特表 2024-522578 ウエハ容器およびパージシステム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-06-21

(54)【発明の名称】ウエハ容器およびパージシステム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20240614BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 V

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2023575375

(86)(22)【出願日】2022-06-08

(85)【翻訳文提出日】2024-01-24

(86)【国際出願番号】 US2022032698

(87)【国際公開番号】W WO2022261227

(87)【国際公開日】2022-12-15

(31)【優先権主張番号】63/208,180

(32)【優先日】2021-06-08

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】505307471

【氏名又は名称】インテグリス・インコーポレーテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110002077

【氏名又は名称】園田・小林弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】フラー， マシュー エー．

(72)【発明者】

【氏名】ハー， コルトン ジェー．

(72)【発明者】

【氏名】ギャラガー， ギャリー

(72)【発明者】

【氏名】ドーイングス， ピーター ディー．

(72)【発明者】

【氏名】ウィルキー， トーマス エイチ．

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131CA12

5F131GA12

5F131GA92

5F131JA04

5F131JA15

5F131JA24

(57)【要約】

ウエハ容器では、ディフューザは、ウエハ容器の中心線に近くなるように位置決めされる。これにより、ウエハ容器内のパージガスの分配が改善される。ディフューザは、それらの位置が後壁の凹状中央パネルに対応するように位置決めすることができる。ディフューザは、ウエハ容器内に収容されたウエハの中心に対するディフューザ間の角度が６０度以下になるように位置決めすることが可能である。ディフューザは、ディフューザがパージポートよりもウエハ容器の中心線に近くなるように配向されたオフセットコネクタによってパージポートに接合され得る。ディフューザの各々からウエハ容器の中心線までの距離は、ウエハ容器が収容するように構成されるウエハの直径の１／４未満であってもよい。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ウエハ容器であって、
上壁と、
底壁と、
第１の側壁と、
第２の側壁と、
後壁であって、前記上壁、前記底壁、前記第１の側壁、前記第２の側壁、および前記後壁は、内部空間を画定し、前記内部空間は、１つまたは複数のウエハを収容するように構成される後壁と、
前記内部空間内に位置する第１のディフューザと、
前記内部空間内に位置する第２のディフューザと
を備え、
前記１つまたは複数のウエハが前記内部空間内に収容されたときの前記１つまたは複数のウエハの中央軸に対する前記第１のディフューザと前記第２のディフューザとの間の角度は、６０度以下であり、前記中央軸は、前記１つまたは複数のウエハの各々の中心を通って前記１つまたは複数のウエハの平面に垂直に延びる、
ウエハ容器。

【請求項2】

前記第１のディフューザは、前記内部空間の中心線の第１の側に位置し、前記中心線は、前記第１の側壁と前記第２の側壁との間に均等に間隔を置いて配置され、前記第２のディフューザは、前記内部空間の前記中心線の第２の側に位置し、前記中心線は、前記ウエハ容器の開口部に垂直に延び、前記１つまたは複数のウエハの前記中央軸と交差する、請求項１に記載のウエハ容器。

【請求項3】

前記中央軸に対する前記中心線と前記第１のディフューザとの間の角度は、３０度以下であり、前記中央軸に対する前記中心線と前記第２のディフューザとの間の角度は、３０度以下である、請求項２に記載のウエハ容器。

【請求項4】

前記第１のディフューザと第１のパージポートとの間の第１のオフセットと、前記第２のディフューザと第２のパージポートとの間の第２のオフセットとをさらに含む、請求項１に記載のウエハ容器。

【請求項5】

前記第１のディフューザは、ディフューザタワーを含む、請求項１に記載のウエハ容器。

【請求項6】

前記第１のディフューザは、前記中心線から前記第１のパージポートまでの距離よりも小さい距離だけ前記中心線から離れており、
前記第２のディフューザは、前記中心線から前記第２のパージポートまでの距離よりも小さい距離だけ前記中心線から離れている、
請求項１に記載のウエハ容器。

