(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公表特許公報(A)
(11)【公表番号】
(43)【公表日】2023-08-07
(54)【発明の名称】レチクルポッドのシーリング
(51)【国際特許分類】
H01L 21/673 20060101AFI20230731BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 T
【審査請求】有
【予備審査請求】未請求
(21)【出願番号】P 2022566365
(86)(22)【出願日】2021-04-29
(85)【翻訳文提出日】2022-12-26
(86)【国際出願番号】 US2021029943
(87)【国際公開番号】W WO2021222603
(87)【国際公開日】2021-11-04
(31)【優先権主張番号】63/017,825
(32)【優先日】2020-04-30
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(81)【指定国・地域】
(71)【出願人】
【識別番号】505307471
【氏名又は名称】インテグリス・インコーポレーテッド
(74)【代理人】
【識別番号】110002077
【氏名又は名称】園田・小林弁理士法人
(72)【発明者】
【氏名】ラシュク， ラス ヴィ．
(72)【発明者】
【氏名】ワン， ホアピン
【テーマコード（参考）】
5F131
【Ｆターム（参考）】
5F131AA10
5F131CA12
5F131CA17
5F131DA32
5F131DA42
5F131GA13
5F131GA24
5F131GA32
5F131GA52
5F131GA55
5F131GA68
5F131GA84
5F131GA87
5F131GA92
5F131JA04
5F131KA03
(57)【要約】
ポッドは、カバー本体を有するカバーと、ベースプレート本体を有するベースプレートと、１つまたは複数のシール面とを含む。１つまたは複数のシール面は、ベースプレート本体およびカバー本体の一方または両方の上に形成され、シーリングを提供する。レチクルポッドを製造する方法は、ベースプレートのベースプレート本体およびカバーのカバー本体の少なくとも１つの上に１つまたは複数のシール面を形成することを含む。１つまたは複数のシール面は、ベースプレートとカバーとの間にシーリングを提供するように形成される。１つまたは複数のシール面の各々は、約７０以上のロックウェルＣ硬度を有する耐摩耗性最外コーティングを含む。
【選択図】図２
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
カバー本体を含むカバーと、ベースプレート本体を含むベースプレートと、
前記ベースプレート本体および前記カバー本体の一方または両方の上に形成され、前記カバーと前記ベースプレートとの間にシーリングを提供する１つまたは複数のシール面であって、前記１つまたは複数のシール面は各々、約７０以上のロックウェルＣ硬度を有する耐摩耗性最外コーティングを含む１つまたは複数のシール面と
を備える、ポッド。
【請求項2】
前記耐摩耗性最外コーティングの前記ロックウェルＣ硬度は、約８０以上である、請求項１に記載のポッド。
【請求項3】
前記耐摩耗性最外コーティングは、窒化チタン、窒化クロム、ダイヤモンド状炭素、またはダイヤモンド－ニッケル複合材の１つである、請求項１に記載のポッド。
【請求項4】
第１の耐摩耗性最外コーティングを有する第１のシール面は、前記ベースプレート本体上に形成され、第２の耐摩耗性最外コーティングを有する第２のシール面は、前記カバー本体上に形成され、前記第１の耐摩耗性最外コーティングは、前記第２の耐摩耗性最外コーティングと同じである、請求項１に記載のポッド。
【請求項5】
第１の耐摩耗性最外コーティングを有する第１のシール面は、前記ベースプレート本体上に形成され、第２の耐摩耗性最外コーティングを有する第２のシール面は、前記カバー本体上に形成され、前記第１の耐摩耗性最外コーティングは、前記第２の耐摩耗性最外コーティングとは異なる、請求項１に記載のポッド。
【請求項6】
前記１つまたは複数のシール面は、前記ベースプレート本体上に形成された第１のシール面を含み、前記ベースプレートは、前記第１のシール面の前記耐摩耗性最外コーティングを含み、前記第１のシール面の前記耐摩耗性最外コーティングは、前記カバーが前記ベースプレート上に載置されたときに前記カバーに直接接触するように配置される、請求項１に記載のポッド。
【請求項7】
前記ベースプレート本体は、アルミニウムを含み、前記耐摩耗性最外コーティングは、前記アルミニウム上に形成される、請求項６に記載のポッド。
【請求項8】
