特表 2024-524065 ポリ（キノリン）膜

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-07-05

(54)【発明の名称】ポリ（キノリン）膜

(51)【国際特許分類】

   B01D 71/62 20060101AFI20240628BHJP

   B01D 69/00 20060101ALI20240628BHJP

   B01D 61/14 20060101ALI20240628BHJP

   C08G 73/06 20060101ALI20240628BHJP

   C08J 9/28 20060101ALI20240628BHJP

【ＦＩ】

B01D71/62

B01D69/00

B01D61/14 500

C08G73/06

C08J9/28 101

C08J9/28 CEZ

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2023576355

(86)(22)【出願日】2022-06-14

(85)【翻訳文提出日】2024-02-06

(86)【国際出願番号】 US2022033483

(87)【国際公開番号】W WO2022266136

(87)【国際公開日】2022-12-22

(31)【優先権主張番号】63/210,667

(32)【優先日】2021-06-15

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】505307471

【氏名又は名称】インテグリス・インコーポレーテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110002077

【氏名又は名称】園田・小林弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】リー， チーフェン

(72)【発明者】

【氏名】ボンヤディ，シーナ

(72)【発明者】

【氏名】ヴァラナシ， プシュカラ ラオ

【テーマコード（参考）】

4D006

4F074

4J043

【Ｆターム（参考）】

4D006GA07

4D006HA41

4D006HA71

4D006MA03

4D006MA10

4D006MA22

4D006MA25

4D006MA31

4D006MA40

4D006MC57X

4D006NA46

4D006NA52

4D006NA64

4D006PA01

4D006PB12

4D006PB15

4D006PB27

4F074AA74

4F074CB34

4F074CB37

4F074CB45

4F074DA03

4F074DA23

4F074DA43

4J043QB46

4J043RA33

4J043RA35

4J043SA06

4J043SA61

4J043SB01

4J043TA01

4J043TB01

4J043UA132

4J043UA152

4J043UB062

4J043UB121

4J043UB151

4J043XA17

4J043ZB13

(57)【要約】

要約すると、本開示は、液体組成物、特にマイクロ電子機器産業で使用される液体組成物から、金属イオン、金属粒状物、および／または有機夾雑物を除去するのに、フィルター材料として有用な特定の膜を提供する。本開示の膜は、ポリ（キノリン）ポリマーで構成される多孔質膜である。有利なことに、ポリ（キノリン）膜は、熱的に安定かつ加水分解的に安定であるため、希塩酸などの酸性材料を使用して、著しい劣化に苦慮することなく、使用の間に洗浄することができる。このポリ（キノリン）ポリマーは、特定の溶媒に可溶型であるように設計することができるため、浸漬キャスト技術によって、対応する多孔質膜の製造が可能となる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ポリ（キノリン）ポリマーを含む多孔質膜であって、約４０μｍ～約３００μｍの厚さを有する、膜。

【請求項2】

エトキシノナフルオロブタンＨＦＥ７２００を使用して約２２℃の温度で測定した場合、約５～約４００ｐｓｉのバブルポイントを示す、請求項１に記載の膜。

【請求項3】

約１０～約２００ｎｍの平均孔径を有する、請求項１または２に記載の膜。

【請求項4】

ポリ（キノリン）ポリマーが、以下の式：

［式中、各Ｒは、水素、フェニル、置換フェニル、チエニルまたはＣ_１～Ｃ_６アルキル基から独立して選択される］
の部分で構成される、請求項１から３のいずれか一項に記載の膜。

【請求項5】

ポリ（キノリン）ポリマーが、以下の式：

［式中、各Ｒは、水素、フェニル、チエニル、置換フェニル、またはＣ_１～Ｃ_６アルキル基から独立して選択される］
の部分で構成される、請求項１から３のいずれか一項に記載の膜。

【請求項6】

各Ｒが水素である、請求項４または５に記載の膜。

【請求項7】

１つのＲが水素であり、他のＲがフェニルである、請求項４または５に記載の膜。

【請求項8】

ポリ（キノリン）ポリマーが、式（ＩＩＩ）：

［式中、Ｙは：
ａ．酸素
ｂ．式：

の二価のケトン部分、
ｃ．式

の二価のスルホン部分、または
ｄ．式

の二価の基から選択され、
各Ｒは、水素、フェニル、チエニル、置換フェニル、またはＣ_１～Ｃ_６アルキル基から独立して選択され、Ｒ^１は、Ｃ_１～Ｃ_６アルキル、またはフッ素原子で１回もしくは複数回置換されたＣ_１～Ｃ_６アルキルから独立して選択される］
の繰り返し単位で構成される、請求項１から３のいずれか一項に記載の膜。

【請求項9】

Ｒがフェニルである、請求項８に記載の膜。

【請求項10】

Ｙが、式

の基であり、
各Ｒ^１はトリフルオロメチルである、請求項８に記載の膜。

【請求項11】

１４．２ｐｓｉで測定した場合、約２００秒／５００ｍｌより大きく約５０，０００秒／５００ｍｌ未満のイソプロパノール流動時間を示し、エトキシノナフルオロブタンＨＦＥ７２００を使用して約２２℃の温度で測定した場合、約５～約３００ｐｓｉのバブルポイントを示す、請求項１から１０のいずれか一項に記載の膜。

【請求項12】

ポリ（キノリン）ポリマーを含む多孔質膜であって、
約４０μｍ～約３００μｍの厚さ、および
約１０ｎｍ～約２００ｎｍの平均孔径
を有し、前記ポリマーを水混和性溶媒に溶解して溶液を形成し、続いて少なくとも１つの第１の非溶媒を添加し、続いて平坦な表面上にその溶液をキャストし、それによって被覆面を形成し、続いて少なくとも１つの第２の非溶媒に前記被覆面を浸漬し、それによって多孔質膜の形成を達成することによって調製される、膜。

【請求項13】

１４．２ｐｓｉで測定した場合、約２００秒／５００ｍｌより大きく約５０，０００秒／５００ｍｌ未満のイソプロパノール流動時間を示し、エトキシノナフルオロブタンＨＦＥ７２００を使用して約２２℃の温度で測定した場合、約５～約４００ｐｓｉのバブルポイントを示す、請求項１２に記載の膜。

【請求項14】

平坦な表面上に溶液をキャストする前に、溶液をイオン交換樹脂または膜を通して濾過することによって精製する工程をさらに含み、それによって、微量の金属イオン夾雑物を除去する、請求項１２または１３に記載の膜。

