃ_１～Ｃ_６アルキルである式（Ｉ）のアルカノールアミンからなる。

【0066】

１つの実施態様において、配合物は、Ｒ^１及びＲ^２の一方がＨであり、Ｒ^１及びＲ^２のもう一方が式－ＣＨ_２ＣＨ_２ＮＨ_２の置換Ｃ_１～Ｃ_６アルキルである式（Ｉ）のアルカノールアミンを含む。

【化24】

【0067】

さらなる側面において、配合物の少なくとも１種のアルカノールアミンは、本質的にＲ^１及びＲ^２の一方がＨであり、Ｒ^１及びＲ^２のもう一方が式－ＣＨ_２ＣＨ_２ＮＨ_２の置換Ｃ_１～Ｃ_６アルキルである式（Ｉ）のアルカノールアミンからなる。さらなる側面において、配合物の少なくとも１種のアルカノールアミンは、Ｒ^１及びＲ^２の一方がＨであり、Ｒ^１及びＲ^２のもう一方が式－ＣＨ_２ＣＨ_２ＮＨ_２の置換Ｃ_１～Ｃ_６アルキルである式（Ｉ）のアルカノールアミンからなる。

【0068】

幾つかの実施態様において、配合物の少なくとも１種のアルカノールアミンは、本質的に式（Ｉ）の化合物からなる。

【化25】

【0069】

幾つかの実施態様において、配合物の少なくとも１種のアルカノールアミンは、式（Ｉ）の化合物からなる。

【化26】

【0070】

適切なアルカノールアミンとしては、以下に制限されるものではないが、エタノールアミン、Ｎ－メチルエタノールアミン、Ｎ－エチルエタノールアミン、Ｎ－プロピルエタノールアミン、Ｎ－ブチルエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、Ｎ－メチルジエタノールアミン、Ｎ－エチルジエタノールアミン、イソプロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン、トリイソプロパノールアミン、Ｎ－メチルイソプロパノールアミン、Ｎ－エチルイソプロパノールアミン、Ｎ－プロピルイソプロパノールアミン、２－アミノプロパン－１－オール、Ｎ－メチル－２－アミノプロパン－１－オール、Ｎ－エチル－２－アミノプロパン－１－オール、１－アミノプロパン－３－オール、Ｎ－メチル－１－アミノプロパン－３－オール、Ｎ－エチル－１－アミノプロパン－３－オール、１－アミノブタン－２－オール、Ｎ－メチル－１－アミノブタン－２－オール、Ｎ－エチル－１－アミノブタン－２－オール、２－アミノブタン－１－オール、Ｎ－メチル－２－アミノブタン－１－オール、Ｎ－エチル－２－アミノブタン－１－オール、３－アミノブタン－１－オール、Ｎ－メチル－３－アミノブタン－１－オール、Ｎ－エチル－３－アミノブタン－１－オール、１－アミノブタン－４－オール、Ｎ－メチル－１－アミノブタン－４－オール、Ｎ－エチル－１－アミノブタン－４－オール、１－アミノ－２－メチルプロパン－２－オール、２－アミノ－２－メチルプロパン－１－オール、１－アミノペンタン－４－オール、２－アミノ－４－メチルペンタン－１－オール、２‐アミノヘキサン－１－オール、３－アミノヘプタン－４－オール、１－アミノオクタン－２－オール、５－アミノオクタン－４－オール、１－アミノプロパン－２，３－ジオール、２－アミノプロパン－１，３－ジオール、トリス（オキシメチル）アミノメタン、１，２－ジアミノプロパン－３－オール、１，３－ジアミノプロパン－２－オール及び２－（２－アミノエトキシ）エタノールも挙げられる。