前記１つまたは複数のシール面は、前記カバー本体上に形成された第２のシール面を含み、前記カバーは、前記第２のシール面の前記耐摩耗性最外コーティングを含み、前記カバーの前記耐摩耗性最外コーティングは、前記カバーが前記ベースプレート上に載置されたときに前記ベースプレートの前記耐摩耗性最外コーティングに直接接触するように配置される、請求項６に記載のポッド。
【請求項9】
前記カバーは、前記ベースプレート上に載置されたとき、前記１つまたは複数のシール面の前記１つまたは複数の耐摩耗性最外面を介して前記ベースプレートにのみ接触する、請求項１に記載のポッド。
【請求項10】
前記１つまたは複数のシール面の前記１つまたは複数の耐摩耗性外面は、前記ベースプレートの全周に沿って延びる、請求項１に記載のポッド。
【請求項11】
レチクルポッドを製造する方法であって、ベースプレートのベースプレート本体およびカバーのカバー本体の少なくとも１つの上に１つまたは複数のシール面を形成し、前記ベースプレートと前記カバーとの間にシーリングを提供することであって、前記１つまたは複数のシール面は各々、約７０以上のロックウェルＣ硬度を有する耐摩耗性最外コーティングを含むこと
を含む、方法。
【請求項12】
前記耐摩耗性最外コーティングの前記ロックウェルＣ硬度は、約８０以上である、請求項１１に記載の方法。
【請求項13】
前記耐摩耗性最外コーティングは、窒化チタン、窒化クロム、ダイヤモンド状炭素、またはダイヤモンド－ニッケル複合材の１つである、請求項１１に記載の方法。
【請求項14】
前記耐摩耗性最外コーティングは、約０．１～約１００マイクロメートルの厚さを有する、請求項１１に記載の方法。
【請求項15】
前記ベースプレート本体および前記カバー本体の前記少なくとも１つの上に前記１つまたは複数のシール面を形成することは、前記ベースプレートの前記少なくとも１つの７５％未満および前記カバーの７５％未満を覆うように前記１つまたは複数のシール面を形成することを含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項16】
前記１つまたは複数のシール面は、第１のシール面を含み、前記１つまたは複数のシール面を形成することは、前記ベースプレート本体上に前記第１のシール面の前記耐摩耗性最外コーティングを形成することを含み、前記第１のシール面の前記耐摩耗性最外コーティングは、前記カバーが前記ベースプレート上に載置されたときに前記カバーに直接接触するように配置される、
請求項１１に記載の方法。
【請求項17】
前記ベースプレート本体は、アルミニウムを含み、前記１つまたは複数のシール面を形成することは、前記ベースプレートの前記アルミニウム上に前記第１のシール面の前記耐摩耗性最外コーティングを形成することを含む、
請求項１６に記載の方法。
【請求項18】
前記１つまたは複数のシール面を形成することは、前記ベースプレートの全周に沿って延びるように前記１つまたは複数のシール面の前記１つまたは複数の耐摩耗性外面を形成することを含む、請求項１１に記載の方法。【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
関連出願の相互参照
本出願は、２０２０年４月３０日に出願された米国仮出願第６３／０１７，８２５号の利益および優先権を主張し、上記の開示は、あらゆる目的のためにその全体が参照により本明細書に組み込まれる。
本出願は、２０２０年４月３０日に出願された米国仮出願第６３／０１７，８２５号の利益および優先権を主張し、上記の開示は、あらゆる目的のためにその全体が参照により本明細書に組み込まれる。
【0002】
本開示は、レチクルに使用されるレチクルポッドに関する。より具体的には、本開示は、レチクルポッドにシーリングを提供するために使用される表面に関する。
【背景技術】
【0003】
レチクルポッドは、例えば、半導体処理に使用されるフォトリソグラフィマスクなどのレチクルを収容するために使用される。レチクルポッドは、レチクルの保管および搬送に使用することができる。レチクルポッドは、処理中に１つまたは複数のツールによって取り扱われ操作される金属内側ポッドを含むことができる。内側ポッドは、ベースプレートと、カバーとを含み、ベースプレートおよびカバーは、レチクルを収容し、搬送、保管、および処理中の汚染または物理的損傷からレチクルを保護する。レチクルポッドは、例えば、極紫外線（ＥＵＶ）フォトリソグラフィツールと共に使用するためのＥＵＶポッドを含む。レチクルポッドは、ポッド扉を有する外側ポッドと、内側ポッドを収容するポッドドームとを含むことができる。
【発明の概要】
【0004】
本開示は、レチクルに使用されるレチクルポッドに関する。より具体的には、本開示は、レチクルポッドにシーリングを提供するために使用される表面に関する。
【0005】