【請求項7】

ウエハ容器であって、
上壁と、
底壁と、
第１の側壁と、
第２の側壁と、
後壁であって、前記上壁、前記底壁、前記第１の側壁、前記第２の側壁、および前記後壁は、内部空間を画定し、前記内部空間は、前記第１の側壁と前記第２の側壁との間に均等に間隔を置いて配置された中心線を有し、前記中心線は、前記後壁に垂直である後壁と、
前記中心線の第１の側で前記内部空間内に位置する第１のディフューザと、
前記中心線の第２の側で前記内部空間内に位置する第２のディフューザと
を備え、
前記ウエハ容器は、所定の直径を有する１つまたは複数のウエハを収容するように構成され、
前記第１のディフューザは、前記所定の直径の１／４未満の距離だけ前記中心線から離れており、
前記第２のディフューザは、前記所定の直径の１／４未満の距離だけ前記中心線から離れている、
ウエハ容器。

【請求項8】

前記第１のディフューザおよび前記第２のディフューザは、前記中心線に対して対称である、請求項７に記載のウエハ容器。

【請求項9】

前記中心線と、前記第１のディフューザとウエハ格納位置の中心との間の線との間の角度は、約３０度である、請求項７に記載のウエハ容器。

【請求項10】

ウエハ容器であって、
上壁と、
底壁と、
第１の側壁と、
第２の側壁と、
後壁であって、前記上壁、前記底壁、前記第１の側壁、前記第２の側壁、および前記後壁は、内部空間を画定し、前記後壁は、中央パネルを含み、前記中央パネルは、前記ウエハ容器の外部に対して凹んでいる後壁と、
前記内部空間内に位置する第１のディフューザと、
前記内部空間内に位置する第２のディフューザと
を備え、
前記第１のディフューザは、前記後壁の前記中央パネルの幅よりも小さい距離だけ前記後壁の平面に平行な方向に前記第２のディフューザから離れている、
ウエハ容器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、賭け容器から湿った空気をパージするための、特に賭け容器の下側スロットに対応する領域から湿った空気をパージするためのパージディフューザを含むウエハ容器を対象とする。

【背景技術】

【0002】

ウエハ容器は、半導体ウエハなどのウエハの格納および処理中に使用される。いくつかのプロセスステップの間、湿った空気などの望ましくないガスがウエハ容器内に存在する場合がある。望ましくないガスは、パージガスをウエハ容器内に導入することによってパージすることができる。しかし、ウエハ容器の制約された構造およびそのような容器の必要な標準的特徴は、そのようなウエハ容器におけるパージ性能を制限する可能性がある。

【発明の概要】

【0003】

本開示は、賭け容器から湿った空気をパージするための、特に賭け容器の下側スロットに対応する領域から湿った空気をパージするためのパージディフューザを含むウエハ容器を対象とする。

【0004】

実施形態によるウエハ容器では、ディフューザは、それぞれのパージポートから容器の中心線に向かってずれている。これにより、ディフューザは、後壁の中心パネルに対応する位置で後壁に沿って互いに接近して載置される。これはまた、ウエハがウエハ容器内に格納されるときのウエハの中心を中心とした互いに関するディフューザ間の角度、およびウエハ容器の中心線に関する各ディフューザ間の角度を減少させる。容器およびウエハの特徴に関するディフューザの位置決めは、パージガスの分配の改善をもたらし、ウエハ容器の下側スロットをより効果的にパージすることができる。

【0005】

一実施形態では、ウエハ容器は、上壁と、底壁と、第１の側壁と、第２の側壁と、後壁とを含む。上壁、底壁、第１の側壁、第２の側壁、および後壁は、内部空間を画定する。内部空間は、１つまたは複数のウエハを収容するように構成される。ウエハ容器は、内部空間内に位置する第１のディフューザと、内部空間内に位置する第２のディフューザとをさらに含む。１つまたは複数のウエハが内部空間内に収容されたときの１つまたは複数のウエハの中央軸に対する第１のディフューザと第２のディフューザとの間の角度は、６０度以下であり、中央軸は、１つまたは複数のウエハの各々の中心を通って１つまたは複数のウエハの平面に垂直に延びる。

【0006】

一実施形態では、第１のディフューザは、内部空間の中心線の第１の側に位置し、中心線は、第１の側壁と第２の側壁との間に均等に間隔を置いて配置され、第２のディフューザは、内部空間の中心線の第２の側に位置し、中心線は、ウエハ容器の開口部に垂直に延び、１つまたは複数のウエハの中央軸と交差する。

