(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公表特許公報(A)
(11)【公表番号】
(43)【公表日】2023-11-01
(54)【発明の名称】容器用の一体型シール
(51)【国際特許分類】
H01L 21/673 20060101AFI20231025BHJP
B65D 85/30 20060101ALI20231025BHJP
F16J 15/10 20060101ALI20231025BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 T
B65D85/30 500
F16J15/10 T
【審査請求】有
【予備審査請求】未請求
(21)【出願番号】P 2023522428
(86)(22)【出願日】2021-10-13
(85)【翻訳文提出日】2023-06-08
(86)【国際出願番号】 US2021054667
(87)【国際公開番号】W WO2022081629
(87)【国際公開日】2022-04-21
(31)【優先権主張番号】63/090,916
(32)【優先日】2020-10-13
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(81)【指定国・地域】
(71)【出願人】
【識別番号】505307471
【氏名又は名称】インテグリス・インコーポレーテッド
(74)【代理人】
【識別番号】110002077
【氏名又は名称】園田・小林弁理士法人
(72)【発明者】
【氏名】シェイナー， ウィリアム ジェー．
(72)【発明者】
【氏名】フラー， マシュー エー．
(72)【発明者】
【氏名】ジャブカ， マイケル シー．
(72)【発明者】
【氏名】ワイルド， アリッサ
【テーマコード（参考）】
3E096
3J040
5F131
【Ｆターム（参考）】
3E096AA06
3E096BA16
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3E096BB04
3E096CA02
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3J040AA17
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5F131AA02
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5F131GA53
5F131GA84
(57)【要約】
物品は、１つ以上の基板又はレチクルを保持するための基板容器を含む。基板容器は、１つ以上の側壁と、閉鎖端と、開放端と、１つ以上の側壁及び閉鎖端によって画定された内部空間とを含むハウジングを有する。容器は、ハウジングの開放端を閉じるように構成されたドアをさらに有する。ドアは、シール結合部を有するドア本体を含む。ドア本体は、ドア本体ポリマーから形成される。ドアは、ドア本体のシール結合部と一体的に形成されたシール部材をさらに含む。
【選択図】図４
【選択図】図４
【特許請求の範囲】
【請求項1】
１つ以上の基板又はレチクルを保持するための基板容器であって、１つ以上の側壁、閉鎖端、開放端、前記１つ以上の側壁及び前記閉鎖端によって画定された内部空間を含むハウジングと、
ドアであって、
前記ハウジングの前記開放端を閉じるように構成され、
シール結合部を有し、ドア本体ポリマーから形成されるドア本体、及び
前記ドア本体の前記シール結合部と一体的に形成されたシール部材
を含む、ドアと
を有する、１つ以上の基板又はレチクルを保持するための基板容器
を備える物品。
【請求項2】
前記シール部材は、接続部及び接触部を含み、前記接続部は、前記接続部と前記ドア本体の前記シール結合部とが互いに接続されるように、前記ドア本体の前記シール結合部と共に形成され、前記接触部は、前記ドアが閉位置にあるときに前記開放端をシールするように構成される、請求項１に記載の容器。
【請求項3】
前記ドア本体ポリマーは熱可塑性樹脂を含む、請求項１に記載の容器。
【請求項4】
前記ドア本体ポリマーは、ポリカーボネート、環状オレフィン、液晶ポリマー、ポリプロピレン、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）、ポリフェニレンスルホン（ＰＰＳＵ）、ポリエーテルイミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリケトン、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、ポリブチレンテレフタレート、ポリスルホン（ＰＳＵ、ＰＳＦ）、ポリアリールエーテルケトン（ＰＡＥＫ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエーテルケトン（ＰＥＫＫ）及びポリエーテルケトンエーテルケトンケトン（ＰＥＫＥＫＫ）からなる群から選択される少なくとも１つの材料を含む、請求項１に記載の容器。
【請求項5】
前記シール部材は、射出成形によって前記ドア本体と一体的に形成される、請求項１に記載の容器。
【請求項6】
前記接続部は、前記ドア本体の前記シール結合部とインターロックする、請求項２に記載の容器。
【請求項7】
前記シール部材の前記接続部は、拡大エッジを有し、前記拡大エッジは、前記ドア本体の前記シール結合部によって保持されてインターロック接続を形成し、それによって前記ドア本体の前記シール結合部からの前記接続部の引き出しを防止するように構成される、請求項６に記載の容器。
