特表2023-554239デジタルリソグラフィにおけるローカルセル置換のための適応的置換マップの使用

発明の名称　デジタルリソグラフィにおけるローカルセル置換のための適応的置換マップの使用

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 41 位（531件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 35 位（521件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2023-554239

公報発行日　2023年12月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2023-554239

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