【0007】

一実施形態では、中央軸に対する中心線と第１のディフューザとの間の角度は、３０度以下であり、中央軸に対する中心線と第２のディフューザとの間の角度は、３０度以下である。

【0008】

一実施形態では、ウエハ容器は、上壁と、底壁と、第１の側壁と、第２の側壁と、後壁とを含む。上壁、底壁、第１の側壁、第２の側壁、および後壁は、内部空間を画定する。内部空間は、第１の側壁と第２の側壁との間に均等に間隔を置いて配置された中心線を有し、中心線は、後壁に垂直である。ウエハ容器は、中心線の第１の側で内部空間内に位置する第１のディフューザと、中心線の第２の側で内部空間内に位置する第２のディフューザとをさらに含む。ウエハ容器は、所定の直径を有する１つまたは複数のウエハを収容するように構成される。第１のディフューザは、所定の直径の１／４未満の距離だけ中心線から離れており、第２のディフューザは、所定の直径の１／４未満の距離だけ中心線から離れている。

【0009】

一実施形態では、ウエハ容器は、上壁と、底壁と、第１の側壁と、第２の側壁と、後壁とを含む。上壁、底壁、第１の側壁、第２の側壁、および後壁は、内部空間を画定する。後壁は、中央パネルを含み、中央パネルは、ウエハ容器の外部に対して凹んでいる。ウエハ容器は、内部空間内に位置する第１のディフューザと、内部空間内に位置する第２のディフューザとをさらに含む。第１のディフューザは、後壁の中央パネルの幅よりも小さい距離だけ後壁の平面に平行な方向に第２のディフューザから離れている。

【0010】

一実施形態では、ウエハ容器は、上壁と、底壁と、第１の側壁と、第２の側壁と、後壁とを含む。上壁、底壁、第１の側壁、第２の側壁、および後壁は、内部空間を画定する。内部空間は、第１の側壁と第２の側壁との間に均等に間隔を置いて配置された中心線を有し、中心線は、後壁に垂直である。ウエハ容器は、底壁に形成された第１のパージポートと、中心線の第１の側で内部空間内に位置する第１のディフューザであって、第１のディフューザは、第１のパージポートに接続される第１のディフューザとをさらに含む。ウエハ容器はまた、底壁に形成された第２のパージポートと、中心線の第２の側で内部空間内に位置する第２のディフューザであって、第２のディフューザは、第２のパージポートに接続される第２のディフューザとを含む。第１のディフューザは、中心線から第１のパージポートまでの距離よりも小さい距離だけ中心線から離れており、第２のディフューザは、中心線から第２のパージポートまでの距離よりも小さい距離だけ中心線から離れている。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1A】一実施形態によるウエハ容器の正面図である。

【図1B】ウエハがウエハ容器に追加されたときの図１Ａのウエハ容器の正面図である。

【図2】一実施形態によるウエハ容器の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

本開示は、賭け容器から湿った空気をパージするための、特に賭け容器の下側スロットに対応する領域から湿った空気をパージするためのパージディフューザを含むウエハ容器を対象とする。

【0013】

図１Ａは、一実施形態によるウエハ容器の正面図を示す。ウエハ容器１００は、第１の側壁１０２と、第２の側壁１０４と、底壁１０６と、第２の側１０８とを含む。第１の側壁１０２、第２の側壁１０４、底壁１０６、および上壁１０８は、ウエハ容器１００の前方開口部１１０を画定する。後壁１１２が、後端を囲んでウエハ容器１００の内部空間を形成する。後壁は、後壁１１２が第１の側壁１０２および第２の側壁１０４と交わる突出コーナー部分１１４と、突出コーナー部分１１４間の後壁１１２の中心における凹状中央パネル１１６とを含む。第１の側壁１０２および第２の側壁１０４は各々、内部空間内に突出するフランジ１１８を含み、各々がウエハを支持するように構成されたウエハスロットを画定する。ウエハ容器１００は、ディフューザ１２０を含み、ディフューザ１２０は各々、第１または第２のオフセットコネクタ１２２ａおよび１２２ｂの一方に取り付けられる。

