特表2023-546333高流量真空チャック

発明の名称　高流量真空チャック

出願人　ケーエルエー−テンカー　コーポレイション　（識別番号 500049141）

　　　　特許公開件数ランキング 290 位（36件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 465 位（18件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2023-546333

公報発行日　2023年11月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2023-546333

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