【0071】

ｐＨ調節剤
ｐＨ調節剤は、配合物のｐＨを約９～約１２に調節するのに適切な任意の材料であることができる。係る材料としては、無機酸、及び以下に制限されないが、クエン酸、硫酸、リン酸、シュウ酸、マロン酸、乳酸、アジピン酸、酢酸、トリフルオロ酢酸、メタンスルホン酸、トルエンスルホン酸、式Ｈ－Ｘ（式中、Ｘ＝Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ又はＩ）のハロゲン酸などの有機酸が挙げられる。好ましいｐＨ調節剤はフッ化水素酸（ＨＦ）及びメタンスルホン酸である。

【0072】

１つの実施態様において、ｐＨ調節剤はニートのフッ化水素酸（ＨＦ）を含む。別の実施態様において、少なくとも１種のｐＨ調節剤は、本質的にフッ化水素酸（ＨＦ）からなる。別の実施態様において、少なくとも１種のｐＨ調節剤はフッ化水素酸（ＨＦ）からなる。

【0073】

１つの実施態様において、ｐＨ調節剤はメタンスルホン酸を含む。別の実施態様において、少なくとも１種のｐＨ調節剤は、本質的にメタンスルホン酸からなる。別の実施態様において、少なくとも１種のｐＨ調節剤はメタンスルホン酸からなる。

【0074】

配合物は、通常約０．００１質量％～約１０質量％のｐＨ調節剤を含む。他の実施態様において、配合物は約０．０１質量％～約７．５質量％のｐＨ調節剤を含む。他の実施態様において、配合物は約０．１質量％～約５．０質量％のｐＨ調節剤を含む。他の実施態様において、配合物は約０．１質量％～約１．０質量％のｐＨ調節剤を含む。

【0075】

幾つかの実施態様において、配合物は約０．１質量％～約１．０質量％のニートのフッ化水素酸（ＨＦ）を含む。１つの側面において、配合物は約０．１２５質量％ニートのフッ化水素酸（ＨＦ）を含む。別の側面において、配合物は約０．２５質量％のニートのフッ化水素酸（ＨＦ）を含む。別の側面において、配合物は約０．５質量％のニートのフッ化水素酸（ＨＦ）を含む。別の側面において、配合物は約０．７５質量％のニートのフッ化水素酸（ＨＦ）を含む。別の側面において、配合物は約１．０質量％のニートのフッ化水素酸（ＨＦ）を含む。

【0076】

幾つかの実施態様において、配合物は約０．１質量％～約５．０質量％のメタンスルホン酸を含む。幾つかの実施態様において、配合物は約０．１質量％～約２．０質量％のメタンスルホン酸を含む。幾つかの実施態様において、配合物は約１．０質量％～約１．５質量％のメタンスルホン酸を含む。幾つかの実施態様において、配合物は約０．５質量％のメタンスルホン酸を含む。幾つかの実施態様において、配合物は約１．０質量％のメタンスルホン酸を含む。幾つかの実施態様において、配合物は約１．２質量％のメタンスルホン酸を含む。幾つかの実施態様において、配合物は約１．５質量％のメタンスルホン酸を含む。

【0077】

キレート剤
上に記載されたように、開示され、請求された配合物は１種又はそれより多くの金属キレート剤を含む。金属キレート剤は、溶液中に金属を保持する組成物の容量を増加させ、かつ金属エッチング速度を高めるように機能することができる。この目的に有用なキレート剤の典型例は以下の有機酸並びにその異性体及び塩である：エチレンジアミン四酢酸（ＥＤＴＡ）、ブチレンジアミンテトラ酢酸、（１，２－シクロヘキシレンジアミン）四酢酸（ＣｙＤＴＡ）、ジエチレントリアミン五酢酸（ＤＥＴＰＡ）、エチレンジアミンテトラプロピオン酸、（ヒドロキシエチル）エチレンジアミン三酢酸（ＨＥＤＴＡ）、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’－エチレンジアミンテトラ（メチレンホスホン）酸（ＥＤＴＭＰ）、トリエチレンテトラミン六酢酸（ＴＴＨＡ）、１，３－ジアミノ－２－ヒドロキシプロパン－Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’－四酢酸（ＤＨＰＴＡ）、イミノ二酢酸、メチルイミノ二酢酸、プロピレンジアミンテトラ酢酸、ニトロ三酢酸（ＮＴＡ）、クエン酸、酒石酸、グルコン酸、糖酸、グリセリン酸、シュウ酸、フタル酸、マレイン酸、マンデル酸、マロン酸、乳酸、サリチル酸、没食子酸プロピル、ピロガロール、８－ヒドロキシキノリン、及びシステイン。好ましいキレート剤はＥＤＴＡ、ＣｙＤＴＡ及びイミノ二酢酸などのアミノカルボン酸である。