【0014】

ウエハ容器１００は、１つまたは複数のウエハを収容するように構成された容器である。ウエハ容器１００は、例えば、フロントオープニングユニファイドポッド（ＦＯＵＰ）とすることができる。ウエハ容器１００のサイズは、ウエハ容器１００内に格納されるウエハの所定のサイズに基づくことができる。所定のサイズは、ウエハに適した任意のサイズであってもよい。ウエハ容器１００が収容するように構成され得るウエハサイズの非限定的な例には、４５０ｍｍウエハまたは３００ｍｍウエハが挙げられる。一実施形態では、ウエハ容器１００は、３００ｍｍウエハを収容するように構成される。

【0015】

第１の側壁１０２、第２の側壁１０４、底壁１０６、上壁１０８、および後壁１１２は、内部空間を含むウエハ容器１００を画定する。前方開口部１１０は、ウエハをウエハ容器１００に挿入またはウエハ容器１００から取り外すことを可能にするようなサイズとすることができる。一実施形態では、前方開口部１１０を囲むようにドア（図示せず）を設けることが可能である。一実施形態では、前方開口部１１０は、例えばパージ動作中に流体がウエハ容器１００から出ることを可能にすることができる。内部空間内に載置されたウエハは各々、第１および第２の側壁１０２および１０４に設けられたフランジ１１８によって支持されたウエハスロット内に載置され得る。

【0016】

後壁１１２は、突出コーナー部分１１４を含むことができる。突出コーナー部分１１４は、後壁１１２の外側部分に位置決めすることができ、後壁１１２は、それぞれ第１の側壁１０２または第２の側壁１０４と交わる。突出コーナー部分１１４は、内部空間に対して外方に、すなわち図１Ａの正面図において観察者から離れるように突き出ることが可能である。中央パネル１１６が、突出コーナー部分１１４間に位置決めされ得る。中央パネル１１６は、ウエハ容器１００の中心線ＣＬを横切ることができる。中央パネルは、突出コーナー部分１１４に対して内部空間内に、すなわち図１Ａの正面図において観察者に向かって離れるように凹むことが可能である。中心線ＣＬは、第１の側壁１０２と第２の側壁１０４との間に均等に間隔を置いて配置された線である。後壁１１２の中央パネル１１６は、ウエハ容器１００の中心線ＣＬと同一直線上にある中心線を有することができる。

【0017】

ディフューザ１２０は、ウエハ容器１００の内部空間内にパージガスを分配するように構成されたディフューザである。ディフューザ１２０は、パージガスを分配するための任意の適切なディフューザとすることができる。一実施形態では、ディフューザ１２０は、多孔質材料で作製された管である。一実施形態では、ディフューザ１２０は、ディフューザタワーである。ディフューザ１２０は各々、第１のオフセットコネクタ１２２ａまたは第２のオフセットコネクタ１２２ｂの一方に接続される。オフセットコネクタ１２２ａ、ｂは、ディフューザ１２０と、パージガスの供給を受け取るように構成された後方パージポート（図示せず、図２に見ることができ、以下に記載される）との間の接続を提供する。オフセットコネクタ１２２ａ、ｂは、パージポートの中心と、そのパージポートに接続されたディフューザ１２０の中心との間にオフセットを提供する。一実施形態では、オフセットコネクタ１２２ａ、ｂによって提供されるオフセットは、ディフューザ１２０がパージポートよりもウエハ容器１００の中心線ＣＬに近いようなものである。

【0018】

一実施形態では、ディフューザ１２０の位置は、後壁１１２の中央パネル１１６を参照して理解することができる。一実施形態では、ディフューザ１２０は、図１Ａの正面図などの正面図で見たときにディフューザ１２０が中央パネル１１６の周囲内にあるように位置決めされる。ディフューザ１２０間の距離Ｄは、中央パネル１１６の幅Ｗよりも小さくすることができる。

