特表 2024-524956 マウント装置、リソグラフィ装置、及びマウント装置を製造する方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-07-09

(54)【発明の名称】マウント装置、リソグラフィ装置、及びマウント装置を製造する方法

(51)【国際特許分類】

   G03F 7/20 20060101AFI20240702BHJP

   G02B 7/00 20210101ALI20240702BHJP

【ＦＩ】

G03F7/20 521

G03F7/20 501

G02B7/00 F

【審査請求】未請求

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2023578118

(86)(22)【出願日】2022-05-30

(85)【翻訳文提出日】2024-02-05

(86)【国際出願番号】 EP2022064618

(87)【国際公開番号】W WO2022268445

(87)【国際公開日】2022-12-29

(31)【優先権主張番号】102021206515.5

(32)【優先日】2021-06-24

(33)【優先権主張国・地域又は機関】DE

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】503263355

【氏名又は名称】カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

(74)【代理人】

【識別番号】100147485

【弁理士】

【氏名又は名称】杉村 憲司

(74)【代理人】

【識別番号】230118913

【弁護士】

【氏名又は名称】杉村 光嗣

(74)【代理人】

【識別番号】100230514

【弁理士】

【氏名又は名称】泉 卓也

(72)【発明者】

【氏名】ラオ ラドハクリシュナ

(72)【発明者】

【氏名】ロビン グロリアン

【テーマコード（参考）】

2H043

2H197

【Ｆターム（参考）】

2H043AE02

2H043AE22

2H197CA06

2H197CA10

2H197CB13

2H197CC13

2H197GA01

2H197GA14

2H197GA23

2H197HA03

(57)【要約】

本発明は、第１及び第２コンポーネント（２０２、２０４）と第１及び第２コンポーネント（２０２、２０４）を相互に固定する接着剤（２１２、２１２’）とを有する、リソグラフィ装置（１００Ａ、１００Ｂ）の第２コンポーネント（２０４）上で第１コンポーネント（２０２）を支持するマウント装置（２００）であって、第１コンポーネント（２０２）は、少なくとも２つの相互傾斜面（２１６）と、２つの面（２１６）を接続する第１接着面（２１８）とを有し、第２コンポーネント（２０４）は、少なくとも２つの相互傾斜面（２１６）間に収容され且つ球面部（２２６）及び第２接着面（２３０）を含む少なくとも１つの球形部（２２０）を有し、第２接着面（２３０）は、断面で見ると球面部（２２６）の２つの副部（２３２、２３４）間に配置され、接着剤（２１２、２１２’）は、第１及び第２接着面（２１８、２３０）間に配置される、マウント装置（２００）に関する。

【特許請求の範囲】

【請求項1】

リソグラフィ装置（１００Ａ、１００Ｂ）の第２コンポーネント（２０４）に第１コンポーネント（２０２）を取り付けるマウント装置（２００）であって、
前記第１コンポーネント（２０２）及び前記第２コンポーネント（２０４）と、前記第１コンポーネント（２０２）及び前記第２コンポーネント（２０４）を相互に固定する接着剤（２１２、２１２’）と
を備え、前記第１コンポーネント（２０２）は、少なくとも２つの相互傾斜面（２１６）と、該２つの面（２１６）を接続する第１接着面（２１８）とを有し、
前記第２コンポーネント（２０４）は、前記少なくとも２つの相互傾斜面（２１６）間に収容され且つ球面部（２２６）及び第２接着面（２３０）を含む少なくとも１つの球形部（２２０）を有し、前記第２接着面（２３０）は、断面で見ると前記球面部（２２６）の２つの副部（２３２、２３４）間に配置され、
前記接着剤（２１２、２１２’）は、前記第１接着面（２１８）と前記第２接着面（２３０）との間に配置されるマウント装置。

【請求項2】

請求項１に記載のマウント装置において、前記第１コンポーネント（２０２）は、少なくとも１つの溝（２１４、２１４’）、Ｖ溝（２１４、２１４’）、円錐溝、円錐セグメントの形状の溝、漏斗状の溝、球根状の溝、球根状カップの形態の溝、及び／又は特に断面で見ると前記２つの相互傾斜面（２１６）を有する漏斗状の溝を有するマウント装置。

【請求項3】

請求項１又は２に記載のマウント装置において、前記第１コンポーネント（２０２）及び前記第２コンポーネント（２０４）は、前記２つの相互傾斜面（２１６）及び前記球形部（２２０）によりそれぞれ形成される点接触又は面接触（Ａ１、Ａ２）でのみ相互に直接当接し、さらに、前記接着剤（２１２、２１２’）により前記第１接着面（２１８）及び前記第２接着面（２３０）で相互に接着接合されるマウント装置。

【請求項4】

請求項１～３のいずれか１項に記載のマウント装置において、前記第１接着面（２１８）及び前記第２接着面（２３０）は、それぞれが複数の離散的な接着面（２１８、２３０）を含むマウント装置。

