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特表2024-524063扉ガスケットを有する基板容器

書誌要約請求の範囲詳細な説明課題実施例実施するための形態図面の説明

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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-07-05

(54)【発明の名称】扉ガスケットを有する基板容器

(51)【国際特許分類】

H01L 21/673 20060101AFI20240628BHJP

F16J 15/10 20060101ALI20240628BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

F16J15/10 T

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2023576232

(86)(22)【出願日】2022-06-13

(85)【翻訳文提出日】2024-01-26

(86)【国際出願番号】 US2022033289

(87)【国際公開番号】W WO2022266005

(87)【国際公開日】2022-12-22

(31)【優先権主張番号】63/210,342

(32)【優先日】2021-06-14

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】505307471

【氏名又は名称】インテグリス・インコーポレーテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110002077

【氏名又は名称】園田・小林弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】ヴェスタル，アーロン

(72)【発明者】

【氏名】フラー，マシューエー．

(72)【発明者】

【氏名】ストリックハウザー，クリストファー

【テーマコード（参考）】

3J040

5F131

【Ｆターム（参考）】

3J040AA17

3J040BA01

3J040EA03

3J040EA16

3J040FA05

3J040HA05

3J040HA22

5F131AA02

5F131CA17

5F131GA14

5F131GA94

5F131JA33

(57)【要約】

ウエハ容器用のガスケットが、封止部本体および保持突出部を備える。保持突出部は、封止部本体から延出する保持セグメントと、保持セグメントから延出する圧縮リリーフセグメントと、圧縮リリーフセグメントの端部に配置されたビードとを備える。圧縮リリーフセグメントは、保持セグメントの断面幅より小さい断面幅を有する。ビードは、幅が、グランド内の対応する深さでのグランドの断面幅より大きい部分を含む形状を有する。ガスケットを、ウエハ容器またはウエハ容器の扉に設けることができる。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ウエハ容器用の扉であって、
ガスケットの一部分を受け入れるように構成されたグランドを備える扉プレートと、
圧縮材を含有するガスケットと
を具備し、
前記ガスケットが、
封止部本体と、
保持突出部と
を備え、
前記保持突出部が、
前記封止部本体から延出する保持セグメントであって、断面幅が、前記グランド内の対応する深さでの前記グランドの断面幅以下である保持セグメントと、
前記保持セグメントから延出する圧縮リリーフセグメントであって、前記保持セグメントの断面幅より小さい断面幅を有する圧縮リリーフセグメントと、
前記圧縮リリーフセグメントの端部に配置されたビードであって、最大断面幅が、前記グランド内の対応する深さでの前記グランドの断面幅より大きいビードと
を備える、
扉。

【請求項2】

前記ガスケットが、０．５対１．０の保持力対挿入力の比を有し、前記保持力が、前記ガスケットを前記グランドから取り外すのに必要な力であり、前記挿入力が、前記保持突出部を前記グランドに完全に挿入するのに必要な力である、請求項１に記載の扉。