【0078】

幾つかの実施態様において、少なくとも１種のキレート剤はＥＤＴＡを含む。幾つかの実施態様において、少なくとも１種のキレート剤は、本質的にＥＤＴＡからなる。幾つかの実施態様において、少なくとも１種のキレート剤はＥＤＴＡからなる。

【0079】

幾つかの実施態様において、少なくとも１種のキレート剤はＣｙＤＴＡを含む。幾つかの実施態様において、少なくとも１種のキレート剤は、本質的にＣｙＤＴＡからなる。幾つかの実施態様において、少なくとも１種のキレート剤はＣｙＤＴＡからなる。

【0080】

幾つかの実施態様において、少なくとも１種のキレート剤はイミノ二酢酸を含む。幾つかの実施態様において、少なくとも１種のキレート剤は、本質的にイミノ二酢酸からなる。幾つかの実施態様において、少なくとも１種のキレート剤はイミノ二酢酸からなる。

【0081】

ほとんどの用途については、配合物は約０．１質量％～約１０質量％のキレート剤を含む。幾つかの実施態様において、配合物は約０．１質量％～約５質量％のキレート剤を含む。幾つかの実施態様において、配合物は約０．１質量％～約３質量％のキレート剤を含む。幾つかの実施態様において、配合物は約０．１質量％～約２質量％のキレート剤を含む。幾つかの実施態様において、配合物は約０．１質量％～約１質量％のキレート剤を含む。好ましくは、配合物は約０．１質量％～約０．５質量％のキレート剤を含む。他の実施態様において、配合物は約０．１質量％のキレート剤を含む。

【0082】

他の実施態様において、配合物は約０．１質量％のＥＤＴＡを含む。他の実施態様において、配合物は、本質的に約０．１質量％のＥＤＴＡからなる。他の実施態様において、配合物は約０．１質量％のＥＤＴＡからなる。

【0083】

他の実施態様において、配合物は約０．１質量％のイミノ二酢酸を含む。他の実施態様において、配合物は、本質的に約０．１％のイミノ二酢酸からなる。他の実施態様において、配合物は約０．１％のイミノ二酢酸からなる。

【0084】

水混和性溶媒
上に記載されたように、開示され、請求された配合物は、銅表面上の粗さ性能を改善するために、表面ぬれ性を変更することができる１種又はそれより多くの水混和性溶媒を含む。適切な水混和性溶媒としては、以下に制限されるものではないが、エチレングリコール、プロピレングリコール（ＰＧ）、１，４－ブタンジオール、トリプロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールプロピルエーテル、ジエチレングリコールｎ－ブチルエーテル（ＢＤＧ）、ジプロピレングリコールメチルエーテル（ＤＰＭ）、ヘキシロキシプロピルアミン、ポリ（オキシエチレン）ジアミン、ジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）、テトラヒドロフラン、テトラヒドロフルフリルアルコール、グリセロール、アルコール類、スルホラン、スルホキシド、又はこれらの混合物が挙げられる。好ましい水混和性溶媒は、プロピレングリコール（ＰＧ）、スルホラン及びジエチレングリコールブチルエーテル（ＢＤＧ）である。

【0085】

ほとんどの用途については、配合物は約１質量％～約２５質量％の水混和性溶媒を含む。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は、本質的に約１質量％～約２５質量％の水混和性溶媒からなる。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約１質量％～約２５質量％の水混和性溶媒からなる。