【請求項5】

請求項２～４のいずれか１項に記載のマウント装置において、
前記第１コンポーネント（３０２）は、前記少なくとも１つのＶ溝（３１４）と連通する少なくとも１つの凹部（３４０）を含み、前記第１接着面（３１８）を有し、且つ前記接着剤（３１２、３１２’）が配置され、
前記第２コンポーネント（３０４）は、前記少なくとも１つの球形部（３２０）に、断面で見ると前記球面部（３２６）の前記２つの副部（３３２、３３４）間に突出しており前記第２接着面（３３０）を有する少なくとも１つの突起（３４４）を含み、
該突起（３４４）は、前記第１コンポーネント（３０２）の前記凹部（３４０）に挿入されて前記接着剤（３１２、３１２’）によりそこに接着接合されるマウント装置。

【請求項6】

請求項５に記載のマウント装置において、前記第２コンポーネント（３０４）は、少なくとも１つのねじ付きピン（３４６）を有し、該ねじ付きピン（３４６）の第１端部（３４８）は前記少なくとも１つの球形部（３２０）のねじ孔（３５２）に螺入され、第２端部（３５４）は前記第２接着面（３３０）を有する前記突起（３４４）を形成するマウント装置。

【請求項7】

請求項５又は６に記載のマウント装置において、前記少なくとも１つの突起（３４４’）は、第１屈曲軸（Ｘ）及び該第１屈曲軸（Ｘ）に対して垂直な第２屈曲軸（Ｙ）を中心に前記少なくとも１つの球形部（３２０）に対して屈曲可能であるよう設計され、前記第１屈曲軸（Ｘ）及び前記第２屈曲軸（Ｙ）の両方は、前記第１コンポーネント（３０２）から前記第２コンポーネント（３０４）へ向かう方向（Ｚ）に対して垂直に配置されるマウント装置。

【請求項8】

請求項７に記載のマウント装置において、前記少なくとも１つの突起（３４４’）は、前記第１屈曲軸（Ｘ）を中心に曲がる少なくとも１つの第１板ばね（３６０）と、前記第２屈曲軸（Ｙ）を中心に曲がる少なくとも１つの第２板ばね（３６６）とを有するマウント装置。

【請求項9】

請求項１～４のいずれか１項に記載のマウント装置において、前記第２コンポーネント（４０４）は、前記少なくとも１つの球形部（４２０）に形成され且つ前記第２接着面（４３０）を有する少なくとも１つの凹部（４４０）を含むマウント装置。

【請求項10】

請求項１～４のいずれか１項又は請求項９に記載のマウント装置において、前記第２コンポーネント（４０４）は、少なくとも１つのねじ（４４２）を有し、該ねじ（４４２）は、第１端部（４４４）が前記第２コンポーネント（４０４）のねじ孔（４４６）に螺入され、第２端部（４４８）に前記少なくとも１つの球形部（４２０）の１つを形成する球頭部（４５０）を有するマウント装置。

【請求項11】

請求項１～１０のいずれか１項に記載のマウント装置において、前記第１コンポーネント（２０２）及び前記第２コンポーネント（２０４）の一方は、前記リソグラフィ装置（１００Ａ、１００Ｂ）の光学素子（２０６）のキャリア（２０２）であり、前記第１コンポーネント（２０２）及び前記第２コンポーネント（２０４）の他方は、前記リソグラフィ装置（１００Ａ、１００Ｂ）の前記光学素子（２０６）の環状カバー（２０４）であるマウント装置。

【請求項12】

請求項１～１１のいずれか１項に記載のマウント装置において、
前記第１コンポーネント（２０２）は、０以外の角度（α、γ、β）だけ相互にオフセットして配置される３つのＶ溝（２１４’）を含み、
前記第２コンポーネント（２０４）は、前記０以外の角度（α、β、γ）だけ相互にオフセットして配置される３つの球形部（２２０）を含み、
前記第１コンポーネント（３０２）は、前記少なくとも１つのＶ溝（３１４、３１４’）と連通し前記０以外の角度（α、β、γ）だけ相互にオフセットして配置される３つの凹部（３４０）を含み、
前記第２コンポーネント（３０４）は、前記０以外の角度（α、β、γ）だけ相互にオフセットして配置される３つの突起（３４４、３４４’）を含み、且つ／又は
前記第２コンポーネント（４０４）は、前記少なくとも１つの球形部（４２０）に形成され前記０以外の角度（α、β、γ）だけ相互にオフセットして配置される３つの凹部（４４０）を含むマウント装置。

【請求項13】

請求項１～１２のいずれか１項に記載のマウント装置において、
前記少なくとも１つの球形部（２２０）は、球欠及び／又は球状楔形であるか、又は
該マウント装置は、正確に１つの球形部（２２０）及び正確に１つのＶ溝（２１４）を含み、前記球形部（２２０）はトロイダル部であり、前記Ｖ溝（２１４）は環状のＶ溝（２１４）であるマウント装置。