【請求項3】

前記扉をウエハ容器に取り付けたとき、前記扉の合わせ目を通るコンダクタンスが、０．０２未満である、請求項１に記載の扉。

【請求項4】

前記保持セグメントが、前記保持突出部の全長の少なくとも１／２を形成する、請求項１に記載の扉。

【請求項5】

前記保持セグメントが、前記圧縮リリーフセグメントの全長の少なくとも２倍の長さを有する、請求項１に記載の扉。

【請求項6】

前記ガスケットが、５０～８０デュロメータのショアＡ硬度を有する熱可塑性エラストマーから形成される、請求項１に記載の扉。

【請求項7】

前記保持セグメントが前記封止部本体と合体する位置で、前記保持セグメントの断面幅が、前記グランドの断面幅より５％から１５％小さい、請求項１に記載の扉。

【請求項8】

前記ビードの、最も幅が広い箇所での断面幅が、前記グランド内の対応する深さでの前記グランドの断面幅より５％から１２％大きい、請求項１に記載の扉。

【請求項9】

前記圧縮リリーフセグメントの断面幅が、前記保持セグメントの断面幅より５％から１５％小さい、請求項１に記載の扉。

【請求項10】

正面開口を有する容器本体であり、前記正面開口が扉枠によって画定される、容器本体と、
前記扉枠に取り付けられるように構成された扉と
を具備する正面開口式ウエハ容器であって、
前記扉が、
ガスケットの一部分を受け入れるように構成されたグランドを備える扉プレートと、
圧縮材を含有するガスケットと
を備え、
前記ガスケットが、
封止部本体と、
保持突出部と
を備え、
前記保持突出部が、
前記封止部本体から延出する保持セグメントであって、断面幅が、前記グランド内の対応する深さでの前記グランドの断面幅以下である保持セグメントと、
前記保持セグメントから延出する圧縮リリーフセグメントであって、前記保持セグメントの断面幅より小さい断面幅を有する圧縮リリーフセグメントと、
前記圧縮リリーフセグメントの端部に配置されたビードであって、最大断面幅が、前記グランド内の対応する深さでの前記グランドの断面幅より大きいビードと
を備え、
前記ガスケットが、前記扉と前記扉枠との間に封止部を形成するように構成されている、
正面開口式ウエハ容器。

【請求項11】

前記ガスケットが、０．６対１．０の保持力対挿入力の比を有する、請求項１０に記載の正面開口式ウエハ容器。

【請求項12】

前記扉をウエハ容器に取り付けたとき、前記扉の合わせ目を通るコンダクタンスが、０．０２未満である、請求項１０に記載の正面開口式ウエハ容器。

【請求項13】

前記保持セグメントが、前記保持突出部の全長の少なくとも１／２を形成する、請求項１０に記載の正面開口式ウエハ容器。

【請求項14】

前記保持セグメントが、前記圧縮リリーフセグメントの全長の少なくとも２倍の長さを有する、請求項１０に記載の正面開口式ウエハ容器。

【請求項15】

前記ガスケットが、６０から９０デュロメータのショアＡ硬度を有する熱可塑性エラストマーから形成される、請求項１０に記載の正面開口式ウエハ容器。

【請求項16】

前記保持セグメントが前記封止部本体と合体する位置で、前記保持セグメントの断面幅が、前記グランドの断面幅より５％から１５％小さい、請求項１０に記載の正面開口式ウエハ容器。

【請求項17】

前記ビードの、最も幅が広い箇所での断面幅が、前記グランド内の対応する深さでの前記グランドの断面幅より５％から１２％大きい、請求項１０に記載の正面開口式ウエハ容器。

【請求項18】

前記圧縮リリーフセグメントの断面幅が、前記保持セグメントの断面幅より５％から１５％小さい、請求項１０に記載の正面開口式ウエハ容器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、基板容器に関し、詳細には、ガスケットの封止および保持を改善する形状を有するガスケットを備える容器に関する。

【背景技術】

【0002】

ウエハ容器は、半導体ウエハなど、ウエハを保管し、加工するための微小環境を画定する。微小環境を画定するために、ウエハ容器は、通常、開口側面と、開口側面を閉鎖する扉とを備える。扉と本体の他の部分との間に、ガスケットなど、封止部を形成することができる。ガスケットは、ウエハ容器の一部または扉に形成されたグランド内に保持することができる。

【発明の概要】

【0003】

本開示は、基板容器に関し、詳細には、ガスケットの封止および保持を改善する形状を有するガスケットを備える容器に関する。

【0004】

諸実施形態によるガスケットは、必要な挿入力を基準とすると大幅に強い保持力を発揮する。したがって、本ガスケットは、挿入に要する力を増加させることなく、さもなければ、ガスケットのウエハ容器またはウエハ容器扉への組み込みを複雑にすることなく、より強固に固定することができる。これは、ガスケットのずれの危険性を減らし、封止部の品質を確実にする。諸実施形態によるガスケットは、さらに、封止効果を向上させることができる。

