発明の名称 薄膜形成用成長抑制剤、これを用いた薄膜形成方法、及びこれから製造された半導体基板
出願人 ソウルブレイン シーオー., エルティーディー (識別番号 321001986)
特許公開件数ランキング 1006 位(22件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 2416 位(6件)(共同出願を含む)
公報番号 特表-2023-532103
公報発行日 2023年7月26
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2023-532103
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