【請求項14】

リソグラフィ装置（１００Ａ、１００Ｂ）であって、請求項１～１３のいずれか１項に記載のマウント装置（２００）を備えたリソグラフィ装置。

【請求項15】

リソグラフィ装置（１００Ａ、１００Ｂ）用のマウント装置（２００）を製造する方法であって、
ａ）少なくとも２つの相互傾斜面（２１６）及び該２つの面（２１６）を接続する第１接着面（２１８）を含む第１コンポーネント（２０２）を用意するステップ（Ｓ１）と、
ｂ）球面部（２２６）及び断面で見ると該球面部（２２６）の２つの副部（２３２、２３４）間に配置される第２接着面（２３０）を有する少なくとも１つの球形部（２２０）を含む第２コンポーネント（２０４）を用意するステップ（Ｓ２）と、
ｃ）前記少なくとも１つの球形部（２２０）が前記少なくとも２つの相互傾斜面（２１６）間に収容されて、前記第１接着面（２１８）が前記第２接着面（２３０）に隣接して配置されるように、前記第２コンポーネント（２０４）を前記第１コンポーネント（２０２）上に配置するステップ（Ｓ３）と、
ｄ）前記第１接着面（２１８）及び／又は前記第２接着面（２３０）に接着剤（２１２、２１２’）を塗布するステップ（Ｓ４）と、
ｅ）前記接着剤（２１２、２１２’）を硬化させるステップ（Ｓ５）と
を含む方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、マウント装置、当該マウント装置を有するリソグラフィ装置、及びマウント装置を製造する方法に関する。

【0002】

優先権出願の独国特許出願第１０ ２０２１ ２０６ ５１５．５号の内容の全体を参照により援用する。

【背景技術】

【0003】

マイクロリソグラフィは、微細構造コンポーネント、例えば集積回路の製造に用いられる。マイクロリソグラフィプロセスは、照明系及び投影系を有するリソグラフィ装置を用いて実行される。この場合、照明系により照明されたマスク（レチクル）の像を、投影系により、感光層（フォトレジスト）で被覆されて投影系の像平面に配置された基板、例えばシリコンウェハに投影することで、マスク構造を基板の感光コーティングに転写するようにする。

【0004】

接着接続によりリソグラフィ装置の光学素子のキャリアに固定される機械コンポーネントの場合、用いられる接着剤の硬化は、コンポーネントの変位又は傾斜につながり得る。大きな面積に接着剤を塗布する場合、硬化により光学素子のキャリアに力が加わるようにもなり得ることで、光学素子の大きな傾斜につながり得る。これは、レンズ素子又はミラー等の光学素子の光学特性に影響を及ぼす可能性がある。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

こうした背景から、本発明の目的は、改良されたマウント装置、当該マウント装置を有するリソグラフィ装置、及び上記マウント装置を製造する方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

したがって、リソグラフィ装置の第２コンポーネントに第１コンポーネントを取り付けるマウント装置が提案される。マウント装置は、
第１コンポーネント及び第２コンポーネントと、第１コンポーネント及び第２コンポーネントを相互に固定する接着剤と
を備え、第１コンポーネントは、少なくとも２つの相互傾斜面と、２つの面を接続する第１接着面とを有し、
第２コンポーネントは、少なくとも２つの相互傾斜面間に収容され且つ球面部及び第２接着面を含む少なくとも１つの球形部を有し、第２接着面は、断面で見ると球面部の２つの副部間に配置され、
接着剤は、第１接着面と第２接着面との間に配置される。

【0007】

２つの相互傾斜面間に挿入される少なくとも１つの球形部により、第１コンポーネント及び第２コンポーネントを相互に取り付けることで、第１コンポーネント及び第２コンポーネントが取付領域の点接触又は小さな面接触でのみ相互に直接当接する。これにより、この取付けの外側での第１コンポーネントと第２コンポーネントとの間の面接触の形態の強い接触を回避することが可能となる。第１コンポーネント及び第２コンポーネントの接着面に塗布された接着剤が硬化中に収縮する場合、この強い接触の回避により、第１コンポーネント及び／又は第２コンポーネントにかかる力が低減される。特に、接着剤収縮により生じる第１コンポーネント及び／又は第２コンポーネントの傾斜を回避することができる。例えば、第２コンポーネント（例えば、第１コンポーネントよりも軽い）が硬化中の接着剤の収縮により変位又は傾斜した場合でも、提案されるような取付け（及び取付けの外側で強い面接触がないこと）により、第１コンポーネントにかかる力の伝達が回避される。特に、第１コンポーネント及び／又は第２コンポーネントの位置に対する接着剤硬化の影響を低減することができる。

【0008】

例えば、リソグラフィ装置は、ＤＵＶ又はＥＵＶリソグラフィ装置である。ＥＵＶは「極紫外線」（ＥＵＶ）を意味し、０．１ｎｍ～３０ｎｍ、特に１３．５ｎｍの使用光の波長を示す。さらに、ＤＵＶは「深紫外線」（ＤＵＶ）を意味し、３０ｎｍ～２５０ｎｍの使用光の波長を示す。

【0009】

ＤＵＶ又はＥＵＶリソグラフィ装置は、ビーム整形・照明系及び投影系を備える。特に、ＤＵＶ又はＥＵＶリソグラフィ装置を用いて、照明系により照明されたマスク（レチクル）の像を、投影系により、感光層（フォトレジスト）で被覆されて投影系の像平面に配置された基板、例えばシリコンウェハに投影することで、マスク構造を基板の感光コーティングに転写するようにする。

