特表 2024-509519 可変ピッチアクセス用真空ロボット装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-03-04

(54)【発明の名称】可変ピッチアクセス用真空ロボット装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20240226BHJP

   B25J 9/06 20060101ALI20240226BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B25J9/06 E

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2023551144

(86)(22)【出願日】2022-02-11

(85)【翻訳文提出日】2023-10-23

(86)【国際出願番号】 US2022016209

(87)【国際公開番号】W WO2022186968

(87)【国際公開日】2022-09-09

(31)【優先権主張番号】17/188,374

(32)【優先日】2021-03-01

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】390040660

【氏名又は名称】アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

【氏名又は名称原語表記】ＡＰＰＬＩＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ

【住所又は居所原語表記】３０５０ Ｂｏｗｅｒｓ Ａｖｅｎｕｅ Ｓａｎｔａ Ｃｌａｒａ ＣＡ ９５０５４ Ｕ．Ｓ．Ａ．

(74)【代理人】

【識別番号】110002077

【氏名又は名称】園田・小林弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】タヌ， ライクマール

(72)【発明者】

【氏名】ハジェンズ， ジェフリー シー．

(72)【発明者】

【氏名】ムータカマッチ， カルパッサミー

【テーマコード（参考）】

3C707

5F131

【Ｆターム（参考）】

3C707AS24

3C707BS15

3C707CS04

3C707CS09

3C707DS05

3C707HS27

3C707HT02

3C707LV15

3C707NS13

5F131AA02

5F131BA03

5F131BA04

5F131BA19

5F131BA24

5F131BB04

5F131CA32

5F131DA32

5F131DA33

5F131DA36

5F131DA64

5F131DB03

5F131DB52

5F131DB57

5F131DB72

5F131DB76

5F131GA14

(57)【要約】

２つの隣接する処理チャンバ間又は２つの隣接するロードロックチャンバ間などの様々なピッチに対応するのに適した、エンドエフェクタのピッチが可変的なロボット装置が提供される。ロボット装置が、デュアル基板ハンドリングモードで、シングル基板ハンドリングモードで、又はこれらの組み合わせで動作することができる。ロボット装置はまたオフアクシスロボットでありうる。様々な実施形態に係る多様なロボット装置、そのようなロボット装置を含む電子デバイス処理システム、及びこれらの使用方法が記載される。
【選択図】図３Ａ

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ロボット装置であって、
第１の回転軸周りに回転するよう構成された少なくとも１つの下部アームと、
前記第１の回転軸から間隔を空けた第２の回転軸において前記少なくとも１つの下部アームに回転可能に結合された少なくとも１つの上部アームと、
任意選択的に第１の前腕を介して前記少なくとも１つの上部アームに回転可能に結合された第１のエンドエフェクタと、
任意選択的に第２の前腕を介して前記少なくとも１つの上部アームに回転可能に結合された第２のエンドエフェクタと、
を備え、
前記ロボット装置が、デュアル基板ハンドリングモードと、シングル基板ハンドリングモードの両方で動作するよう構成されており、
前記デュアル基板ハンドリングモードでは、前記第１のエンドエフェクタと前記第２のエンドエフェクタとが、前記第１の回転軸及び前記第２の回転軸とは異なる１つ以上の追加の回転軸周りに別々に回転させられて、第１のピッチだけ又は前記第１のピッチとは異なる第２のピッチだけ、前記第１のエンドエフェクタが前記第２のエンドエフェクタから離され、前記第１のピッチ又は前記第２のピッチの少なくとも一方は、前記第１のエンドエフェクタと前記第２のエンドエフェクタとが別々のロードロックチャンバ又は別々の処理チャンバに同時にアクセスするのに適しており、
前記シングル基板ハンドリングモードでは、前記第１のエンドエフェクタと前記第２のエンドエフェクタとが、前記１つ以上の追加の回転軸周りに別々に回転させられて、前記第１のエンドエフェクタ又は前記第２のエンドエフェクタの一方が１つのロードロックチャンバ又は１つの処理チャンバにアクセスするのに適した構成で、前記第１のエンドエフェクタ及び前記第２のエンドエフェクタが位置合わせされる、ロボット装置。

【請求項2】

前記第１のエンドエフェクタと前記第２のエンドエフェクタとは、同一平面上に存在する、請求項１に記載のロボット装置。

【請求項3】

前記第１のピッチが、約２０～約２５インチの範囲内にあり、前記第２のピッチが、約３２～約４０インチの範囲内にある、請求項１に記載のロボット装置。

【請求項4】

前記第１のピッチが約２２インチであり、前記第２のピッチが約３６インチである、請求項１に記載のロボット装置。

【請求項5】

前記少なくとも１つの下部アームが、前記第１の回転軸周りに回転するよう構成された１つの下部アームを含み、
前記少なくとも１つの上部アームが、前記第１の回転軸から間隔を空けた前記第２の回転軸において前記少なくとも１つの下部アームに回転可能に結合された１つの上部アームを含み、
前記第１のエンドエフェクタが、第３の回転軸において前記１つの上部アームに回転可能に結合され、前記前記第１のエンドエフェクタが、水平面において第１の方向の第１の屈曲部を含み、
前記第２のエンドエフェクタが、前記第３の回転軸において前記１つの上部アームに回転可能に結合され、前記第２のエンドエフェクタが、前記水平面において前記第１の方向とは反対の第２の方向の第２の屈曲部を含み、
前記第１のエンドエフェクタと前記第２のエンドエフェクタとが、前記デュアル基板ハンドリングモードと前記シングル基板ハンドリングモードの両方について、前記第３の回転軸周りに別々に回転するよう構成されている、請求項１に記載のロボット装置。

【請求項6】

前記少なくとも１つの下部アームが、前記第１の回転軸周りを回転するよう構成された１つの下部アームを含み、
前記少なくとも１つの上部アームが、前記第１の回転軸から間隔を空けた前記第２の回転軸において前記１つの下部アームに回転可能に結合された１つの上部アームを含み、
第１の前腕と第２の前腕がそれぞれ、第３の回転軸において前記１つの上部アームに回転可能に結合されており、
前記第１のエンドエフェクタが、第４の回転軸において前記第１の前腕に回転可能に結合されており、
前記第２のエンドエフェクタが、第５の回転軸において前記第２の前腕に回転可能に結合されており、
前記第１の前腕、前記第２の前腕、前記第１のエンドエフェクタ、及び前記第２のエンドエフェクタが、前記デュアル基板ハンドリングモードと前記シングル基板ハンドリングモードの両方について、前記第３の回転軸、前記第４の回転軸、及び前記第５の回転軸の周りに別々に回転するよう構成されている、請求項１に記載のロボット装置。

【請求項7】

線形軌道上に取り付けられた本体をさらに備え、前記本体が、前記線形軌道に沿って移動するよう構成されており、前記少なくとも１つの下部アーム及び前記少なくとも１つの上部アームが前記本体に結合されており、
前記少なくとも１つの下部アームが、
第１の回転軸周りに回転するよう構成された第１の下部アームと、
前記第１の回転軸周りに回転するよう構成された第２の下部アームと、
を含み、
前記少なくとも１つの上部アームが、
前記第１の回転軸から間隔を空けた前記第２の回転軸において、前記第１の下部アームに回転可能に結合された第１の上部アームと、
前記第１の回転軸から間隔を空けた第６の回転軸において、前記第２の下部アームに回転可能に結合された第２の上部アームと、
を含み、
前記ロボット装置がさらに、
第７の回転軸において前記第１の上部アームに回転可能に結合されており、水平面において第１の方向の第１の屈曲部を含む第１の前腕と、
第８の回転軸において第２の上部アームに回転可能に結合されており、前記水平面において、前記第１の方向と反対の第２の方向の第２の屈曲部を含む第２の前腕と、
任意選択的に第１のリストを介して、前記第１の前腕に結合された第１のエンドエフェクタと、
任意選択的に第２のリストを介して、前記第２の前腕に結合された第２のエンドエフェクタと、
を備え、
前記第１の下部アーム、前記第２の下部アーム、前記第１の上部アーム、前記第２の上部アーム、前記第１の前腕、前記第２の前腕、任意選択的に前記第１のリスト、任意選択的に前記第２のリスト、前記第１のエンドエフェクタ、及び前記第２のエンドエフェクタが、一緒に「Ｗ」形状を形成し、かつ、前記デュアル基板ハンドリングモードと前記シングル基板ハンドリングモードの両方について、前記第１の回転軸、前記第２の回転軸、前記第６の回転軸、前記第７の回転軸、及び前記第８の回転軸の周りに別々に回転するよう構成されている、請求項１に記載のロボット装置。

【請求項8】

電子デバイス処理システムであって、
移送チャンバと、
前記移送チャンバに結合されており、水平方向に第１のピッチだけ間隔を空けて配置された２つの隣接するロードロックチャンバと、
前記移送チャンバに結合された４つ以上の処理チャンバであって、当該４つ以上の処理チャンバのうちの少なくとも１対の隣接する処理チャンバが、前記第１のピッチとは異なる第２のピッチだけ間隔を空けて配置される、４つ以上の処理チャンバと、
前記移送チャンバ内に少なくとも部分的に位置するロボット装置と、
を備え、前記ロボット装置が、
第１の回転軸周りに回転するよう構成された少なくとも１つの下部アームと、
前記第１の回転軸から間隔を空けた第２の回転軸において前記少なくとも１つの下部アームに回転可能に結合された少なくとも１つの上部アームと、
任意選択的に第１の前腕を介して、前記少なくとも１つの上部アームに回転可能に結合された第１のエンドエフェクタと、
任意選択的に第２の前腕を介して、前記少なくとも１つの上部アームに回転可能に結合された第２のエンドエフェクタと、
を備え、
前記ロボット装置が、デュアル基板ハンドリングモードと、シングル基板ハンドリングモードの両方で動作するよう構成されており、
前記デュアル基板ハンドリングモードでは、前記第１のエンドエフェクタと前記第２のエンドエフェクタとが、前記第１の回転軸及び前記第２の回転軸とは異なる１つ以上の追加の回転軸周りに別々に回転させられて、第１のピッチだけ又は前記第１のピッチとは異なる第２のピッチだけ、前記第１のエンドエフェクタが前記第２のエンドエフェクタから離され、前記第１のエンドエフェクタと前記第２のエンドエフェクタが、前記２つの隣接するロードロックチャンバ又は前記少なくとも１対の隣接する処理チャンバに同時にアクセスすることが可能となり、
前記シングル基板ハンドリングモードでは、前記第１のエンドエフェクタと前記第２のエンドエフェクタとが、前記１つ以上の追加の回転軸周りに別々に回転させられて、前記第１のエンドエフェクタ又は前記第２のエンドエフェクタの一方が１つのロードロックチャンバ又は１つの処理チャンバにアクセスするのに適した構成で、前記第１のエンドエフェクタ及び前記第２のエンドエフェクタが位置合わせされる、電子デバイス処理システム。

【請求項9】

前記第１のエンドエフェクタと前記第２のエンドエフェクタとは、同一平面上に存在する、請求項８に記載の電子デバイス処理システム。

【請求項10】

前記第１のピッチが、約２０～約２５インチの範囲内にあり、前記第２のピッチが、約３２～約４０インチの範囲内にある、請求項８に記載の電子デバイス処理システム。

【請求項11】

前記ロボット装置内では、
前記少なくとも１つの下部アームが、前記第１の回転軸周りに回転するよう構成された１つの下部アームを含み、
前記少なくとも１つの上部アームが、前記第１の回転軸から間隔を空けた前記第２の回転軸において前記１つの下部アームに回転可能に結合された１つの上部アームを含み、
前記第１のエンドエフェクタが、第３の回転軸において前記１つの上部アームに回転可能に結合され、前記前記第１のエンドエフェクタが、水平面において第１の方向の第１の屈曲部を含み、
前記第２のエンドエフェクタが、前記第３の回転軸において前記１つの上部アームに回転可能に結合され、前記第２のエンドエフェクタが、前記水平面において前記第１の方向とは反対の第２の方向の第２の屈曲部を含み、
前記第１のエンドエフェクタ及び前記第２のエンドエフェクタは、前記デュアル基板ハンドリングモードと前記シングル基板ハンドリングモードの両方について、前記第３の回転軸周りに別々に回転するよう構成されている、請求項８に記載の電子デバイス処理システム。

【請求項12】

前記ロボット装置内では、
前記少なくとも１つの下部アームが、前記第１の回転軸周りに回転するよう構成された１つの下部アームを含み、
前記少なくとも１つの上部アームが、前記第１の回転軸から間隔を空けた前記第２の回転軸において前記１つの下部アームに回転可能に結合された１つの上部アームを含み、
第１の前腕と第２の前腕がそれぞれ、第３の回転軸において前記１つの上部アームに回転可能に結合されており、
前記第１のエンドエフェクタが、第４の回転軸において前記第１の前腕に回転可能に結合されており、
前記第２のエンドエフェクタが、第５の回転軸において前記第２の前腕に回転可能に結合されており、
前記第１の前腕、前記第２の前腕、前記第１のエンドエフェクタ、及び前記第２のエンドエフェクタが、前記デュアル基板ハンドリングモードと前記シングル基板ハンドリングモードの両方について、前記第３の回転軸、前記第４の回転軸、及び前記第５の回転軸の周りに別々に回転するよう構成されている、請求項８に記載の電子デバイス処理システム。