一実施形態では、ポッドは、カバー本体を有するカバーと、ベースプレート本体を有するベースプレートと、１つまたは複数のシール面とを含む。１つまたは複数のシール面は、ベースプレート本体およびカバー本体の一方または両方の上に形成され、カバーとベースプレートとの間にシーリングを提供する。１つまたは複数のシール面は各々、約７０以上のロックウェルＣ硬度を有する耐摩耗性最外コーティングを含む。
【0006】
一実施形態では、耐摩耗性最外コーティングは、約８０以上のロックウェルＣ硬度を有する。
【0007】
一実施形態では、１つまたは複数のシール面は、第１のシール面を含む。ベースプレートは、第１のシール面の耐摩耗性最外コーティングを含み、第１のシール面は、ベースプレート本体上に形成される。第１のシール面の耐摩耗性最外コーティングは、カバーがベースプレート上に載置されたときにカバーに直接接触するように配置される。
【0008】
一実施形態では、１つまたは複数のシール面は、第２のシール面を含む。カバーは、第２のシール面の耐摩耗性最外コーティングを含み、第２のシール面は、カバー本体上に形成される。カバーの耐摩耗性最外コーティングは、カバーがベースプレート上に載置されたときにベースプレートの耐摩耗性最外コーティングに直接接触するように配置される。
【0009】
一実施形態では、ポッドは、外側ポッドドームと、外側ポッド扉とを含む。外側ポッドドームおよび外側ポッド扉は、外側ポッド扉が外側ポッドドームに取り付けられたときに外側ポッドドーム内にベースプレートおよびカバーを収納するように構成される。一実施形態では、ポッドは、ＥＵＶレチクルポッドである。
【0010】
一実施形態では、レチクルポッドを製造する方法は、ベースプレートのベースプレート本体およびカバーのカバー本体の少なくとも１つの上に１つまたは複数のシール面を形成することを含む。１つまたは複数のシール面は、ベースプレートとカバーとの間にシーリングを提供するように形成される。１つまたは複数のシール面の各々は、約７０以上のロックウェルＣ硬度を有する耐摩耗性最外コーティングを含む。
【0011】
一実施形態では、１つまたは複数のシール面を形成することは、ベースプレート本体上に耐摩耗性最外コーティングを形成することを含む。カバーがベースプレート上に載置されたときにカバーに直接接触するように配置された耐摩耗性最外コーティング。
【0012】
一実施形態では、１つまたは複数のシール面を形成することは、カバー本体上に耐摩耗性最外コーティングを形成することを含む。カバーがベースプレート上に載置されたときにベースプレートに直接接触するように配置された耐摩耗性最外コーティング。
【0013】
本開示は、添付の図面に関連する様々な例示的な実施形態の以下の説明を考慮することにより、より完全に理解され得る。
【図面の簡単な説明】
【0014】
【図1A】レチクルポッドの内側ポッドの一実施形態の断面図である。
【図2】レチクルポッド内のベースプレートの一実施形態の上面図である。
【図3】レチクルポッド用のカバーの一実施形態の底面図である。
【図4】ベースプレートおよびレチクルポッド用のカバーのシール面に接触する一実施形態の断面図である。
【図5】レチクルポッドの一実施形態の斜視図である。
【図6】レチクルポッドの製造方法のブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【0015】
本開示は、様々な修正および代替の形式に従順であるが、それらの詳細は、例として図面に示され、詳細に説明される。しかし、その意図は、本開示の態様を説明される特定の例示的な実施形態に限定することではないことを理解されたい。それどころか、その意図は、本開示の趣旨および範囲内にあるすべての修正、同等物、および代替案を包含することである。
【0016】
本開示は、レチクルに使用されるレチクルポッド、およびレチクルポッド内にシーリングを提供するために使用される表面を対象とする。
【0017】
図１Ａおよび図１Ｂは、レチクルポッドの内側ポッド１の一実施形態の断面図を示す。図１Ａは、閉じているときの内側ポッド１を示す。図１Ｂは、開いているときの内側ポッド１を示す。内側ポッド１は、レチクル５を収容するためのレチクル収容部分３を有する内部空間を有する。ポッド１は、内側ポッド１内でレチクル５を支持および拘束するために、レチクル収容部分３内にレチクル支持体７Ａおよびレチクル接点７Ｂを含むことができる。
【0018】
内側ポッド１は、ベースプレート１０と、カバー４０とを含む。ベースプレート１０およびカバー４０は、互いに接合されるように構成される。図１Ａに示すように、内側ポッド１の内部空間は、ベースプレート１０上にカバー４０を載置することによって取り囲まれる（例えば、閉じられる）。カバー４０は、ベースプレート１０に直接接触する。特に、カバー４０の底部４２は、ベースプレート１０の上部１２に接触する。内側ポッド１は、ベースプレート１０からカバー４０を離すことによって（例えば、方向Ｄ１に上方にカバーを移動させることなどによって）開かれる。例えば、外部ツール（例えば、自動化アームなど）が内側ポッド１を開いてレチクル収容部分３にアクセスし、レチクル５を取り外す。