【0010】

第１コンポーネント及び／又は第２コンポーネントは、特に機械コンポーネントである。例えば、第１コンポーネント及び／又は第２コンポーネントは、キャリア、架台、ホルダ、及び／又はカバーである。第１コンポーネント又は第２コンポーネントは、例えば、ＤＵＶ又はＥＵＶリソグラフィ装置のレンズ素子又はミラー等の光学素子のキャリア及び／又は架台である。例えば、第１コンポーネント又は第２コンポーネントは、光学素子の保護カバーである。第１コンポーネント及び／又は第２コンポーネントは、例えば、リソグラフィ装置の測定系のホルダ、絞り、又は別の要素でもあり得る。例えば、第１コンポーネント及び／又は第２コンポーネントは金属製である。

【0011】

接着剤は、特に、液体又は粘性状態で第１接着面及び／又は第２接着面に塗布され硬化されて接着接続を与える接着剤である。例えば、接着剤は、物理的に硬化する接着剤又は化学的に硬化する接着剤である。接着剤は、硬化すると固化し、固化状態で第１コンポーネントと第２コンポーネントとの間、特に第１接着面と第２接着面との間に固体の接着剤層を形成する。このようにして形成された接着剤層は、特に、第１接着剤層及び第２接着剤層上に直接位置し、これらを相互に固定する。

【0012】

２つの相互傾斜面及び第１接着面は、特に球形部を収容する溝を画定又は形成する。例えば、第１接着面は、第１コンポーネントから第２コンポーネントへ向かう方向に対して少なくとも部分的に垂直に配置され得る。第１接着面は、例えば、断面で見ると２つの相互傾斜面を一直線に接続することができる。換言すれば、第１接着面は単一の平面内にあり得る。しかしながら、第１接着面は、断面で見ると第１接着面の側で閉じる溝ができるように２つの相互傾斜面を接続する限り、他の形状及び配置を有することもできる。

【0013】

例えば、球形部は、第２コンポーネントと一体的に形成される。代替として、球形部は、第２コンポーネントに取着（例えば、螺着、挟着、接着）される別個の要素でもあり得る。球形部の球面部は、特に球に従って湾曲している。例えば、球形部は、第２接着面を設けるために第１コンポーネントに隣接する端では平坦化される。球面部は、特に第１コンポーネントに隣接して第２接着面により中断される。

【0014】

球形部が２つの相互傾斜面間に挿入される場合、２つの相互傾斜面と球形部、すなわちその球面部との間に小さな面接触、特に点接触又は公差及び変形に関連する接触がある。

【0015】

２つの相互傾斜面は、特に断面で見ると直線的である（例えば、Ｖ溝、円錐溝、円錐セグメントの形状の溝、及び／又は漏斗状の溝の場合）。代替として、２つの相互傾斜面は、断面で見ると湾曲していてもよい（例えば、球根状の溝及び／又は球根状カップの形態の溝の場合）。

【0016】

例えば、２つの相互傾斜面は、２つの相互傾斜平面である（例えば、Ｖ溝の場合）。代替として、２つの相互傾斜面は、例えばそれ自体が湾曲した任意の表面とすることができる（例えば、円錐溝、円錐セグメントの形状の溝、及び／又は漏斗状の溝の場合）。

【0017】

一実施形態によれば、第１コンポーネントは、少なくとも１つの溝、Ｖ溝、円錐溝、円錐セグメントの形状の溝、漏斗状の溝、球根状の溝、球根状カップの形態の溝、及び／又は特に断面で見ると２つの相互傾斜面を有する漏斗状の溝を含む。

【0018】

例えば、これはＶ溝であり、２つの相互傾斜面は、断面で見るとＶ字形に傾斜している。例えば、Ｖ溝は、第２接着面を形成するために、その先端がＶ字形とは異なる設計である（例えば、平坦化されるか又はさらなる窪み／凹部を有する）。先端が平坦化されたＶ溝を、円錐セグメントとも称し得る。

【0019】

さらに別の実施形態によれば、第１コンポーネント及び第２コンポーネントは、２つの相互傾斜面及び球形部によりそれぞれ形成される点接触又は面接触でのみ相互に直接当接する。さらに、第１コンポーネント及び第２コンポーネントは、接着剤により第１接着面及び第２接着面で相互に接着接合される。

【0020】

特に、第１コンポーネント及び第２コンポーネントは、点接触又は面接触（すなわち、２つの相互傾斜面と球形部との間の点接触又は面接触）以外でのみ相互に接着接合される。特に、接着接続は、接着剤による間接的な接触にすぎない。

【0021】

例えば、第１コンポーネント及び第２コンポーネントは、合計６つの点接触又は面接触で相互に直接隣接するだけである。

【0022】

さらに別の実施形態によれば、第１接着面及び第２接着面はそれぞれが複数の離散的な接着面を含む。

【0023】

これにより、接着剤の量又は接着剤で覆われる面積を減らすことが可能となる。結果として、第１コンポーネント及び／又は第２コンポーネントの位置に対する接着剤硬化の影響をさらに低減することができる。

【0024】

特に、マウント装置は、接着剤の硬化状態で、第１コンポーネントと第２コンポーネントとの間に複数の相互に離間した離散的な接着剤層を含む。特に、第１接着面及び第２接着面は、円周状及び／又は環状の接着面ではない。

