特表2023-533262ペリクル保護薄膜形成用の成長抑制剤、これを用いたペリクル保護薄膜の形成方法、及びこれから製造されたマスク

発明の名称　ペリクル保護薄膜形成用の成長抑制剤、これを用いたペリクル保護薄膜の形成方法、及びこれから製造されたマスク

出願人　ソウルブレイン　シーオー．，　エルティーディー　（識別番号 321001986）

　　　　特許公開件数ランキング 1019 位（22件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2439 位（6件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2023-533262

公報発行日　2023年8月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2023-533262

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