【請求項15】

第１の非溶媒が、イソプロパノールを含む、請求項１２から１４のいずれか一項に記載の膜。

【請求項16】

第２の非溶媒が、水を含む、請求項１２から１５のいずれか一項に記載の膜。

【請求項17】

水混和性溶媒が、テトラヒドロフラン、Ｎ－メチルピロリドン、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、ジオキサン、またはテトラヒドロピランから選択される、請求項１２から１６のいずれか一項に記載の膜。

【請求項18】

水混和性溶媒が、テトラヒドロフランを含む、請求項１２から１７のいずれか一項に記載の膜。

【請求項19】

１つまたは複数の粒状物質および／または金属イオンおよび／または有機夾雑物を、少なくとも１つの粒状物質および／または金属イオンおよび／または有機夾雑物を含む液体組成物から除去する方法であって、
（ｉ）液体組成物を、請求項１から１８のいずれか一項に記載の膜に通すことと、
（ｉｉ）液体組成物中の１つまたは複数の粒状物質および／または金属イオンおよび／または有機夾雑物の量を低減し、それによって精製された液体組成物を提供することと
を含む、方法。

【請求項20】

液体組成物が、酢酸ｎ－ブチル、イソプロピルアルコール、酢酸２－エトキシエチル、シクロヘキサノン、乳酸エチル、ガンマブチロラクトン、イソペンチルエーテル、２－ヒドロキシイソ酪酸メチル、メチルイソブチルカルビノール、メチルイソブチルケトン、酢酸イソアミル、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、およびこれらの組合せから選択される溶媒を含む、請求項１９に記載の方法。

【請求項21】

請求項１から１８のいずれか一項に記載の膜を含む、フィルター。

【請求項22】

第１のフィルター材料および第２のフィルター材料を備え、第１のフィルター材料の出力側表面が第２のフィルター材料の入力側表面と接触し、
第１のフィルター材料が、請求項１から１８のいずれか一項に記載の膜を含み、
第２のフィルター材料が、第１のフィルター材料とは異なる、
複合フィルター。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、全般に、膜技術を使用する液体精製の分野に関する。

【背景技術】

【0002】

フィルター製品は、有用な流体の流れから望まれない物質を除去するために使用される、近代産業の不可欠な道具である。フィルターを使用して処理される有用な流体には、製造または処理（例えば、半導体製作）に使用される、水、液体産業用溶媒および処理流体、ならびに医学的または医薬品使用の液体が含まれる。流体から除去される望まれない物質には、粒子、微生物、および溶解した化学種などの、不純物および夾雑物が含まれる。フィルター用途の特定の例には、半導体およびマイクロ電子機器の製造用の液体材料におけるその使用が含まれる。

【0003】

フィルターは、サイズ排除によるか、または物質との化学的および／もしくは物理的相互作用によるなどの多様な異なる方法によって、望まれない物質を除去することができる。一部のフィルターは、フィルターに多孔質構成を提供する構造材料によって定義され、フィルターは、細孔を通過することができない大きさの粒子を捕捉することができる。一部のフィルターは、フィルターの構造材料、またはフィルター上を通り過ぎる物質と結びつきかつ相互作用する、構造材料と結びつく化学的性質の能力によって定義される。例えば、フィルターの化学的特色により、イオン性、配位性、キレート化、または水素結合の相互作用によるなどで、フィルター上を通り過ぎるかまたは通過する流れから、望まれない物質と結びつくことが可能となり、これらの望まれない物質を捕捉する。一部のフィルターは、サイズ排除および化学的相互作用の両方の特色を利用し、濾過される流れから物質を除去することができる。

【0004】

場合によっては、濾過機能を実施するために、フィルターは、通過する流体から望まれない物質を除去する役割を担うフィルター膜を含む。フィルター膜は、必要に応じて、平板シートの形態であってもよく、それは巻かれ（例えば、らせん状）、平坦、ひだ状、または円板状であってもよい。フィルター膜は、あるいは、中空繊維の形態であってもよい。フィルター膜は、濾過される流体がフィルター入口を通って入り、フィルター出口を通過する前にフィルター膜を通過する必要があるように、ハウジング内に収納されるか、または他の方法で支持され得る。

【0005】

溶解したアニオンまたはカチオンなどのイオン性物質を溶液から除去することは、非常に低い濃度のイオン性の夾雑物および粒子がマイクロプロセッサおよび記憶機器の品質および性能に悪影響を与える恐れがある、マイクロ電子工学産業などの多くの産業において重要である。詳細には、機器製作に使用される液体組成物から、金属イオンを含む金属含有物質を除去することが望ましい場合がある。金属含有物質は、マイクロ電子工学製造に使用されるさまざまな種類の液体中で見出され得る。

【0006】

液体組成物から金属含有物質を除去するための、さまざまな未解決の技術的課題が残っている。広範囲のさまざまな種類の液体材料が、マイクロ電子機器処理における処理溶媒、洗浄剤、および他の処理溶液として使用される。ほとんどではないにしてもこれらの材料の多くは、非常に高いレベルの純度を必要とする。一例として、マイクロ電子機器のフォトリソグラフィー処理に使用される液体材料（例えば、溶媒）は、非常に高い純度でなければならない。マイクロ電子機器処理に使用される特定の例の液体には、スピン－オン－ガラス（ＳＯＧ）技術、下層反射防止コーティング（ＢＡＲＣ）法、フォトリソグラフィー、湿式化学食刻法、ならびに化学的機械的研磨、アッシング、および食刻法後の洗浄操作用の処理溶液が含まれる。

【発明の概要】

【0007】

要約すると、本開示は、液体組成物、詳細にはマイクロ電子機器産業で使用される液体組成物から、粒状物、金属イオン、および有機夾雑物を除去するフィルター材料として有用な特定の膜を提供する。本開示の膜は、ポリ（キノリン）ポリマーで構成される多孔質膜である。ポリ（キノリン）ポリマーは、相対的に高い、すなわち約２００℃～約４００℃のガラス転移温度（Ｔ_ｇ）を有し、優れた熱安定性（すなわち、約３００℃～５００℃）を有する。有利なことに、ポリ（キノリン）膜は、加水分解的に安定であるため、希塩酸などの酸性洗浄材料を使用して、望まれない劣化に苦慮することなく、使用の間に洗浄することができる。ポリ（キノリン）ポリマーは、特定の溶媒に可溶型であるように設計することができるため、浸漬キャスト技術によって、対応する多孔質膜の製造が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】実施例４の膜の、８００倍の倍率における膜横断面の多孔度を示す走査電子顕微鏡写真（ＳＥＭ）である。