【0005】

一実施形態では、ウエハ容器用の扉が、ガスケットの一部分を受け入れるように構成されたグランドを備える扉プレートと、圧縮材を含有するガスケットとを備える。ガスケットは、封止部本体と、保持突出部とを備える。保持突出部は、封止部本体から延出する保持セグメントを備える。保持セグメントは、断面幅が、グランド内の対応する深さでのグランドの断面幅以下である。保持突出部は、保持セグメントから延出する圧縮リリーフセグメントをさらに備える。圧縮リリーフセグメントは、保持セグメントの断面幅より小さい断面幅を有する。保持突出部は、圧縮リリーフセグメントの端部に配置されたビードをさらに備える。ビードは、最大断面幅が、グランド内の対応する深さでのグランドの断面幅より大きい。

【0006】

一実施形態では、ガスケットが、０．５対１．０の保持力対挿入力の比を有し、保持力は、ガスケットをグランドから取り外すのに必要な力であり、挿入力は、保持突出部をグランドに完全に挿入するのに必要な力である。

【0007】

一実施形態では、扉をウエハ容器に取り付けたとき、扉の合わせ目を通るコンダクタンスが、０．０２未満である。

【0008】

一実施形態では、保持セグメントが、保持突出部の全長の少なくとも１／２を形成する。

【0009】

一実施形態では、保持セグメントが、圧縮リリーフセグメントの全長の少なくとも２倍の長さを有する。

【0010】

一実施形態では、ガスケットが、５０～８０デュロメータのショアＡ硬度を有する熱可塑性エラストマーから形成される。

【0011】

一実施形態では、保持セグメントが封止部本体と合体する位置で、保持セグメントの断面幅が、グランドの断面幅より５％～１５％小さい。

【0012】

一実施形態では、ビードの、最も幅が広い箇所での断面幅が、グランド内の対応する深さでのグランドの断面幅より５％～１２％大きい。

【0013】

一実施形態では、圧縮リリーフセグメントの断面幅が、保持セグメントの断面幅より５％～１５％小さい。

【0014】

一実施形態では、正面開口式ウエハ容器が、扉枠によって画定された正面開口を有する容器本体と、扉枠に取り付けられるように構成された扉とを備える。扉は、ガスケットの一部分を受け入れるように構成されたグランドを備える扉プレートと、圧縮材を含有するガスケットとを備える。ガスケットは、封止部本体と、保持突出部とを備える。保持突出部は、封止部本体から延出する保持セグメントを備える。保持セグメントは、断面幅が、グランド内の対応する深さでのグランドの断面幅以下である。保持突出部は、保持セグメントから延出する圧縮リリーフセグメントをさらに備える。圧縮リリーフセグメントは、保持セグメントの断面幅より小さい断面幅を有する。保持突出部は、圧縮リリーフセグメントの端部に配置されたビードをさらに備える。ビードは、最大断面幅が、グランド内の対応する深さでのグランドの断面幅より大きい。ガスケットは、扉と扉枠との間に封止部を形成するように構成されている。

【0015】

ウエハ容器の一実施形態では、ガスケットは、０．６対１．０の保持力対挿入力の比を有する。

【0016】

ウエハ容器の一実施形態では、扉をウエハ容器に取り付けたとき、扉の合わせ目を通るコンダクタンスは、０．０２未満である。

【0017】

ウエハ容器の一実施形態では、保持セグメントは、保持突出部の全長の少なくとも１／２を形成する。

【0018】

ウエハ容器の一実施形態では、保持セグメントは、圧縮リリーフセグメントの全長の少なくとも２倍の長さを有する。

【0019】

ウエハ容器の一実施形態では、ガスケットは、６０～９０デュロメータのショアＡ硬度を有する熱可塑性エラストマーから形成される。

【0020】

ウエハ容器の一実施形態では、保持セグメントが封止部本体と合体する位置で、保持セグメントの断面幅は、グランドの断面幅より５％～１５％小さい。

【0021】

ウエハ容器の一実施形態では、ビードの、最も幅が広い箇所での断面幅が、グランド内の対応する深さでのグランドの断面幅より５％～１２％大きい。

【0022】

ウエハ容器の一実施形態では、圧縮リリーフセグメントの断面幅が、保持セグメントの断面幅より５％～１５％小さい。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】一実施形態によるウエハ容器の分解組立図である。