【請求項13】

前記ロボット装置が、線形軌道上に取り付けられた本体をさらに備え、前記本体が、前記線形軌道に沿って移動するよう構成されており、前記少なくとも１つの下部アーム及び少なくとも１つの上部アームが前記本体に結合されており、
前記ロボット装置内では、
前記少なくとも１つの下部アームが、
第１の回転軸周りに回転するよう構成された第１の下部アームと、
前記第１の回転軸周りに回転するよう構成された第２の下部アームと、
を含み、
前記少なくとも１つの上部アームが、
前記第１の回転軸から間隔を空けた前記第２の回転軸において、前記第１の下部アームに回転可能に結合された第１の上部アームと、
前記第１の回転軸から間隔を空けた第６の回転軸において、前記第２の下部アームに回転可能に結合された第２の上部アームと、を含み、
前記ロボット装置がさらに、
第７の回転軸において前記第１の上部アームに回転可能に結合されており、水平面において第１の方向の第１の屈曲部を含む第１の前腕と、
第８の回転軸において前記第２の上部アームに回転可能に結合されており、前記水平面において、前記第１の方向と反対の第２の方向の第２の屈曲部を含む第２の前腕と、
任意選択的に第１のリストを介して、前記第１の前腕に結合された第１のエンドエフェクタと、
任意選択的に第２のリストを介して、前記第２の前腕に結合された第２のエンドエフェクタと、
を備え、
前記第１の下部アーム、前記第２の下部アーム、前記第１の上部アーム、前記第２の上部アーム、前記第１の前腕、前記第２の前腕、任意選択的に前記第１のリスト、任意選択的に前記第２のリスト、前記第１のエンドエフェクタ、及び前記第２のエンドエフェクタが、一緒に「Ｗ」形状を形成し、かつ、前記デュアル基板ハンドリングモードと前記シングル基板ハンドリングモードの両方について、前記第１の回転軸、前記第２の回転軸、前記第６の回転軸、前記第７の回転軸、及び前記第８の回転軸の周りに別々に回転するよう構成されている、請求項８に記載の電子デバイス処理システム。

【請求項14】

４～２４個の処理チャンバを備えた、請求項８に記載の電子デバイス処理システム。

【請求項15】

基板を移送する方法であって、
ロボット装置を、デュアル基板ハンドリングモード及びシングル基板ハンドリングモードで動作させることを含み、
前記ロボット装置が、
第１の回転軸周りに回転するよう構成された少なくとも１つの下部アームと、
前記第１の回転軸から間隔を空けた第２の回転軸において前記少なくとも１つの下部アームに回転可能に結合された少なくとも１つの上部アームと、
任意選択的に第１の前腕を介して、前記少なくとも１つの上部アームに回転可能に結合された第１のエンドエフェクタと、
任意選択的に第２の前腕を介して、前記少なくとも１つの上部アームに回転可能に結合された第２のエンドエフェクタと、
を備え、
前記デュアル基板ハンドリングモードで動作させることが、
前記第１のエンドエフェクタと前記第２のエンドエフェクタとを、前記第１の回転軸及び前記第２の回転軸とは異なる１つ以上の追加の回転軸周りで別々に回転させて、第１のピッチだけ又は前記第１のピッチとは異なる第２のピッチだけ、前記第１のエンドエフェクタを前記第２のエンドエフェクタから離すことであって、前記第１のピッチ又は前記第２のピッチの少なくとも一方は、前記第１のエンドエフェクタと前記第２のエンドエフェクタとが別々のロードロックチャンバ又は別々の処理チャンバに同時にアクセスするのに適している、前記第１のエンドエフェクタを前記第２のエンドエフェクタから離すことを含み、
前記シングル基板ハンドリングモードで動作させることが、
前記第１のエンドエフェクタと前記第２のエンドエフェクタとを、前記１つ以上の追加の回転軸周に別々に回転させて、前記第１のエンドエフェクタ又は前記第２のエンドエフェクタの一方が１つのロードロックチャンバ又は１つの処理チャンバにアクセスするのに適した構成で、前記第１のエンドエフェクタ及び前記第２のエンドエフェクタを位置合わせすることを含む、方法。

【請求項16】

前記第１のピッチが、約２０～約２５インチの範囲内にあり、前記第２のピッチが、約３２～約４０インチの範囲内にある、請求項１５に記載の方法。

【請求項17】

前記ロボット装置内では、
前記少なくとも１つの下部アームが、前記第１の回転軸周りに回転するよう構成された１つの下部アームを含み、
前記少なくとも１つの上部アームが、前記第１の回転軸から間隔を空けた前記第２の回転軸において前記１つの下部アームに回転可能に結合された１つの上部アームを含み、
前記第１のエンドエフェクタが、第３の回転軸において前記１つの上部アームに回転可能に結合され、前記第１のエンドエフェクタが、水平面において第１の方向の第１の屈曲部を含み、
前記第２のエンドエフェクタが、前記第３の回転軸において前記１つの上部アームに回転可能に結合され、前記第２のエンドエフェクタが、前記水平面において前記第１の方向とは反対の第２の方向の第２の屈曲部を含み、
前記デュアル基板ハンドリングモードで動作させることが、前記第１のエンドエフェクタと前記第２のエンドエフェクタとを、前記第３の回転軸周りに別々に回転させて、前記第１のピッチだけ又は前記第２のピッチだけ前記第１のエンドエフェクタを前記第２のエンドエフェクタから離すことを含み、
前記シングル基板ハンドリングモードで動作させることが、前記第１のエンドエフェクタと前記第２のエンドエフェクタとを、前記第３の回転軸周りに別々に回転させて、前記第１のエンドエフェクタ又は前記第２のエンドエフェクタの一方が１つのロードロックチャンバ又は１つの処理チャンバにアクセスするのに適した構成で、前記第１のエンドエフェクタ及び前記第２のエンドエフェクタを位置合わせすることを含む、請求項１５に記載の方法。

【請求項18】

前記ロボット装置内では、
前記少なくとも１つの下部アームが、前記第１の回転軸周りに回転するよう構成された１つの下部アームを含み、
前記少なくとも１つの上部アームが、前記第１の回転軸から間隔を空けた前記第２の回転軸において前記１つの下部アームに回転可能に結合された１つの上部アームを含み、
第１の前腕と第２の前腕がそれぞれ、第３の回転軸において前記１つの上部アームに回転可能に結合されており、
前記第１のエンドエフェクタが、第４の回転軸において前記第１の前腕に回転可能に結合されており、
前記第２のエンドエフェクタが、第５の回転軸において前記第２の前腕に回転可能に結合されており、
前記デュアル基板ハンドリングモードで動作させることが、前記第１の前腕、前記第２の前腕、前記第１のエンドエフェクタ、及び前記第２のエンドエフェクタを、前記第３の回転軸、前記第４の回転軸、及び前記第５の回転軸の周りに別々に回転させて、前記第１のピッチだけ又は前記第２のピッチだけ前記第１のエンドエフェクタを前記第２のエンドエフェクタから離すことを含み、
前記シングル基板ハンドリングモードで動作させることが、前記第１の前腕、前記第２の前腕、前記第１のエンドエフェクタ、及び前記第２のエンドエフェクタを、前記第３の回転軸、前記第４の回転軸、及び前記第５の回転軸の周りで別々に回転させて、前記第１のエンドエフェクタ又は前記第２のエンドエフェクタの一方が１つのロードロックチャンバ又は１つの処理チャンバにアクセスするのに適した構成で、前記第１のエンドエフェクタ及び前記第２のエンドエフェクタを位置合わせすることを含む、請求項１５に記載の方法。

【請求項19】

前記ロボット装置が、線形軌道上に取り付けられた本体をさらに備え、前記本体が、前記線形軌道に沿って移動するよう構成されており、前記少なくとも１つの下部アーム及び前記少なくとも１つの上部アームが前記本体に結合されており、前記ロボット装置内では、
前記少なくとも１つの下部アームが、
第１の回転軸周りに回転するよう構成された第１の下部アームと、
前記第１の回転軸周りに回転するよう構成された第２の下部アームと、
を含み、
前記少なくとも１つの上部アームが、
前記第１の回転軸から間隔を空けた前記第２の回転軸において、前記第１の下部アームに回転可能に結合された第１の上部アームと、
前記第１の回転軸から間隔を空けた第６の回転軸において、前記第２の下部アームに回転可能に結合された第２の上部アームと、
を含み、
前記ロボット装置がさらに、
第７の回転軸において前記第１の上部アームに回転可能に結合されており、水平面において第１の方向の第１の屈曲部を含む第１の前腕と、
第８の回転軸において前記第２の上部アームに回転可能に結合されており、前記水平面において、前記第１の方向と反対の第２の方向の第２の屈曲部を含む第２の前腕と、
任意選択的に第１のリストを介して、前記第１の前腕に結合された第１のエンドエフェクタと、
任意選択的に第２のリストを介して、前記第２の前腕に結合された第２のエンドエフェクタと、
を備え、
前記デュアル基板ハンドリングモードで動作させることが、前記第１の下部アーム、前記第２の下部アーム、前記第１の上部アーム、前記第２の上部アーム、前記第１の前腕、前記第２の前腕、任意選択的に前記第１のリスト、任意選択的に前記第２のリスト、前記第１のエンドエフェクタ、及び前記第２のエンドエフェクタを、前記第１の回転軸、前記第２の回転軸、前記第６の回転軸、前記第７の回転軸、及び前記第８の回転軸の周りに別々に回転させて、前記第１のピッチだけ又は前記第２のピッチだけ前記第１のエンドエフェクタを前記第２のエンドエフェクタから離すことを含み、
前記シングル基板ハンドリングモードで動作させることが、前記第１の下部アーム、前記第２の下部アーム、前記第１の上部アーム、前記第２の上部アーム、前記第１の前腕、前記第２の前腕、任意選択的に前記第１のリスト、任意選択的に前記第２のリスト、前記第１のエンドエフェクタ、及び前記第２のエンドエフェクタを、前記第１の回転軸、前記第２の回転軸、前記第６の回転軸、前記第７の回転軸、及び前記第８の回転軸の周りで別々に回転させて、前記第１のエンドエフェクタ又は前記第２のエンドエフェクタの一方が１つのロードロックチャンバ又は１つの処理チャンバにアクセスするのに適した構成で、前記第１のエンドエフェクタ及び前記第２のエンドエフェクタを位置合わせすることを含む、請求項１５に記載の方法。

【請求項20】

電子デバイス処理システムであって、
センターを含む移送チャンバと、
前記移送チャンバに結合されており、水平方向に第１のピッチだけ間隔を空けて配置された２つの隣接するロードロックチャンバと、
前記移送チャンバに結合された４つ以上の処理チャンバであって、当該４つ以上の処理チャンバのうちの少なくとも１対の隣接する処理チャンバが、前記第１のピッチとは異なる第２のピッチだけ間隔を空けて配置される、４つ以上の処理チャンバと、
前記移送チャンバ内に少なくとも部分的に位置するロボット装置と、
を備え、前記ロボット装置が、
第１の回転軸周りに回転するよう構成された少なくとも１つの下部アームであって、前記第１の回転軸が、前記移送チャンバの前記センターからずれている、少なくとも１つの下部アームと、
前記第１の回転軸から間隔を空けた第２の回転軸において前記少なくとも１つの下部アームに回転可能に結合された少なくとも１つの上部アームと、
任意選択的に第１の前腕を介して、前記少なくとも１つの上部アームに回転可能に結合された第１のエンドエフェクタと、
任意選択的に第２の前腕を介して、前記少なくとも１つの上部アームに回転可能に結合された第２のエンドエフェクタと、
を備え、
前記ロボット装置が、デュアル基板ハンドリングモードで動作するよう構成されており、
前記デュアル基板ハンドリングモードでは、前記第１のエンドエフェクタと前記第２のエンドエフェクタとが、前記第１の回転軸及び前記第２の回転軸とは異なる１つ以上の追加の回転軸周りに別々に回転させられて、第１のピッチだけ又は前記第１のピッチとは異なる第２のピッチだけ、前記第１のエンドエフェクタが前記第２のエンドエフェクタから離され、前記第１のエンドエフェクタと前記第２のエンドエフェクタとが、前記２つの隣接するロードロックチャンバ又は前記少なくとも１対の隣接する処理チャンバに同時にアクセスすることが可能となる、電子デバイス処理システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本願の実施形態は、複数のエンドエフェクタを備えたロボット、電子デバイス処理装置、及び複数のエンドエフェクタを備えたロボットを含む方法に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体電子デバイス製造における基板の処理には、同じ基板処理システム内で適用される様々なプロセスの組み合わせが含まれうる。例えば、上記プロセスには、同じツール又はプラットフォームにおいて適用される化学気相堆積／原子層堆積（ＣＶＤ：ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ／ＡＬＤ：ａｔｏｍｉｃ ｌａｙｅｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）及び物理的気相堆積（ＰＶＤ：ｐｈｙｓｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）が含まれる。これらのプロセスは、メインフレームに結合された様々な構成の処理チャンバを使用して適用することができる。ロボットはメインフレームの移送チャンバ内に位置しており、様々な処理チャンバ間で基板を移動させるよう構成されている。