【0025】

例えば、マウント装置は、接着剤の硬化状態で、相互に離間した合計３つの離散的な接着剤層を含む。

【0026】

さらに別の実施形態によれば、第１コンポーネントは、少なくとも１つのＶ溝と連通する少なくとも１つの凹部を含み、第１接着面を有し、且つ接着剤が配置される。さらに、第２コンポーネントは、少なくとも１つの球形部に、断面で見ると球面部の２つの副部間に突出しており第２の接着面を有する少なくとも１つの突起を含む。さらに、突起は、第１コンポーネントの凹部に挿入されて接着剤によりそこに接着接合される。

【0027】

特に、第１接着面は、凹部の内壁に形成される。特に、第２接着面は、突起の外壁に形成される。

【0028】

第１接着面を凹部の内壁の形態で設けることにより、接着剤をさらにより具体的且つより画定的に塗布することができる。特に、所定の第１接着面の外側に接着剤が塗布されるのを回避することができる。液体又は粘性形態の接着剤が第１コンポーネント及び／又は第２コンポーネントの第１接着面及び第２接着面の外側の領域に広がるのをより良好に防止することも可能である。

【0029】

例えば、凹部は、ポットであるか又はポット形状を有する。特に、凹部は環状（円周状）凹部ではない。

【0030】

突起は、例えばピン形状を有する。特に、突起は環状（円周状）突起ではない。例えば、突起は、第２コンポーネントと一体的に形成される。代替として、突起は、第２コンポーネントに取着（例えば、螺着、挟着、接着）される別個の要素でもあり得る。突起は、特に第１コンポーネントの方向に突出する。

【0031】

さらに別の実施形態によれば、第２コンポーネントは、少なくとも１つのねじ付きピンを有し、ねじ付きピンの第１端部は少なくとも１つの球形部のねじ孔に螺入され、第２端部は第２接着面を有する突起を形成する。

【0032】

これにより、第２コンポーネント及び特に突起の製造が容易になる。

【0033】

例えば、ねじ付きピンは、ねじ頭のないグラブねじである。

【0034】

さらに別の実施形態によれば、少なくとも１つの突起は、第１屈曲軸及び第１屈曲軸に対して垂直な第２屈曲軸を中心に少なくとも１つの球形部に対して屈曲可能であるよう設計される。第１屈曲軸及び第２屈曲軸は、第１コンポーネントから第２コンポーネントへ向かう方向に対して垂直に配置される。

【0035】

突起は球形部に対して曲がることができるので、例えば接着剤収縮の発生による接着剤の硬化中の接着剤による力を補償することが可能である。

【0036】

例えば、突起は、上述のようにねじ付きピンにより形成され、ねじ付きピンは、特にその第２端部で第１屈曲軸及び第２屈曲軸を中心に屈曲可能であるように設計される。

【0037】

さらに別の実施形態によれば、少なくとも１つの突起は、第１屈曲軸を中心に曲がる少なくとも１つの第１板ばねと、第２屈曲軸を中心に曲がる少なくとも１つの第２板ばねとを有する。

【0038】

これにより、第１屈曲軸及び第２屈曲軸を中心とした屈曲特性の実現が容易になる。

【0039】

特に、第１板ばねの主延在方向は、第２板ばねの主延在方向に対して垂直に配置される。特に、第１板ばね及び第２板ばねの主延在方向は、第１コンポーネントから第２コンポーネントへの方向と水平に配置される。

【0040】

例えば、突起は、内部空洞及びこの空洞を囲む側壁を有するピンを有し、板ばねは、側壁の適当な切込み（すなわち隙間）により形成される。

【0041】

さらに別の実施形態によれば、第２コンポーネントは、少なくとも１つの球形部に形成され且つ第２接着面を有する少なくとも１つの凹部を含む。

【0042】

特に、第２接続面は、少なくとも１つの球形部に形成された凹部の内壁により形成される。

【0043】

第２接着面を凹部の内壁の形態で設けることにより、接着剤が凹部に浸透することができる。したがって、所定の第１接着面及び第２接着面の外側に接着剤が広がるのをより良好に回避することができる。例えば、液体又は粘性形態の接着剤が第１コンポーネント及び／又は第２コンポーネントの第１接着面及び第２接着面の外側の領域に広がるのをより良好に防止することが可能である。

【0044】

少なくとも１つの球形部に形成された凹部は、例えばポットであるか又はポット形状を有する。少なくとも１つの球形部に形成された凹部は、特に環状（円周状）凹部ではない。

【0045】

さらに別の実施形態によれば、第２コンポーネントは、少なくとも１つのねじを有し、ねじは、第１端部が第２コンポーネントのねじ孔に螺入され、第２端部に少なくとも１つの球形部の１つを形成する球頭部を有する。

【0046】

したがって、第２コンポーネントの、特に少なくとも１つの球形部の突起の製造を簡略化することができる。

【0047】

さらに別の実施形態によれば、第１コンポーネント及び第２コンポーネントの一方は、リソグラフィ装置の光学素子のキャリアであり、第１コンポーネント及び第２コンポーネントの他方は、リソグラフィ装置の光学素子の環状カバーである。