【0019】

図１Ｂは、ウエハがウエハ容器に追加されたときの図１Ａのウエハ容器の正面図を示す。ウエハ１５０は、前方開口部１１０を通ってウエハ容器１００内にロードされ、それにより各々がウエハスロットを画定するフランジ１１８上に置かれる。一実施形態では、ウエハ１５０がウエハスロット内に位置決めされると、ウエハの各々の中心を通って鉛直に延びる中央軸が画定され得る。中央軸は、賭け容器１００の中心線ＣＬと平面内にあり得る。一実施形態では、ディフューザ１２０の位置は、図２に示され以下に記載されるように、中央軸を中心に形成されるそれぞれの角度によって画定することができる。一実施形態では、ディフューザ１２０の位置は、ウエハ容器１００が収容するように構成されるウエハ１５０の直径に基づく距離だけディフューザ１２０が離間されるようにすることができる。ディフューザ１２０間の距離は、例えば、ウエハ容器１００が収容するように構成されるウエハ１５０の直径の１／４以下とすることが可能である。ウエハ１５０は、例えば、３００ｍｍウエハであってもよい。一実施形態では、ディフューザは、中心線ＣＬから各ディフューザ１２０までの距離が同じであり、ディフューザ１２０が中心線ＣＬの対向する側にあるように、中心線ＣＬの両側に均等に分配させることができる。

【0020】

図２は、一実施形態によるウエハ容器の断面図を示す。図２の断面図において、観察者は、上面図からウエハ容器２００を見ている。ウエハ容器２００は、第１の側壁２０２と、第２の側壁２０４と、底壁２０６とを含む。ウエハ容器２００はまた、突出コーナーセクション２１０および凹状中央パネル２１２を含む後壁２０８を含む。ウエハ容器２００は、図２の図においてそのセクションがとられている上方の上壁（図示せず）をさらに含む。ウエハ容器２００は、ウエハ２１６を支持するように構成されたスロットを提供するために、第１の側壁２０２および第２の側壁２０４から延びるフランジ２１４を含む。ウエハ容器２００は、第１および第２の後方パージポート２１８ａおよび２１８ｂと、第１および第２のオフセットコネクタ２２０ａおよび２２０ｂと、ディフューザ２２２とを含む。

【0021】

ウエハ容器２００は、ウエハを収容するようなサイズの容器である。ウエハ容器２００は、例えば、フロントオープニングユニファイドポッド（ＦＯＵＰ）とすることができる。ウエハ容器２００のサイズは、ウエハ容器２００内に格納されるウエハ２１６の所定のサイズに基づくことができる。所定のサイズは、ウエハに適した任意のサイズであってもよい。ウエハ容器２００が収容するように構成され得るウエハサイズの非限定的な例には、４５０ｍｍウエハまたは３００ｍｍウエハが挙げられる。一実施形態では、ウエハ容器２００は、３００ｍｍウエハを収容するように構成される。

【0022】

第１の側壁２０２、第２の側壁２０４、底壁２０６、後壁２０８、および上壁は、開いた前方側を有するウエハ容器２００の内部空間を画定するように互いに接続される。ウエハ容器２００の中心線ＣＬは、第１の側壁２０２と第２の側壁２０４との間に均等に間隔を置いて配置された線である。中心線ＣＬは、ウエハ容器２００の高さにわたって一致することができ、底壁２０６に垂直な平面を提供する。第１の側壁２０２および第２の側壁２０４は各々、内部空間内に内方に延びるフランジ２１４を含む。フランジ２１４は、ウエハ容器２００内に載置される賭けを支持するスロットを形成する。

【0023】

後壁２０８は、ウエハ容器２００の背面を形成する。後壁２０８は、後壁２０８が第１および第２の側壁２０２、２０４と交わる場所から外方に膨出する突出コーナーセクション２１０を含む。後壁２０８の中央パネル２１２は、後壁２０８の突出コーナーセクション２１０と比較して相対的に凹んでいる。中央パネル２１２は、ウエハ容器の中心線ＣＬを横切って延びることができる。

【0024】

第１および第２の後方パージポート２１８ａ、ｂは、ウエハ容器２００の底壁２０６を通るポートである。第１および第２の後方パージポート２１８ａ、ｂは、ウエハ容器２００の内部空間内へのパージガスの導入を可能にするように構成される。第１の後方パージポート２１８ａは、中心線ＣＬの第１の側に位置し得る。第２の後方パージポート２１８ｂは、第１の後方パージポート２１８ａが位置する第１の側とは反対側の、中心線ＣＬの第２の側に位置し得る。一実施形態では、第１の後方パージポート２１８ａと中心線ＣＬとの間の距離および中心線ＣＬと第２の後方パージポート２１８ｂとの間の距離は、等しい。一実施形態では、第１の後方パージポート２１８ａおよび第２の後方パージポート２１８ｂは各々、それぞれのパージポート２１８ａ、ｂの中心が中心線ＣＬのそれぞれの側の中央パネル２１２の端部よりも中心線ＣＬから遠くなるように位置する。