【発明の概要】

【0003】

幾つかの実施形態において、ロボット装置が提供される。ロボット装置は、第１の回転軸周りに回転するよう構成された少なくとも１つの下部アームと、第１の回転軸から間隔を空けた第２の回転軸において少なくとも１つの下部アームに回転可能に結合された少なくとも１つの上部アームと、任意選択的に第１の前腕を介して、少なくとも１つの上部アームに回転可能に結合された第１のエンドエフェクタと、任意選択的に第２の前腕を介して、少なくとも１つの上部アームに回転可能に結合された第２のエンドエフェクタと、を含む。実施形態では、ロボット装置が、デュアル基板ハンドリングモードと、シングル基板ハンドリングモードの両方で動作するよう構成されている。デュアル基板ハンドリングモードでは、第１のエンドエフェクタと第２のエンドエフェクタとが、第１の回転軸及び第２の回転軸とは異なる１つ以上の追加の回転軸周りに別々に回転させられて、第１のピッチだけ又は第１のピッチとは異なる第２のピッチだけ、第１のエンドエフェクタが第２のエンドエフェクタから離され、第１のピッチ又は第２のピッチの少なくとも一方は、第１のエンドエフェクタ及び第２のエンドエフェクタが別々のロードロックチャンバ又は別々の処理チャンバに同時にアクセスするのに適している。シングル基板ハンドリングモードでは、第１のエンドエフェクタと第２のエンドエフェクタとが、１つ以上の追加の回転軸周りに別々に回転させられて、第１のエンドエフェクタ又は第２のエンドエフェクタの一方が１つのロードロックチャンバ又は１つの処理チャンバにアクセスするのに適した構成で、第１のエンドエフェクタ及び第２のエンドエフェクタが位置合わせされる。

【0004】

他の実施形態では、電子デバイス処理システムが提供される。電子デバイス処理システムは、移送チャンバと、移送チャンバに結合されており、水平方向に第１のピッチだけ間隔を空けて配置された２つの隣接するロードロックチャンバと、移送チャンバに結合された４つ以上の処理チャンバであって、当該４つ以上の処理チャンバのうちの少なくとも１対の隣接する処理チャンバが、第１のピッチとは異なる第２のピッチだけ間隔を空けて配置される、４つ以上の処理チャンバと、移送チャンバ内に少なくとも部分的に位置するロボット装置と、を含む。実施形態では、ロボット装置は、第１の回転軸周りに回転するよう構成された少なくとも１つの下部アームと、第１の回転軸から間隔を空けた第２の回転軸において少なくとも１つの下部アームに回転可能に結合された少なくとも１つの上部アームと、任意選択的に第１の前腕を介して、少なくとも１つの上部アームに回転可能に結合された第１のエンドエフェクタと、任意選択的に第２の前腕を介して、少なくとも１つの上部アームに回転可能に結合された第２のエンドエフェクタと、を含む。実施形態では、ロボット装置が、デュアル基板ハンドリングモードと、シングル基板ハンドリングモードの両方で動作するよう構成されているデュアル基板ハンドリングモードでは、第１のエンドエフェクタと第２のエンドエフェクタとが、第１の回転軸及び第２の回転軸とは異なる１つ以上の追加の回転軸周りに別々に回転させられて、第１のピッチだけ又は第１のピッチとは異なる第２のピッチだけ、第１のエンドエフェクタが第２のエンドエフェクタから離され、第１のエンドエフェクタと第２のエンドエフェクタが、２つの隣接するロードロックチャンバ又は少なくとも１対の隣接する処理チャンバに同時にアクセスすることが可能となる。シングル基板ハンドリングモードでは、第１のエンドエフェクタと第２のエンドエフェクタとが、１つ以上の追加の回転軸周りに別々に回転させられて、第１のエンドエフェクタ又は第２のエンドエフェクタの一方が１つのロードロックチャンバ又は１つの処理チャンバにアクセスするのに適した構成で、第１のエンドエフェクタ及び第２のエンドエフェクタが位置合わせされる。

【0005】

他の実施形態において、基板を移送する方法が提供される。本方法は、ロボット装置を、デュアル基板ハンドリングモード及びシングル基板ハンドリングモードで動作させることを含む。実施形態では、ロボット装置は、第１の回転軸周りに回転するよう構成された少なくとも１つの下部アームと、第１の回転軸から間隔を空けた第２の回転軸において少なくとも１つの下部アームに回転可能に結合された少なくとも１つの上部アームと、任意選択的に第１の前腕を介して、少なくとも１つの上部アームに回転可能に結合された第１のエンドエフェクタと、任意選択的に第２の前腕を介して、少なくとも１つの上部アームに回転可能に結合された第２のエンドエフェクタと、を含む。実施形態において、デュアル基板ハンドリングモードで動作させることは、第１のエンドエフェクタと第２のエンドエフェクタとを、第１の回転軸及び第２の回転軸とは異なる１つ以上の追加の回転軸周りで別々に回転させて、第１のピッチだけ又は第１のピッチとは異なる第２のピッチだけ、第１のエンドエフェクタを第２のエンドエフェクタから離すことであって、第１のピッチ又は第２のピッチの少なくとも一方は、第１のエンドエフェクタ及び第２のエンドエフェクタが別々のロードロックチャンバ又は別々の処理チャンバに同時にアクセスするのに適している、第１のエンドエフェクタを前記第２のエンドエフェクタから離すことを含む。実施形態において、シングル基板ハンドリングモードで動作させることは、第１のエンドエフェクタと第２のエンドエフェクタとを、１つ以上の追加の回転軸周りに別々に回転させて、第１のエンドエフェクタ又は第２のエンドエフェクタの一方が１つのロードロックチャンバ又は１つの処理チャンバにアクセスするのに適した構成で、第１のエンドエフェクタ及び第２のエンドエフェクタを位置合わせすることを含む。

【0006】

他の実施形態では、電子デバイス処理システムが提供される。電子デバイス処理システムは、センターを含む移送チャンバと、移送チャンバに結合されており、水平方向に第１のピッチだけ間隔を空けて配置された２つの隣接するロードロックチャンバと、移送チャンバに結合された４つ以上の処理チャンバであって、当該４つ以上の処理チャンバのうちの少なくとも１対の隣接する処理チャンバが、第１のピッチとは異なる第２のピッチだけ間隔を空けて配置される、４つ以上の処理チャンバと、移送チャンバ内に少なくとも部分的に位置するロボット装置と、を含む。実施形態では、ロボット装置は、第１の回転軸周りに回転するよう構成された少なくとも１つの下部アームであって、第１の回転軸が、移送チャンバのセンターからずれている、少なくとも１つの下部アームと、第１の回転軸から間隔を空けた第２の回転軸において少なくとも１つの下部アームに回転可能に結合された少なくとも１つの上部アームと、任意選択的に第１の前腕を介して、少なくとも１つの上部アームに回転可能に結合された第１のエンドエフェクタと、任意選択的に第２の前腕を介して、少なくとも１つの上部アームに回転可能に結合された第２のエンドエフェクタと、を含む。実施形態では、ロボット装置が、デュアル基板ハンドリングモードで動作するよう構成されている。デュアル基板ハンドリングモードでは、第１のエンドエフェクタと第２のエンドエフェクタとが、第１の回転軸及び第２の回転軸とは異なる１つ以上の追加の回転軸周りに別々に回転させられて、第１のピッチだけ又は第１のピッチとは異なる第２のピッチだけ、第１のエンドエフェクタが第２のエンドエフェクタから離され、第１のエンドエフェクタと第２のエンドエフェクタが、２つの隣接するロードロックチャンバ又は少なくとも１対の隣接する処理チャンバに同時にアクセスすることが可能となる。

【0007】

数多くの他の態様及び特徴が、本開示の上記の実施形態及び他の実施形態に従って提供される。本開示の実施形態の他の特徴及び態様は、以下の明細書の詳細な説明、特許請求の範囲、及び添付の図面により完全に明らかとなろう。

【0008】

以下に記載される図面は、例示のためだけのものであり、必ずしも縮尺どおりには描かれていない。これらの図面は、いかなる形においても、本開示の範囲を限定することは意図されていない。可能な限り、同じ又は同様の参照番号が、同じ又は類似の部分について言及するために、図面全体を通じて使用されることになる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】開示された実施形態に係る、メインフレームの移送チャンバ内に位置するロボット装置を含む基板処理システムの概略的な上面図を示す。

【図2A】開示された実施形態に係るロボット装置の斜視図を示す。

【図2B】開示された実施形態に係るロボット装置の上面図を示す。

【図3A】図２Ａ～図２Ｂのロボット装置のデュアル基板ハンドリングモードを示す概略図である。

【図3B】図２Ａ～図２Ｂのロボット装置のデュアル基板ハンドリングモードを示す概略図である。

【図3C】図２Ａ～図２Ｂのロボット装置のデュアル基板ハンドリングモードを示す概略図である。

【図3D】図２Ａ～図２Ｂのロボット装置のデュアル基板ハンドリングモードを示す概略図である。

【図4A】図２Ａ～図２Ｂのロボット装置のシングル基板ハンドリングモードを示す概略図である。

【図4B】図２Ａ～図２Ｂのロボット装置のシングル基板ハンドリングモードを示す概略図である。

【図4C】図２Ａ～図２Ｂのロボット装置のシングル基板ハンドリングモードを示す概略図である。

【図4D】図２Ａ～図２Ｂのロボット装置のシングル基板ハンドリングモードを示す概略図である。

【図5A】開示された実施形態に係るロボット装置の斜視図を示す。

【図5B】開示された実施形態に係るロボット装置の上面図を示す。

【図6A】図５Ａ～図５Ｂのロボット装置のデュアル基板ハンドリングモードを示す概略図である。

【図6B】図５Ａ～図５Ｂのロボット装置のデュアル基板ハンドリングモードを示す概略図である。

【図6C】図５Ａ～図５Ｂのロボット装置のデュアル基板ハンドリングモードを示す概略図である。

【図6D】図５Ａ～図５Ｂのロボット装置のデュアル基板ハンドリングモードを示す概略図である。

【図7A】図５Ａ～図５Ｂのロボット装置のシングル基板ハンドリングモードを示す概略図である。

【図7B】図５Ａ～図５Ｂのロボット装置のシングル基板ハンドリングモードを示す概略図である。

【図7C】図５Ａ～図５Ｂのロボット装置のシングル基板ハンドリングモードを示す概略図である。

【図7D】図５Ａ～図５Ｂのロボット装置のシングル基板ハンドリングモードを示す概略図である。

【図8A】開示された実施形態に係るロボット装置の斜視図を示す。

【図8B】図８Ａのロボット装置を折り畳んだ構成（例えば、チャンバ事前配置又はロードロック事前配置）で示した上面図を示す。

【図8C】図８Ａのロボット装置を拡張した構成（例えば、デュアル基板ハンドリングモードにおけるツインチャンバリーチ又はデュアルロードロックリーチ）で示した上面図を示す。

【図9】開示された実施形態に係る、メインフレームの移送チャンバ内に位置する図８Ａ～図８Ｃのロボット装置を含む基板処理システムの概略的な上面図を示す。

【発明を実施するための形態】

【0010】

ここで、添付の図面に示した提供される例示的な実施形態を詳細に参照する。別途特段に明記されない限り、本明細書に記載の様々な実施形態の特徴は互いに組み合わされうる。

【0011】

電子デバイス処理システムは、複数の基板製造プロセスの組み合わせを実行することができる。上記の基板製造プロセスには、化学気相堆積／原子層堆積（ＣＶＤ／ＡＬＤ）プロセス、アニールプロセス、エッチングプロセス、物理的気相堆積（ＰＶＤ）、及び／又は他のプロセスが含まれる。電子デバイス処理システムは、複数の基板製造プロセスの組み合わせを実行するための、様々な異なる処理チャンバ及びロードロックチャンバを含みうる。これらの処理チャンバ及びロードロックチャンバはそれぞれ、処理のために基板が配置される１つ以上の処理位置を含みうる。様々な処理チャンバ及び／又はロードロックチャンバにおける処理位置は、処理チャンバの物理的な配置、各処理チャンバ内で実行される製造プロセスの種類、及び／又は処理チャンバの構成に従って、異なる距離（例えば、ピッチ）によって離されうる。

【0012】

実施形態において、移送チャンバは、移送チャンバの側面又はファセットに接続された複数のロードロック及び／又は複数の処理チャンバを含む。移送チャンバは、ロードロック及び／又は移送チャンバの間で基板を移送するためのデュアルエンドエフェクタを備えたロボットアームを含みうる。ロボットは、デュアルエンドエフェクタ間のピッチ又は分離が調整可能であるように設計することができ、上記エンドエフェクタはさらに、単一基板のハンドリング（１つの基板が処理チャンバ若しくはロードロックから取り出され、及び／又は処理チャンバ若しくはロードロックに挿入される）のために配置されうるように、さらに、複数基板のハンドリング（２つの基板が処理チャンバ若しくはロードロックから取り出され、及び／又は処理チャンバ若しくはロードロックに挿入される）のために配置されうるように、設計することができる。

【0013】

既存のロボット装置、例えば、インライン（ｉｎｌｉｎｅ）エンドエフェクタを備えるロボット装置は、一度に１つの処理チャンバ及び／又は１つのロードロックチャンバにアクセスし、ウエハ毎時（ｗａｆｅｒｓ ｐｅｒ ｈｏｕｒ）約６０～約８０枚の範囲のスループットを示す。従って、本明細書に記載の実施形態に従って、スループットが向上したロボット装置が提供される。特定の実施形態では、本明細書に記載のロボット装置は、少なくともウエハ毎時約１００枚、特定の実施形態ではウエハ毎時１７５枚すら超えるスループットを示す。

【0014】

デュアルエンドエフェクタを備えたロボット装置は、同時に、複数の処理チャンバ（例えば、並置された処理チャンバ）上に基板を配置し、かつ複数の処理チャンバから基板を取り出すよう実現されうる。しかしながら、第１の固定ピッチで配置されたデュアルエンドエフェクタは、１つ以上の処理チャンバ又は１つ以上のロードロックチャンバが、第１の固定ピッチとは異なる第２の固定ピッチだけ離れているため、当該処理チャンバ又はロードロックチャンバにアクセスことができないこともある。従って、本明細書に記載の実施形態に従って、エンドエフェクタのピッチが可変的なロボット装置が提供される。

