特表2023-538826二酸化チタン含有ルテニウム化学機械研磨スラリー

発明の名称　二酸化チタン含有ルテニウム化学機械研磨スラリー

出願人　キャボット　マイクロエレクトロニクス　コーポレイション　（識別番号 500397411）

　　　　特許公開件数ランキング 1885 位（10件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1637 位（10件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2023-538826

公報発行日　2023年9月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2023-538826

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