【請求項8】
前記シール結合部は、間隙及びチャネルを含み、断面図で見ると、前記シール結合部の間隙の幅は、前記チャネルの幅よりも小さい、請求項７に記載の容器。
【請求項9】
前記接続部は、第１のポリマーを含み、前記第１のポリマーは、前記接続部の前記拡大エッジが、前記インターロック接続を形成するように前記ドア本体内に形成された前記シール結合部の前記間隙以下のサイズに圧縮されるのを防止するように構成された圧縮性を有する、請求項８に記載の容器。
【請求項10】
前記シール部材の前記接続部の前記拡大エッジは、前記ドア本体の前記シール結合部に接合され、前記ドア本体の前記シール結合部によって周りに形成される、請求項７に記載の容器。
【請求項11】
前記接触部は、ワイパー型ガスケットを含む、請求項２に記載の容器。
【請求項12】
前記接続部は、前記ドア本体ポリマーとは異なる第１のポリマーから作製される、請求項２に記載の容器。
【請求項13】
前記第１のポリマーは、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマー、又はそれらの組み合わせを含む、請求項１２に記載の容器。
【請求項14】
前記接触部は、前記第１のポリマー及び前記ドア本体ポリマーとは異なる第２のポリマーから作製される、請求項１２に記載の容器。
【請求項15】
前記第２のポリマーはエラストマーポリマーを含む、請求項１４に記載の容器。
【請求項16】
前記第２のポリマーは熱硬化性又は熱可塑性エラストマーを含む、請求項１４に記載の容器。
【請求項17】
前記第２のポリマーは、３０ショア以上のショアデュロメータを有するポリマーを含む、請求項１４に記載の容器。
【請求項18】
前記第２のポリマーは１３０℃の温度に耐えることができる、請求項１４に記載の容器。
【請求項19】
前記第２のポリマーは、フルオロポリマー、フルオロエラストマー（ＦＫＭ）、ペルフルオロエラストマー（ＦＫＫＭ）、スチレン系ブロック共重合体（ＳＢＣ）、ポリエーテルエステルブロック共重合体（ＣＯＰＥ）、熱可塑性オレフィン（ＴＰＯ）、熱可塑性加硫物（ＴＰＶ）、熱可塑性ポリウレタン（ＴＰＵ）及びコポリアミドエラストマー（ＣＯＰＡ）からなる群から選択される少なくとも１つの材料を含む、請求項１４に記載の容器。
【請求項20】
前記第１のポリマーは、前記第２のポリマーの硬度及び剛性よりも大きい硬度及び剛性を有する、請求項１４に記載の容器。
【請求項21】
前記第１のポリマーは、前記第２のポリマーに関する任意の温度に耐えることができる、請求項１４に記載の容器。
【請求項22】
前記接続部及び前記接触部は、同じポリマーから作製される、請求項２に記載の容器。
【請求項23】
前面開閉式一体型ポッド、レチクルポッド、及び半導体基板出荷容器のうちの１つである、請求項１に記載の容器。
【請求項24】
前記シール結合部は、前記ドア本体の周縁部に位置する、請求項１に記載の容器。
【請求項25】
前記シール結合部は、前記ドア本体の前記周縁部の全周に沿って延在する、請求項１に記載の容器。
【請求項26】
ポリマーシール部材がドア本体と一体的に形成されるように、前記ポリマーシール部材を前記ドア本体のシール結合部にインサート成形することを含む、基板又はレチクル容器のハウジングの開放端を閉じるドアを作製する方法。
【請求項27】
前記ポリマーシール部材は、前記ポリマーシール部材と前記ドア本体の前記周縁部とが互いに接続されるように、前記ドアのドア本体のシール結合部に接合されて形成される、請求項２６に記載の方法。
【請求項28】
前記ドア本体ポリマーとは異なる第１のポリマーから前記ポリマーシール部材の接続部を形成することであって、前記接続部は、前記ドア本体の前記シール結合部に形成されるように寸法決めされた拡大エッジを含む、前記ポリマーシール部材の接続部を形成すること、並びに前記ドア本体ポリマー及び前記第１のポリマーとは異なる第２のポリマーから前記ポリマーシール部材の接触部を形成することであって、前記接触部は、前記ドアが閉位置にあるときに前記容器の前記ハウジングの前記開放端をシールするように構成される、前記ポリマーシール部材の接触部を形成すること
を含む、前記シール部材を形成すること
をさらに含む、請求項２６に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、概して、半導体基板用の容器に関する。より詳細には、本開示は、そのような容器のドア及びドアフレーム接触面に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体基板は、半導体製造中に一般的に使用される。半導体基板は、材料層の堆積、ドーピング、エッチングなどの一連の製造ステップを経る。１つ以上の半導体基板は、半導体製造前、半導体製造中、又は半導体製造後に容器内に保持、搬送、保管、又は輸送することができる。
【0003】
半導体基板の保持には、様々な容器が使用される。基板容器は、基板を清浄にし、汚染せず、損傷しないようにするために、容器が閉じられ、所定の位置に係止されるときにシールされることが望ましい。
【発明の概要】
【0004】
物品のいくつかの実施形態は、１つ以上の基板又はレチクルを保持するための基板容器を含む。基板容器は、１つ以上の側壁と、閉鎖端と、開放端と、１つ以上の側壁及び閉鎖端によって画定された内部空間とを含むハウジングを有する。容器は、ハウジングの開放端を閉じるように構成されたドアをさらに有する。ドアは、シール結合部を有するドア本体を含む。ドア本体は、ドア本体ポリマーから形成される。ドアは、ドア本体のシール結合部と一体的に形成されたシール部材をさらに含む。