【0015】

本明細書に記載のロボット装置は、シングル基板処理モード、デュアル基板処理モード、又はこれらの組み合わせで動作することが可能である。この追加されたフレキシビリティ、及び別々にアクセスする能力によって、様々な処理チャンバ又はロードロックチャンバの連続的なロード及びアンロードと可能になる。このハイブリッドな能力によってまた、１対の隣接する処理チャンバ又はロードロックチャンバのうちの一方の処理チャンバ又はロードロックチャンバが作動しないときにさえも、ロボット装置が動作し続けられるようになる。

【0016】

本明細書に記載の１つ以上の実施形態において、シングル基板モード、デュアル基板モード、又はこれらの組み合わせにおいて動作するよう構成されたロボット装置が開示される。ロボット装置は、デュアル基板モードで動作するときには、例えば、２つの隣接する処理チャンバ間又は２つの隣接するロードロックチャンバ間のピッチの変化に対応するための、可変的なエンドエフェクタピッチを有することか可能である。特定の実施形態において、ロボット装置は、自身が位置する移送チャンバのセンターから外れて配置されたオフセンター（ｏｆｆ－ｃｅｎｔｅｒ）ロボットである（オフアクシス（ｏｆｆ－ａｘｉｓ）ロボットとも称される）。

【0017】

本明細書では、エンドエフェクタ間の様々なピッチを含むロボットの例示的な実施形態を、図１～９を参照しながら記載する。

【0018】

ここで図１を参照するが、図１では、開示された実施形態に係るロボット装置１０２を含む基板処理システム１００の概略的な上面図が示されている。基板処理システム１００はメインフレーム１０４を含むことができ、メインフレーム１０４は、当該メインフレーム１０４の壁によって形成された移送チャンバ１０６を含む。移送チャンバ１０６は、例えば真空下で動作する構成されうる。移送チャンバは、センター１５０を有しうる。ロボット装置１０２は、少なくとも部分的に移送チャンバ１０６内に配置することができ、移送チャンバ１０６内で作動可能であるよう構成されうる。ロボット装置１０２は、移送チャンバ１０６の壁（例えば、床）に取り付けられるよう構成された本体（図２の２１４、図５の５１４、及び図８Ａの８１４）を含みうる。ロボット装置１０２は、「オフアクシス（ｏｆｆ ａｘｉｓ）」又は「オフセンター（ｏｆｆ ｃｅｎｔｅｒ）」であってよく、これらの用語は、本明細書では、移送チャンバ１０６のセンター１５０からずれた第１の回転軸周りに回転するよう構成された少なくとも１つの下部アームを有するロボット装置を指している。

【0019】

ロボット装置１０２は、基板１１８（「ウエハ」又は「半導体ウエハ」と呼ばれることもある）を様々な移送先へと摘まみ上げ、及び／又は様々な移送先から配置するよう構成されうる。移送先は、移送チャンバ１０６に結合された処理チャンバであってよい。移送先はまた、移送チャンバ１０６に結合されたロードロックチャンバであってよい。例えば、移送先は、移送チャンバ１０６に結合できる１つ以上の処理チャンバ１２０及び１つ以上のロードロックチャンバ１２２であってよい。メインフレーム１０４は、図１に示されるより多い又は少ない処理チャンバ１２０と、図１に示されているより多い又は少ないロードロック装置１２２と、を含みうる。

【0020】

処理チャンバ１２０は、堆積、酸化、窒化、エッチング、研磨、洗浄、リソグラフィといった任意の数の処理ステップを、基板１１８に対して実行するよう構成されうる。図１では、移送チャンバ１０６の様々な側面に結合された７つの処理チャンバ１２０が示されている。しかしながら、より多い又はより少ない処理チャンバを含む他の構成も実現可能であり、本開示によって企図されることに注意されたい。特定の実施形態では、移送チャンバ１０６に結合される処理チャンバの数が、４～２４の範囲である。特定の実施形態では、移送チャンバ１０６に結合される処理チャンバの数が、４～２０の範囲である。特定の実施形態では、移送チャンバ１０６に結合される処理チャンバの数が、５～１６の範囲である。特定の実施形態では、移送チャンバ１０６に結合される処理チャンバの数が、６～１０の範囲である。図９は、１２個の処理チャンバを備えた電子デバイス処理システムの一例を示している。幾つかの実施形態において、移送チャンバは、２つの長い側面と２つの短い側面を有する線形的な移送チャンバである。他の実施形態では、移送チャンバは、５つの側面、６つの側面、７つの側面、８つの側面など、４つより多い側面を有しうる。複数の側面は、同じ大きさ（例えば、同じ長さ）及び／又は異なる大きさを有しうる。

【0021】

ロードロックチャンバ１２２が、ファクトリインタフェース１２６と接続するよう構成されうる。ファクトリインタフェース１２６は、当該ファクトリインタフェース１２６のロードポート１３０にドッキングされた基板キャリア１２８（例えば、前方開口型統一ポッド（ＦＯＵＰ：Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ））との間で、基板１１８を移送するよう構成されたロード／アンロードロボット１２７（点線のボックスとして図示）を含みうる。他のロード／アンロードロボットが、基板キャリア１２８とロードロックチャンバ１２２との間で、基板１１８を任意のシーケンス又は順序で移送することができる。

【0022】

幾つかの実施形態において、２つの隣接するロードロックチャンバ１２２が、水平方向に第１のピッチＤ１だけ間隔を空けて配置されている。幾つかの実施形態において、２つの隣接するロードロックチャンバ１２２のセンター間の第１のピッチＤ１が、約２０インチ～約２５インチの範囲内にありうる。幾つかの実施形態において、２つの隣接するロードロックチャンバ１２２のセンター間の第１のピッチＤ１が、約２１インチ～約２３インチの範囲内にありうる。幾つかの実施形態において、２つの隣接するロードロックチャンバ１２２のセンター間の第１のピッチＤ１が、約２２インチでありうる。第１のピッチＤ１の他の距離も可能でありうる。

【0023】

幾つかの実施形態において、少なくとも１対の２つの隣接する処理チャンバ１２０が、第１のピッチＤ１とは異なる第２のピッチＤ２だけ、水平方向に間隔を空けて配置される（例えば、第２のピッチＤ２は、第１のピッチＤ１よりも大きくてよい）。幾つかの実施形態において、２つの隣接する処理チャンバ１２０のセンター間の第２のピッチＤ２が、約３２インチ～約４０インチの範囲内にありうる。幾つかの実施形態において、２つの隣接する処理チャンバ１２０のセンター間の第２のピッチＤ２が、約３４インチ～約３８インチの範囲内でありうる。幾つかの実施形態において、２つの隣接する処理チャンバ１２０のセンター間の第２のピッチＤ２が、約３６インチでありうる。第２のピッチＤ２の他の距離も可能でありうる。

【0024】

１つ以上のロードロックチャンバ１２２には、ロボット装置１０２はスリットバルブ１３４を介してアクセスすることができる。１つ以上の処理チャンバ１２０には、ロボット装置１０２はスリットバルブ１４０を通してアクセスすることができる。

【0025】

本明細書に記載の実施形態に係るロボット装置は、第１の回転軸周りに回転するよう構成された少なくとも１つの下部アームと、第１の回転軸から間隔を空けた第２の回転軸において少なくとも１つの下部アームに結合された少なくとも１つの上部アームと、任意選択的に第１の前腕を介して、少なくとも１つの上部アームに回転可能に結合された第１のエンドエフェクタと、任意選択的に第２の前腕を介して、少なくとも１つの上部アームに回転可能に結合された第２のエンドエフェクタと、を含む。特定の実施形態では、ロボット装置１０２の第１のエンドエフェクタと第２のエンドエフェクタが、同一平面上に存在する。

【0026】

スリットバルブ１３４及び１４０は、ロボット装置１０２が、即ち特に第１のエンドエフェクタ及び第２のエンドエフェクタが、デュアル基板ハンドリングモードとシングル基板ハンドリングモードの両方においてアクセスすることを可能にするスリットバルブ幅を有しうる。特定の実施形態では、第１のエンドエフェクタ及び／又は第２のエンドエフェクタは、（スリットバルブ１３４又はスリットバルブ１４０の水平方向の開口に対して）直交して、スリットバルブ１３４及び／又はスリットバルブ１４０にアクセスする。代替的な実施形態において、第１のエンドエフェクタ及び／又は第２のエンドエフェクタは、（スリットバルブ１３４又はスリットバルブ１４０の水平方向センター線に対して）或る角度で、スリットバルブ１３４及び／又はスリットバルブ１４０にアクセスする。第１のエンドエフェクタ及び／又は第２のエンドエフェクタは、スリットバルブ１３４又はスリットバルブ１４０の水平方向のセンター線に対して測定されたときに約０°～約２０°、約５℃～約１７°、又は約７°～約１４°の範囲の角度で、１つ以上のスリットバルブ１３４及び／又は１４０にアクセスすることができる。

【0027】

本明細書では「デュアル基板ハンドリングモード（ｄｕａｌ ｓｕｂｓｔｒａｔｅ ｈａｎｄｌｉｎｇ ｍｏｄｅ）」とは、ロボット装置１０２が、２つの隣接するロードロックチャンバ（例えば、ロードロックチャンバ１２２）又は少なくとも１対の隣接する処理チャンバ（例えば、処理チャンバ１２０）に同時にアクセスすることを指す。ロボット装置１０２が、デュアル基板ハンドリングモードにあるときには、第１のエンドエフェクタ及び第２のエンドエフェクタは、第１の回転軸及び第２の回転軸とは異なる１つ以上の追加的な軸周りに別々に又は一緒に回転させられ、第１のピッチＤ１又は第２のピッチＤ２だけ、第１のエンドエフェクタを第２のエンドエフェクタから離す。

【0028】

本明細書では「シングル基板ハンドリングモード（ｓｉｎｇｌｅ ｓｕｂｓｔｒａｔｅ ｈａｎｄｌｉｎｇ ｍｏｄｅ）」とは、ロボット装置が、１つのロードロックチャンバ（例えば、ロードロックチャンバ１２２）又は１つの処理チャンバ（例えば、処理チャンバ１２０）にアクセスすることを指す。ロボット装置１０２が、シングル基板ハンドリングモードにあるときには、第１のエンドエフェクタと第２のエンドエフェクタとが、第１の回転軸及び第２の回転軸とは異なる１つ以上の追加的な軸周りに別々に回転させられ、第１のエンドエフェクタ又は第２のエンドエフェクタの一方が１つのロードロックチャンバ又は１つの処理チャンバにアクセスするのに適した構成で、第１のエンドエフェクタ及び第２のエンドエフェクタが位置合わせされる。基板を摘まむ又は配置するために使用されていない第２のエンドエフェクタは、基板を摘んでいる及び配置している最中の第１のエンドエフェクタによる基板の摘まみ上げ又は配置を妨げないように、邪魔にならぬよう回転させることができる。

【0029】

本明細書では、１つ以上のロードロックチャンバ及び／又は処理チャンバにアクセスする１つ以上のエンドエフェクタに関して使用される「アクセスする」という用語は、エンドエフェクタが、上記チャンバにアクセスして、基板を摘まみ上げること、基板を置くこと、基板を交換すること、及び／又は、ロードロックチャンバ及び／又は処理チャンバにアクセスするエンドエフェクタによって実行されると当業者が理解するであろう任意の他の動作を行うこと、を指す。

【0030】

図２Ａ～図２Ｂ、図５Ａ～図５Ｂ、及び図８Ａ～図８Ｃに関してさらに詳細に示されるように、本明細書ではロボット装置１０２の様々な実施形態が企図されている。デュアル基板ハンドリングモード、及びシングル基板ハンドリングモードについての動作モードは、図３Ａ～図３Ｄ、図４Ａ～図４Ｄ、図６Ａ～図６Ｄ、及び図７Ａ～図７Ｄに関してさらに詳細に示すように、ロボット装置１０２の様々な実施形態について変わりうる。

【0031】

コントローラ１４２が、ロボット装置１０２と通信可能でありうる。ロボット装置１０２は、コントローラ１４２からの適切なコマンドによって制御されうる。コントローラ１４２はまた、スリットバルブ１３４及び１４０と、他の構成要素と、メインフレーム１０４内、ロードロックチャンバ１２２内、及び処理チャンバ１２０内行われるプロセスと、を制御することができる。

【0032】

さらに、開示される実施形態に係るロボット装置１０２の一実施形態の斜視図を示す図２Ａ、及び開示される実施形態に係るロボット装置１０２の上面図を示す図２Ｂを参照する。図２Ａ～図２Ｂに示す実施形態では、ロボット装置１０２Ａが示されている。ロボット装置１０２Ａは、第１の回転軸２１５周りに回転するよう構成された１つの下部アーム２１０を含みうる。例えば、ベース２１４内に位置する１つ以上のモータ（図示せず）は、第１の回転軸２１５周りに１つの下部アーム２１０を回転させることができる。ロボット装置１０２Ａは、第１の回転軸２１５から間隔を空けた第２の回転軸２２５において１つの下部アーム２１０に回転可能に結合された１つの上部アーム２２０をさらに含みうる。上部アーム２２０は、第２の回転軸２２５周りに回転するよう構成されうる。例えば、ベース２１４内に位置する１つ以上のモータ（図示せず）は、第２の回転軸２２５周りに１つの上部アーム２２０を回転させることができる。幾つかの実施形態において、下部アーム２１０の部分と上部アーム２２０の部分とは、互いに上下に異なる平面において動作することができる。