【図2】実施例４の膜の、２００倍の倍率における膜の表面の多孔度を示すＳＥＭである。

【発明を実施するための形態】

【0009】

本明細書および添付の特許請求の範囲で使用される場合、単数形「ａ」、「ａｎ」および「ｔｈｅ」は、内容により明確に別段の指示がない限り、複数の指示対象を含む。本明細書および添付の特許請求の範囲で使用される場合、用語「または」は、内容により明確に別段の指示がない限り、一般に、その意味に「および／または」を含んで利用される。

【0010】

用語「約」は、一般に、言及された値と等価と考えられる（例えば、同じ機能または結果を有する）数の範囲を指す。多くの場合、用語「約」は、最も近い有効数字に概数とされた数を含み得る。

【0011】

終点を使用して表現された数値範囲は、その範囲内に包含される全ての数値を含む（例えば、１～５は、１、１．５、２、２．７５、３、３．８０、４および５を含む）。

【0012】

フィルター膜は、フィルターの使用、すなわち、フィルターによって実施される濾過の種類に基づいて選択され得る平均孔径を有する多孔質構造で構成され得る。典型的な孔径は、約０．００１μｍ～約１０μｍなどのミクロンまたはサブミクロンの範囲にある。約０．００１μｍ～約０．０５μｍの平均孔径を有する膜は、限外濾過膜として分類されることがある。約０．０５μｍ～１０μｍの間の孔径を有する膜は、ミクロ多孔質膜と表されることがある。

【0013】

ミクロンまたはサブミクロンの範囲の孔径を有するフィルター膜は、または本明細書で簡単に「膜」と表され、ふるい分け機構もしくは非ふるい分け機構によって、またはその両方によるいずれかで、流体の流れから望まれない物質を除去するのに効果的であり得る。ふるい分け機構は、粒子が、フィルター膜の表面における粒子の機械的保持によって、液体の流れから除去される濾過様式であり、粒子の動きに機械的に干渉し、粒子をフィルター内に保持し、フィルターを通る粒子の流れを機械的に妨げるように作用する。典型的には、粒子は、フィルターの細孔より大きくあり得る。「非ふるい分け」濾過機構は、フィルター膜が、フィルター膜を通る流体の流れに含有される懸濁した粒子または溶解した物質を、限定的に機械的ではなく、例えば、粒状物または溶解した不純物が、フィルター表面に静電気的に引きつけられ、保持され、流体の流れから除去される静電気的機構を含む様式で保持する濾過手法であり；粒子は、溶解していてもよく、またはフィルター媒体の細孔より小さい粒度を有する固体であってもよい。

【0014】

本開示のフィルター膜および方法の特定の実施形態では、フィルターには、特定のポリ（キノリン）類で構成されるポリマーフィルムの形態の多孔質フィルター膜が含まれる。本明細書で使用される場合、「多孔質フィルター膜」は、膜の一表面から膜の反対側の表面へと伸びる多孔質（例えば、ミクロ多孔質）相互連結通路を含有する多孔質ポリマー固体である。通路は、一般に、濾過される液体がそれを通って通過しなければならない曲がりくねったトンネルまたは細い通路を提供する。

【0015】

本開示のフィルター膜および方法はまた、液体組成物内に存在する、細孔より大きい任意の粒子（例えば、金属含有粒子）が、ミクロ多孔質膜に入ることを妨げるように機能し得るか、またはミクロ多孔質膜の細孔内に粒子を捕捉するように機能し得る（すなわち、ここで粒子はふるい分け型濾過機構によって除去される）。

【0016】

精製の必要がある液体組成物は、本開示のフィルター膜を通過し、金属夾雑物および／または有機夾雑物が、所望の用途に好適なレベルまで効果的に除去され得る。本開示のフィルター材料および方法を使用することができる１つの用途は、半導体材料を食刻および洗浄するために使用される溶液からの金属の精製のためなどの半導体製造である。その精製能力の選択性を考慮すると、本開示のフィルター膜および方法は、一般にフォトリソグラフィーにおいて特に有用である。有利なことに、本開示のフィルター膜および方法は、金属粒状物、イオン性および／または有機夾雑物などの望まれない量の粒状物質を、そのような流体から効果的に除去することが期待される。

【0017】

一実施形態では、本開示のフィルター材料および方法を使用して除去される金属夾雑物には、Ｌｉ、Ｂ、Ｎａ、Ｋ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｃａ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｍｏ、Ｃｄ、Ｓｎ、Ｂａ、およびＰｂイオンが、個々にまたはその２種以上の組合せのいずれかで含まれる。

【0018】

一実施形態では、除去される金属イオンは、鉄、クロム、マンガン、アルミニウム、およびニッケルのカチオンから選択される。

【0019】

したがって、第１の態様では、本開示は、ポリ（キノリン）ポリマーを含む多孔質膜であって、約４０μｍ～約３００μｍの厚さを有する、多孔質膜を提供する。特定の実施形態では、膜は、約１０ｎｍ～約２００ｎｍ、または約１０ｎｍ～約１００ｎｍの平均孔径を有する。典型的には、ポリ（キノリン）ポリマーは、約２０，０００～約２００，０００ダルトンの数平均分子量（Ｍ_ｎ）を有する。特定の実施形態では、本開示のポリ（キノリン）ポリマーは、約２５０℃～約３５０℃のガラス転移温度を有する。

【0020】

一実施形態では、ポリ（キノリン）ポリマーは、式（Ｉ）：

［式中、各Ｒは、水素、フェニル、置換フェニル、チエニルまたはＣ_１～Ｃ_６アルキル基から独立して選択される］
の部分で構成される。別の実施形態では、ポリ（キノリン）ポリマーは、式（ＩＩ）：

［式中、各Ｒは、水素、フェニル、チエニル（すなわち、チオフェン基）、置換フェニル、またはＣ_１～Ｃ_６アルキル基から独立して選択される］
の部分で構成される。

【0021】

別の実施形態では、ポリ（キノリン）ポリマーは、式（ＩＩＩ）の繰り返し単位：

(III)
［式中、Ｙは、
ａ．酸素、
ｂ．式：

の二価のケトン部分、
ｃ．式：

の二価のスルホン部分、または
ｄ．式

の二価の基
であり、
各Ｒは、水素、フェニル、チエニル（すなわち、チオフェン基）、置換フェニル、またはＣ_１～Ｃ_６アルキル基から独立して選択され、各Ｒ^１は、Ｃ_１～Ｃ_６アルキル、またはフッ素原子で１回もしくは複数回置換されたＣ_１～Ｃ_６アルキルから独立して選択される］
で構成される。