【0005】
他の実施形態は、基板又はレチクル容器のハウジングの開放端を閉じるドアを作製する方法を含むことができる。本方法は、ポリマーシール部材がドア本体と一体的に形成されるように、ポリマーシール部材をドア本体の周縁部にインサート成形することを含む。
【0006】
本開示の１つ以上の実施形態の詳細は、添付の図面及び説明、並びに特許請求の範囲に記載されている。
【図面の簡単な説明】
【0007】
【図1】１つ以上の半導体基板を保持するための容器の正面斜視図である。
【図5】１つ以上の半導体基板を保持するための容器のさらなる実施形態の部分断面図である。
【図7】１つ以上の半導体基板を保持するための容器のまたさらなる実施形態の部分断面図である。
【図8】１つ以上の半導体基板を保持するための容器のさらに別の実施形態の部分断面図である。
【図9】一体的に形成されたシール部材を含む容器ドアの作製方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【0008】
同様の数字は同様の特徴を表す。
【0009】
本明細書で使用する場合、「一体」又は「一体的に」という用語は、シール部材若しくはドア本体がドアの構成要素として、対向する構成要素の中に、又はその周りに形成されるように、容器のドアが製造されることを意味する。「一体」又は「一体的に」という用語は、ドア本体及びシール部材の両方の材料が同じであることを必要としない。本明細書で使用される場合、「インターロックする」、「インターロックされた」又は「インターロックしている」という用語は、２つの構造部材のうちの少なくとも１つを変形させることなく２つの構造部材が分離されることを防止する、２つの構造部材の機械的結合を指す。本明細書で使用される場合、「接合する」、「接合された」又は「接合している」という用語は、２つの部材のうちの少なくとも１つが形成されているときにシール部材とドア本体とが互いに接触していることを意味する。本明細書で使用される場合、「拡大された」という用語は、エッジの厚さが、エッジの自由端から離れて位置する物体の部分の対応する寸法に対して、実質的に同じ倍率だけ大きいことを意味する。
【0010】
図１～図３を参照すると、基板容器１は、半導体製造又は他のプロセス中に半導体基板を保持、搬送、保管、又は輸送するように構成することができる。容器１は、ハウジング１０と、ハウジング１０に固定することができるドア３０とを含むことができる。ドア３０は、シール部材４０と共に形成されている。例えばスナップ嵌め又はプレス嵌めによって、粒子の発生源となり得るドアの溝に挿入されるか、そうでなければ組み立てられるシール部材と比較して、一体型シール部材と共に形成されたドアは、この組み立てプロセス中に発生する粒子によって引き起こされる汚染を防止するのに役立つことができる。いくつかの実施形態では、一体型シールの概念は、容器に汚染をもたらす可能性がある、シール部材の挿入中の摩擦を低減するために使用される潤滑流体などの望ましくない流体を回避することができる。さらに、本開示によるシールの形成は、シールをドアに物理的に挿入する間の粒子の発生を低減又は排除する。
【0011】
図１を参照すると、容器１は、１つ以上の半導体基板を保持するために使用することができる。図１～図３に示される容器１は、前面開閉式一体型ポッド（ｆｒｏｎｔ ｏｐｅｎｉｎｇ ｕｎｉｆｉｅｄ ｐｏｄ）（ＦＯＵＰ）の一実施形態である。いくつかの実施形態では、容器は半導体基板出荷容器であってもよい。他の実施形態では、容器はレチクルポッドであってもよい。本開示の一体型シールの概念は、他のタイプの容器と共に使用され得ることを理解されたい。
【0012】
図１及び図２を参照すると、ハウジング１０は、１つ以上の側壁１２と、閉鎖端１４と、閉鎖端１４の反対側の開放端１６と、側壁１２及び閉鎖端１４によって画定される内部空間５とを有する。ドア３０は、ハウジング１０に結合し、開放端１６を閉じるように構成される。
【0013】
図１～図３に示される実施形態では、ドア３０は、ハウジング１０の開放端１６と係合して内部空間５をシールすることができる。これにより、容器内に保持された半導体基板が外部環境からの水分や塵埃などによって汚染されることを防止することができる。ハウジング１０の１つ以上の側壁１２は任意の数であってもよく、側壁の配置は連続壁を形成する。内部空間５は、１つ以上の側壁１２と閉鎖端１４とによって画定される。ハウジング１０は、半導体基板を保持するように構成された棚１８をさらに備える。いくつかの実施形態では、容器１は、１つ以上の流体をハウジング１０の内部空間５に選択的に供給するため、又は流体を排出するための１つ以上のポートを含むことができる。
【0014】
図１を参照すると、ドア３０は閉位置に示されており、ハウジング１０とドア３０との間に、シールがシール部材４０によって形成されている。図２に示されるハウジング１０の正面図において、ドア３０は取り外され、容器１は、ハウジング１０の内部空間５にアクセスすることができる開位置にある。
【0015】
図３は、ドア３０の上面斜視図を示す。ドア３０は、ドア本体３２と、内面２２と、ハウジング１０の開放端１６をシールするシール部材４０と、ドア３０をハウジング１０に固定するラッチ機構３１とを有する。ドア３０が図１に示される閉位置にあるとき、ドア３０の内面２２は、内部空間５に面するように位置決めされる。
【0016】