【0048】

その結果、マウント装置を用いて、光学素子のキャリアの傾斜、ひいては光学素子の傾斜をより良好に回避することができる。これにより、光学素子の光学特性が接着接続の接着剤の硬化による影響を受けるのを防止することができる。

【0049】

環状カバーは、例えば汚染からの保護に用いられる。

【0050】

別の実施形態によれば、
第１コンポーネントは、０以外の角度だけ相互にオフセットして配置される３つのＶ溝を含み、
第２コンポーネントは、０以外の角度だけ相互にオフセットして配置される３つの球形部を含み、
第１コンポーネントは、少なくとも１つのＶ溝と連通し０以外の角度だけ相互にオフセットして配置される３つの凹部を含み、
第２コンポーネントは、０以外の角度だけ相互にオフセットして配置される３つの突起を含み、且つ／又は
第２コンポーネントは、少なくとも１つの球形部に形成され０以外の角度だけ相互にオフセットして配置される３つの凹部を含む。

【0051】

上記要素間の０以外の角度は、例えばそれぞれ１２０°の角度である。換言すれば、上記要素は、円に沿って均等に分配される。しかしながら、上記要素間の０以外の角度は、１２０°以外の値も有し得る。

【0052】

さらに別の実施形態によれば、少なくとも１つの球形部は、球欠及び／又は球状楔形であるか、又は
マウント装置は、正確に１つの球形部及び正確に１つのＶ溝を含み、球形部はトロイダル部であり、Ｖ溝は環状のＶ溝である。

【0053】

球欠は、特に、（単一の）平面での切断により球体から形成された球体の一部である。例えば、球欠は、円板を底面としたドームの形状を有する。ドームの球面は、例えば球形部の「球面部」を形成する。球欠の開角は、例えば９０°以下である。球欠は、例えば半球でもあり得る（開角９０°、球欠の底面の半径が球体の半径に対応する）。

【0054】

球扇形は、特に球体を円錐状に切り取ったものである。特に、球扇形は、９０°以下の開角を有する。例えば、球扇形は、球体の中心点からその表面まで円錐状に切り取ったものである。例えば、球扇形は半球でもあり得る（開角９０°）。

【0055】

トロイダル部は、特に、トーラスの、特に回転トーラスの一部である。特に、トロイダル部は、球欠と同じ断面積を有し得る。

【0056】

さらに別の態様によれば、リソグラフィ装置の光学素子のキャリアに環状カバーを取り付けるマウント装置が提案される。マウント装置は、キャリア及び環状カバーを有する。さらに、キャリア及び環状カバーは、６つの点接触又は面接触でのみ相互に直接当接する。さらに、キャリア及び環状カバーは、相互に接着接合される。

【0057】

特に、キャリアと環状カバーとの間の接着接続は、接着剤による間接的な接触にすぎない。特に、キャリア及び環状カバーは、６つの点接触又は面接触の外側でのみ相互に接着接合される。

【0058】

第１態様によるマウント装置の上記実施形態及び特徴は、第２態様によるマウント装置にも適宜当てはまり、またその逆でもある。

【0059】

さらに別の態様によれば、上述のマウント装置を有するリソグラフィ装置が提案される。

【0060】

別の態様によれば、リソグラフィ装置用のマウント装置を製造する方法が提案される。この方法は、
ａ）少なくとも２つの相互傾斜面及び２つの面を接続する第１接着面を含む第１コンポーネントを用意するステップと、
ｂ）球面部及び断面で見ると球面部の２つの副部間に配置される第２接着面を有する少なくとも１つの球形部を含む第２コンポーネントを用意するステップと、
ｃ）少なくとも１つの球形部が少なくとも２つの相互傾斜面間に収容されて、第１接着面が第２接着面に隣接して配置されるように、第２コンポーネントを第１コンポーネント上に配置するステップと、
ｄ）第１接着面及び／又は第２接着面に接着剤を塗布するステップと、
ｅ）接着剤を硬化させるステップと
を含む。

【0061】

特に、ステップｄ）は、ステップｃ）の前又は後に実行することができる。

【0062】

実施形態では、第１コンポーネントは、少なくとも２つの相互傾斜面と連通し且つ第１接着面を有する少なくとも１つの凹部を含み、接着剤は、ステップｄ）において凹部に配置される。さらに、第２コンポーネントは、少なくとも１つの球形部に少なくとも１つの突起を有し、これが第２接着面を有する。少なくとも１つの突起は、第１屈曲軸及び第１屈曲軸に対して垂直な第２屈曲軸を中心に少なくとも１つの球形部に対して屈曲可能であるよう設計され、第１屈曲軸及び第２屈曲軸の両方が、第１コンポーネントから第２コンポーネントへ向かう方向に対して垂直に配置される。さらに、ステップｃ）において、突起は凹部に挿入される。さらに、ステップｅ）の硬化プロセス中に接着剤により第１コンポーネント及び／又は第２コンポーネントにかかる力が、第１屈曲軸及び／又は第２屈曲軸を中心とした突起の屈曲により補償される。