【0033】

ロボット装置１０２Ａは、第２の回転軸２２５から離れた第３の回転軸２３５において１つの上部アーム２２０に回転可能に結合された第１のエンドエフェクタ２３０Ａをさらに含みうる。第１のエンドエフェクタは、水平面において第１の方向の第１の湾曲部２３２Ａを含みうる。ロボット装置１０２Ａはまた、第３の回転軸２３５において１つの上部アーム２２０に回転可能に結合された第２のエンドエフェクタ２３０Ｂも含みうる。第２のエンドエフェクタは、水平面において、第１の方向とは反対の第２の方向の第２の湾曲部２３２Ｂを含みうる。第１のエンドエフェクタ２３０Ａ及び第２のエンドエフェクタ２３０Ｂは、デュアル基板ハンドリングモードとシングル基板ハンドリングモードの両方について、第３の回転軸２３５周りに別々に回転するよう構成されている。例えば、ベース２１４内に位置する１つ以上のモータ（図示せず）は、デュアル基板ハンドリングモード及びシングル基板ハンドリングモードの両方について、第１のエンドエフェクタ２３０Ａ及び第２のエンドエフェクタ２３０Ｂを、第３の回転軸２３５周りに別々に回転させることができる。

【0034】

特定の実施形態において、本開示は、デュアル基板ハンドリングモード及びシングル基板ハンドリングモードでロボット装置を動作させることで基板を移送する方法を包含する。デュアル基板ハンドリングモードでのロボット装置１０２Ａの動作を、図３Ａ～図３Ｄを参照しながらさらに説明する。

【0035】

図３Ａでは、ロボット装置１０２Ａが、図２Ａ～図２Ｂに関して記載したように、２つの水平方向に隣接するロードロックチャンバ（図１のロードロックチャンバ１２２など）内に到達する（又はアクセスする）のに適した拡張構成において示されている。本明細書では、本構成を「デュアルロードロックリーチ（ｄｕａｌ ｌｏａｄ ｌｏｃｋ ｒｅａｃｈ）」と呼ぶ。第１のエンドエフェクタ２３０Ａと第２のエンドエフェクタ２３０Ｂとは第３の回転軸２３５周りに別々に回転して、当該２つのエンドエフェクタ同士が第１のピッチだけ離れたデュアルロードロックリーチに達することができる。図３Ａで分かるように、デュアルロードロックリーチでは、第１のエンドエフェクタ２３０Ａは、第１のピッチＤ１だけ第２のエンドエフェクタ２３０Ｂから離れている。幾つかの実施形態において、第１のピッチＤ１は、図３Ａの構成で示すように、第１のエンドエフェクタ２３０Ａの第１の端点２３２Ａと、第２のエンドエフェクタ２３０Ｂの第２の端点２３２Ｂとの間で測定され、当該第１のピッチＤ１は、２つの水平方向に隣接するロードロック１２２のセンター間の距離に相当する。幾つかの実施形態において、２つの隣接するロードロックチャンバ１２２のセンター間の第１のピッチＤ１が、約２０インチ～約２５インチの範囲内にありうる。幾つかの実施形態において、２つの隣接するロードロックチャンバ１２２のセンター間の第１のピッチＤ１が、約２１インチ～約２３インチの範囲内にありうる。幾つかの実施形態において、２つの隣接するロードロックチャンバ１２２のセンター間の第１のピッチＤ１が、約２２インチでありうる。第１のピッチＤ１の他の距離も可能でありうる。

【0036】

特定の実施形態において、第１のエンドエフェクタ２３０Ａ及びは第２のエンドエフェクタ２３０Ｂは、図３Ａに示すように、ロードロックチャンバ１２２の２つのスリットバルブ１３４に対して同時に、かつ（スリットバルブ１３４又はスリットバルブ１４０の水平方向のセンター線に対して）或る角度で、アクセスする。特定の実施形態（図示せず）において、第１のエンドエフェクタ２３０Ａ及び第２のエンドエフェクタ２３０Ｂは、２つのスリットバルブ１３４に同時に、かつ（スリットバルブ１３４又はスリットバルブ１４０の水平方向の開口に対して）直交して、アクセスする。

【0037】

デュアルロードロックリーチでは、ロボット装置１０２Ａは、両方のロードロックチャンバ１２２にアクセスして、２つの基板１１８を２つの処理チャンバ１２０に移送することが可能であり、又はメインフレーム１０４から出して移送される処理済みの基板をその上に載せることが可能である。

【0038】

デュアル基板ハンドリングモードをさらに説明するために、ロボット装置１０２Ａがロードロックチャンバ１２２から２つの基板１１８を取り出して、水平方向に２つの隣接する処理チャンバ１２０に移送すると仮定する。２つの基板を取り出すと、ロボット装置１０２Ａは、移送チャンバ１０６内で旋回して、「チャンバ事前配置（ｃｈａｍｂｅｒ ｐｒｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）」アライメント（図３Ｂ）に達し、この「チャンバ事前配置」では、第１のエンドエフェクタ２３０Ａ及び第２のエンドエフェクタ２３０Ｂが、第３の回転軸２３５周りに回転して、２つの水平方向に隣接する処理チャンバ１２０にアクセスするのに適したポジションにつくことができる。旋回することは、以下のことの１つ以上、即ち、第１の回転軸２１５周りに下部アーム２１０を回転させること、第２の回転軸２２５周りに上部アーム２２０を回転させること、及び／又は、第３の回転軸２３５周りに、第１のエンドエフェクタ２３０Ａ又は第２のエンドエフェクタ２３０Ｂの１つ以上を別々に回転させること、の１つ以上を含む。

【0039】

「チャンバ事前配置」アライメントに達した後で、第１のエンドエフェクタ２３０Ａと第２のエンドエフェクタ２３０Ｂとはさらに、第２のピッチＤ２だけ離すことができる。第１のエンドエフェクタ２３０Ａと第２のエンドエフェクタ２３０Ｂとは、第３の回転軸２３５周りに別々に回転して、当該２つのエンドエフェクタが第２のピッチだけ離れたデュアル処理チャンバリーチに達することができる。幾つかの実施形態において、第２のピッチＤ２は、図３Ｃの構成で示すように、第１のエンドエフェクタ２３０Ａの第１の端点２３２Ａと、第２のエンドエフェクタ２３０Ｂの第２の端点２３２Ｂとの間で測定され、当該第１のピッチＤ２は、２つの水平方向に隣接する処理チャンバ１２０のセンター間の距離に相当する。幾つかの実施形態において、２つの隣接する処理チャンバ１２０のセンター間の第２のピッチＤ２が、約３２インチ～約４０インチの範囲内にありうる。幾つかの実施形態において、２つの隣接する処理チャンバ１２０のセンター間の第２のピッチＤ２が、約３４インチ～約３８インチの範囲内でありうる。幾つかの実施形態において、２つの隣接する処理チャンバ１２０のセンター間の第２のピッチＤ２が、約３６インチでありうる。第２のピッチＤ２の他の距離も可能でありうる。

【0040】

特定の実施形態において（図示せず）、第１のエンドエフェクタ２３０Ａ及び第２のエンドエフェクタ２３０Ｂは、２つの水平方向に隣接する処理チャンバ１２０の２つのスリットバルブ１４０に対して同時に、かつ（スリットバルブ１４０の水平方向センター線に対して）或る角度で、アクセスする。特定の実施形態において、第１のエンドエフェクタ２３０Ａ及び第２のエンドエフェクタ２３０Ｂは、図３Ｃに示すように、２つの水平方向に隣接する処理チャンバ１２０の２つのスリットバルブ１４０に対して同時に、かつ（スリットバルブ１４０の水平方向センター線に対して）直交して、アクセスする。

【0041】

図３Ｃでは、ロボット装置１０２Ａは、２つの水平方向に隣接する処理チャンバ（図１の処理チャンバ１２０など）内に到達する（又はアクセスする）のに適した拡張構成において示されている。本明細書では、本構成を「デュアル処理チャンバリーチ（ｄｕａｌ ｐｒｏｃｅｓｓ ｃｈａｍｂｅｒ ｒｅａｃｈ）」と呼ぶ。図３Ｃで分かるように、デュアル処理チャンバリーチでは、第１のエンドエフェクタ２３０Ａは、第２のピッチＤ２だけ第２のエンドエフェクタ２３０Ｂから離れている。デュアル処理チャンバリーチでは、ロボット装置１０２Ａは、２つの隣接する処理チャンバ１２０にアクセスして、処理のために２つの基板１１８を配置すること可能である（又は、処理済みの基板を取り出して、さらなる処理のために移送し若しくはロードロックチャンバ１２２へと移送することができる）。

【0042】

処理の後に、ロボット１０２Ａは「デュアル処理チャンバリーチ」構成において、１対の水平方向に隣接する処理チャンバ１２０から処理済み基板を取り出し、移送チャンバ１０６内で旋回して、図３Ｄに示される「ロードロック事前配置」アライメントに達することができる。旋回することは、以下のことの１つ以上、即ち、第１の回転軸２１５周りに下部アーム２１０を回転させること、第２の回転軸２２５周りに上部アーム２２０を回転させること、及び／又は、第３の回転軸２３５周りに、第１のエンドエフェクタ２３０Ａ又は第２のエンドエフェクタ２３０Ｂの１つ以上を別々に回転させること、の１つ以上を含む。図３Ｄに示す「ロードロック事前配置」アライメントに達すると、ロボット装置１０２Ａは、動作３Ａ～３Ｄを周期的に繰り返して、電子デバイス処理システム１００内の処理チャンバ１２０及びロードロックチャンバ１２２に順次ロード及び／又はアンロードすることができる。

【0043】

シングル基板ハンドリングモードでのロボット装置１０２Ａの動作を、図４Ａ～図４Ｄを参照しながらさらに説明する。

【0044】

図４Ａでは、ロボット装置１０２Ａが、図３Ａに関して説明したように、「デュアルロードロックリーチ」において示されている。デュアルロードロックリーチでは、ロボット装置１０２Ａは、図３Ｂ～図３Ｃに示すように、両方のロードロックチャンバ１２２にアクセスして２つの基板１１８を取り出すことができ、この２つの基板１１８はその後、２つの水平方向に隣接する処理チャンバ１２０内に同時に配置することが可能である。代替的に、２つの基板１１８が、図４Ｂ～図４Ｃに関して示されるように、２つの処理チャンバ（水平方向に隣接していてもいなくてもよい）内に、順次アンロードされうる。

【0045】

図では示されていないが、ロボット装置１０２Ａはまた、１つのロードロックチャンバ１２２にアクセスして、一度に単一の基板１１８を取り出すことも可能である。このことは、例えば、一方のロードロックチャンバが修理不能になったときに、電子デバイス処理システムの稼働を継続させるために役立ちうる。例えば、エンドエフェクタ２３０Ａは、ロードロックチャンバ１２２のいずれか一方にアクセスし、その際に他方にはアクセスしないということが可能であろう。同様に、エンドエフェクタ２３０Ｂは、ロードロックチャンバ１２２のいずれか一方にアクセスし、その際に他方にはアクセスしないということが可能であろう。このようにすることは、第１のエンドエフェクタ２３０Ａと第２のエンドエフェクタ２３０Ｂとを、第３の回転軸２３５周りに別々に回転させて、第１のエンドエフェクタ２３０Ａ又は第２のエンドエフェクタ２３０Ｂの一方２３０Ａが１つのロードロックチャンバ１２２にアクセスするのに適した構成で、第１のエンドエフェクタ２３０Ａ及び第２のエンドエフェクタを位置合わせすることを含むであろう。特定の実施形態において、ロードロックチャンバ１２２のスリットバルブ１３４は、２つのロードロックチャンバに同時にアクセスしようと１つのロードロックチャンバに順次アクセスしようと、第１のエンドエフェクタ２３０Ａ及び／又は第２のエンドエフェクタ２３０Ｂがアクセスしてくるのに対応することに適した幅を有しうる。

【0046】

第１のエンドエフェクタ及び／又は第２のエンドエフェクタが１つ以上のロードロックチャンバにアクセスする角度はまた、両エンドエフェクタが２つのロードロックチャンバに同時にアクセスするのか、又は１つのロードロックチャンバに順次アクセスするのかに従って、変わりうる。特定の実施形態において、第１のエンドエフェクタ２３０Ａ及び第２のエンドエフェクタ２３０Ｂは、２つのスリットバルブ１３４に対して同時に、かつ（スリットバルブ１３４の水平方向の開口に対して）直交してアクセスする。特定の実施形態において、第１のエンドエフェクタ２３０Ａ及び第２のエンドエフェクタ２３０Ｂは、２つのスリットバルブ１３４に対して同時に、かつ（スリットバルブ１３４の水平方向センター線に対して）或る角度でアクセスする。特定の実施形態において、第１のエンドエフェクタ２３０Ａ及び／又は第２のエンドエフェクタ２３０Ｂは、１つのロードロックチャンバのスリットバルブ１３４に対して順次に、かつ（スリットバルブ１３４の水平方向の開口に対して）直交してアクセスする。特定の実施形態において、第１のエンドエフェクタ２３０Ａ及び／又は第２のエンドエフェクタ２３０Ｂは、１つのロードロックチャンバのスリットバルブ１３４に対して順次に、かつ（スリットバルブ１３４の水平方向センター線に対して）或る角度でアクセスする。