図３を参照すると、ドア本体３２は、ドア本体３２の周縁部２１にシール結合部３４を有する。シール結合部３４は、シール部材４０と一体的に形成され、それにより、シール部材４０とドア本体３２とを接続する。シール結合部３４は、周縁部２１の代わりに、ドア本体３２上の他の位置に位置し得ることを理解されたい。いくつかの実施形態では、ドア本体３２は、射出成形によって形成することができる。
【0017】
一実施形態では、ドア本体３２は、ドア本体ポリマーから作製されている。一例では、ドア本体ポリマーは熱可塑性ポリマーを含む。さらなる実施形態では、ドア本体ポリマーは、ポリカーボネート、環状オレフィン、液晶ポリマー、ポリプロピレン、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）、ポリフェニレンスルホン（ＰＰＳＵ）、ポリエーテルイミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリケトン、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、ポリブチレンテレフタレート、及びポリスルホン（ＰＳＵ、ＰＳＦ）のうちの１種以上を含む。代替的な実施形態では、ドア本体ポリマーは、ポリアリールエーテルケトン（ＰＡＥＫ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエーテルケトンケトン（ＰＥＫＫ）及びポリエーテルケトンエーテルケトンケトン（ＰＥＫＥＫＫ）などのポリアリールエーテルケトンファミリーのポリマーのうちの１種以上を含むことができる。
【0018】
【0019】
図４を参照すると、図１の線ＩＶ－ＩＶに沿った容器１の部分断面図が示されている。この部分断面図にはまた、図２のＩＶＡ線に沿ったハウジング１０の断面と、図３のＩＶＢ線に沿ったドア３０の断面とが示されている。図４を参照すると、この実施形態で示されるシール結合部３４は、間隙３６及びチャネル３５を含む。本実施形態の断面図で見ると、シール結合部の間隙３６の幅は、チャネル３５の幅よりも小さい。
【0020】
図３及び図４を参照すると、シール部材４０は、ドア本体３２のシール結合部３４と一体的に形成されている。代替的な実施形態では、シール部材は、ドア本体と一体的に形成される代わりに、ハウジング１０の開放端１６の縁部に一体的に形成され得ることを理解されたい。この場合、ハウジング１０に形成されたシール部材をドア３０に係合させて内部空間５をシールすることができる。
【0021】
シール部材４０は接続部５４及び接触部５６を含み、接続部５４は、ドア本体３２のシール結合部３４と共に、これら２つが相互接続されてシール部材４０をドア本体３２に保持するように形成することができる。いくつかの実施形態では、シール部材４０の接続部５４は、ドア本体３２のシール結合部３４に一体的に形成される。図４を参照すると、図示の実施形態では、シール部材４０とドア本体３２との間の接続は、シール部材４０とドア本体３２との間の一体的な接続を強化するインターロック接続である。この例では、接続部５４は、インターロック接続を形成するようにシール結合部３４のチャネル３５に固定された拡大エッジ５２を有し、それによってドア本体３２のシール結合部３４からの拡大エッジ５２の引き出しを防止する。一実施形態では、拡大エッジ５２は、図４に示すように突出部の形態をとる。
【0022】
いくつかの実施形態では、接続部５４は、第１のポリマーから作製される。第１のポリマーは、ドア本体ポリマーとは異なるポリマーであってもよい。一例では、第１のポリマーは、接触部５６の材料、すなわち以下で詳細に説明するような第２のポリマーの硬度及び剛性よりも大きい硬度及び剛性を有する。別の例では、第１のポリマーは、第２のポリマーに適した任意の温度に耐えることができる。一実施形態では、第１のポリマーは、ドア本体ポリマー用のポリマーと比較して、より高い温度に耐えることができる。一例では、第１のポリマーは、ポリエーテルエーテルケトン及び液晶ポリマーの一方又は両方を含むことができる。
【0023】
いくつかの実施形態では、第１のポリマーは、インターロック接続を形成するように、シール部材４０の拡大エッジ５２がドア本体３２のシール結合部３４の間隙３６の幅以下のサイズに圧縮されるのを防止するように構成された圧縮性を有する。
【0024】
シール部材４０とドア本体３２とは、所望に応じて種々の方法で接続することができる。いくつかの実施形態では、シール部材４０又はドア本体３２は、様々な成形プロセスによって、対向する構成要素の中に、又はその周りに一体的に形成することができる。一実施形態では、シール部材４０は、ドア本体３２のシール結合部３４などのドア本体３２の一部に形成することができる。別の実施形態では、シール部材４０は、ドア本体３２の一部の周りに形成することができる。例えば、シール部材４０は、ドア本体３２のシール結合部３４の周りに形成することができる。
【0025】
いくつかの実施形態では、シール部材４０は、射出成形によってドア本体３２と一体的に形成される。一実施形態では、プロセスは、シール部材４０をドア本体３２とインサート成形すること含む。インサート成形は、シール部材４０の接続部５４の一部をモールドキャビティ内に配置することと、モールドキャビティをカバーで選択的に覆うことと、射出チャネルを介してモールドキャビティ内にポリマーを射出することとを含むことができ、それにより、ドア本体ポリマーが接続部５４の一部の周りに形成されて一体接続を形成し、それにより、ドア本体３２のシール結合部３４からの接続部５４の係合解除を防止する。
【0026】