【0086】

他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約５質量％～約２０質量％の水混和性溶媒を含む。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は本質的に約５質量％～約２０質量％の水混和性溶媒からなる。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約５質量％～約２０質量％の水混和性溶媒からなる。

【0087】

他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約１０質量％～約２０質量％の水混和性溶媒を含む。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は本質的に約１０質量％～約２０質量％の水混和性溶媒からなる。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約１０質量％～約２０質量％の水混和性溶媒からなる。

【0088】

他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約１５％～約２０質量％の水混和性溶媒を含む。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は本質的に約１５％～約２０質量％の水混和性溶媒からなる。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約１５％～約２０質量％の水混和性溶媒からなる。

【0089】

他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約２０質量％の水混和性溶媒を含む。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は、本質的に約２０質量％の水混和性溶媒からなる。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は、約２０質量％の水混和性溶媒からなる。

【0090】

幾つかの実施態様において、水混和性溶媒はＰＧを含む。したがって、係る配合物は約１質量％～約２５質量％のＰＧを含む。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は本質的に約１質量％～約２５質量％のＰＧからなる。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約１質量％～約２５質量％のＰＧからなる。

【0091】

他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約５質量％～約２０質量％のＰＧを含む。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は本質的に約５質量％～約２０質量％のＰＧからなる。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約５質量％～約２０質量％のＰＧからなる。

【0092】

他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約１０質量％～約２０質量％のＰＧを含む。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は本質的に約１０質量％～約２０質量％のＰＧからなる。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約１０質量％～約２０質量％のＰＧからなる。

【0093】

他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約１５質量％～約２０質量％のＰＧを含む。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は本質的に約１５質量％～約２０質量％のＰＧからなる。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約１５質量％～約２０質量％のＰＧからなる。

【0094】

他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約２０質量％のＰＧを含む。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は本質的に約２０質量％のＰＧからなる。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約２０質量％のＰＧからなる。

【0095】

幾つかの実施態様において、水混和性溶媒はＰＧを含む。したがって、係る配合物は約１質量％～約２５質量％のスルホランを含む。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は本質的に約１質量％～約２５質量％のスルホランからなる。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約１質量％～約２５質量％のスルホランからなる。

【0096】

他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約５質量％～約２０質量％のスルホランを含む。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は本質的に約５質量％～約２０質量％のスルホランからなる。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約５質量％～約２０質量％のスルホランからなる。

【0097】

他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約１０質量％～約２０質量％のスルホランを含む。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は本質的に約１０質量％～約２０質量％のスルホランからなる。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約１０質量％～約２０質量％のスルホランからなる。

【0098】

他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約１５質量％～約２０質量％のスルホランを含む。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は本質的に約１５質量％～約２０質量％のスルホランからなる。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約１５質量％～約２０質量％のスルホランからなる。

【0099】

他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約２０質量％のスルホランを含む。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は本質的に約２０質量％のスルホランからなる。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約２０質量％のスルホランからなる。

【0100】

幾つかの実施態様において、水混和性溶媒はＢＤＧを含む。したがって、係る配合物は約１質量％～約２５質量％のＢＤＧを含む。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は本質的に約１質量％～約２５質量％のＢＤＧからなる。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約１質量％～約２５質量％のＢＤＧからなる。

【0101】

他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約５質量％～約２０質量％のＢＤＧを含む。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は本質的に約５質量％～約２０質量％のＢＤＧからなる。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約５質量％～約２０質量％のＢＤＧからなる。

【0102】

他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約１０質量％～約２０質量％のＢＤＧを含む。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は本質的に約１０質量％～約２０質量％のＢＤＧからなる。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約１０質量％～約２０質量％のＢＤＧからなる。

【0103】

他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約１５質量％～約２０質量％のＢＤＧを含む。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は本質的に約１５質量％～約２０質量％のＢＤＧからなる。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約１５質量％～約２０質量％のＢＤＧからなる。