【0019】
ベースプレート１０およびカバー４０は、ベースプレート１０とカバー４０との間にシーリングを提供するように構成された１つまたは複数のシール面を含む。例えば、シーリングは、ベースプレート１０とカバー４０との間を通過することによって外部容器（例えば、空気、塵埃など）がポッド１に入るのを低減または防止するように構成される。ベースプレート１０は、カバー４０がベースプレート１０上に載置されたときにカバー４０に直接接触する１つまたは複数のシール面を含むことができる。カバー４０は、カバー４０がベースプレート１０上に載置されたときにベースプレート１０に直接接触するように構成された１つまたは複数のシール面を含む。例えば、ベースプレート１０は、カバー４０に直接接触するように構成された第１のシール面（例えば、シール面１４）を含むことができ、カバー４０は、ベースプレート１０に直接接触するように構成された第２のシール面（例えば、シール面４４）を含むことができる。
【0020】
図２は、レチクルポッド用のベースプレート１０の一実施形態の上面図である。図２は、ベースプレート１０の上部１２を示す。カバー４０は、ベースプレート１０の上部１２上に載置されるように構成される。ベースプレート１０はまた、レチクル支持体７Ａを含むことができる。
【0021】
ベースプレート１０は、シール面１４と、ベースプレート本体１６とを含む。シール面１４は、ベースプレート本体１６上に形成される。以下、シール面１４およびベースプレート本体１６の構成について、より詳細に説明する。図２のベースプレート１０は、単一の連続したシール面１４を含む。シール面１４は、ベースプレート１０の全周に沿って延びる。しかし、ベースプレート１０は、一実施形態では複数のシール面を含むことができる。例えば、別々のシール面１４が、ベースプレート１０とカバー４０との間でより大きな摩耗量が生じ得る場所に設けられてもよい。一実施形態では、ベースプレート１０のシール面１４は、ベースプレート１０の外周の一部に沿ってのみ延びてもよい。
【0022】
図２に示すように、１つまたは複数のシール面１４は、ベースプレート１０の７５％未満を覆うように配置される。一実施形態では、１つまたは複数のシール面１４は、ベースプレート１０の５０％未満を覆うように配置される。
【0023】
図３は、内側ポッド用のカバー４０の一実施形態の底面図である。図３は、カバー４０の底部４２を示す。カバー４０の底部４２は、カバー４０がベースプレート４０上に載置されたときにベースプレート１０の上部１２に接触するように構成される。カバー４０はまた、レチクル収容部分３と、内側ポッド内のレチクルの上面に接触するレチクル接点７Ｂとを含むことができる。
【0024】
カバー４０は、シール面４４と、カバー本体４６とを含む。シール面４４は、カバー本体４６上に形成される。以下、シール面４４およびカバー本体４６の構成について、より詳細に説明する。図３のカバー４０は、単一の連続したシール面４４を含む。しかし、カバー４０は、一実施形態では複数のシール面を含むことができる。例えば、ベースプレート４０の外周の一部に沿ってのみ延びるシール面４４の各々。例えば、別々のシール面４４が、ベースプレート１０とカバー４０との間でより大きな摩耗量が生じる場所に設けられてもよい。
【0025】
シール面４４は、カバー４０の全周に沿って延びる。したがって、カバー４０がベースプレート１０上に載置されると、シール面４４は、ベースプレート１０の全周に沿って延びるように配置される。いくつかの実施形態では、ベースプレート１０の１つまたは複数のシール面１４およびカバー４０の１つまたは複数のシール面４４は、組み合わせてベースプレート１０の全周にわたって延びるように配置されてもよい。例えば、ベースプレート１０のシール面１４は、ベースプレート１０の全周に沿って延びなくてもよく、カバー４０のシール面４４は、シール面１４なしでベースプレート１０の外周の一部に沿って延びる。組み合わせて考慮すると、ベースプレート１０のシール面１４およびカバー４０のシール面４４は、ベースプレート１０の全周に沿って延びることができる。
【0026】
シール面４４は、カバー４０の７５％未満を覆うように設けられる。一実施形態では、シール面４４は、カバー４０の５０％未満を覆う。内側ポッド１のシール面１４、４４は、ベースプレート１０およびカバー４０の７５％未満を覆うように形成される。一実施形態では、シール面１４、４４は、ベースプレート１０およびカバー４０の５０％未満を覆うように形成される。
【0027】
図４は、ベースプレート１０およびカバー４０のシール面１４、４４にわたる断面図である。例えば、図４の断面は、図２の破線Ａ１および図３の破線Ａ２を通って延びる。図４は、（例えば、図１Ｂに示すように）カバー４０がベースプレート１０上に載置されたときのシール面１４、４４の構造および相互作用を示す。