【図2】一実施形態によるガスケットおよびウエハ容器扉の断面図である。

【図3】一実施形態によるガスケットの保持突出部の図である。

【図4】一実施形態によるガスケットの保持突出部の図である。

【発明を実施するための形態】

【0024】

本開示は、基板容器に関し、詳細には、ガスケットの封止および保持を改善する形状を有するガスケットを備える容器に関する。

【0025】

図１は、一実施形態によるウエハ容器の分解組立図を示す。ウエハ容器１００は、開口端部１０４を有する容器本体１０２を備える。ウエハ容器１００は、扉１０６をさらに備える。扉１０６と容器本体１０２とが合わさって開口端部１０４を閉鎖する場所を封止するために、ガスケット１０８を使用することができる。

【0026】

ウエハ容器１００は、半導体ウエハなど、ウエハを加工、移送、および／または保管するのに使用する容器である。ウエハ容器１００は、たとえば正面開口式一体型ポッド（ＦＯＵＰ）などの正面開口式容器であり得る。容器本体１０２は、ウエハ容器１００内に内部空間を画定し、開口端部１０４が、容器本体１０２の一側面に設けられている。開口端部１０４は、容器本体１０２によって画定された内部空間内にウエハを配置し、かつ／またはそこから取り外すことを可能にすることができる。扉１０６は、開口端部１０４を閉じるために使用することができる。開口端部１０４が扉１０６によって閉じられると、封止部が形成され得、その結果、ウエハ容器１００内の内部空間が、ウエハ容器１００を取り巻く環境の汚染物質から保護された微小環境を形成する。封止部は、ガスケット１０８によって設けることができる。ガスケット１０８は、扉１０６が開口端部１０４を閉鎖したとき、容器本体１０２と扉１０６との間に封止部を形成するように構成されている。ガスケット１０８は、ポリマー材など、封止部を形成するのに適切ないかなる材料から製作してもよい。一実施形態では、ガスケット１０８は、５０～８０デュロメータのショアＡ硬度を有する熱可塑性エラストマーを含む。一実施形態では、ガスケット１０８は、約５０～８０デュロメータのショアＡ硬度を有する熱可塑性エラストマーから全体が形成される。

【0027】

図１に示される実施形態では、扉１０６は、開口端部１０４を閉鎖するために組み立てられるとき容器本体１０２の方に向く扉１０６の面に形成されたグランド１１０を備える。グランド１１０は、ガスケット１０８を保持するように構成されている。グランド１１０は、ガスケット１０８からの突出部を収容するように構成された溝である。一実施形態では、グランド１１０は、グランド１１０が扉１０６の表面から扉１０６の本体に入って行くにつれて、グランド１１０の断面幅が減少するように、先細になっている。グランド１１０は、扉１０６に配置されるとして示されているが、グランドは、たとえば開口端部１０４の外周など、扉１０６と容器本体１０２との間に封止部を形成できるようにガスケット１０８を保持するのに適するいかなる位置にあってもよいことを理解されたい。

【0028】

図２は、一実施形態によるガスケットおよびウエハ容器扉の断面図を示す。ウエハ容器扉２００は、グランド２０２およびガスケット２０４を備える。ガスケット２０４は、封止部本体２０６および保持突出部２０８を備える。保持突出部２０８は、保持セグメント２１０、圧縮リリーフセグメント２１２、およびビード２１４を備える。

【0029】

ウエハ容器扉２００は、ウエハ容器１００の扉１０６など、ウエハ容器を閉鎖するように構成された扉であり、その扉は、図１に示し、上記で説明されたように開口端部１０４を閉鎖する。グランド２０２は、ウエハ容器扉２００に形成された溝である。一実施形態では、グランド２０２の側面は、互いに平行であり、溝はその深さ全体が一定幅である。一実施形態では、グランド２０２の側面は、溝の幅が深さと共に減少する先細形状を溝が有するように、互いに傾けられる。保持突出部２０８の各セグメントの相対厚さは、保持突出部２０８がグランド２０２に完全に挿入されたとき、そのセグメントまたはそれの関連部分が位置を占める深さでのグランド２０２の幅に対応し得る。