【0022】

用語「置換フェニル」は、本明細書で使用される場合、ハロゲン；ヒドロキシ；ニトロ；Ｃ_１～Ｃ_６アルコキシ；Ｃ_１～Ｃ_６アルキル；およびハロゲン、ヒドロキシ、またはニトロから選択される基で１回または複数回置換されたＣ_１～Ｃ_６アルキルから選択される１つまたは複数の置換基を有するフェニル基を指す。

【0023】

一実施形態では、Ｒはフェニルである。別の実施形態では、－Ｙ－は、式

の二価の基であり、
それぞれのＲ^１は、トリフルオロメチルである。

【0024】

特定の実施形態では、フィルター膜の材料は、キレート化またはイオン交換の機能性の付与に好適な化学的性質を有し得る。この機能性は、膜に適用され得るコーティングを介して導入され得て、そのようなコーティングは、不純物の除去のためのキレート化および／またはイオン交換の機構に好適な官能基を持つ。あるいは、上記の式（Ｉ）、（ＩＩ）、および（ＩＩＩ）における「Ｒ」基は、膜に対してコーティングまたは他の表面処理を適用することなく、非ふるい分け精製機構に利用可能であり得る、イオン交換精製法に使用されるスルホン酸基または他の基などのこのような官能基を含有するように変化させることができる。非ふるい分け濾過の目的のために、ポリマー膜表面に、所望の官能基をグラフトまたは他の方法で付与するさまざまな方法論の例は、本明細書に参照により組み込まれる米国特許第１０，７９２，６２０号、および本明細書に参照により組み込まれる米国特許公開第２０２０／０４０６２０１号；同第２０２０／０２５４３９８号；同第２０２０／０２０６６９１号；同第２０１９／０３２９１８５号；および同第２０１８／０１８５８３５号に見出すことができる。

【0025】

本開示に有用なポリ（キノリン類）は、公知の合成方法論によって調製することができる。この点に関して、本明細書に参照により組み込まれる米国特許第５，７８６，０７１号；同第５，２４７，０５０号；同第５，６４８，４４８号；および同第６，４６２，１４８号、ならびにＨｏｎｇ Ｍａら、Ｃｈｅｍ．Ｍａｔｅｒ．１９９９年、１１、２２１８～２２２５頁を参照されたい。

【0026】

一例では、上記式（ＩＩＩ）で明示された本開示のポリ（キノリン類）は、式中、各Ｒはフェニルであり、Ｙは式

の基であり、各Ｒ^１はトリフルオロメチルであり、すなわち、式：

の繰り返し単位で構成されるポリマーは、
式（Ａ）のモノマー：

および式（Ｂ）のモノマー：

を、昇温状態で、ジフェニルホスフェートの存在下で、ｍ－クレゾールなどの溶媒中で共重合することによって調製することができる。

【0027】

式（Ａ）のモノマーは、水酸化ナトリウムの存在下で、フェニルアセトニトリルと４，４’－ジニトロフェニルエーテルとの反応から２工程で調製され、式（Ｃ）の中間体：

を形成することができる。

【0028】

式（Ｃ）の化合物は、次に、例えばＰｄ／Ｃなどの触媒の存在下で、テトラヒドロフラン中で水素化され、上記式（Ａ）の化合物を提供することができる。

【0029】

式（Ｂ）の化合物、すなわち、２，２－ジ（４－アセチルフェニル）ヘキサフルオロプロパンは、２，２－ジ（４－カルボキシフェニル）ヘキサフルオロプロパンとメチルリチウムとをテトラヒドロフラン中で反応させ、続いて塩酸を用いて加水分解することによって調製することができる。

【0030】

上述のように、本明細書に開示される膜は、浸漬キャスト法によって調製され得る。この方法では、ポリ（キノリン）は、水混和性の溶媒に溶解される。この目的のために、特定のポリ（キノリン）に好適な溶媒は、Ｈａｎｓｅｎ溶解度パラメータ分析を使用して決定され得るか、または経験的に試行錯誤によって決定され得る。特定の実施形態では、そのような溶媒には、テトラヒドロフラン、Ｎ－メチルピロリドン（ＮＭＰ）、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、ジメチルアセトアミド（ＤＭＡＣ）、ジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）、ジオキサン、またはテトラヒドロピランなどの水混和性溶媒が含まれる。ポリマー非溶媒は、一般的にポリマー溶液に添加され、その相分離挙動を変化させ、所望の膜の形態構造をもたらす、別の種類の材料である。水および特定の水混和性有機材料などの液体は、この膜形成において、単独で、非溶媒の組合せとして、または連続して利用されて、非溶媒として使用することができる。いったん溶液となると、これらのポリマー溶液を、フィルムにキャストし、非溶媒／凝固剤に浸漬し、相分離を誘導して、本開示の多孔質膜を形成することができる。

【0031】

一実施形態では、水混和性非溶媒材料には、メタノール、エタノール、ｎ－プロパノール、イソプロパノール、ｎ－ブタノール、ｓｅｃ－ブタノール、ｔｅｒｔ－ブタノールなどのＣ_１～Ｃ_１０アルカノール類が含まれる。さらに、非溶媒は、グリコール類およびグリコールエーテル類、Ｃ_２～Ｃ_１０ジオール類およびＣ_２～Ｃ_１０トリオール類、テトラヒドロフルフリルアルコール、エチルベンゾエート、アセトニトリル、アセトン、エチレングリコール、プロピレングリコール、１，３－プロパンジオール、ブチリルラクトン、ブチレンカーボネート、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート、ジプロピレングリコール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル、エチレングリコールフェニルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールエチルエーテル、プロピレングリコールｎ－プロピルエーテル、ジプロピレングリコールｎ－プロピルエーテル、トリプロピレングリコールｎ－プロピルエーテル、プロピレングリコールｎ－ブチルエーテル、ジプロピレングリコールｎ－ブチルエーテル、トリプロピレングリコールｎ－ブチルエーテル、プロピレングリコールフェニルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル、ジエチレングリコールモノフェニルエーテルヘキサエチレングリコールモノフェニルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、テトラエチレングリコールジメチルエーテル二塩基エステル、グリセリンカーボネート、Ｎ－ホルミルモルホリン、トリエチルホスフェート、およびこれらの組合せから選択され得る。

【0032】

非溶媒（複数可）の添加では、膜（すなわち、フィルム）形態構造の形成は、多孔度、平均孔径、同様に孔径分布に関して、所望の微細構造の決定において考慮される。したがって、所望の形態構造は、非溶媒（複数可）の選択、濃度、温度などによる両方を介して提供される。一実施形態では、ポリ（キノリン）ポリマーを、テトラヒドロフランに溶解し、イソプロパノールとブレンドし、フィルムにキャストし、次に水に浸漬して、この相分離および多孔質フィルター膜（すなわち、フィルム）の形成を誘導する。