【0025】

第１および第２のオフセットコネクタ２２０ａ、ｂは、それぞれの第１および第２の後方パージポート２１８ａ、ｂからパージガスを導くように構成されたコネクタである。第１および第２のオフセットコネクタ２２０ａ、ｂは各々、接続されたディフューザの中心が対応するパージポート２１８ａ、ｂの中心と同一直線上にないようなオフセットを含む。一実施形態では、第１および第２のオフセットコネクタ２２０ａ、ｂによって提供されるオフセットは、ディフューザ２２２の各々がそれぞれのパージポート２１８ａ、ｂよりも中心線の近くに位置するようなものである。一実施形態では、ディフューザ２２２の各々の中央軸は、それぞれのパージポート２１８ａ、ｂの中央軸よりも中心線に近い。一実施形態では、中心線に対するディフューザ２２２の各々の最外縁は、それぞれのパージポート２１８ａ、ｂの対応する最外縁よりも中心線に近い。ディフューザ２２２は各々、オフセットコネクタ２２０ａ、ｂの一方からパージガスを受け取り、パージガスをウエハ容器２００の内部空間に提供するように構成される。ディフューザ２２２は、パージガスを内部空間に提供するための任意の適切な構造とすることができる。一実施形態では、ディフューザ２２２は、多孔質材料で作製された管である。ディフューザ２２２は、ディフューザタワーとすることができる。

【0026】

一実施形態では、ディフューザ２２２の位置は、ウエハ２１６の中央軸に関する角度に対して画定することができる。ウエハ２１６の中央軸は、ウエハ２１６の各々の中心ＷＣを通って延びる線とすることができる。中央軸は、底壁２０６から上壁までウエハ容器２００の鉛直方向に延びる。一実施形態では、ウエハの中央軸に対して２つのディフューザの位置によって形成される角度φは、６０度以下である。一実施形態では、φは、５２度以下であってもよい。一実施形態では、φは、４４度以下であってもよい。一実施形態では、φは、３０度～６０度であってもよい。一実施形態では、φは、３８度～５２度であってもよい。一実施形態では、第１のオフセットコネクタ２２０ａに接続されたディフューザ２２２と中心線ＣＬとの間の角度θ_１は、３０度以下である。一実施形態では、中心線ＣＬと第２のオフセットコネクタ２２０ｂに接続されたディフューザ２２２との間の角度θ_２は、３０度以下である。一実施形態では、θ_１は、θ_２に等しい。一実施形態では、θ_１およびθ_２の一方または両方は各々、２６度以下であってもよい。一実施形態では、θ_１およびθ_２の一方または両方は各々、２６度以下であってもよい。一実施形態では、θ_１およびθ_２の一方または両方は各々、１５度～３０度であってもよい。一実施形態では、θ_１およびθ_２の一方または両方は各々、１９度～２６度であってもよい。

【0027】

一実施形態では、ディフューザ２２２の位置は、中心線ＣＬからの距離に対して定義することができる。一実施形態では、ディフューザ２２２の各々と中心線ＣＬとの間の距離は、ウエハ容器２００が収容するように構成されるウエハ２１６の所定のサイズに基づくことができる。ディフューザ２２２の各々と中心線ＣＬとの間の距離は、例えば、ウエハ容器２００が収容するように構成されるウエハの直径の１／４未満であってもよい。例えば、ウエハ容器２００が３００ｍｍウエハを収容するように構成される場合、ディフューザのいずれかと中心線ＣＬとの間の最大距離は、７５ｍｍ以下とすることができる。