図４を参照すると、インサート成形後、シール部材４０の接続部５４は、ドア本体３２の一部に接合してその周りに形成され、そして、シール結合部３４が形成され、シール部材４０の接続部５４に一体的に接続される。図４に示される実施形態では、シール部材４０の接続部５４は、拡大エッジ５２を有する。拡大エッジ５２は、ドア本体３２のシール結合部３４に保持されてインターロック接続を形成し、それによってシール部材４０とドア本体３２との間の一体接続をさらに強化する。これにより、シール結合部３４のチャネル３５にシール部材を物理的に挿入することなく、シール部材４０をドア本体３２に形成することができる。結果として、これは、粒子発生、溶液汚染又は漏れ経路の可能性を最小限に抑えるのに役立つ。
【0027】
さらに図４を参照すると、図示の実施形態では、断面図で見ると、拡大エッジ５２は、少なくとも２つの側面５８Ａ、５８Ｂ、及び遠位端５８Ｃを含む。遠位端５８Ｃは、接触部５６から最も遠くに位置している。一例では、シール結合部３４のチャネル３５は、拡大エッジ５２の両方の側面５８Ａ、５８Ｂ及び端部５８Ｃの周りに嵌合する。図示の実施形態では、拡大エッジ５２は、遠位端５８Ｃから接触部５６に向かって延在する際にテーパ形状を有する。接続部５４の拡大エッジ５２の特定の形状は変化し得ることを理解されたい。実際、拡大エッジ５２は、シール結合部３４のチャネル３５と協働してインターロック接続を形成し、シール部材４０を所定の位置に保持することができる限り、任意の形態をとることができる。
【0028】
シール部材４０とドア本体３２との間に形成された接続は、シール結合部と拡大エッジとの協働以外の形態を取り得ることを理解されたい。
【0029】
ドア３０が閉位置にあるとき、シール部材４０は、ドア本体３２とハウジング１０との間にシールを形成して内部空間５をシールするように構成される。例えば、図３～図４に示される実施形態では、側壁１２の各々とドア本体３２との間にシールが形成されるように、シール部材４０はハウジング１０の側壁１２の各々に接触する。図示の実施形態では、シール部材４０は、ドア本体３２の周縁部の周りに形成された連続的なシール部材である。シール部材は、所望に応じて複数の構造部材を含み得ることを理解されたい。
【0030】
図４を参照すると、シール部材４０の接触部５６は、ドア３０が閉位置にあるときにハウジング１０の開放端１６をシールするように構成される。このような状況では、接触部５６は、ハウジング１０に直接接触するように構成された外面を有する。
【0031】
いくつかの実施形態では、シール部材４０は、ドア本体３２のシール結合部３４の周りに一体的に形成され得ることを理解されたい。例えば、シール部材４０の接続部５４は、ドア本体３２に形成される代わりに、ドア本体３２のシール結合部３４の外面の周りに、シール部材４０とドア本体３２とが一体的に接続されるように形成されていてもよい。
【0032】
いくつかの実施形態では、接触部５６は、ドア本体ポリマーとは異なる第２ポリマーを含む。一実施形態では、第２のポリマーは、エラストマーポリマーを含む。別の実施形態では、第２のポリマーは熱可塑性エラストマーを含む。さらなる実施形態では、第２のポリマーは、フルオロポリマーなどの熱硬化性エラストマーを含む。
【0033】
いくつかの実施形態では、第２のポリマーは、３０ショア以上のショアデュロメータを有するポリマーを含む。他の実施形態では、第２のポリマーは１３０℃の温度に耐えることができる。一実施形態では、第２のポリマーはポリプロピレンを含む。いくつかの実施形態では、第２のポリマーは、フルオロポリマー、フルオロエラストマー（ＦＫＭ）、ペルフルオロエラストマー（ＦＦＫＭ）、スチレン系ブロック共重合体（ＳＢＣ）、ポリエーテルエステルブロック共重合体（ＣＯＰＥ）、熱可塑性オレフィン（ＴＰＯ）、熱可塑性加硫物（ＴＰＶ）、熱可塑性ポリウレタン（ＴＰＵ）及びコポリアミドエラストマー（ＣＯＰＡ）のうちの少なくとも１種を含む。
【0034】
いくつかの実施形態では、接触部５６は、接続部５４の材料とは異なる材料から作製される。一実施形態では、接続部５４の第１のポリマーは、接触部５６の第２のポリマーよりも高い剛性を有する。一実施形態では、第２のポリマーの少なくとも５０重量％は、フルオロポリマー又はポリエーテルエーテルケトンなどのエラストマーポリマーである。
【0035】
図５を参照すると、さらなる実施形態の部分断面図において、図１～図４に関して上述した実施形態と同様の容器１０１が示されており、シール部材は異なる構成である。図５の断面図は、図４の断面図に関して説明したのと同様の容器１０１の平面に沿ったものである。容器１０１は、内部空間１０５を有するハウジング１１０と、一体型シール部材１４０を有するドア１３０とを有する。ドア１３０は、ドア本体１３２を有する。ドア本体１３２は、ドア本体１３２の周縁部１２１にシール結合部１３４を有する。シール部材１４０は、シール結合部１３４と一体的に形成されている。図示の実施形態では、シール部材１４０は、断面図において接続部１５４を通って延在する接触部１５６を有し、接続部１５４は、ドア本体１３２のシール結合部１３４に形成された拡大エッジ１５２を有する。
【0036】
図６は、図５のシール部材１４０の分解図である。図５及び図６に示されるように、接続部１５４は、ドア本体１３２の周縁部１２１の形状に対応した矩形状の構造部材である。接続部１５４は、開口部１６０を有する。接触部１５６は、接続部１５４の形状に対応する形状を有し、接触部１５６はタブ１５８を含む。接続部１５４と接触部１５６とを互いに組み立てるために、接触部１５６のタブ１５８は、接続部１５４のそれぞれの開口部１６０を通って延在する。このような状況では、接続部１５４と接触部１５６とが互いに対して固定される。接続部及び接触部によって形成されたシール部材が基板容器をシールすることができる限り、接続部の特定の形状及び接触部の特定の形状は変化し得ることを理解されたい。