【0063】

この場合の「a(an)」は、厳密に１つの要素に制限するものと必ずしも理解すべきでない。正確には、２つ、３つ、又はそれ以上等の複数の要素を設けることもできる。ここで用いる他の数字はいずれも、記載の数の要素に厳密に制限されるという趣旨で理解すべきでもない。その代わりに、別途指示のない限り数の増減が可能である。

【0064】

マウント装置に関して記載した実施形態及び特徴は、リソグラフィ装置及び提案された製造方法にも適宜当てはまり、またその逆でもある。

【0065】

本発明のさらに他の可能な実施態様は、例示的な実施形態に関して上述又は後述されている特徴又は実施形態の明記されていない組み合わせも含む。この場合、当業者であれば、個々の態様を改良又は補足として本発明の各基本形態に加えることもあろう。

【0066】

本発明のさらに他の有利な改良及び態様は、従属請求項の主題であり、後述する本発明の例示的な実施形態の主題でもある。さらに、好ましい実施形態に基づいて添付図面を参照して本発明を以下でより詳細に説明する。

【図面の簡単な説明】

【0067】

【図1A】ＥＵＶリソグラフィ装置の実施形態の概略図を示す。

【図1B】ＤＵＶリソグラフィ装置の実施形態の概略図を示す。

【図2】図１Ａ又は図１ＢからのＥＵＶ又はＤＵＶリソグラフィ装置の第１実施形態によるマウント装置の上面図を示す。

【図3】図２からのマウント装置の環状のＶ溝を有するキャリアを示す。

【図4】キャリアが環状のＶ溝の代わりに３つの個別のＶ溝を有する、図３と同様の図を示す。

【図5】組立て前の図２からのマウント装置のＶ溝球形マウントを示す。

【図6】組立て後の図５からのＶ溝球形マウントを示す。

【図7】第２実施形態によるマウント装置のＶ溝球形マウントの斜視図を示す。

【図8】組立て前の図７からのＶ溝球形マウントの断面図を示す。

【図9】組立て後の図８からのＶ溝球形マウントを示す。

【図10】組立て後の第２実施形態の変形形態によるマウント装置のＶ溝球形マウントを示す。

【図11】図１０からのＶ溝球形マウントのねじ付きピンのシャンクを示す。

【図12】組立て前の第３実施形態によるマウント装置のＶ溝球形マウントを示す。

【図13】組立て後の図１２からのＶ溝球形マウントを示す。

【図14】実施形態によるマウント装置を製造する方法を示すフローチャートを示す。

【発明を実施するための形態】

【0068】

別途指示のない限り、図中で同一の要素又は同一の機能を有する要素には同じ参照符号を設けてある。図示は必ずしも一定の縮尺ではないことにも留意されたい。

【0069】

図１Ａは、ビーム整形・照明系１０２及び投影系１０４を備えたＥＵＶリソグラフィ装置１００Ａの概略図を示す。ＥＵＶは「極紫外線」を意味し、０．１ｎｍ～３０ｎｍの使用光の波長を示す。ビーム整形・照明系１０２及び投影系１０４は、それぞれが真空ハウジング（図示せず）内に設けられ、各真空ハウジングは排気装置（図示せず）を用いて真空引きされる。真空ハウジングは、光学素子を機械的に移動させる又は設定する駆動装置が設けられた機械室（図示せず）により囲まれる。さらに、電気コントローラ等を上記機械室内に設けることもできる。

【0070】

ＥＵＶリソグラフィ装置１００Ａは、ＥＵＶ光源１０６Ａを備える。ＥＵＶ域（極紫外域）の、すなわち例えば５ｎｍ～２０ｎｍの波長域の放射線１０８Ａを発するプラズマ源（又はシンクロトロン）を、例えばＥＵＶ光源１０６Ａとして設けることができる。ビーム整形・照明系１０２において、ＥＵＶ放射線１０８Ａを集束させ、所望の作動波長をＥＵＶ放射線１０８Ａからフィルタリングする。ＥＵＶ光源１０６Ａが発生したＥＵＶ放射線１０８Ａは、空気中の透過率が比較的低く、こうした理由でビーム整形・照明系１０２及び投影系１０４の導光空間が真空引きされる。

【0071】

図１Ａに示すビーム整形・照明系１０２は、５つのミラー１１０、１１２、１１４、１１６、１１８を有する。ビーム整形・照明系１０２の通過後に、ＥＵＶ放射線１０８Ａはフォトマスク（レチクルとも称する）１２０へ導かれる。フォトマスク１２０は、同様に反射光学素子として形成され、システム１０２、１０４の外部に配置され得る。さらに、ＥＵＶ放射線１０８Ａは、ミラー１２２によりフォトマスク１２０へ指向され得る。フォトマスク１２０は、投影系１０４により縮小形態でウェハ１２４等に結像される構造を有する。

【0072】

投影系１０４（投影レンズとも称する）は、フォトマスク１２０をウェハ１２４に結像するために６個のミラーＭ１～Ｍ６を有する。この場合、投影系１０４の個々のミラーＭ１～Ｍ６は、投影系１０４の光軸１２６に関して対称に配置され得る。ＥＵＶリソグラフィ装置１００ＡのミラーＭ１～Ｍ６の数は、図示の数に制限されないことに留意されたい。設けられるミラーＭ１～Ｍ６の数をより多くすることもより少なくすることもできる。さらに、ミラーＭ１～Ｍ６は、ビーム整形用に前面が概して湾曲している。