【0033】

したがって、さらなる態様では、本開示は、ポリ（キノリン）ポリマーを含む多孔質膜であって、
約４０μｍ～約３００μｍの厚さ、
約１０ｎｍ～約２００ｎｍの平均孔径
を有し、ポリ（キノリン）ポリマーを水混和性溶媒に溶解して溶液を形成し、続いて少なくとも１つの第１の非溶媒を添加し、続いて平坦な表面上にその溶液をキャストし、それによって被覆面を形成し、続いて少なくとも１つの第２の非溶媒に被覆面を浸漬し、それによって多孔質膜の形成を達成することによって調製される、膜を提供する。

【0034】

この態様の一実施形態では、膜は、１４．２ｐｓｉで測定した場合、約２００秒／５００ｍｌより大きく約５０，０００秒／５００ｍｌ未満のイソプロパノール流動時間を示し、エトキシノナフルオロブタンＨＦＥ７２００を使用して約２２℃の温度で測定した場合、約５～約４００ｐｓｉのバブルポイントを示す。

【0035】

別の実施形態では、バブルポイントは、エトキシノナフルオロブタンＨＦＥ７２００を使用して約２２℃の温度で測定した場合、約５～約１８０ｐｓｉである。

【0036】

一実施形態では、第１の非溶媒はイソプロパノールであり、第２の非溶媒は水である。

【0037】

別の実施形態では、上で言及したポリ（キノリン）の溶液は、ポリ（キノリン）出発物質内に取り込まれる場合がある微量の金属イオンを除去するために、イオン交換樹脂または膜を通して濾過が施されてもよい。例えば、ポリ（キノリン）のテトラヒドロフラン溶液は、本開示の膜の形成前に、イオン交換膜またはイオン交換樹脂ビーズ含有のカラムを通過させて、微量の金属イオンを除去してもよい。

【0038】

本明細書で使用される場合、「フィルター」は、フィルター膜を含む構造を有する物品を指す。

【0039】

一部の実施形態では、本開示のフィルターは、複合フィルター配置を含む。例えば、複合配置を有するフィルターは、２種以上のフィルター物品などの２種以上のフィルター材料を備え得る。例えば、フィルターは、本開示の膜（複数可）を含む第１の多孔質ポリマー膜と、本開示の膜（複数可）を含まないか、または何らかの点で本開示の膜（複数可）とは異なる第２のフィルター材料とを含み得る。第２のフィルター材料はまた、多孔質膜の形態であってもよく、または非－多孔質形態を有するか、または織材料もしくは不織材料などの他のフィルター材料を有するなどのように異なってもよい。第２のフィルター材料は、第１の膜と同じかまたは異なるポリマー材料で作製され得る。

【0040】

したがって、別の態様では、本開示は：
第１のフィルター材料および第２のフィルター材料を備え、第１のフィルター材料の出力側表面（output facing surface）は第２のフィルター材料の入力側表面（input facing surface）と接触し、
第１のフィルター材料は、本明細書に明示される本開示の膜を含み；
第２のフィルター材料は、第１のフィルター材料とは異なる、複合フィルターを提供する。

【0041】

上述のように、フィルター膜は、有機溶媒などの液体組成物から、粒状物質（金属粒子など）、および金属イオン、または有機夾雑物を除去するために使用することができる。本明細書に記載のフィルター膜を使用して濾過され得る、フォトリソグラフィーに使用されるある特定の非限定的な溶媒の例には：酢酸ｎ－ブチル（ｎＢＡ）、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）、酢酸２－エトキシエチル（２ＥＥＡ）、シクロヘキサノン、乳酸エチル、ガンマブチロラクトン、イソペンチルエーテル、２－ヒドロキシイソ酪酸メチル、メチルイソブチルカルビノール（ＭＩＢＣ）、メチルイソブチルケトン（ＭＩＢＫ）、酢酸イソアミル、プロピレングリコールメチルエーテル（ＰＧＭＥ）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、およびプロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）とＰＧＭＥＡの混合溶液（７：３）（すなわち、ＯＫ７３溶媒）２７．７ｍＮ／ｍの混合比表面張力）が含まれる。

【0042】

例えば、一部の実施様式では、溶媒は、目的とする用途に所望されるより高い量の、金属イオンおよび／または金属含有不純物（すなわち、粒状物）、およびまたは有機夾雑物を有する、洗浄溶媒、またはリソグラフィーにおけるレジスト剥離用途、集積回路の形成のための溶媒などが得られる場合がある。例えば、金属不純物は、溶媒中に総量でｐｐｍまたはｐｐｂのレベルで存在し得る。次に、溶媒は、本開示のフィルター膜を通過して、金属夾雑物を除去し、出発溶媒中の金属量より低い金属の濃度または量を有する濾過溶媒を提供する。特定の実施様式では、本開示のフィルター膜は、約２５％（ｗｔ）以上、約３０％（ｗｔ）以上、約３５％（ｗｔ）以上、約４０％（ｗｔ）以上、約４５％（ｗｔ）以上、約５０％（ｗｔ）以上、約５５％（ｗｔ）以上、約６０％（ｗｔ）以上、約６５％（ｗｔ）以上、約７０％（ｗｔ）以上、約７５％（ｗｔ）以上、約８０％（ｗｔ）以上、約８５％（ｗｔ）以上、約９０％（ｗｔ）以上、または約９５％（ｗｔ）以上の量の任意の１つまたは複数の金属を、出発溶媒から除去することができる。

【0043】

金属夾雑物を除去するために処理される溶媒は、流体流からの金属夾雑物の除去を高めるなどの所望の条件下でフィルターを通過し得る。一部の実施様式では、溶媒は、約１２０℃以下、８０℃以下、または４０℃以下の温度でフィルターを通過する。

【0044】

本開示のフィルター膜を通る溶媒の通過は、特定の流速に限定されない。

【0045】

本明細書に記載の多孔質ポリマーのフィルター膜を参照すると、そのような膜は、孔径、バブルポイント、および多孔度を含む物理的特色によって特徴付けることができる。この点に関して、多孔質ポリマーのフィルター膜は、フィルター膜が、フィルター膜としての性能に効果的であることを可能にする任意の孔径を有し得て、例えば、本明細書に記載のように、ミクロ多孔質フィルター膜または限外濾過膜と考えられる場合もある大きさの細孔（平均孔径）を含む。特定の実施形態では、多孔質膜は、約１０ｎｍ～約２００ｎｍ、または約１０ｎｍ～約１００ｎｍの範囲の平均孔径を有し得て、孔径は：除去される不純物の粒度または種類、圧力および圧力降下の要件、ならびにフィルターによって処理される液体の粘度の要件を含む、１つまたは複数の要因に基づいて選択される。孔径は、多孔質材料の平均孔径として報告されることが多く、これは、水銀圧入法（ＭＰ）、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）、液体置換法（ＬＬＤＰ）、または原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）によるなどの公知の技術によって測定することができる。