【0028】
シール面１４は、ベースプレート本体１６上に形成され、シール面４４は、カバー本体４６上に形成される。ベースプレート本体１６およびカバー本体４６は、金属でそれぞれ形成される。ベースプレート本体１６およびカバー本体４６は、同じ金属で形成することができる。一実施形態では、ベースプレート本体１６は、アルミニウムを含み、シール面１４は、ベースプレート本体１６のアルミニウム上に形成される。一実施形態では、カバー本体４６は、アルミニウムを含み、シール面４４は、カバー本体４６のアルミニウム上に形成される。
【0029】
各シール面１４、４４は、耐摩耗性最外コーティング１４Ａ、４４Ａを含む。各耐摩耗性最外コーティング１４Ａ、４４Ａは、そのシール面１４、１４の全長に沿って延びる。例えば、耐摩耗性最外コーティング１４Ａは、シール面１４について上述され図２で示したのと同様に、ベースプレート１２の全周に沿って延びる。
【0030】
図４に戻ると、ベースプレート１０の各シール面１４に沿って、耐摩耗性最外コーティング１４Ａは、ベースプレート１０の外面１８を提供する。カバー４０の各シール面４４に沿って、耐摩耗性最外コーティング４４Ａは、カバー４０の外面４８を提供する。したがって、カバー４０は、ベースプレート１０上に載置されたとき、１つまたは複数の耐摩耗性最外面１４Ａ、４４Ａを介してベースプレート１０にのみ接触する。
【0031】
各耐摩耗性最外コーティング１４Ａ、４４Ａは、約７０以上のロックウェルＣ硬度を有する。ロックウェルＣ硬度は、ＡＳＴＭ Ｅ１８～２０に従って測定および決定される。一実施形態では、耐摩耗性最外コーティング１４Ａ、４４Ａは、約８０以上のロックウェルＣ硬度を有する。例えば、耐摩耗性コーティング１４Ａおよび／または４４Ａは、限定はしないが、窒化チタン、窒化クロム、ダイヤモンド状炭素、およびダイヤモンド－ニッケル複合材であってもよい。一実施形態では、耐摩耗性コーティング１４Ａおよび／または４４Ａは、ダイヤモンド－ニッケル複合材である。別の実施形態では、耐摩耗性コーティング１４Ａおよび／または４４Ａは、ダイヤモンド状炭素である。さらに他の実施形態では、耐摩耗性コーティング１４Ａおよび／または４４Ａは、窒化チタンまたは窒化クロムである。約７０以上のロックウェルＣ硬度を有するコバルトまたはコバルト複合材を組み込んだ耐ウェア性コーティングも考えられる。
【0032】
耐摩耗性最外コーティング１４Ａ、４４Ａは、それらが形成されるベースプレート本体１６またはカバー本体４６の厚さよりも薄い厚さＴ１、Ｔ２を有する。一実施形態では、耐摩耗性最外コーティング１４Ａ、４４Ａの厚さは、約０．１～約１００マイクロメートルである。一実施形態では、耐摩耗性最外コーティング１４Ａ、４４Ａの厚さは、約０．１～約６０マイクロメートルである。一実施形態では、耐摩耗性最外コーティング１４、４４Ａの厚さは、約０．１～約４０マイクロメートルである。用途に応じて、ベースプレート１０のシール面１４は、カバーのシール面４４上に設けられた耐摩耗性最外コーティング４４Ａと同じであっても異なっていてもよい耐摩耗性最外コーティング１４Ａとすることができる。
【0033】
図４に示すように、内側層２０が耐摩耗性最外コーティング１４Ａとベースプレート本体１６との間に設けられる。内側層２０は、ベースプレート本体１６上に形成され、耐摩耗性最外コーティング１４Ａは、積層された内側層２０およびベースプレート本体１６上にある。例えば、内側層２０は、限定はしないが、ニッケルであってもよい。一実施形態では、ベースプレート１０は、内側層２０を含まなくてもよい。例えば、耐摩耗性最外コーティング１４Ａは、ベースプレート本体１６の材料上に直接形成されてもよい。別の実施形態では、複数の内側層２０が、耐摩耗性最外コーティング１４Ａとベースプレート本体１６との間に設けられてもよい。例えば、ベースプレート本体１６は、ベースプレート１０の１つまたは複数の性質（例えば、反応性の低下、強度の増加など）、および／または耐摩耗性最外コーティング１４Ａの１つまたは複数の性質（例えば、強度の増加、耐摩耗性最外コーティングの接着性の増加など）を改善する内側層２０を含むことができる。一実施形態では、カバー４０は、上述したのと同様の方式で内側層５０を含むことができる。
【0034】
図１Ａ～図４では、ベースプレート１０とカバー４０の両方には、耐摩耗性最外コーティング１４Ａ、４４Ａを有する少なくとも１つのシール面１４、４４が設けられる。ベースプレート１０のシール面１４は、カバー４０のシール面４４に直接接触する。より詳細には、ベースプレート１０の耐摩耗性最外コーティング１４Ａは、カバー４０の耐摩耗性最外コーティング４４Ａに直接接触する。他の実施形態では、シール面およびその耐摩耗性最外コーティングは、対向するシール面の耐摩耗性最外コーティングに接触しなくてもよい。シール面１４、４４およびその耐摩耗性最外コーティング１４Ａ、４４Ａは、耐摩耗性最外コーティング以外の材料に直接接触してもよい。例えば、シール面１４、４４およびその耐摩耗性外側コーティング１４Ａ、４４Ａは、対向するベースプレート本体１６もしくはカバー本体４６の金属、または前記対向するベースプレート本体１６もしくはカバー本体上のコーティング（例えば、層２０、層５０など）に直接接触することができる。
