発明の名称 不動態化されたナノ粒子を有するインプリント組成物及び材料、並びにこれらの製造方法
出願人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド (識別番号 390040660)
特許公開件数ランキング 41 位(531件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 35 位(521件)(共同出願を含む)
公報番号 特表-2023-551428
公報発行日 2023年12月8
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2023-551428
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