【0046】

バブルポイントもまた、多孔質膜の公知の特色である。バブルポイント試験法によって、多孔質ポリマーのフィルター膜の試料を公知の表面張力を有する液体に浸漬して濡らし、試料の一片面にガス圧が印可される。ガス圧を徐々に増加させる。ガスが試料を通って流れる最小圧力が、バブルポイントと呼ばれる。多孔質材料のバブルポイントを決定するために、多孔質材料の試料を、エトキシ－ノナフルオロブタンＨＦＥ７２００（３Ｍから入手可能）に、２０～２５℃（例えば、２２℃）の温度で浸漬して濡らす。圧搾空気を使用することによって、ガス圧が試料の一片面（より大きい孔径を有する膜試料の片面）に印可され、ガス圧を徐々に増加させる。膜が非対称である場合、ガス圧は、より大きい孔径を有する膜試料の片面に印可される。本明細書で提供される全てのバブルポイント値は、上述の手順を使用して測定され、別段記述されない限り、初期バブルポイントである。上述の手順を使用して測定された、本記載により有用なまたは好ましい多孔質ポリマーのフィルター膜の有用なバブルポイントの例は、約５～約４００ｐｓｉ、約５～約３５０ｐｓｉ、約５～約３００ｐｓｉ、約５～約２５０ｐｓｉ、約５～約２２５ｐｓｉ、約５～約２００ｐｓｉ、約５～約１８０ｐｓｉ、約５～約１５０ｐｓｉ、約３０～約４００ｐｓｉ、約３０～約３５０ｐｓｉ、約３０～約３００ｐｓｉ、約３０～約２５０ｐｓｉ、約３０～約２２５ｐｓｉ、約３０～約２００ｐｓｉ、約３０～約１８０ｐｓｉ、約３０～約１５０ｐｓｉ、約５０～約４００ｐｓｉ、約５０～約３５０ｐｓｉ、約５０～約３００ｐｓｉ、約５０～約２５０ｐｓｉ、約５０～約２２５ｐｓｉ、約５０～約２００ｐｓｉ、約５０～約１８０ｐｓｉの範囲、ならびにその間の全ての範囲および副範囲であり得る。記載された多孔質ポリマーフィルター層は、多孔質ポリマーフィルター層が、本明細書に記載のように効果的であることを可能にする任意の多孔度を有し得る。例示の多孔質ポリマーフィルター層は、相対的に高い多孔度、例えば少なくとも６０、７０または８０パーセントの多孔度を有し得る。本明細書で使用される場合、多孔質体の技術分野において、多孔質体の「多孔度」（空隙率と呼ばれる場合もある）は、本体の総体積のパーセントとしての、本体中の空隙（すなわち「空の」）の場所の尺度であり、本体の総体積に対する本体の空隙体積の比率として算出される。ゼロパーセント多孔度を有する本体は、完全に固体である。

【0047】

有利なことに、バブルポイントおよびＩＰＡ流動時間（孔径および相互結合性、すなわち、形態構造によって影響を受ける）のバランスは、所望の全般的性能に対して最適化される。

【0048】

記載された多孔質ポリマーのフィルター膜は、任意の有用な厚さ、例えば、約４０μｍ～約３００μｍ、約８０μｍ～約２５０μｍ、または約１２０μｍ～約２００μｍ、または約１４０μｍ～１８０μｍの範囲の厚さを有するシートまたは中空繊維の形態であり得る。

【0049】

特定の実施形態では、本開示の膜は非対称である。

【0050】

本明細書で報告された膜イソプロパノール（ＩＰＡ）流動時間は、５００ｍｌのイソプロピルアルコール流体が、１３．８ｃｍ^２の有効表面積を有する４７ｍｍの膜ディスクを有する膜を、１４．２ｐｓｉで、２１℃の温度において通過するのにかかる時間を測定することによって決定される。

【0051】

記載されたフィルター膜は、濾過システムで使用される多層フィルターアセンブリまたはフィルターカートリッジなどの、より大きいフィルター構造内に含有され得る。濾過システムは、フィルター膜を、例えば多層フィルターアセンブリの一部としてまたはフィルターカートリッジの一部として、フィルターハウジング中に配置して、少なくとも一部の液体化学物質の流れがフィルター膜を通過するように、フィルター膜を液体化学物質の流動路に露出させ、その結果、フィルター膜は、液体化学物質からある量の不純物または夾雑物を除去する。多層フィルターアセンブリまたはフィルターカートリッジの構造には、フィルターアセンブリまたはフィルターカートリッジ内でフィルター膜を支持し、流体が、フィルター入口から流入し、膜（フィルター層を含む）を通って、フィルター出口を通り、それによってフィルターを通過する場合にフィルター膜を通過するようにする、１つまたは複数のさまざまな付加的な材料および構造が含まれ得る。上述のように、フィルターアセンブリまたはフィルターカートリッジによって支持されたフィルター膜は、任意の有用な形状、例えば、中でも、プリーツ状円筒、円筒型パッド、１つまたは複数の非－プリーツ状（平坦）円筒型シート、プリーツ状シートであってもよい。