【0035】
しかし、いくつかの実施形態では、ベースプレート１０およびカバー４０の一方のみがシール面を有してもよいことを理解されたい。例えば、ベースプレート１０がシール面を含まない一方でカバー４０には１つまたは複数のシール面４４が設けられてもよく、またはその逆であってもよい。このような構成では、カバー４０の耐摩耗性最外コーティング４４Ａは、ベースプレート１０の異なる材料（例えば、ベースプレート本体１６の金属、層２０など）に接触する。
【0036】
図５は、一実施形態による、レチクルポッド２００の斜視図である。レチクルポッド２００は、内側ポッド２１０と、外側ポッド２２０とを含む。例えば、レチクルポッド２００は、限定はしないが、フォトリソグラフィマスクの極紫外線（「ＥＵＶ」）処理用のレチクルポッドであってもよい。
【0037】
内側ポッド２１０は、カバー２１２と、ベースプレート２１４とを含む。カバー２１２およびベースプレート２１４は、互いに接合されるように構成される。互いに接合されると、カバー２１２およびベースプレート２１４は、使用のためのレチクル２３０を収容するサイズおよび形状の内部空間を画定する。例えば、レチクル２３０は、限定はしないが、極紫外線（ＥＵＶ）処理に使用されるフォトリソグラフィマスクであってもよい。いくつかの実施形態では、カバー２１２およびベースプレート２１４の少なくとも１つは、図１Ａ～図３のベースプレート１０およびカバー４０について上述したのと同様の１つまたは複数のシール面２１６を含む。いくつかの実施形態では、カバー２１２およびベースプレート２１４は各々、シール面２１６（カバー２１２については図５では不明瞭）の少なくとも１つを含む。耐摩耗性最外コーティングを含むシール面２１６の各々。耐摩耗性最外コーティングは、例えば、図４について上述した耐摩耗性最外コーティング１４Ａとすることができる。カバー２１２は、例えば、上述され図１Ａ、図１Ｂ、および図３に示すカバー４０とすることができる。ベースプレート２１４は、例えば、上述され図１Ａ、図１Ｂ、および図２に示すベースプレート１０とすることができる。
【0038】
外側ポッド２２０は、外側ポッドドーム２２２と、外側ポッド扉２２４とを含む。外側ポッド２２０は、外側ポッドドーム２２２および外側ポッド扉２２４によって画定された内部空間内に内側ポッド２１０を収納するように構成される。外側ポッドドーム２２２は、例えばレチクルポッド２００の搬送および取り扱い中、内部空間を取り囲み、内側ポッド２１０を収容するために外側ポッド扉２２４に固定することができる。外側ポッドドーム２２２および外側ポッド扉２２４は各々、１つまたは複数のポリマー材料を含むか、またはそれらから完全に作製することができる。
【0039】
図６は、レチクルポッドを製造する方法３００のブロック図である。例えば、方法３００は、上述され図５で説明したレチクルポッド３００を形成してもよく、または上述され図１Ａ～図４で説明したレチクルポッド用のベースプレート１０およびカバー４０の一方または両方を形成してもよい。一実施形態では、レチクルポッドは、ＥＵＶレチクルポッドである。方法３００は、３１０で開始する。
【0040】
３１０において、レチクルポッド用のベースプレート（例えば、ベースプレート１０、ベースプレート２１４）およびカバー（例えば、カバー４０、カバー２１２）が設けられる。一実施形態では、３１０は、ベースプレートおよびカバーの一方または両方を形成することを含むことができる。次いで、方法３００は３２０に進む。
【0041】
３２０において、１つまたは複数のシール面（例えば、シール面１４、シール面４４、シール面２１６）が、ベースプレートのベースプレート本体（例えば、ベースプレート本体１６）およびカバーのカバー本体（例えば、カバー本体４６）の少なくとも１つの上に形成される。１つまたは複数のシール面は、ベースプレートとカバーとの間にシーリングを提供するように構成される。１つまたは複数のシール面の各々は、約７０以上のロックウェルＣ硬度を有する耐摩耗性最外コーティング（例えば、耐摩耗性最外コーティング１４Ａ、耐摩耗性最外コーティング４４Ａ）を含む。耐摩耗性最外コーティングが形成され得る方法の非限定的な例には、物理気相堆積、スパッタ堆積、化学気相堆積、およびプラズマ強化化学気相堆積が挙げられる。
【0042】
