特表2023-551893有機蒸気によるフォトレジストの現像

発明の名称　有機蒸気によるフォトレジストの現像

出願人　ラム　リサーチ　コーポレーション　（識別番号 592010081）

　　　　特許公開件数ランキング 159 位（67件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 177 位（56件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2023-551893

公報発行日　2023年12月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2023-551893

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