【0052】

加えて、記載されたフィルター膜は、ある圧力において、膜の単位面積を通過する液体の体積流量として定義される、膜流束によって特徴付けることができる。膜流束は、特定の膜面積を有する膜フィルター機器が、特定の用途に必要とされる液体の流速を供給できるように十分に高くなければならない。膜の流動特徴はまた、膜流動時間によって測定することもでき、これは液体流に対する膜抵抗と考えることができ、５００ｍｌの液体の流れが、１３．８ｃｍ^２の有効表面積を有する４７ｍｍの膜ディスクを、１４．２ｐｓｉの圧力で、２１℃において通過するのに必要とされる時間として定義される。本明細書に記載のフィルター膜は、特定の実施形態では、例えば、相対的に高いバブルポイントと組み合わせて、相対的に低い流動時間を有し得て、良好な濾過性能（例えば、粒子保持によって測定される）を示す。一部の実施形態では、イソプロパノール流動時間は、１４．２ｐｓｉで測定した場合、約２００秒／５００ｍＬより大きい。他の実施形態では、イソプロパノール流動時間は、他の実施形態では、イソプロパノール流動時間は、１４．２ｐｓｉで測定した場合、約２００秒／５００ｍＬより大きく約５０，０００秒／５００ｍＬ未満、約２００秒／５００ｍＬより大きく約２０，０００秒／５００ｍＬ未満、約２００秒／５００ｍＬより大きく約１５，０００秒／５００ｍＬ未満、約２００秒／５００ｍＬより大きく約８，０００秒／５００ｍＬ未満、約２００秒／５００ｍＬより大きく約１，０００秒／５００ｍＬ未満、約５００秒／５００ｍＬより大きく約５０，０００秒／５００ｍＬ未満、約５００秒／５００ｍＬより大きく約２０，０００秒／５００ｍＬ未満、約５００秒／５００ｍＬより大きく約１５，０００秒／５００ｍＬ未満、約２００秒／５００ｍＬより大きく約８，０００秒／５００ｍＬ未満、約５００秒／５００ｍＬより大きく約１，０００秒／５００ｍＬ未満、約１，０００秒／５００ｍＬより大きく約５０，０００秒／５００ｍＬ未満、約１，０００秒／５００ｍＬより大きく約２０，０００秒／５００ｍＬ未満、約１，０００秒／５００ｍＬより大きく約１５，０００秒／５００ｍＬ未満、約２００秒／５００ｍＬより約８，０００秒／５００ｍＬ未満、ならびにその間の任意の範囲および副範囲である。

【0053】

したがって、さらなる態様では、本開示は、１つまたは複数の粒状物質および／または金属イオンおよび／または有機夾雑物を、液体組成物から除去する方法であって、前記液体組成物は、少なくとも１つの粒状物質および／または金属イオンを含み：
（ｉ）液体組成物を、本開示の膜を通過させることと、
（ｉｉ）液体組成物中の１つまたは複数の粒状物質および／または金属イオンおよび／または有機夾雑物の量を低減し、それによって精製された液体組成物を提供することと
を含む、方法を提供する。

【実施例】

【0054】

実施例１
５，５’－オキシビス（フェニル－２，１－ベンゾイソオキサゾール）（２ａ）：
氷浴中の、１２０ｍＬの無水メタノールおよび３４０ｍＬのテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）中の水酸化ナトリウム（２１．６０ｇ、０．５４ｍｏｌ）の激しく撹拌した溶液に、フェニルアセトニトリル（２７．４ｍＬ、２９．７０ｇ、０．２０ｍｏｌ）を滴下添加した。次に、４，４’－ジニトロジフェニルエーテル（１３．００ｇ、０．０５ｍｏｌ）を、４回に等分してゆっくり添加し、混合物を氷浴中で５分間撹拌した。得られた暗緑色のスラリーを、還流温度で２０時間加熱した。氷浴中で冷却した後、得られた暗色の沈殿物を濾過し、冷メタノールで、メタノール洗浄液が透明になるまで洗浄して、黄色粉末（１２．６０ｇ、５４％）を得た。

【0055】

実施例２
４，４’－ジアミノ－３，３’－ジ（ベンゾイル）ジフェニルエーテル（２）
合計０．５６ｇの粉末炭上の１０％パラジウムを、３５ｍＬの乾燥ＴＨＦおよび１．０ｍＬのトリエチルアミン中の上記式（Ｃ）の化合物（４．００ｇ、８．６０ｍｍｏｌ）の懸濁液に添加した。懸濁液を水素ガスでフラッシュし、水素雰囲気下、室温で２７時間撹拌した。反応混合物に、１０ｍＬのＴＨＦ中の０．２８ｇの粉末炭上の１０％パラジウムをさらに添加し、水素化をさらに１４時間継続した。触媒を濾過によって除去し、溶媒をロータリーエバポレーションによって減圧下で除去した。得られた油状物を、ヘキサン／酢酸エチル（１：１）を溶離液として用いて、シリカゲル充填カラムを通して精製し、黄色結晶（２．８０ｇ、７０％）を得た。

【0056】

実施例３
代表的なポリ（キノリン）ポリマーの合成
上記式（Ａ）の化合物（２．００ｍｍｏｌ）、上記式（Ｂ）の化合物（２．００ｍｍｏｌ）、ジフェニルホスフェート（ＤＰＰ）（１２．５１ｇ、５０．０ｍｍｏｌ）、および新しく蒸留したｍ－クレゾール（２．４０ｍＬ、２３．０ｍｍｏｌ）の混合物を、三つ口フラスコに入れた。撹拌しながら、反応混合物を、窒素で約２０分間フラッシュし、次に、油浴中で、室温から１３５～１４０℃まで約３０分間加熱した。この温度で４８時間、窒素雰囲気下で維持した。

【0057】

冷却した後、得られた粘性溶液を、１０％ｖ／ｖのトリエチルアミンを含有するメタノール４００ｍＬの撹拌した溶液に滴下添加した。沈殿したポリマーを、３０ｍＬのクロロホルムまたはテトラヒドロフランに再溶解し、１０％ｖ／ｖのトリエチルアミンを含有するメタノール４００ｍＬの撹拌した溶液にゆっくり添加することによって再沈殿させた。ポリマーを吸引濾過によって収集し、ソックスレー抽出器で、１０％ｖ／ｖのトリエチルアミンを含有するメタノール溶液を用いて２４時間連続抽出し、次に、真空下、１００℃で２４時間乾燥して、灰色がかった白色のポリマーを９６％収率（１．５１ｇ）で得た。

【0058】

実施例４
フィルター膜の調製
全般に実施例３の手法で調製した、ポリ（キノリン）（ＰＱ）ポリマーの粉末形態における６．８ｇの試料を、５０ｇのテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）溶媒に、オーバーヘッド撹拌器による撹拌下で添加した。ポリマーが十分に溶解した後、１５．５ｇのイソプロパノール（ＩＰＡ）を、非溶媒として溶液に添加した。ポリマー溶液の薄いフィルムを、ガラス上におよそ１５０～２００ミクロンの厚さでキャストし、続いてそれを水浴に室温で浸漬することによって、ＰＱ膜を作製した。形成された膜を、室温で２４時間乾燥させた。次に、膜のＩＰＡ流動時間およびバブルポイントを測定し、ＩＰＡ流動時間およびバブルポイントの結果を以下の表に示す。

【0059】

態様
第１の態様では、本開示は、ポリ（キノリン）ポリマーを含む多孔質膜であって、約４０μｍ～約３００μｍの厚さを有する、多孔質膜を提供する。

【0060】

第２の態様では、本開示は、エトキシノナフルオロブタンＨＦＥ７２００を使用して約２２℃の温度で測定した場合、約５～約４００ｐｓｉのバブルポイントを示す、第１の態様の膜を提供する。