【0028】

一実施形態では、ディフューザ２２２の位置は、後壁２０８の中央パネル２１２に対応することができる。ディフューザ２２２は、中央パネル２１２の幅Ｗよりも小さい距離だけ離れることが可能である。一実施形態では、ディフューザ２２２は、ディフューザ２２２の各々から中心線ＣＬまでの距離が、中心線ＣＬから、中央パネル２１２が中心線ＣＬの同じ側の突出コーナー部分２１０のうちの１つと交わる前記中央パネル２１２の端部までの距離よりも小さくなるように位置決めすることができる。

【0029】

態様：

【0030】

態様１～３のいずれかは、態様４、５、および／または６のいずれかと組み合わせることができることが理解される。態様４は、態様５および／または６のいずれかと組み合わせることができることが理解される。態様５は、態様６と組み合わせることができることが理解される。

【0031】

態様１．ウエハ容器であって、
上壁と、
底壁と、
第１の側壁と、
第２の側壁と、
後壁であって、前記上壁、前記底壁、前記第１の側壁、前記第２の側壁、および前記後壁は、内部空間を画定し、前記内部空間は、１つまたは複数のウエハを収容するように構成される後壁と、
前記内部空間内に位置する第１のディフューザと、
前記内部空間内に位置する第２のディフューザと
を備え、
前記１つまたは複数のウエハが前記内部空間内に収容されたときの前記１つまたは複数のウエハの中央軸に対する前記第１のディフューザと前記第２のディフューザとの間の角度は、６０度以下であり、前記中央軸は、前記１つまたは複数のウエハの各々の中心を通って前記１つまたは複数のウエハの平面に垂直に延びる、
ウエハ容器。

【0032】

態様２．前記第１のディフューザは、前記内部空間の中心線の第１の側に位置し、前記中心線は、前記第１の側壁と前記第２の側壁との間に均等に間隔を置いて配置され、前記第２のディフューザは、前記内部空間の前記中心線の第２の側に位置し、前記中心線は、前記ウエハ容器の開口部に垂直に延び、前記１つまたは複数のウエハの前記中央軸と交差する、態様１に記載のウエハ容器。

【0033】

態様３．前記中央軸に対する前記中心線と前記第１のディフューザとの間の角度は、３０度以下であり、前記中央軸に対する前記中心線と前記第２のディフューザとの間の角度は、３０度以下である、態様２に記載のウエハ容器。

【0034】

態様４．ウエハ容器であって、
上壁と、
底壁と、
第１の側壁と、
第２の側壁と、
後壁であって、前記上壁、前記底壁、前記第１の側壁、前記第２の側壁、および前記後壁は、内部空間を画定し、前記内部空間は、前記第１の側壁と前記第２の側壁との間に均等に間隔を置いて配置された中心線を有し、前記中心線は、前記後壁に垂直である後壁と、
前記中心線の第１の側で前記内部空間内に位置する第１のディフューザと、
前記中心線の第２の側で前記内部空間内に位置する第２のディフューザと
を備え、
前記ウエハ容器は、所定の直径を有する１つまたは複数のウエハを収容するように構成され、
前記第１のディフューザは、前記所定の直径の１／４未満の距離だけ前記中心線から離れており、
前記第２のディフューザは、前記所定の直径の１／４未満の距離だけ前記中心線から離れている、
ウエハ容器。

【0035】

態様５．ウエハ容器であって、
上壁と、
底壁と、
第１の側壁と、
第２の側壁と、
後壁であって、前記上壁、前記底壁、前記第１の側壁、前記第２の側壁、および前記後壁は、内部空間を画定し、前記後壁は、中央パネルを含み、前記中央パネルは、前記ウエハ容器の外部に対して凹んでいる後壁と、
前記内部空間内に位置する第１のディフューザと、
前記内部空間内に位置する第２のディフューザと
を備え、
前記第１のディフューザは、前記後壁の前記中央パネルの幅よりも小さい距離だけ前記後壁の平面に平行な方向に前記第２のディフューザから離れている、
ウエハ容器。