【0104】

他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約２０質量％のＢＤＧを含む。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は本質的に約２０質量％のＢＤＧからなる。他の実施態様において、配合物の１種又はそれより多くの水混和性溶媒は約２０質量％のＢＤＧからなる。

【0105】

ぬれ性調節材料（例えば界面活性剤）
上に記載されたように、開示され、請求された配合物は非イオン性界面活性剤などの少なくとも１種の水溶性のぬれ性調節材料を含むことができる。界面活性剤は、残留物の除去を助ける働きをする。

【0106】

１つの実施態様において、ぬれ性調節材料は界面活性剤を含む。別の実施態様において、ぬれ性調節材料は、本質的に界面活性剤からなる。別の実施態様において、ぬれ性調節材料は、界面活性剤からなる。

【0107】

水溶性のぬれ性調節材料分散剤の例としては、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレン高級アルコールエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレン誘導体、ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノパルミテート、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリオキシエチレンソルビタントリステアレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノオレエート、ポリオキシエチレンソルビタントリオレエート、ポリオキシエチレンソルビットテトラオレエート、ポリエチレングリコールモノラウレート、ポリエチレングリコールモノステアレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ポリエチレングリコールモノオレエート、ポリオキシエチレンアルキルアミン、ポリオキシエチレン硬化ひまし油、アルキルアルカノールアミド及びこれらの混合物が挙げられる。

【0108】

開示され、請求された配合物において用いることができる市販で入手可能な界面活性剤としては、以下に制限されるものではないが、Ｔｒｉｔｏｎ^ＴＭＸ－１００（４－（１，１，３，３－テトラメチルブチル）フェニル－ポリエチレングリコール溶液）及びＤｙｎｏｌ^ＴＭ６０７（Ａｉｒｐｒｏｄｕｃｔｓからの商用製品）が挙げられる。

【0109】

存在する場合、配合物は約０．００１質量％～約５質量％の界面活性剤を含む。他の実施態様において、配合物は約０．０１質量％～約２．５質量％の界面活性剤を含む。他の実施態様において、配合物は約０．１質量％～約１．０質量％の界面活性剤を含む。

【実施例】

【0110】

例
本開示のより具体的な実施態様及び係る実施態様のサポートを提供する実験結果がここで言及される。本例は開示された主題をより完全に説明するために以下に与えられ、いかなる方法でも開示された主題を制限するものとして解釈されるべきでない。

【0111】

開示された主題の精神又は範囲から逸脱することなく、本開示で提供される開示された主題及び具体例において種々の改変及び変形を行うことができることは当業者に明白であろう。したがって、以下の例によって提供される説明を含む開示された主題は、任意の特許請求の範囲及びその均等物の範囲内にある開示された主題の改変及び変形を包含することが意図される。

【0112】

材料及び方法：
成分及び略語
実験者において用いられる略語は以下のとおりである。

【表1】

【0113】

エッチング速度測定：
連結試験によるガルバニック腐食効果のシミュレーションは、図１において示されるように互いに向かいあって接触している２つの金属ウェハ試験片を固定することである。エッチング速度は、４点ＲｅｓＭａｐプローブによって測定され、粗さデータはＢｒｕｋｅｒＩＣＯＮＡＦＭツールによって測定された。表１～５におけるエッチング速度は、１～５分の時間枠で３０℃で測定された。

【0114】

比較例
他の成分を含まないアミン溶液を、０．８Ｍの水において調製して、Ｃｕ及びＣＯのエッチング速度を以下のように評価した。

【表2】

【0115】

見ることができるように、第一級アミンが銅の最も高いエッチング速度を示し、一方で、コバルトエッチング速度はすべてのアミンにおいて低かった。連結されたエッチング速度は、図２においてグラフで示される。