【0030】

ガスケット２０４は、ウエハ容器扉２００と、上記で説明され図１に示されたウエハ容器１００のような、対応するウエハ容器（図示せず）との間に封止部を形成するように構成されている。ガスケット２０４は、保持突出部２０８とグランド２０２との締り嵌めによって、ウエハ容器扉２００に保持されるように構成されている。ガスケット２０４は、ポリマー材など、封止部を形成するのに適切ないかなる材料から製作してもよい。一実施形態では、ガスケット２０４は、５０～８０デュロメータのショアＡ硬度を有する熱可塑性エラストマーを含む。一実施形態では、ガスケット２０４は、５０～８０デュロメータのショアＡ硬度を有する熱可塑性エラストマーから全体が形成される。

【0031】

封止部本体２０６は、扉２００とウエハ容器との間で圧縮されて封止部を形成するように構成されたガスケット２０４の一部分である。封止部本体２０６は、そのような圧縮に適切ないかなる形状および厚さを有してもよい。封止部本体２０４は、ウエハ容器扉２００と接触することによって事前荷重が掛かるように構成することができる。一実施形態では、封止部本体２０６は、ガスケット２０４がグランド２０２内に保持されたとき、封止部本体２０６の先端が扉２００から離れる角度になるように構成され得ている。一実施形態では、封止部本体２０６の少なくとも一部分が、保持突出部２０８と鋭角を形成するように、保持突出部２０８に対して角度設定することができる。

【0032】

保持突出部２０８は、グランド２０２に挿入してガスケット２０４を扉２００に保持するように構成されている。保持突出部２０８は、保持突出部２０８の少なくともあるセグメントをグランド２０２の壁によって圧縮して、保持力を生じさせるように構成されている。グランド２０２によって保持突出部を圧縮することによって、保持突出部２０８をグランド２０２に挿入することに対する抵抗力も生じさせ得る。保持突出部２０８は、保持セグメント２１０、圧縮リリーフセグメント２１２、およびビード２１４を備える。

【0033】

保持セグメント２１０は、封止部本体２０６に繋がる、保持突出部２０８のセグメントである。封止部本体２０６位置で、保持セグメント２１０は、グランド２０２の開口の幅より小さい断面幅を有し得る。一実施形態では、封止部本体２０６位置での保持セグメントの断面幅は、グランド２０２の開口の断面幅より５％～１５％小さくてもよい。保持セグメント２１０の一部が、グランド２０２に挿入されるように構成され得る。保持セグメント２１０の、グランド２０２に挿入されるように構成された部分は、ガスケット２０４がグランド２０２に挿入されたときの保持セグメント２１０の位置に対応する深さにおけるグランド２０２の断面幅にほぼ等しい断面幅を有し得る。一実施形態では、保持セグメント２１０は、保持突出部２０８の全長の少なくとも１／２を形成する。一実施形態では、保持セグメント２１０は、圧縮リリーフセグメント２１２の長さの少なくとも２倍の長さを有する。

【0034】

圧縮リリーフセグメント２１２は、保持セグメント２１０からビード２１４まで延在する、保持突出部２０８のセグメントである。圧縮リリーフセグメント２１２は、断面厚さが、対応する深さにおけるグランド２０２の断面幅より小さい、保持突出部２０８のセグメントである。標準的ＦＯＵＰ設計向けの典型的幅を有するグランド２０２の一実施形態では、圧縮リリーフセグメント２１２は、保持セグメント２１０の厚さより約０．１５ｍｍ小さい厚さを有する。一実施形態では、圧縮リリーフセグメント２１２の全長は、保持セグメント２１０の全長の半分の長さより短いか、または等しい。