【0061】

第３の態様では、本開示は、約１０～約２００ｎｍの平均孔径を有する、第１または第２の態様の膜を提供する。

【0062】

第４の態様では、本開示は、ポリ（キノリン）ポリマーは、以下の式：

［式中、各Ｒは、水素、フェニル、置換フェニル、チエニルまたはＣ_１～Ｃ_６アルキル基から独立して選択される］
の部分で構成される、第１から第３の態様のいずれか１つの膜を提供する。

【0063】

第５の態様では、本開示は、ポリ（キノリン）ポリマーは、以下の式の部分：

［式中、各Ｒは、水素、フェニル、チエニル、置換フェニル、またはＣ_１～Ｃ_６アルキル基から独立して選択される］
で構成される、第１から第４の態様のいずれか１つの膜を提供する。

【0064】

第６の態様では、本開示は、各Ｒは水素である、第５または第６の態様の膜を提供する。

【0065】

第７の態様では、本開示は、１つのＲは水素であり、他のＲはフェニルである、第５または第６の態様の膜を提供する。

【0066】

第８の態様では、本開示は、ポリ（キノリン）ポリマーは、式（ＩＩＩ）：

(III)
［式中、Ｙは：
ａ．酸素、
ｂ．式：

の二価のケトン部分、
ｃ．式

の二価のスルホン部分、または
ｄ．式

の二価の基
から選択され、
各Ｒは、水素、フェニル、チエニル、置換フェニル、またはＣ_１～Ｃ_６アルキル基から独立して選択され、Ｒ^１は、Ｃ_１～Ｃ_６アルキル、またはフッ素原子で１回もしくは複数回置換されたＣ_１～Ｃ_６アルキルから独立して選択される］
の繰り返し単位で構成される、第１から第７の態様のいずれか１つの膜を提供する。

【0067】

第９の態様では、本開示は、Ｒはフェニルである、第８の態様の膜を提供する。

【0068】

第１０の態様では、本開示は、Ｙは、式

の基であり、各Ｒ^１はトリフルオロメチルである、第８または第９の態様の膜を提供する。

【0069】

第１１の態様では、本開示は、１４．２ｐｓｉで測定した場合、約２００秒／５００ｍｌより大きく約５０，０００秒／５００ｍｌ未満のイソプロパノール流動時間を示し、エトキシノナフルオロブタンＨＦＥ７２００を使用して約２２℃の温度で測定した場合、約５～約３００ｐｓｉのバブルポイントを示す、第１から第１０の態様のいずれか１つの膜を提供する。

【0070】

第１２の態様では、本開示は、ポリ（キノリン）ポリマーを含む多孔質膜であって、
約４０μｍ～約３００μｍの厚さ、および
約１０ｎｍ～約２００ｎｍの平均孔径
を有し、ポリマーを水混和性溶媒に溶解して溶液を形成し、続いて少なくとも１つの第１の非溶媒を添加し、続いて平坦な表面上にその溶液をキャストし、それによって被覆面を形成し、続いて少なくとも１つの第２の非溶媒に被覆面を浸漬し、それによって多孔質膜の形成を達成することによって調製される、膜を提供する。

【0071】

第１３の態様では、本開示は、１４．２ｐｓｉで測定した場合、約２００秒／５００ｍｌより大きく約５０，０００秒／５００ｍｌ未満のイソプロパノール流動時間を示し、エトキシノナフルオロブタンＨＦＥ７２００を使用して約２２℃の温度で測定した場合、約５～約４００ｐｓｉのバブルポイントを示す、第１２の態様の膜を提供する。

【0072】

第１４の態様では、本開示は、平坦な表面上に溶液をキャストする前に、溶液をイオン交換樹脂または膜を通して濾過することによって精製する工程をさらに含み、それによって、微量の金属イオン夾雑物を除去する、第１２または第１３の態様の膜を提供する。

【0073】

第１５の態様では、本開示は、第１の非溶媒はイソプロパノールを含む、第１２から第１４の態様のいずれか１つの膜を提供する。

【0074】

第１６の態様では、本開示は、第２の非溶媒は水を含む、第１２から第１５の態様のいずれか１つの膜を提供する。

【0075】

第１７の態様では、本開示は、水混和性溶媒は、テトラヒドロフラン、Ｎ－メチルピロリドン、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、ジオキサン、またはテトラヒドロピランから選択される、第１２から第１６の態様のいずれか１つの膜を提供する。

【0076】

第１８の態様では、本開示は、水混和性溶媒はテトラヒドロフランを含む、第１２から第１７の態様のいずれか１つの膜を提供する。

【0077】

第１９の態様では、本開示は、１つまたは複数の粒状物質および／または金属イオンおよび／または有機夾雑物を液体組成物から除去する方法であって、前記液体組成物は、少なくとも１つの粒状物質および／または金属イオンおよび／または有機夾雑物を含み：
（ｉ）液体組成物を、請求項１から１８のいずれか一項に記載の膜を通過させることと、
（ｉｉ）液体組成物中の１つまたは複数の粒状物質および／または金属イオンおよび／または有機夾雑物の量を低減し、それによって精製された液体組成物を提供することと
を含む、方法を提供する。

【0078】

第２０の態様では、本開示は、液体組成物は、酢酸ｎ－ブチル、イソプロピルアルコール、酢酸２－エトキシエチル、シクロヘキサノン、乳酸エチル、ガンマブチロラクトン、イソペンチルエーテル、２－ヒドロキシイソ酪酸メチル、メチルイソブチルカルビノール、メチルイソブチルケトン、酢酸イソアミル、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、およびこれらの組合せから選択される溶媒を含む、第１９の態様の方法を提供する。

【0079】

第２１の態様では、本開示は、第１から第１８の態様のいずれか１つの膜を含むフィルターを提供する。

【0080】

第２２の態様では、本開示は：
第１のフィルター材料および第２のフィルター材料を備え、第１のフィルター材料の出力側表面は第２のフィルター材料の入力側表面と接触し、
第１のフィルター材料は、請求項１から１８のいずれか一項に記載の膜を含み、
第２のフィルター材料は、第１のフィルター材料とは異なる、複合フィルターを提供する。

【0081】

このように、本開示のいくつかの例示的な実施形態を記載してきたが、当業者には、本明細書に添付した特許請求の範囲の内で、さらに他の実施形態が作成され、使用され得ることが容易に理解されるであろう。本文書に包含される本開示の多くの利点は、前述の記載に明示されてきた。しかしながら、本開示は、多くの点で、単に例示的なものであることが理解されよう。本開示の範囲は、当然のことながら、添付の特許請求の範囲が表現される原語において定義される。

【図1】

【図2】

【国際調査報告】