一実施形態では、１つまたは複数のシール面を形成すること３２０は、ベースプレート本体上にシール面を形成すること３２２を含む。ベースプレート本体上にシール面を形成すること３２２は、ベースプレート本体上に耐摩耗性最外コーティング（例えば、耐摩耗性最外コーティング１４Ａ）を形成することを含む。耐摩耗性最外コーティングは、カバーがベースプレート上に載置されたときにカバーに直接接触するようにベースプレート本体上に配置される。
【0043】
一実施形態では、１つまたは複数のシール面を形成すること３２０は、カバー本体上に少なくとも１つのシール面を形成すること３２４を含む。カバー本体上にシール面を形成すること３２４は、カバー本体上に耐摩耗性最外コーティング（例えば、耐摩耗性最外コーティング４４Ａ）を形成することを含む。耐摩耗性最外コーティングは、カバーがベースプレート上に載置されたときにベースプレートに直接接触するようにカバー本体上に配置される。
【0044】
いくつかの実施形態では、１つまたは複数のシール面を形成すること３２０は、ベースプレート本体上にシール面を形成すること３２２と、カバー本体上にシール面を形成すること３２４との両方を含む。他の実施形態では、１つまたは複数のシール面を形成すること２２０は、ベースプレート本体上にシール面を形成すること３２２、またはカバー本体上にシール面を形成すること３２４の一方のみを含むことができる。
【0045】
場合によっては、それらの形成後、耐摩耗性最外コーティングを所望の表面粗さまたは平滑性まで研磨して接触表面積を高め、耐摩耗性コーティングにおける表面欠陥を最小限に抑えることができる。
【0046】
様々な実施形態における方法３００は、図１Ａ～図４のベースプレート１０およびカバー４０に関して上述した特徴と同等の特徴を達成するように修正することができることを理解されたい。例えば、一実施形態における方法３００は、ベースプレートの全周に沿って延びるように１つまたは複数のシール面３２０を形成してもよい。
【0047】
態様：
態様１～１２のいずれかは、態様１３～２０のいずれかと組み合わせることができる。
態様１～１２のいずれかは、態様１３～２０のいずれかと組み合わせることができる。
【0048】
態様１．カバー本体を含むカバーと、ベースプレート本体を含むベースプレートと、前記ベースプレート本体および前記カバー本体の一方または両方の上に形成され、前記カバーと前記ベースプレートとの間にシーリングを提供する１つまたは複数のシール面であって、前記１つまたは複数のシール面は各々、約７０以上のロックウェルＣ硬度を有する耐摩耗性最外コーティングを含む１つまたは複数のシール面とを備える、ポッド。
【0049】
態様２．前記耐摩耗性最外コーティングの前記ロックウェルＣ硬度は、約８０以上である、態様１に記載のポッド。
【0050】
態様３．前記耐摩耗性最外コーティングは、窒化チタン、窒化クロム、およびダイヤモンド状炭素の１つである、態様１または２に記載のポッド。
【0051】
態様４．前記耐摩耗性最外コーティングは、約０．１～約１００マイクロメートルの厚さを有する、態様１～３のいずれか一項に記載のポッド。
【0052】
態様５．前記１つまたは複数のシール面は、前記ベースプレートの７５％未満および前記カバーの７５％未満を覆う、態様１～４のいずれか一項に記載のポッド。
【0053】
態様６．前記１つまたは複数のシール面は、前記ベースプレート本体上に形成された第１のシール面を含み、前記ベースプレートは、前記第１のシール面の前記耐摩耗性最外コーティングを含み、前記第１のシール面の前記耐摩耗性最外コーティングは、前記カバーが前記ベースプレート上に載置されたときに前記カバーに直接接触するように配置される、態様１～４のいずれか一項に記載のポッド。
【0054】
態様７．前記ベースプレート本体は、アルミニウムを含み、前記耐摩耗性最外コーティングは、前記アルミニウム上に形成される、態様６に記載のポッド。
【0055】
態様８．前記１つまたは複数のシール面は、前記カバー本体上に形成された第２のシール面を含み、前記カバーは、前記第２のシール面の前記耐摩耗性最外コーティングを含み、前記カバーの前記耐摩耗性最外コーティングは、前記カバーが前記ベースプレート上に載置されたときに前記ベースプレートの前記耐摩耗性最外コーティングに直接接触するように配置される、態様６または７に記載のポッド。
【0056】
態様９．前記カバーは、前記ベースプレート上に載置されたとき、前記１つまたは複数のシール面の前記１つまたは複数の耐摩耗性最外面を介して前記ベースプレートにのみ接触する、態様１～８のいずれか一項に記載のポッド。
【0057】
態様１０．前記１つまたは複数のシール面の前記１つまたは複数の耐摩耗性外面は、前記ベースプレートの全周に沿って延びる、態様１～９のいずれか一項に記載のポッド。
【0058】
態様１１．前記ポッドは、ＥＵＶレチクルポッドである、態様１～９のいずれか一項に記載のポッド。
【0059】