【0035】

ビード２１４は、保持突出部２０８の端部、圧縮リリーフセグメント２１２が保持セグメント２１０と合体するのと反対側の、圧縮リリーフセグメント２１２の端部に設けられる。ビード２１４は、グランド２０２に挿入可能であり、グランド２０２と干渉部を形成するように構成された、保持突出部２０８の一部分である。ビード２１４は、グランド２０２の開口より小さい断面幅を有する先端２１６を備え、それによって、先端２１６をグランド２０２に導入することができる。ビード２１４は、断面幅がグランド２０２内の対応する深さの断面幅より大きい少なくとも１つの締り嵌め部分２１８をさらに備える。締り嵌め部分２１８は、断面幅に関してビード２１４の最も幅の広い箇所を備え得る。ビードは、先端２１６から締り嵌め部分２１８まで延在する、丸みを帯びまたは先細であるなど、あらゆる適切な形状を有し得る。締り嵌め部分２１８は、保持突出部２０８がグランド２０２に挿入されたとき、グランド２０２の壁によって圧縮されるように寸法設定することができる。一実施形態では、締り嵌め部分２１８は、断面幅がグランド内の対応する深さでのグランドの断面幅より５％～１２％大きい最も幅の広い箇所を有し、または備える。標準的ＦＯＵＰ設計で使用するために構成された一実施形態では、締り嵌め部分２１８は、断面幅が、グランド内の対応する深さでのグランドの断面幅より約０．１５ｍｍ大きい。一実施形態では、ビード２１４は、丸い形状を有し、その丸い形状は、締り嵌め部分２１８の最大断面幅に対応する直径を有する。一実施形態では、ビード２１４は、締り嵌め部分２１８が、圧縮リリーフセグメント２１２によって一方の側面に形成される線と連続し、締り嵌め部分２１８が、圧縮リリーフセグメントの前記一方の側面とは反対側の側面に対して外側に延出するように、圧縮リリーフセグメント２１２に対して配置することができる。一実施形態では、ビード２１４は、締り嵌め部分２１８が、断面で視たとき、圧縮リリーフセグメント２１２の両側面に対して外側に延出するように、圧縮リリーフセグメント２１２に対して配置される。ビード２１４のさらに別の非限定的例が、図３および４に示され、下記で説明される保持突出部３００および４００に含まれている。ビード２１４の締り嵌め部分２１８を圧縮すると、保持突出部２０８の一部または全部を膨らませて、グランド２０２との締り嵌めを形成し、それによって、ガスケット２０４をグランド２０２内に保持し、扉２００がウエハ容器に取り付けられたとき、グランド２０２の一方の側からグランド２０２の反対側への流れを抑止する封止部を形成することができる。

【0036】

保持セグメント２１０、圧縮リリーフセグメント２１２、およびビード２１４を備える保持突出部２０８は、ガスケット２０４を挿入する力に比較して相対的に大きい保持力を発揮することができる。保持力は、ガスケット２０４をグランド２０２から取り外すのに必要とされる大きさの力である。挿入力は、ガスケット２０４をグランド２０２に完全に挿入するのに必要とされる大きさの力である。一実施形態では、挿入力に対する保持力の比は、０．５～１．０の範囲にあり得る。比較すると、ウエハ容器用の標準的ガスケット設計では、約０．２５～約０．３５の保持力比になる。したがって、ガスケット２０４は、標準的ガスケット設計に比較して、より容易な組立を可能にし、かつ／またはグランド２０２内にガスケット２０４をより強く保持することを可能にすることができる。