【0047】

図４Ｂ及び図４Ｃでは、第１のエンドエフェクタ２３０Ａと第２のエンドエフェクタ２３０Ｂとは、第３の回転軸２３５周りに別々に回転し、第１のエンドエフェクタ２３０Ａ又は第２のエンドエフェクタ２３０Ｂの一方が１つの処理チャンバ１２０にアクセスするのに適した構成で、第１のエンドエフェクタ２３０Ａ及び第２のエンドエフェクタ２３０Ｂが位置合わせされる。例えば、図４Ｂでは、第１のエンドエフェクタ２３０Ａが、１の処理チャンバ内に基板をアンロードし、その後で、第２のエンドエフェクタ２３０Ｂが、（第１のエンドエフェクタ２３０Ａから基板を受け取った処理チャンバの反対側に配置された）他の処理チャンバに、基板をアンロードする。

【0048】

図４Ｃでは、第１のエンドエフェクタ２３０Ａと第２のエンドエフェクタ２３０Ｂとは、第３の回転軸２３５周りに別々に回転して、第１のエンドエフェクタ２３０Ａ又は第２のエンドエフェクタ２３０Ｂの一方２３０Ａが１つの処理チャンバ１２０にアクセスするのに適した構成で、第１のエンドエフェクタ２３０Ａ及び第２のエンドエフェクタが位置合わせされる。

【0049】

特定の実施形態において、第１のエンドエフェクタ２３０Ａ及び第２のエンドエフェクタ２３０Ｂは、（水平方向に隣接する位置にあってもなくてもよい）同じ処理チャンバ１２０の、即ち２つの別々の処理チャンバ１２０の１つのスリットバルブ１４０に、順次アクセスすることが可能である。特定の実施形態（図示せず）において、第１のエンドエフェクタ２３０Ａ及び／又は第２のエンドエフェクタ２３０Ｂは、所与のスリットバルブ１４０に、（スリットバルブ１４０の水平方向のセンター線に対して）或る角度でアクセスする。特定の実施形態において、第１のエンドエフェクタ２３０Ａ及び／又は第２のエンドエフェクタ２３０Ｂは、図４Ｂ及び図４Ｃに示すように、処理チャンバのスリットバルブ１４０に、（スリットバルブ１４０の水平方向の開口に対して）直交してアクセスする。

【0050】

処理の後に、ロボット１０２Ａは、図４Ｂ～図４Ｃに示す「シングル処理チャンバリーチ」構成で処理済み基板を順次取り出し、移送チャンバ１０６内で旋回して、図４Ｄに示される「ロードロック事前配置」アライメントに達することができる。旋回することは、以下のことの１つ以上、即ち、第１の回転軸２１５周りに下部アーム２１０を回転させること、第２の回転軸２２５周りに上部アーム２２０を回転させること、及び／又は、第３の回転軸２３５周りに、第１のエンドエフェクタ２３０Ａ又は第２のエンドエフェクタ２３０Ｂの１つ以上を別々に回転させること、の１つ以上を含む。図４Ｄに示す「ロードロック事前配置」アライメントに達すると、ロボット装置１０２Ａは、動作４Ａ～４Ｄを周期的に繰り返して、電子デバイス処理システム１００内の処理チャンバ１２０及びロードロックチャンバ１２２に順次ロード及び／又はアンロードすることができる。

【0051】

ロボット装置１０２Ａはまた、図３Ａ～図３Ｄに係るデュアル基板動作モードと、図４Ａ～図４Ｄに係るシングル基板動作モードと、の組み合わせを使用して、電子デバイス処理システム１００内の処理チャンバ１２０及びロードロックチャンバ１２２にロード及び／又はアンロードすることもできる。

【0052】

例えば、６つの処理チャンバ１２０（第１の側に３つ、第１の側とは反対の第２の側に３つ）を備えた電子デバイス処理システムでは、ロボット装置１０２Ａは、以下のように３つの作業工程で、６つの処理チャンバに基板をロードすることができ、即ち、１）第１の側にある１対の水平方向に隣接する処理チャンバ（例えば、処理チャンバ１２０Ａ及び１２０Ｂ）に、２つの基板を同時にロードするデュアル基板動作モード、２）第２の側にある１対の水平方向に隣接する処理チャンバ（例えば、処理チャンバ１２０Ｅ及び１２０Ｆ）に、２つの基板を同時にロードするデュアル基板動作モード、及び３）第１の側にある残りの空の処理チャンバ（例えば、処理チャンバ１２０Ｃ）に１つの基板を順次ロードし、続いて、第２の側にある残りの空の処理チャンバ（例えば、処理チャンバ１２０Ｄ）に１つの基板をロードするシングル基板動作モードにより、６つの処理チャンバに基板をロードすることができる。同様のシーケンスを使用して、同じ例示的な電子デバイス処理システムにアンロードすることができる。作業工程がより多い又は少ない同様のシーケンスが、より多くの又はより少ない処理チャンバを含む他の電子デバイス処理システムのために実行されうる。

【0053】

本明細書で示すシーケンスは、限定的に解釈されるべきではない。例えば、処理チャンバ１２０Ｂと１２０Ｃに同時にロードされてよく、処理チャンバ１２０Ｄと１２０Ｅに同時にロードされてよく、処理チャンバ１２０Ａ及び１２０Ｆに、順次ロードされてよい。他の実施形態において、処理チャンバ１２０Ａと１２０Ｂに同時にロードされてよく、処理チャンバ１２０Ｄと１２０Ｅに同時にロードされてよく、処理チャンバ１２０Ｃ及び１２０Ｆに、順次ロードされてよい。さらに別の実施形態において、処理チャンバ１２０Ｂと１２０Ｃに同時にロードされてよく、処理チャンバ１２０Ｅと１２０Ｆに同時にロードされてよく、処理チャンバ１２０Ａ及び１２０Ｄに、順次ロードされてよい。処理チャンバのローディング及びアンローディングの順序も、限定的に解釈されるべきではない。

【0054】

他の例において、６つの処理チャンバ１２０（第１の側に３つ、第１の側とは反対の第２の側に３つ）と、１つの動作可能なロードロックチャンバ（例えば、１２２Ａ）と、を含む電子デバイス処理システムでは、ロボット装置１０２Ａは、以下のシーケンスで動作することができ、即ち、１）ロードロックチャンバ１２２Ａから、第２のエンドエフェクタ２３０Ｂを用いて、１つの基板を摘まみ上げるシングル基板動作モード、２）ロードロックチャンバ１２２Ａから、第１のエンドエフェクタ２３０Ａを用いて、第２の基板を摘まみ上げるシングル基板動作モード、３）１対の水平方向に隣接する処理チャンバに２つの基板を同時にロードするデュアル基板動作モード、又は、１の処理チャンバに１の基板を順次ロードし、続いて他の処理チャンバに第２の基板をロードするシングル基板動作モード、４）電子デバイス処理システムに完全にロードされるまで、１）～３）を繰り返すことによって、動作することができる。同様のシーケンスを使用して、同じ例示的な電子デバイス処理システムにアンロードすることができる。作業工程がより多い又は少ない同様のシーケンスが、より多くの又はより少ない処理チャンバを含む他の電子デバイス処理システムのために実行されうる。同様のシーケンスは、１つの動作可能なロードロックチャンバがロードロックチャンバ１２２Ｂであるときにも使用することができる。

【0055】

さらに、開示される実施形態に係るロボット装置１０２の一実施形態の斜視図を示す図５Ａ、及び開示される実施形態に係るロボット装置１０２の上面図を示す図５Ｂを参照する。図５Ａ～図５Ｂに示す実施形態では、ロボット装置１０２Ｂが示されている。ロボット装置１０２Ｂは、第１の回転軸５１５周りに回転するよう構成された１つの下部アーム５１０を含みうる。例えば、ベース５１４内に位置する１つ以上のモータ（図示せず）は、第１の回転軸５１５周りに１つの下部アーム５１０を回転させることができる。ロボット装置１０２Ｂは、第１の回転軸５１５から間隔を空けた第２の回転軸５２５において１つの下部アーム５１０に回転可能に結合された１つの上部アーム５２０をさらに含みうる。上部アーム５２０は、第２の回転軸５２５周りに回転するよう構成されうる。例えば、ベース５１４内に位置する１つ以上のモータ（図示せず）は、第２の回転軸５２５周りに１つの上部アーム５２０を回転させることができる。幾つかの実施形態において、下部アーム５１０の部分と上部アーム５２０の部分とは、互いに上下に異なる平面において動作することができる。

【0056】

ロボット装置１０２Ｂは、第２の回転軸５２５から間隔を空けた第３の回転軸５３５において、１つの上部アーム５２０にそれぞれが回転可能に結合された第１の前腕５３０Ａ及び第２の前腕５３０Ｂをさらに含みうる。第１の前腕５３０Ａ及び第２の前腕５３０Ｂは、デュアル基板ハンドリングモードとシングル基板ハンドリングモードの両方について、第３の回転軸５３５周りに別々に回転するよう構成されている。例えば、ベース５１４内に位置する１つ以上のモータ（図示せず）は、デュアル基板ハンドリングモード及びシングル基板ハンドリングモードの両方について、第１の前腕５３０Ａ及び第２の前腕５３０Ｂを、第３の回転軸５３５周りに別々に回転させることができる。

【0057】

ロボット装置１０２Ｂは、第３の回転軸５３５から間隔を空けた第４の回転軸５４５において、第１の前腕５３０Ａに回転可能に結合された第１のエンドエフェクタ５４０Ａをさらに含みうる。ロボット装置１０２Ａはまた、第３の回転軸５３５から間隔が空けられておりかつ第４の回転軸５４５から離れている第５の回転軸５５５において、第２の前腕５３０Ｂに回転可能に結合された第２のエンドエフェクタ５４０Ｂを含みうる。

【0058】

第１の前腕５３０Ａ、第２の前腕５３０Ｂ、第１のエンドエフェクタ５４０Ａ、及び第２のエンドエフェクタ５４０Ｂは、デュアル基板ハンドリングモードとシングル基板ハンドリングモードの両方について、第３の回転軸５３５、第４の回転軸５４５、及び第５の回転軸５５５の周りに、別々に回転するよう構成されうる。例えば、ベース５１４内に位置する１つ以上のモータ（図示せず）は、デュアル基板ハンドリングモード及びシングル基板ハンドリングモードの両方について、第１の前腕５３０Ａ及び第２の前腕５３０Ｂを、第３の回転軸５３５周りに別々に回転させ、第１のエンドエフェクタ５４０Ａを第４の回転軸５４５周りに回転させ、第２のエンドエフェクタ５４０Ｂを第５の回転軸５５５周りに回転させることができる。

【0059】

代替的な実施形態において、ロボット装置１０２Ｂの１つ以上の構成要素を制御するモータではなく、カムプーリ設計、又はカムプーリ設計と１つ以上のモータとの組み合わせが、ロボット装置１０２Ｂの１つ以上の構成要素を制御するために使用されうる。例えば、ベース５１４内に位置する１つのモータ（図示せず）が、第１の回転軸５１５周りに下部アーム５１０を独立して回転させるよう構成されてよく、ベース５１４内に位置する１つのモータ（図示せず）が、第２の回転軸５２５周りに上部アーム５２０を独立しえ回転させるよう構成されてよく、ベース５１４内に位置する２つのモータ（図示せず）が、第３の回転軸５３５周りに第１の前腕５３０Ａ及び第２の前腕５３０Ｂを別々に回転させるよう構成されてよく、カムプーリ設計（図示せず）が、第１の前腕５３０Ａ、第２の前腕５３０Ｂ、第１のエンドエフェクタ５４０Ａ、及び第２のエンドエフェクタ５４０Ｂを制御して、第１のピッチＤ１又は第２のピッチＤ２だけ、第２のエンドエフェクタ５４０Ｂを第１のエンドエフェクタ５４０Ａから離すよう構成されてよい。

【0060】

デュアル基板ハンドリングモードでのロボット装置１０２Ｂの動作を、図６Ａ～図６Ｄを参照しながらさらに説明する。

【0061】

図６Ａでは、ロボット装置１０２Ｂが、図５Ａ～図５Ｂに関して記載したように、２つの水平方向に隣接するロードロックチャンバ（図１のロードロックチャンバ１２２など）内に到達する（又はアクセスする）のに適した拡張構成において示されている。本明細書では、本構成を「デュアルロードロックリーチ（ｄｕａｌ ｌｏａｄ ｌｏｃｋ ｒｅａｃｈ）」と呼ぶ。第１の前腕５３０Ａ及び第２の前腕５３０Ｂを、第３の回転軸５３５周りに別々に回転させ、第１のエンドエフェクタ５４０Ａを、第４の回転軸５４５周りに独立して回転させ、第２のエンドエフェクタ５４０Ｂを、第５の回転軸５５５周りに独立して回転させて、当該２つのエンドエフェクタが第１のピッチだけ離れたデュアルロードロックリーチに達することができる。図６Ａで分かるように、デュアルロードロックリーチでは、第１のエンドエフェクタ５４０Ａは、第２のエンドエフェクタ５４０Ｂから第１のピッチＤ１だけ離れている。幾つかの実施形態において、第１のピッチＤ１は、図６Ａの構成で示すように、第１のエンドエフェクタ５４０Ａの第１の端点５４２Ａと、第２のエンドエフェクタ５４０Ｂの第２の端点５４２Ｂとの間で測定され、当該第１のピッチＤ１は、２つの水平方向に隣接するロードロックチャンバ１２２のセンター間の距離に相当する。幾つかの実施形態において、２つの隣接するロードロックチャンバ１２２のセンター間の第１のピッチＤ１が、約２０インチ～約２５インチの範囲内にありうる。幾つかの実施形態において、２つの隣接するロードロックチャンバ１２２のセンター間の第１のピッチＤ１が、約２１インチ～約２３インチの範囲内にありうる。幾つかの実施形態において、２つの隣接するロードロックチャンバ１２２のセンター間の第１のピッチＤ１が、約２２インチでありうる。第１のピッチＤ１の他の距離も可能でありうる。