【0116】

実施例
Ａ．ｐＨの効果の分析

【表3】

【0117】

表２に示されるように、ｐＨ値が増加すると銅エッチングが増加したが、同時にコバルトエッチング速度が減少した。Ｃｕ及びＣｏについてのエッチング速度は、金属を個別に、そして連結した場合に収集された。例１及び例２についての連結されたエッチング速度は、図３においてグラフで示される。２つの金属が互いに連結された試料からエッチング速度が収集された場合、より活性の高い金属のエッチング速度が増加する一方で、より活性の低い金属のエッチング速度は減少する。この分析は、実際のデバイスウェハにおけるガルバニック腐食効果をより適切にシミュレートする。

【0118】

Ｂ．キレート剤の効果の分析

【表4】

【0119】

表３に示されるように、（例えば例３の配合物に対する）キレート剤の添加は、２．２１から１．０５～１．０９にＣｕ対Ｃｏエッチング速度の選択性を著しく増加させ、一方で両方の金属のそれぞれのエッチング速度も維持する。図４は、このデータをグラフで示す。

【0120】

Ｃ．粗さへの溶媒の効果の分析

【表5】

【0121】

表４に示されるように、表面ぬれ性を変更することができる溶媒の添加は、銅表面上の粗さ性能を著しくより良好にした。図５はこのデータをグラフで示す。

【0122】

Ｄ．粗さへの溶媒と界面活性剤の効果の分析

【表6】

【0123】

表５に示されるように、粗さはアルカリ性溶液へ界面活性剤を加えることによりさらに改善することができる。表５は、ぬれ性改善溶媒及び界面活性剤の両方を加えると、粗さが５．８４から１．６４に改善されることを示す（約７２％の改善）。図６は、例１３及び例１６についてのデータを示す。図７は、これらの試料についての表面粗さ分析を示す。

【0124】

結果
上記の表において示されるように、開示され、請求された配合物は、銅及びコバルトが連結される場合、約５０Å／分を超える銅エッチング速度、及び約５０Å／分を超えるコバルトエッチング速度を提供し、そうする一方で、銅及びコバルトが連結される場合、望ましいＣｕ対Ｃｏエッチング速度比も提供する。示されるように、連結されたＣｏ－Ｃｕのエッチング速度比は、通常約０．９～約２．２５である。幾つかの実施態様において、銅及びコバルトが連結される場合、銅対コバルトのエッチング速度比は、約１．０～約２．２０である。他の実施態様において、銅及びコバルトが連結される場合、銅対コバルトのエッチング速度比は、約０．９５～約１．２５である。他の実施態様において、銅及びコバルトが連結される場合、銅対コバルトのエッチング速度比は、約０．９５～約１．１である。他の実施態様において、銅及びコバルトが連結される場合、銅対コバルトのエッチング速度比は、約１．０～約１．１である。他の実施態様において、銅及びコバルトが連結される場合、銅対コバルトのエッチング速度比は約１．０である。

【0125】

上記の銅対コバルトのエッチング速度を考慮すると、幾つかの実施態様において、配合物は、銅及びコバルトが連結される場合、約５０Å／分を超える銅エッチング速度、及び約５０Å／分を超えるコバルトエッチング速度を有し、銅及びコバルトが連結される場合、約０．９５～約１．２５の銅対コバルトのエッチング速度比も有する。他の実施態様において、配合物は、銅及びコバルトが連結される場合、約５０Å／分を超える銅エッチング速度、及び約５０Å／分を超えるコバルトエッチング速度を有し、銅及びコバルトが連結される場合、約０．９５～約１．１の銅対コバルトのエッチング速度比も有する。さらに他の実施態様において、配合物は、銅及びコバルトが連結される場合、約５０Å／分を超える銅エッチング速度、及び約５０Å／分を超えるコバルトエッチング速度を有し、銅及びコバルトが連結される場合、約１の銅対コバルトのエッチング速度比も有する。

【0126】

本発明は、ある程度の特殊性をもって記載され、説明されてきたが、開示は単なる例としてなされたものであること、並びに当業者が発明の精神及び範囲から逸脱することなく、工程の条件及び順序における多数の変化に向かうことができることが理解される。

【図1】