【0037】
図７を参照すると、またさらなる実施形態の部分断面図において、図５～図６に関して上述した実施形態と同様の容器２０１が示されており、シール部材は異なる構成である。図７の断面図は、図４の断面図に関して説明したのと同様の容器２０１の平面に沿ったものである。容器２０１は、内部空間２０５を有するハウジング２１０と、一体型シール部材２４０を有するドア２３０とを有する。ドア２３０は、ドア本体２３２を有する。ドア本体２３２は、ドア本体２３２の周縁部２２１にシール結合部２３４を有する。シール部材２４０は、シール結合部２３４と一体的に形成されている。図示の実施形態では、シール部材２４０は、断面図において接続部２５４を通って延在する接触部２５６を有し、接続部２５４は、ドア本体２３２のシール結合部２３４に形成された拡大エッジ２５２を有する。図５及び図６のシール部材１４０の構成と同様に、接続部２５４は開口部２６０を含み、接触部２５６は、接続部２５４のそれぞれの開口部２６０を通って延在するタブ２５８を含む。このような状況では、接続部２５４と接触部２５６とが互いに対して固定される。
【0038】
さらに図７を参照すると、この実施形態では、シール部材２４０の接触部２５６は、ドア２３０とハウジング２１０との間の接触面をシールし、ハウジング２１０の内部空間をシールド保護するために、シール部材２４０の接触部２５６から外向きに突出し、ハウジング２１０の表面に沿って延在するワイパー型ガスケット２６２をさらに含む。
【0039】
図８を参照すると、さらに別の実施形態の部分断面図において、図１～図４に関して上述した実施形態と同様の容器３０１が示されており、シール部材は異なる構成である。図８の断面図は、図４の断面図に関して説明したのと同様の容器３０１の平面に沿ったものである。容器３０１は、内部空間３０５を有するハウジング３１０と、一体型シール部材３４０を有するドア３３０とを有する。ドア３３０は、ドア本体３３２を有する。ドア本体３３２は、ドア本体３３２の周縁部３２１にシール結合部３３４を有する。シール部材３４０は、シール結合部３３４と一体的に形成されている。図示の実施形態では、シール部材３４０は、ドア本体３３２のシール結合部３３４に形成された拡大エッジ３５２を有する。
【0040】
さらに図８を参照すると、この実施形態では、シール部材３４０は、接続部３５４及び接触部３５６を含むが、これらの２つの部分３５４、３５６は、同じ材料から作製された１つの均一な本体の一部である。例えば、シール部材３４０は、１種以上のポリマー、添加剤などを含む同じ材料から作製することができる。いくつかの実施形態では、シール部材３４０は、フルオロエラストマー（ＦＫＭ）などの１種以上のガスケット材料から作製される。
【0041】
ドア本体と一体型シール部材とを有する基板容器のドアを作製するために、様々な方法を使用することができる。いくつかの実施形態では、シール部材は、様々な成形プロセスによってドア本体の一部の中に、又はその周りに形成することができる。一実施形態では、シール部材は、ドア本体のシール結合部に形成することができる。別の実施形態では、シール部材は、ドア本体のシール結合部の外面の周りに形成することができる。
【0042】
図９を参照すると、ポリマーシール部材と一体的に容器ドアを形成する方法１０００のフロー図が示されている。例えば、方法１０００を使用して、図１～図４のドア３０、図５のドア１３０、図７のドア２３０、又は図８のドア３３０を形成することができる。Ｓ１１００から開始して、容器ドアのポリマーシール部材を形成する。いくつかの実施形態では、ポリマーシール部材は、同じ均一な本体の一部として接続部及び接触部を含む１つの構造部材を有する。
【0043】
他の実施形態では、ポリマーシール部材は、互いに異なる接続部及び接触部を含む。このような状況では、ポリマーシール部材を形成することは、Ｓ１１１０で接続部を形成することと、Ｓ１１２０で接触部を形成することとを含む。一例では、接続部は第１のポリマーから作製され、接触部は第２のポリマーから作製される。Ｓ１１３０において、接続部と接触部とを互いに組み合わせる。
【0044】
Ｓ１２００において、容器ドアと共にポリマーシール部材をインサート成形し、これは、シール部材の接続部をモールドキャビティ内に配置することと、モールドキャビティをカバーで選択的に覆うことと、ドア本体ポリマーがポリマーシール部材の接続部の周りに少なくとも部分的に形成されるように、射出チャネルを介してポリマーをモールドキャビティ内に射出することとを含む。このような状況では、ポリマーシール部材は、容器ドアと一体的に形成される。
【0045】
いくつかの実施形態では、ポリマーシール部材は、必要に応じて異なる表面特性を付与するために様々な表面処理によって処理することができる。例えば、ポリマーシール部材は、ポリマーシール部材を容器ドアとインサート成形する前に、プラズマ又はコロナ処理などの所望の表面処理によって調製することができる。他の実施形態では、ポリマーシール部材は、ポリマーシール部材とドア本体との間の結合強度を改善するために、結合剤を用いて前処理することができる。
【0046】
いくつかの実施形態では、ドアは、ドア本体の周縁部に形成されたシール結合部のチャネルにシール部材を挿入することによって作製される。代替的な実施形態では、シール部材は、ドア本体のシール結合部のチャネルにシール部材を物理的に挿入することなくドア本体に形成される。その代わりに、シール部材は、例えば成形プロセスによって、ドア本体のシール結合部に、又はその周りに一体的に形成される。