【0037】

保持突出部２０８を備えるガスケットが用意された。保持セグメント２１０、圧縮リリーフセグメント２１２、およびビード２１４をそれぞれが含む３つの実施形態が用意された。ビード形状、および各セグメントの相対長さは、３つの実施形態を通して一致していた。諸実施形態例を通して唯一の変化は、保持突出部の１つまたは複数のセグメントの断面幅を変えたことである。表１に示された実施形態において、実施形態２は、実施形態１と比較して、保持セグメントおよびビードの断面幅が０．０５ｍｍまたは約２．５％大きい。実施形態３は、保持セグメントでは実施形態１と同じ断面幅を有し、実施形態１のビードよりも０．１ｍｍまたは約５％大きい断面幅を持つビードを有する。各実施形態を対応するウエハ容器扉のグランドに完全に挿入するのに必要なニュートンでの力が、測定され、挿入値として表１に記録されている。次いで、完全に挿入された実施形態をグランドから取り外すのに必要なニュートンでの力が、測定され、保持値として表１に記録されている。保持値を挿入値で割った比が、比率値として示されている。次いで、挿入力および保持力に関する同じ試験が、ウエハ容器の扉用の封止部として現在使用されている確証された製品（product of record：ＰＯＲ）に対して行われた。そのＰＯＲは、実施形態１～３におけるような個別の圧縮リリーフセグメントまたはビードの無い、グランドの形状に対応するように形成された傾斜壁を有する。

【0038】

表１で分かるように、セグメントの個々の断面幅を変えると、圧縮力に対する保持力の比が、各実施形態を通じて変化するが、その比は、ＰＯＲと比較すると、少なくとも部分的には圧縮リリーフセグメントおよびビードを個々に備え配置することによって、全ての実施形態において著しく大きくなる。

【0039】

さらに、ガスケット２０４は、扉２００がウエハ容器に取り付けられたとき、標準的ガスケット設計に比較して強力な封止部を実現することができる。たとえば、ウエハ容器に取り付けられた一実施形態による扉を通るコンダクタンスは、０．０２以下になり得る。

【0040】

図３は、一実施形態によるガスケットの保持突出部を示す。ガスケット３００は、封止部本体３０２および保持突出部３０４を備える。保持突出部３０４は、保持セグメント３０６、圧縮リリーフセグメント３０８、およびビード３１０を備える。図３に示す実施形態では、ビード３１０は、先端３１２および締り嵌め部分３１４を備える。ビード３１０の断面形状は、たとえば、丸みを帯びた角部を有する全体的に長斜方形であり得る。締り嵌め部分３１４は、保持突出部３０４の第１の側面３１８に対して外側に延出する締り嵌め突起３１６を備える。ガスケット３００では、第１の側面３１８の反対側の第２の側面３２０は、保持突出部３０４の全長に亘って連続する先細である。

【0041】

図４は、一実施形態によるガスケットの保持突出部を示す。ガスケット４００は、封止部本体４０２および保持突出部４０４を備える。保持突出部４０４は、保持セグメント４０６、圧縮リリーフセグメント４０８、およびビード４１０を備える。図４に示す実施形態では、ビード４１０は、先端４１２および締り嵌め部分４１４を備える。ビード４１０は、全体的に円形の断面形状を有する。ガスケット４００では、ビード４１０の全体的に円形の断面形状は、保持突出部４０４の第１の側面４１８が、保持突出部４０４の全長に亘って連続する先細になるように、その円形の断面形状の中心をずらして形成される。締り嵌め部分４１４は、第２の側面４２０に対して外側に延出する締り嵌め突起４１６を備え、第２の側面４２０は、保持突出部４０４の第１の側面４１８の反対側にある。図４に示される実施形態では、ガスケット４００は、グランド４２２に挿入されている。ガスケット４００がグランド４２２に挿入されると、保持セグメント４０６およびビード４１０が圧縮され、圧縮リリーフセグメント４０８が、保持セグメント４０６およびビード４１０の周囲の物体からの圧縮によって、膨らんでグランド４２２をさらに充満する。

【0042】

態様
任意の態様１～９を任意の態様１０～１８と組み合わせることができることを理解されたい。

【0043】

態様１ウエハ容器用の扉であって、
ガスケットの一部分を受け入れるように構成されたグランドを備える扉プレートと、
圧縮材を含有するガスケットと
を具備し、
ガスケットが、
封止部本体と、
保持突出部と
を備え、
保持突出部が、
封止部本体から延出する保持セグメントであって、断面幅がグランド内の対応する深さでのグランドの断面幅以下である保持セグメントと、
保持セグメントから延出する圧縮リリーフセグメントであって、保持セグメントの断面幅より小さい断面幅を有する圧縮リリーフセグメントと、
圧縮リリーフセグメントの端部に配置されたビードであって、最大断面幅がグランド内の対応する深さでのグランドの断面幅より大きいビードと
を備える、扉。