【0062】

デュアルロードロックリーチでは、ロボット装置１０２Ｂは、両方のロードロックチャンバ１２２にアクセスして、２つの基板１１８を２つの処理チャンバ１２０に移送することが可能であり、又はメインフレーム１０４から出して移送される処理済みの基板をその上に載せることが可能である。

【0063】

デュアル基板ハンドリングモードをさらに説明するために、ロボット装置１０２Ｂがロードロックチャンバ１２２から２つの基板１１８を取り出して、水平方向に２つの隣接する処理チャンバ１２０に移送すると仮定する。２つの基板を取り出すと、ロボット装置１０２Ｂは、第１の前腕５３０Ａ、第２の前腕５３０Ｂ、第１のエンドエフェクタ５４０Ａ、及び第２のエンドエフェクタ５４０Ｂを回転（及び／又は収縮）させ、移送チャンバ１０６内で旋回して、本実施形態では「「Ｗ」形状の事前配置アライメント」とも称しうる「チャンバ事前配置」アライメントに達する（図６Ｂ）。「Ｗ」形状の事前位置アライメントでは、第１の前腕５３０Ａ、第２の前腕５３０Ｂ、第１のエンドエフェクタ５４０Ａ、及び第２のエンドエフェクタ５４０Ｂが、自身の対応する回転軸の周りで回転させられて、２つの水平方向に隣接する処理チャンバ１２０にアクセスするのに適したポジションに置かれうる。旋回には、第１の回転軸５１５周りに下部アーム５１０を回転させること、第２の回転軸５２５周りに上部アーム５２０を回転させること、第３の回転軸５３５周りに、第１の前腕５３０Ａ又は第２の前腕５３０Ｂのうちの１つ以上を別々に回転させること、第４の回転軸５４５周りに第１のエンドエフェクタ５４０Ａを回転させること、及び／又は第５の回転軸５５５周りに第２のエンドエフェクタを回転させること、の１つ以上が含まれうる。

【0064】

「チャンバ事前配置」アライメント又は「「Ｗ」形状の事前配置アライメント」に達して、処理チャンバリーチのために適した方向に旋回した後で、第１のエンドエフェクタ５４０Ａと第２のエンドエフェクタ５４０Ｂとがさらに、第２のピッチＤ２だけ離されうる。第１の前腕５３０Ａ及び第２の前腕５３０Ｂを、第３の回転軸５３５周りに別々に回転させ、第１のエンドエフェクタ５４０Ａを、第４の回転軸５４５周りに独立して回転させ、第２のエンドエフェクタ５４０Ｂを、第５の回転軸５５５周りに独立して回転させて、上記２つのエンドエフェクタが第２のピッチだけ離れたデュアル処理チャンバリーチに達することができる。幾つかの実施形態において、第２のピッチＤ２は、図６Ｃの構成で示すように、第１のエンドエフェクタ５４０Ａの第１の端点５４２Ａと、第２のエンドエフェクタ５４０Ｂの第２の端点５４２Ｂとの間で測定され、当該第２のピッチＤ２は、２つの水平方向に隣接する処理チャンバ１２０のセンター間の距離に相当する。幾つかの実施形態において、２つの隣接する処理チャンバ１２０のセンター間の第２のピッチＤ２が、約３２インチ～約４０インチの範囲内にありうる。幾つかの実施形態において、２つの隣接する処理チャンバ１２０のセンター間の第２のピッチＤ２が、約３４インチ～約３８インチの範囲内でありうる。幾つかの実施形態において、２つの隣接する処理チャンバ１２０のセンター間の第２のピッチＤ２が、約３６インチでありうる。第２のピッチＤ２の他の距離も可能でありうる。

【0065】

図６Ｃでは、ロボット装置１０２Ｂは、２つの水平方向に隣接する処理チャンバ（図１の処理チャンバ１２０など）内に到達する（又はアクセスする）のに適した拡張構成において示されている。本明細書では、本構成を「デュアル処理チャンバリーチ（ｄｕａｌ ｐｒｏｃｅｓｓ ｃｈａｍｂｅｒ ｒｅａｃｈ）」と呼ぶ。図６Ｃで分かるように、デュアル処理チャンバリーチでは、第１のエンドエフェクタ５４０Ａは、第２のピッチＤ２だけ第２のエンドエフェクタ５４０Ｂから離れている。デュアル処理チャンバリーチでは、ロボット装置１０２Ｂは、２つの隣接する処理チャンバ１２０に同時にアクセスして、処理のために２つの基板１１８を配置すること可能である（又は、処理済みの基板を取り出して、さらなる処理のために若しくはロードロックチャンバ１２２へと移送することができる）。

【0066】

処理の後に、ロボット１０２Ｂは、「デュアル処理チャンバリーチ」構成において、１対の水平方向に隣接する処理チャンバ１２０から処理済み基板を同時に取り出し、移送チャンバ１０６内で旋回して、図６Ｄに示されるように、「「Ｖ」形状の事前配置」アライメントと称しうる「ロードロック事前配置」アライメントに達することができる。旋回には、第１の回転軸５１５周りに下部アーム５１０を回転させること、第２の回転軸５２５周りに上部アーム５２０を回転させること、第３の回転軸５３５周りに、第１の前腕５３０Ａ又は第２の前腕５３０Ｂのうちの１つ以上を別々に回転させること、第４の回転軸５４５周りに第１のエンドエフェクタ５４０Ａを回転させること、及び／又は第５の回転軸５５５周りに第２のエンドエフェクタを回転させること、の１つ以上が含まれうる。図６Ｄに示す「ロードロック事前配置」アライメントに達すると、ロボット装置１０２Ｂは、動作６Ａ～６Ｄを周期的に繰り返して、電子デバイス処理システム１００内の処理チャンバ１２０及びロードロックチャンバ１２２に順次ロード及び／又はアンロードすることができる。

【0067】

シングル基板ハンドリングモードでのロボット装置１０２Ｂの動作を、図７Ａ～図７Ｄを参照しながらさらに説明する。

【0068】

図７Ａでは、ロボット装置１０２Ｂが、図６Ａに関して説明したように、「デュアルロードロックリーチ」において示されている。デュアルロードロックリーチでは、ロボット装置１０２Ｂは、図６Ｂ～図６Ｃに示すように、両方のロードロックチャンバ１２２にアクセスして２つの基板１１８を取り出すことができ、この２つの基板１１８はその後、２つの水平方向に隣接する処理チャンバ１２０内に同時に配置することが可能である。代替的に、２つの基板１１８が、図７Ｂ～図７Ｃに関して示されるように、２つの処理チャンバ（水平方向に隣接していてもいなくてもよい）に、順次アンロードされうる。

【0069】

図では示されていないが、ロボット装置１０２Ｂはまた、１つのロードロックチャンバ１２２にアクセスして、一度に単一の基板１１８を取り出すことも可能である。このことは、例えば、一方のロードロックチャンバが修理不能になったときに、電子デバイス処理システムの稼働を継続させるために役立ちうる。例えば、エンドエフェクタ５４０Ａは、ロードロックチャンバ１２２のいずれか一方にアクセスし、その際に他方にはアクセスしないということが可能であろう。同様に、エンドエフェクタ５４０Ｂは、ロードロックチャンバ１２２のいずれか一方にアクセスし、その際に他方にはアクセスしないということが可能であろう。このようにすることは、第１の前腕５３０Ａと第２の前腕５３０Ｂとを、第３の回転軸５３５周りに別々に回転させ、第１のエンドエフェクタ２３０Ａを、第４の回転軸５４５周りに独立して回転させ、第２のエンドエフェクタ５４０Ｂを、第５の回転軸５５５周りに独立して回転させて、第１のエンドエフェクタ５４０Ａ又は第２のエンドエフェクタ５４０Ｂの一方５４０Ａが１つのロードロックチャンバ１２２にアクセスするのに適した構成で、第１のエンドエフェクタ５４０Ａ及び第２のエンドエフェクタを位置合わせすることを含むであろう。特定の実施形態において、ロードロックチャンバ１２２のスリットバルブ１３４は、２つのロードロックチャンバに同時にアクセスしようと１つのロードロックチャンバに順次アクセスしようと、第１のエンドエフェクタ５４０Ａ及び／又は第２のエンドエフェクタ５４０Ｂがアクセスしてくるのに対応することに適した幅を有しうる。

【0070】

図７Ｂ及び図７Ｃでは、第１の前腕５３０Ａと第２の前腕５３０Ｂとが、第３の回転軸５３５周りを別々に回転し、第１のエンドエフェクタ５４０Ａが、第４の回転軸５４５周りに独立して回転し、第２のエンドエフェクタ５４０Ｂが、第５の回転軸５５５周りに独立して回転して、第１のエンドエフェクタ５４０Ａ又は第２のエンドエフェクタ５４０Ｂの一方が１つの処理チャンバ１２０にアクセスするのに適した構成で、第１のエンドエフェクタ５４０Ａ及び第２のエンドエフェクタ５４０Ｂが位置合わせされる。例えば、図７Ｂでは、第１のエンドエフェクタ５４０Ａが、１の処理チャンバに基板をアンロードし、その後で、図７Ｃに示すように、第２のエンドエフェクタ５４０Ｂが、（第１のエンドエフェクタ５４０Ａから基板を受け取った処理チャンバの反対側に配置された）他の処理チャンバに、基板をアンロードする。

【0071】

処理の後に、ロボット１０２Ｂは、図７Ｂ～７Ｃに示す「シングル処理チャンバリーチ」構成により、処理済み基板を順次取り出し、移送チャンバ１０６内で旋回して、図７Ｄに示される「「Ｖ」形状の事前配置」アライメントとも称しうる「ロードロック事前配置」アライメントに達することができる。旋回には、第１の回転軸５１５周りに下部アーム５１０を回転させること、第２の回転軸５２５周りに上部アーム５２０を回転させること、第３の回転軸５３５周りに、第１の前腕５３０Ａ又は第２の前腕５３０Ｂのうちの１つ以上を別々に回転させること、第４の回転軸５４５周りに第１のエンドエフェクタ５４０Ａを回転させること、及び／又は第５の回転軸５５５周りに第２のエンドエフェクタを回転させること、の１つ以上が含まれうる。図７Ｄに示す「ロードロック事前配置」アライメント又は「Ｖ」形状の事前配置アライメントに達すると、ロボット装置１０２Ｂは、動作７Ａ～７Ｄを周期的に繰り返して、電子デバイス処理システム１００内の処理チャンバ１２０及びロードロックチャンバ１２２に順次ロード及び／又はアンロードすることができる。

【0072】

ロボット装置１０２Ｂは、図６Ａ～図６Ｄに係るデュアル基板動作モードと、図７Ａ～図７Ｄに係るシングル基板動作モードと、の組み合わせを使用して、電子デバイス処理システム１００内の処理チャンバ１２０及びロードロックチャンバ１２２にロード及び／又はアンロードすることができる。

【0073】

例えば、６つの処理チャンバ１２０（第１の側に３つ、第１の側とは反対の第２の側に３つ）を備えた電子デバイス処理システムでは、ロボット装置１０２Ｂは、以下のように３つの作業工程で、６つの処理チャンバに基板をロードすることができ、即ち、１）第１の側にある１対の水平方向に隣接する処理チャンバ（例えば、処理チャンバ１２０Ａ及び１２０Ｂ）に、２つの基板を同時にロードするデュアル基板動作モード、２）第２の側にある１対の水平方向に隣接する処理チャンバ（例えば、処理チャンバ１２０Ｅ及び１２０Ｆ）に、２つの基板を同時にロードするデュアル基板動作モード、及び３）第１の側にある残りの空の処理チャンバ（例えば、処理チャンバ１２０Ｃ）に１つの基板を順次ロードし、続いて、第２の側にある残りの空の処理チャンバ（例えば、処理チャンバ１２０Ｄ）に１つの基板をロードするシングル基板動作モードにより、６つの処理チャンバに基板をロードすることができる。同様のシーケンスを使用して、同じ例示的な電子デバイス処理システムにアンロードすることができる。作業工程がより多い又は少ない同様のシーケンスが、より多くの又はより少ない処理チャンバを含む他の電子デバイス処理システムのために実行されうる。

【0074】

本明細書で示すシーケンスは、限定的に解釈されるべきではない。例えば、処理チャンバ１２０Ｂと１２０Ｃに同時にロードされてよく、処理チャンバ１２０Ｄと１２０Ｅに同時にロードされてよく、処理チャンバ１２０Ａ及び１２０Ｆに、順次ロードされてよい。他の実施形態において、処理チャンバ１２０Ａと１２０Ｂに同時にロードされてよく、処理チャンバ１２０Ｄと１２０Ｅに同時にロードされてよく、処理チャンバ１２０Ｃ及び１２０Ｆに、順次ロードされてよい。さらに別の実施形態において、処理チャンバ１２０Ｂと１２０Ｃに同時にロードされてよく、処理チャンバ１２０Ｅと１２０Ｆに同時にロードされてよく、処理チャンバ１２０Ａ及び１２０Ｄに、順次ロードされてよい。処理チャンバのローディング及びアンローディングの順序も、限定的に解釈されるべきではない。