態様１２．外側ポッドドームと、外側ポッド扉とをさらに備え、前記外側ポッドドームおよび前記外側ポッド扉は、前記外側ポッド扉が前記外側ポッドドームに取り付けられたときに前記外側ポッドドーム内に前記ベースプレートおよび前記カバーを収納するように構成される、態様１～１１のいずれか一項に記載のポッド。
【0060】
態様１３．レチクルポッドを製造する方法であって、ベースプレートのベースプレート本体およびカバーのカバー本体の少なくとも１つの上に１つまたは複数のシール面を形成し、前記ベースプレートと前記カバーとの間にシーリングを提供することであって、前記１つまたは複数のシール面は各々、約７０以上のロックウェルＣ硬度を有する耐摩耗性最外コーティングを含むことを含む、方法。
【0061】
態様１４．前記耐摩耗性最外コーティングの前記ロックウェルＣ硬度は、約８０以上である、態様１３に記載の方法。
【0062】
態様１５．前記耐摩耗性最外コーティングは、窒化チタン、窒化クロム、およびダイヤモンド状炭素の１つである、態様１３または１４に記載の方法。
【0063】
態様１６．前記耐摩耗性最外コーティングは、約０．１～約１００マイクロメートルの厚さを有する、態様１３～１５のいずれか一項に記載の方法。
【0064】
態様１７．前記ベースプレート本体および前記カバー本体の前記少なくとも１つの上に前記１つまたは複数のシール面を形成することは、前記ベースプレートの前記少なくとも１つの７５％未満および前記カバーの７５％未満を覆うように前記１つまたは複数のシール面を形成することを含む、態様１３～１６のいずれか一項に記載の方法。
【0065】
態様１８．前記１つまたは複数のシール面は、第１のシール面を含み、前記１つまたは複数のシール面を形成することは、前記ベースプレート本体上に前記第１のシール面の前記耐摩耗性最外コーティングを形成することを含み、前記第１のシール面の前記耐摩耗性最外コーティングは、前記カバーが前記ベースプレート上に載置されたときに前記カバーに直接接触するように配置される、態様１３～１７のいずれか一項に記載の方法。
【0066】
態様１９．前記ベースプレート本体は、アルミニウムを含み、前記１つまたは複数のシール面を形成することは、前記ベースプレートの前記アルミニウム上に前記第１のシール面の前記耐摩耗性最外コーティングを形成することを含む、態様１３～１８のいずれか一項に記載の方法。
【0067】
態様２０．前記１つまたは複数のシール面を形成することは、前記ベースプレートの全周に沿って延びるように前記１つまたは複数のシール面の前記１つまたは複数の耐摩耗性外面を形成することを含む、態様１３～１９のいずれか一項に記載の方法。
【0068】
本出願で開示される例は、すべての点において例示的であり、限定的ではないと見なされるべきである。本開示の範囲は、前述の説明ではなく添付の特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内にあるすべての変更は、特許請求の範囲に包含されることを意図している。
【図1A】
【図1B】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【手続補正書】
【提出日】2023-01-05
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
カバー本体を含むカバーと、ベースプレート本体を含むベースプレートと、ベースプレート本体及びカバー本体の一方又は両方の上に形成され、カバーとベースプレートとの間にシーリングを提供する一又は複数のシール面であって、一又は複数のシール面は各々、約７０以上のロックウェルＣ硬度を有する耐摩耗性最外コーティングを含む一又は複数のシール面とを備える、ポッド。
【請求項2】
耐摩耗性最外コーティングは、窒化チタン、窒化クロム、ダイヤモンド状炭素、又はダイヤモンド－ニッケル複合材の１つである、請求項１に記載のポッド。
【請求項3】
第１の耐摩耗性最外コーティングを有する第１のシール面は、ベースプレート本体上に形成され、第２の耐摩耗性最外コーティングを有する第２のシール面は、カバー本体上に形成され、第１の耐摩耗性最外コーティングは、第２の耐摩耗性最外コーティングと同じである、請求項１に記載のポッド。
【請求項4】
第１の耐摩耗性最外コーティングを有する第１のシール面は、ベースプレート本体上に形成され、第２の耐摩耗性最外コーティングを有する第２のシール面は、カバー本体上に形成され、第１の耐摩耗性最外コーティングは、第２の耐摩耗性最外コーティングとは異なる、請求項１に記載のポッド。
【請求項5】
ベースプレートのベースプレート本体及びカバーのカバー本体の少なくとも１つの上に一又は複数のシール面を形成し、ベースプレートとカバーとの間にシーリングを提供することであって、一又は複数のシール面は各々、約７０以上のロックウェルＣ硬度を有する耐摩耗性最外コーティングを含むことを含む、レチクルポッドを製造する方法。
【国際調査報告】