【0036】

態様６．ウエハ容器であって、
上壁と、
底壁と、
第１の側壁と、
第２の側壁と、
後壁であって、前記上壁、前記底壁、前記第１の側壁、前記第２の側壁、および前記後壁は、内部空間を画定し、前記内部空間は、前記第１の側壁と前記第２の側壁との間に均等に間隔を置いて配置された中心線を有し、前記中心線は、前記後壁に垂直である後壁と、
前記底壁に形成された第１のパージポートと、
前記中心線の第１の側で前記内部空間内に位置する第１のディフューザであって、前記第１のディフューザは、前記第１のパージポートに接続される第１のディフューザと、
前記底壁に形成された第２のパージポートと、
前記中心線の第２の側で前記内部空間内に位置する第２のディフューザであって、前記第２のディフューザは、前記第２のパージポートに接続される第２のディフューザと
を備え、
前記第１のディフューザは、前記中心線から前記第１のパージポートまでの距離よりも小さい距離だけ前記中心線から離れており、
前記第２のディフューザは、前記中心線から前記第２のパージポートまでの距離よりも小さい距離だけ前記中心線から離れている、
ウエハ容器。

【0037】

本出願で開示される例は、すべての点において例示的であり、限定的ではないと見なされるべきである。本発明の範囲は、前述の説明ではなく添付の特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内にあるすべての変更は、特許請求の範囲に包含されることを意図している。

【図1A】

【図1B】

【図2】

【手続補正書】

【提出日】2024-02-21

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ウエハ容器であって、
上壁と、
底壁と、
第１の側壁と、
第２の側壁と、
後壁であって、前記上壁、前記底壁、前記第１の側壁、前記第２の側壁、および前記後壁は、内部空間を画定し、前記内部空間は、１つまたは複数のウエハを収容するように構成される後壁と、
前記内部空間内に位置する第１のディフューザと、
前記内部空間内に位置する第２のディフューザと
を備え、
前記１つまたは複数のウエハが前記内部空間内に収容されたときの前記１つまたは複数のウエハの中央軸に対する前記第１のディフューザと前記第２のディフューザとの間の角度は、６０度以下であり、前記中央軸は、前記１つまたは複数のウエハの各々の中心を通って前記１つまたは複数のウエハの平面に垂直に延びる、
ウエハ容器。

【請求項2】

前記第１のディフューザは、前記内部空間の中心線の第１の側に位置し、前記中心線は、前記第１の側壁と前記第２の側壁との間に均等に間隔を置いて配置され、前記第２のディフューザは、前記内部空間の前記中心線の第２の側に位置し、前記中心線は、前記ウエハ容器の開口部に垂直に延び、前記１つまたは複数のウエハの前記中央軸と交差する、請求項１に記載のウエハ容器。

【請求項3】

前記第１のディフューザと第１のパージポートとの間の第１のオフセットと、前記第２のディフューザと第２のパージポートとの間の第２のオフセットとをさらに含む、請求項１に記載のウエハ容器。

【請求項4】

ウエハ容器であって、
上壁と、
底壁と、
第１の側壁と、
第２の側壁と、
後壁であって、前記上壁、前記底壁、前記第１の側壁、前記第２の側壁、および前記後壁は、内部空間を画定し、前記内部空間は、前記第１の側壁と前記第２の側壁との間に均等に間隔を置いて配置された中心線を有し、前記中心線は、前記後壁に垂直である後壁と、
前記中心線の第１の側で前記内部空間内に位置する第１のディフューザと、
前記中心線の第２の側で前記内部空間内に位置する第２のディフューザと
を備え、
前記ウエハ容器は、所定の直径を有する１つまたは複数のウエハを収容するように構成され、
前記第１のディフューザは、前記所定の直径の１／４未満の距離だけ前記中心線から離れており、
前記第２のディフューザは、前記所定の直径の１／４未満の距離だけ前記中心線から離れている、
ウエハ容器。

【請求項5】

ウエハ容器であって、
上壁と、
底壁と、
第１の側壁と、
第２の側壁と、
後壁であって、前記上壁、前記底壁、前記第１の側壁、前記第２の側壁、および前記後壁は、内部空間を画定し、前記後壁は、中央パネルを含み、前記中央パネルは、前記ウエハ容器の外部に対して凹んでいる後壁と、
前記内部空間内に位置する第１のディフューザと、
前記内部空間内に位置する第２のディフューザと
を備え、
前記第１のディフューザは、前記後壁の前記中央パネルの幅よりも小さい距離だけ前記後壁の平面に平行な方向に前記第２のディフューザから離れている、
ウエハ容器。

【国際調査報告】