【0075】

他の例において、６つの処理チャンバ１２０（第１の側に３つ、第１の側とは反対の第２の側に３つ）と、１つの動作可能なロードロックチャンバ（例えば、１２２Ａ）と、を含む電子デバイス処理システムでは、ロボット装置１０２Ｂは、以下のシーケンスで動作することができ、即ち、１）ロードロックチャンバ１２２Ａから、第２のエンドエフェクタ５４０Ｂを用いて、１つの基板を摘まみ上げるシングル基板動作モード、２）ロードロックチャンバ１２２Ａから、第１のエンドエフェクタ５４０Ａを用いて、第２の基板を摘まみ上げるシングル基板動作モード、３）１対の水平方向に隣接する処理チャンバに２つの基板を同時にロードするデュアル基板動作モード、又は、１の処理チャンバに１の基板を順次ロードし、続いて他の処理チャンバに第２の基板をロードするシングル基板動作モード、４）電子デバイス処理システムに完全にロードされるまで、１）～３）を繰り返すことによって、動作することができる。同様のシーケンスを使用して、同じ例示的な電子デバイス処理システムにアンロードすることができる。作業工程がより多い又は少ない同様のシーケンスが、より多くの又はより少ない処理チャンバを含む他の電子デバイス処理システムのために実行されうる。同様のシーケンスは、１つの動作可能なロードロックチャンバがロードロックチャンバ１２２Ｂであるときにも使用することができる。

【0076】

さらに、開示される実施形態に係るロボット装置１０２の一実施形態の斜視図を示す図８Ａ、及び開示される実施形態に係る、収縮した（又は折り畳んだ）構成におけるロボット装置１０２の上面図を示す図８Ｂ、及び、開示される実施形態に係る拡張構成におけるロボット装置１０２の上面図を示す図８Ｃを参照する。図８Ａ～図８Ｃに示す実施形態では、ロボット装置１０２Ｃが示されている。ロボット装置１０２Ｃは、線形軌道８１６上に取り付けられた本体８１４を含みうる。本体８１４は、線形軌道８１６に沿って移動するよう構成されうる。

【0077】

ロボット装置１０２Ｃは、第１の回転軸８１５周りに回転するよう構成された第１の下部アーム８１０Ａと、第１の回転軸８１５周りに回転するよう構成された第２の下部アーム８１０Ｂと、をさらに含みうる。例えば、ベース８１４内に位置する１つ以上のモータ（図示せず）は、第１の回転軸８１５周りに第１の下部アーム８１０Ａ及び／又は第２の下部アーム８１０Ｂを別々に回転させることができる。

【0078】

ロボット装置１０２Ｃは、第１の回転軸８１５から間隔を空けた第２の回転軸８２５において、第１の下部アーム８１０Ａに回転可能に結合された第１の上部アーム８２０Ａをさらに含みうる。第１の上部アーム８２０Ａは、第２の回転軸８２５周りに回転するよう構成されうる。例えば、ベース８１４内に位置する１つ以上のモータ（図示せず）は、第２の回転軸８２５周りに第１の上部アーム８２０Ａを回転させることができる。

【0079】

ロボット装置１０２Ｃは、第１の回転軸８１５から間隔を空けた第６の回転軸８３５において、第２の下部アーム８１０Ｂに回転可能に結合された第２の上部アーム８２０Ｂをさらに含みうる。第２の上部アーム８２０Ｂは、第６の回転軸８３５周りに回転するよう構成されうる。例えば、ベース８１４内に位置する１つ以上のモータ（図示せず）は、第６の回転軸８３５周りに第２の上部アーム８２０Ｂを回転させることができる。

【0080】

ロボット装置１０２Ｃは、第２の回転軸８２５から間隔を空けた第７の回転軸８４５において、第１の上部アーム８２０Ａに回転可能に結合された第１の前腕８３０Ａをさらに含みうる。第１の前腕８３０Ａは、水平面において第１の方向の第１の湾曲部を含みうる。第１の前腕は、第７の回転軸８４５周りに独立して回転するよう構成されうる。例えば、ベース８１４内に位置する１つ以上のモータ（図示せず）は、デュアル基板ハンドリングモード及びシングル基板ハンドリングモードの両方について、第１の前腕８３０Ａを、第７の回転軸５４５周りに独立して回転させることができる。

【0081】

ロボット装置１０２Ｃは、第６の回転軸８３５から間隔を空けた第８の回転軸８５５において、第２の上部アーム８２０Ｂに回転可能に結合された第２の前腕８３０Ｂをさらに含みうる。第２の前腕８３０Ｂは、水平面において、第１の方向とは反対の第２の方向の第２の湾曲部を含みうる。第２の前腕は、第８の回転軸８５５周りに独立して回転するよう構成されうる。例えば、ベース８１４内に位置する１つ以上のモータ（図示せず）は、デュアル基板ハンドリングモード及びシングル基板ハンドリングモードの両方について、第２の前腕８３０Ｂを、第８の回転軸８５５周りに独立して回転させることができる。

【0082】

ロボット装置１０２Ｃは、任意選択的に第１のリスト８５０Ａを介して、第１の前腕８３０Ａに（任意選択的に回転可能に）結合された第１のエンドエフェクタ８４０Ａをさらに含みうる。ロボット装置１０２Ｃはまた、任意選択的に第２のリスト８５０Ｂを介して、第２の前腕８３０Ｂに（任意に回転可能に）結合された第２のエンドエフェクタ８４０Ｂを含むことができる。

【0083】

ロボット装置１０２Ｃでは、当該ロボット装置１０２Ｃが図８Ｂに示すような収縮した（又は折り畳まれた）構成にあるときには、第１の下部アーム８１０Ａ、第２の下部アーム８１０Ｂ、第１の上部アーム８２０Ａ、第２の上部アーム８２０Ｂ、第１の前腕８３０Ａ、第２の前腕８３０Ｂ、任意選択的に第１のリスト８５０Ａ、任意選択的に第２のリスト８５０Ｂ、第１のエンドエフェクタ８４０Ａ、及び第２のエンドエフェクタ８４０Ｂが、一緒に「Ｗ」形状を形成する。

【0084】

ロボット装置１０２Ｃでは、当該ロボット装置１０２Ｃが、図８Ｃに示すように、デュアル基板動作モードにおいて、ロードロックチャンバ（例えばロードロックチャンバ１２２）内又は処理チャンバ（例えば、処理チャンバ１２０）内に到達するのに適した拡張構成にあるときには、第１の下部アーム８１０Ａ、第２の下部アーム８１０Ｂ、第１の上部アーム８２０Ａ、第２の上部アーム８２０Ｂ、第１の前腕８３０Ａ、第２の前腕８３０Ｂ、任意選択的に第１のリスト８５０Ａ、任意選択的に第２のリスト８５０Ｂ、第１のエンドエフェクタ８４０Ａ、及び第２のエンドエフェクタ８４０Ｂが、一緒に「Ｖ」形状を形成する。

【0085】

ロボット装置１０２Ｃでは、デュアル基板ハンドリングモードとシングル基板ハンドリングモードの両方について、第１の下部アーム８１０Ａ、第２の下部アーム８１０Ｂ、第１の上部アーム８２０Ａ、第２の上部アーム８２０Ｂ、第１の前腕８３０Ａ、第２の前腕８３０Ｂ、任意選択的に第１のリスト８５０Ａ、任意選択的に第２のリスト８５０Ｂ、第１のエンドエフェクタ８４０Ａ、及び第２のエンドエフェクタ８４０Ｂは、自身の対応する回転軸（例えば、第１の回転軸８１５、第２の回転軸８２５、第６の回転軸８３５、第７の回転軸８４５、及び第８の回転軸８５５）の周りを別々に回転するよう構成されている。

【0086】

例えば、ベース８１４内に位置する１つ以上のモータ（図示せず）は、デュアル基板ハンドリングモード及びシングル基板ハンドリングモードの両方について、第１の下部アーム８１０Ａ及び第２の下部アーム８１０Ｂを、第１の回転軸８１５周りに別々に回転させ、第１の上部アーム８２０Ａを、第２の回転軸８２５周りに回転させ、第２の上部アーム８２０Ｂを、第６の回転軸８３５周りに回転させ、第１の前腕８３０Ａを、第７の回転軸８４５周りに回転させ、第２の前腕８３０Ｂを、第８の回転軸８５５周りに回転させる。

【0087】

稼働中に、ロボット装置１０２Ｃは、線形軌道８１６に沿って移動して、様々な処理チャンバ９２０又はロードロックチャンバ９２２にアクセスすることができる。同様に、ロボット装置１０２Ｃは、シングル基板ハンドリングモード、デュアル基板ハンドリングモード、又はこれらの組み合わせにおいて動作して、図９に示す電子デバイス処理システム９００内で、処理チャンバ９２０及びロードロックチャンバ９２２にロード及び／又はアンロードすることができる。

【0088】

ロボット装置１０２Ｃについて、デュアル基板ハンドリングモードで動作させることは、第１の下部アーム８１０Ａ、第２の下部アーム８１０Ｂ、第１の上部アーム８２０Ａ、第２の上部アーム８２０Ｂ、第１の前腕８３０Ａ、第２の前腕８３０Ｂ、任意選択的に第１のリスト８５０Ａ、任意選択的に第２のリスト８５０Ｂ、第１のエンドエフェクタ８４０Ａ、及び第２のエンドエフェクタ８４０Ｂを、第１の回転軸８１５、第２の回転軸８２５、第６の回転軸８３５、第７の回転軸８４５、及び第８の回転軸８５５の周りに別々に回転させて、第１のピッチＤ９１だけ又は第２のピッチＤ９２だけ第１のエンドエフェクタ８５０Ａを第２のエンドエフェクタ８５０Ｂから離すことを含む。

【0089】

図９で分かるように、幾つかの実施形態において、第１のピッチＤ９１は、図９の構成で示すように、第１のエンドエフェクタ９４０Ａの第１の端点９４２Ａと、第２のエンドエフェクタ９４０Ｂの第２の端点９４２Ｂとの間で測定され、当該第１のピッチＤ９１は、２つの水平方向に隣接するロードロックチャンバ９２２のセンター間の距離に相当する。幾つかの実施形態において、２つの隣接するロードロックチャンバ９２２のセンター間の第１のピッチＤ９１が、約２０インチ～約２５インチの範囲内にありうる。幾つかの実施形態において、２つの隣接するロードロックチャンバ９２２のセンター間の第１のピッチＤ９１が、約２１インチ～約２３インチの範囲内にありうる。幾つかの実施形態において、２つの隣接するロードロックチャンバ９２２のセンター間の第１のピッチＤ９１が、約２２インチでありうる。第１のピッチＤ９１の他の距離も可能でありうる。

【0090】

図９で分かるように、幾つかの実施形態において、第２のピッチＤ９２は、図９の構成で示すように、第１のエンドエフェクタ９４０Ａの第１の端点９４２Ａと、第２のエンドエフェクタ９４０Ｂの第２の端点９４２Ｂとの間で測定され、当該第２のピッチＤ９２は、２つの水平方向に隣接するロードロックチャンバ９２２のセンター間の距離に相当する。幾つかの実施形態において、２つの隣接するロードロックチャンバ９２２のセンター間の第２のピッチＤ９２が、約２０インチ～約２５インチの範囲内でありうる。幾つかの実施形態において、２つの隣接するロードロックチャンバ９２２のセンター間の第２のピッチＤ９２が、約２１インチ～約２３インチの範囲内でありうる。幾つかの実施形態において、２つの隣接するロードロックチャンバ９２２のセンター間の第２のピッチＤ９２が、約２２インチでありうる。第２のピッチＤ９１の他の距離も可能でありうる。

【0091】

ロボット装置１０２Ｃについて、シングル基板ハンドリングモードで動作させることは、第１の下部アーム８１０Ａ、第２の下部アーム８１０Ｂ、第１の上部アーム８２０Ａ、第２の上部アーム８２０Ｂ、第１の前腕８３０Ａ、第２の前腕８３０Ｂ、任意選択的に第１のリスト８５０Ａ、任意選択的に第２のリスト８５０Ｂ、第１のエンドエフェクタ８４０Ａ、及び第２のエンドエフェクタ８４０Ｂを、第１の回転軸８１５、第２の回転軸８２５、第６の回転軸８３５、第７の回転軸８４５、及び第８の回転軸８５５の周りに別々に回転させて、第１のエンドエフェクタ８４０Ａ又は第２のエンドエフェクタ８４０Ｂの一方が１つのロードロックチャンバ９２２又は１つの処理チャンバ９２０にアクセスするのに適した構成で、第１のエンドエフェクタ８４０Ａ及び第２のエンドエフェクタ８４０Ｂを位置合わせすることを含む。

【0092】

前述の説明は、本開示の例示的な実施形態を提供している。本開示の範囲に含まれる先に開示された装置、システム、及び方法の変形例が、当業者には容易に自明であろう。従って、本開示は例示的な実施形態に関連して開示されているが、他の実施形態も、以下の特許請求の範囲によって規定される本開示の範囲に含まれうると理解されたい。

【図1】

【図2A】

【図2B】

【図3A】

【図3B】

【図3C】

【図3D】

【図4A】

【図4B】

【図4C】

【図4D】

【図5A】

【図5B】

【図6A】

【図6B】

【図6C】

【図6D】

【図7A】

【図7B】

【図7C】

【図7D】

【図8A】

【図8B】

【図8C】

【図9】

【国際調査報告】