【0047】
代替的な実施形態では、ドア本体の周縁部の周りにポリマーシール部材の接続部を形成することによって、ポリマーシール部材がドア本体に一体的に形成され得ることを理解されたい。
【0048】
態様：
態様１～２５のいずれかは、態様２６～２９のいずれかと組み合わせることができる。
態様１～２５のいずれかは、態様２６～２９のいずれかと組み合わせることができる。
【0049】
態様１．１つ以上の基板又はレチクルを保持するための基板容器であって、
１つ以上の側壁、閉鎖端、開放端、１つ以上の側壁及び閉鎖端によって画定された内部空間を含むハウジングと、
ドアであって、
ハウジングの開放端を閉じるように構成され、
シール結合部を有し、ドア本体ポリマーから形成されるドア本体、及び
ドア本体のシール結合部と一体的に形成されたシール部材
を含む、ドアと
を有する、１つ以上の基板又はレチクルを保持するための基板容器
を備える物品。
１つ以上の側壁、閉鎖端、開放端、１つ以上の側壁及び閉鎖端によって画定された内部空間を含むハウジングと、
ドアであって、
ハウジングの開放端を閉じるように構成され、
シール結合部を有し、ドア本体ポリマーから形成されるドア本体、及び
ドア本体のシール結合部と一体的に形成されたシール部材
を含む、ドアと
を有する、１つ以上の基板又はレチクルを保持するための基板容器
を備える物品。
【0050】
態様２．シール部材は、接続部及び接触部を含み、接続部は、接続部とドア本体のシール結合部とが互いに接続されるように、ドア本体のシール結合部と共に形成され、接触部は、ドアが閉位置にあるときに開放端をシールするように構成される、請求項１に記載の容器。
【0051】
態様３．ドア本体ポリマーは熱可塑性樹脂を含む、態様１～２のいずれかに記載の容器。
【0052】
態様４．ドア本体ポリマーは、ポリカーボネート、環状オレフィン、液晶ポリマー、ポリプロピレン、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）、ポリフェニレンスルホン（ＰＰＳＵ）、ポリエーテルイミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリケトン、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、ポリブチレンテレフタレート、ポリスルホン（ＰＳＵ、ＰＳＦ）、ポリアリールエーテルケトン（ＰＡＥＫ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエーテルケトン（ＰＥＫＫ）及びポリエーテルケトンエーテルケトンケトン（ＰＥＫＥＫＫ）からなる群から選択される少なくとも１つの材料を含む、態様１～３のいずれかに記載の容器。
【0053】
態様５．シール部材は、射出成形によってドア本体と一体的に形成される、態様１～４のいずれかに記載の容器。
【0054】
態様６．接続部は、ドア本体のシール結合部とインターロックする、態様２～４のいずれかに記載の容器。
【0055】
態様７．シール部材の接続部は、拡大エッジを有し、拡大エッジは、ドア本体のシール結合部によって保持されてインターロック接続を形成し、それによってドア本体のシール結合部からの接続部の引き出しを防止するように構成される、態様６に記載の容器。
【0056】
態様８．シール結合部は、間隙及びチャネルを含み、断面図で見ると、シール結合部の間隙の幅は、チャネルの幅よりも小さい、態様７に記載の容器。
【0057】
態様９．接続部は、第１のポリマーを含み、第１のポリマーは、接続部の拡大エッジが、インターロック接続を形成するようにドア本体内に形成されたシール結合部の間隙以下のサイズに圧縮されるのを防止するように構成された圧縮性を有する、態様８に記載の容器。
【0058】
態様１０．シール部材の接続部の拡大エッジは、ドア本体のシール結合部に接合され、ドア本体のシール結合部によって周りに形成される、態様７～９のいずれかに記載の容器。
【0059】
態様１１．接触部は、ワイパー型ガスケットを含む、態様２～１１のいずれかに記載の容器。
【0060】
態様１２．接続部は、ドア本体ポリマーとは異なる第１のポリマーから作製される、態様２～１１のいずれかに記載の容器。
【0061】
態様１３．第１のポリマーは、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマー、又はそれらの組み合わせを含む、態様１２に記載の容器。
【0062】
態様１４．接触部は、第１のポリマー及びドア本体ポリマーとは異なる第２のポリマーから作製される、態様１２～１３のいずれかに記載の容器。
【0063】
態様１５．第２のポリマーはエラストマーポリマーを含む、態様１４に記載の容器。
【0064】
態様１６．第２のポリマーは熱硬化性又は熱可塑性エラストマーを含む、態様１４～１５のいずれかに記載の容器。
【0065】
態様１７．第２のポリマーは、３０ショア以上のショアデュロメータを有するポリマーを含む、態様１４～１６のいずれかに記載の容器。
【0066】
態様１８．第２のポリマーは１３０℃の温度に耐えることができる、態様１４～１７のいずれかに記載の容器。
【0067】