【0044】

態様２ガスケットが、０．５対１．０の保持力対挿入力の比を有し、保持力が、ガスケットをグランドから取り外すのに必要な力であり、挿入力が、保持突出部をグランドに完全に挿入するのに必要な力である、態様１による扉。

【0045】

態様３扉をウエハ容器に取り付けたとき、扉の合わせ目を通るコンダクタンスが、０．０２未満である、態様１または２による扉。

【0046】

態様４保持セグメントが、保持突出部の全長の少なくとも１／２を形成する、態様１から３のいずれかによる扉。

【0047】

態様５保持セグメントが、圧縮リリーフセグメントの全長の少なくとも２倍の長さを有する、態様１から４のいずれかによる扉。

【0048】

態様６ガスケットが、５０～８０デュロメータのショアＡ硬度を有する熱可塑性エラストマーから形成される、態様１から５のいずれかによる扉。

【0049】

態様７保持セグメントが封止部本体と合体する位置で、保持セグメントの断面幅が、グランドの断面幅より５％～１５％小さい、態様１から６のいずれかによる扉。

【0050】

態様８ビードの、最も幅が広い箇所での断面幅が、グランド内の対応する深さでのグランドの断面幅より５％～１２％大きい、態様１から７のいずれかによる扉。

【0051】

態様９圧縮リリーフセグメントの断面幅が、保持セグメントの断面幅より５％～１５％小さい、態様１から８のいずれかによる扉。

【0052】

態様１０正面開口を有する容器本体であり、正面開口が扉枠によって画定される、容器本体と、
扉枠に取り付けられるように構成された扉と
を具備する正面開口式ウエハ容器であって、
扉が、
ガスケットの一部分を受け入れるように構成されたグランドを備える扉プレートと、
圧縮材を含有するガスケットと
を備え、
ガスケットが、
封止部本体と、
保持突出部と
を備え、
保持突出部が、
封止部本体から延出する保持セグメントであって、断面幅が、グランド内の対応する深さでのグランドの断面幅以下である、保持セグメントと、
保持セグメントから延出する圧縮リリーフセグメントであって、保持セグメントの断面幅より小さい断面幅を有する圧縮リリーフセグメントと、
圧縮リリーフセグメントの端部に配置されたビードであって、最大断面幅が、グランド内の対応する深さでのグランドの断面幅より大きいビードと
を備え、
ガスケットが、扉と扉枠との間に封止部を形成するように構成されている、
正面開口式ウエハ容器。

【0053】

態様１１ガスケットが、０．６対１．０の保持力対挿入力の比を有する、態様１０による正面開口式ウエハ容器。

【0054】

態様１２扉をウエハ容器に取り付けたとき、扉の合わせ目を通るコンダクタンスが、０．０２未満である、態様１０または１１による正面開口式ウエハ容器。

【0055】

態様１３保持セグメントが、保持突出部の全長の少なくとも１／２を形成する、態様１０から１２のいずれかによる正面開口式ウエハ容器。

【0056】

態様１４保持セグメントが、圧縮リリーフセグメントの全長の少なくとも２倍の長さを有する、態様１０から１３のいずれかによる正面開口式ウエハ容器。

【0057】

態様１５ガスケットが、６０～９０デュロメータのショアＡ硬度を有する熱可塑性エラストマーから形成される、態様１０から１４のいずれかによる正面開口式ウエハ容器。

【0058】

態様１６保持セグメントが封止部本体と合体する位置で、保持セグメントの断面幅が、グランドの断面幅より５％～１５％小さい、態様１０から１５のいずれかによる正面開口式ウエハ容器。