態様１９．第２のポリマーは、フルオロポリマー、フルオロエラストマー（ＦＫＭ）、ペルフルオロエラストマー（ＦＫＫＭ）、スチレン系ブロック共重合体（ＳＢＣ）、ポリエーテルエステルブロック共重合体（ＣＯＰＥ）、熱可塑性オレフィン（ＴＰＯ）、熱可塑性加硫物（ＴＰＶ）、熱可塑性ポリウレタン（ＴＰＵ）及びコポリアミドエラストマー（ＣＯＰＡ）からなる群から選択される少なくとも１つの材料を含む、態様１４～１８のいずれかに記載の容器。
【0068】
態様２０．第１のポリマーは、第２のポリマーの硬度及び剛性よりも大きい硬度及び剛性を有する、態様１４～１９のいずれかに記載の容器。
【0069】
態様２１．第１のポリマーは、第２のポリマーに関する任意の温度に耐えることができる、態様１４～２０のいずれかに記載の容器。
【0070】
態様２２．接続部及び接触部は、同じポリマーから作製される、態様２～２１のいずれかに記載の容器。
【0071】
態様２３．前面開閉式一体型ポッド、レチクルポッド、及び半導体基板出荷容器のうちの１つである、態様１～２２のいずれかに記載の容器。
【0072】
態様２４．シール結合部は、ドア本体の周縁部に位置する、態様１～２３のいずれかに記載の容器。
【0073】
態様２５．シール結合部は、ドア本体の周縁部の全周に沿って延在する、態様１～２４のいずれかに記載の容器。
【0074】
態様２６．ポリマーシール部材がドア本体と一体的に形成されるように、ポリマーシール部材をドア本体のシール結合部にインサート成形すること
を含む、基板又はレチクル容器のハウジングの開放端を閉じるドアを作製する方法。
を含む、基板又はレチクル容器のハウジングの開放端を閉じるドアを作製する方法。
【0075】
態様２７．ポリマーシール部材は、ポリマーシール部材とドア本体の周縁部とが互いに接続されるように、ドアのドア本体のシール結合部に接合されて形成される、態様２６に記載の方法。
【0076】
態様２８．ドア本体ポリマーとは異なる第１のポリマーからポリマーシール部材の接続部を形成することであって、接続部は、ドア本体のシール結合部に形成されるように寸法決めされた拡大エッジを含む、ポリマーシール部材の接続部を形成すること、並びに
ドア本体ポリマー及び第１のポリマーとは異なる第２のポリマーからポリマーシール部材の接触部を形成することであって、接触部は、ドアが閉位置にあるときに容器のハウジングの開放端をシールするように構成される、ポリマーシール部材の接触部を形成すること
を含む、シール部材を形成すること
をさらに含む、態様２６～２７のいずれかに記載の方法。
ドア本体ポリマー及び第１のポリマーとは異なる第２のポリマーからポリマーシール部材の接触部を形成することであって、接触部は、ドアが閉位置にあるときに容器のハウジングの開放端をシールするように構成される、ポリマーシール部材の接触部を形成すること
を含む、シール部材を形成すること
をさらに含む、態様２６～２７のいずれかに記載の方法。
【0077】
態様２９．ドア本体のシール結合部にポリマーシール部材をインサート成形することは、インサートモールド内のポリマーシール部材の接続部の周りにドア本体ポリマーを形成することを含む、態様２６～２８のいずれかに記載の方法。
【0078】
本出願で開示される例は、すべての点で例示的であり、限定的ではないと見なされるべきである。本発明の範囲は、前述の説明ではなく添付の特許請求の範囲によって示され、また、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内にあるすべての変更は、特許請求の範囲に包含されることが意図されている。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【手続補正書】
【提出日】2023-06-27
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
１つ以上の基板又はレチクルを保持するための基板容器を備える物品
であって、前記基板容器が、
１つ以上の側壁、閉鎖端、開放端、前記１つ以上の側壁及び前記閉鎖端によって画定された内部空間を含むハウジングと、
前記ハウジングの前記開放端を閉じるように構成されたドアと
を有し、前記ドアが、
シール結合部を有し、ドア本体ポリマーから形成されるドア本体、及び
前記ドア本体の前記シール結合部と一体的に形成されたシール部材
を含む、物品。
【請求項2】
前記シール部材は、接続部及び接触部を含み、前記接続部は、前記接続部と前記ドア本体の前記シール結合部とが互いに接続されるように、前記ドア本体の前記シール結合部と共に形成され、前記接触部は、前記ドアが閉位置にあるときに前記開放端をシールするように構成される、請求項１に記載の容器。
【請求項3】
前記シール結合部は、前記ドア本体の前記周縁部の全周に沿って延在する、請求項１に記載の容器。
【請求項4】
ポリマーシール部材がドア本体と一体的に形成されるように、前記ポリマーシール部材を前記ドア本体のシール結合部にインサート成形することを含む、基板又はレチクル容器のハウジングの開放端を閉じるドアを作製する方法。
【請求項5】
前記ドア本体ポリマーとは異なる第１のポリマーから前記ポリマーシール部材の接続部を形成することであって、前記接続部は、前記ドア本体の前記シール結合部に形成されるように寸法決めされた拡大エッジを含む、前記ポリマーシール部材の接続部を形成すること、並びに前記ドア本体ポリマー及び前記第１のポリマーとは異なる第２のポリマーから前記ポリマーシール部材の接触部を形成することであって、前記接触部は、前記ドアが閉位置にあるときに前記容器の前記ハウジングの前記開放端をシールするように構成される、前記ポリマーシール部材の接触部を形成すること
を含む、前記ポリマーシール部材を形成すること
をさらに含む、請求項４に記載の方法。
【国際調査報告】