【0073】

図１Ｂは、ビーム整形・照明系１０２及び投影系１０４を備えたＤＵＶリソグラフィ装置１００Ｂの概略図を示す。この場合、ＤＵＶは「深紫外線」を意味し、３０ｎｍ～２５０ｎｍの使用光の波長を示す。図１Ａを参照して既に記載したように、ビーム整形・照明系１０２及び投影系１０４は、真空ハウジング内に配置され且つ／又は対応する駆動装置を有する機械室により囲まれ得る。

【0074】

ＤＵＶリソグラフィ装置１００Ｂは、ＤＵＶ光源１０６Ｂを有する。例として、例えば１９３ｎｍのＤＵＶ域の放射線１０８Ｂを発するＡｒＦエキシマレーザをＤＵＶ光源１０６Ｂとして設けることができる。

【0075】

図１Ｂに示すビーム整形・照明系１０２は、ＤＵＶ放射線１０８Ｂをフォトマスク１２０へ導く。フォトマスク１２０は、透過光学素子として形成され、システム１０２、１０４の外部に配置され得る。フォトマスク１２０は、投影系１０４により縮小形態でウェハ１２４等に結像される構造を含む。

【0076】

投影系１０４は、フォトマスク１２０をウェハ１２４に結像するために複数のレンズ素子１２８、１３０及び／又はミラー１３２を有する。この場合、投影系１０４の個々のレンズ素子１２８、１３０及び／又はミラー１３２は、投影系１０４の光軸１２６に関して対称に配置され得る。ＤＵＶリソグラフィ装置１００Ｂのレンズ素子１２８、１３０及びミラー１３２の数は、図示の数に制限されないことに留意されたい。設けられるレンズ素子１２８、１３０及び／又はミラー１３２の数をより多くすることもより少なくすることもできる。さらに、ミラー１３２は、ビーム整形用に前面が概して湾曲している。

【0077】

最終レンズ素子１３０とウェハ１２４との間の空隙は、屈折率が１を超える液体媒体１３４で置き換えることができる。液体媒体１３４は、例えば高純度水であり得る。このような構成は、液浸リソグラフィとも称し、高いフォトリソグラフィ解像度を有する。媒体１３４は、浸液と称することもできる。

【0078】

図２は、ＥＵＶ又はＤＵＶリソグラフィ装置１００Ａ、１００Ｂのマウント装置２００の上面図を示す。マウント装置２００は、第１機械コンポーネント２０２及び第２機械コンポーネント２０４を有し、これら２つのコンポーネント２０２、２０４を相互に取り付けるために用いられる。

【0079】

図２に示す例では、マウント装置２００は、光学素子２０６のキャリア２０２に環状カバー２０４を取り付けるために用いられる。図２において、環状カバー２０４は、キャリア２０２及び光学素子２０６の両方を、特に各縁領域で上から部分的に覆う。環状カバー２０４は、例えば汚染からの保護に用いられる。環状カバー２０４は、例えば、光学素子２０６とカバー２０４との間の空気流を許すように設計及び配置される。図２において、環状カバー２０４は、光学素子２０６及びキャリア２０２の視認性を高めるために破線でのみ示されている。環状カバー２０４及びキャリア２０２は、例えば金属性である。

【0080】

光学素子２０６は、例えば、図１ＢからのＤＵＶリソグラフィ装置１００Ｂのウェハ１２４の前に配置された最終レンズ素子１３０である。他の例では、光学素子２０６は、図１Ａ、図１ＢからのＥＵＶ又はＤＵＶリソグラフィ装置１００Ａ、１００Ｂの別の光学素子でもあり得る。例えば、光学素子２０６は、ＥＵＶリソグラフィ装置１００Ａ（図１Ａ）のミラー１１０～１１８、１２２、Ｍ１～Ｍ６の１つ、又はＤＵＶリソグラフィ装置１００Ｂ（図１Ｂ）のレンズ素子１２８又はミラー１３２の１つでもあり得る。

【0081】

環状カバー２０４は、以下で詳細に説明するように、点取付けにより、例えばＶ溝球形マウント２０８（図５）によりキャリア２０２に取り付けられ、これにより、第１コンポーネント２０２と第２コンポーネント２０４との間には取付領域に点接触又は公差及び変形に関連する小さな面接触のみがある。したがって、キャリア２０２への環状カバー２０４の明確な取付けが可能であり、取付けの外側でのいずれも例えば金属製である環状カバー２０４とキャリア２０２との間の強い面接触が回避される。さらに、環状カバー２０４は、Ｖ溝球形マウント２０８の点接触又は面接触の外側に配置された接着接続２１０（図６）により、キャリア２０２に強固に接着接合される。

【0082】

図３は、図２と同じ向きのキャリア２０２を示すが、光学素子２０６も環状カバー２０４もない。図３で見られるように、キャリア２０２は、溝、図示の例では環状のＶ溝２１４を有する。図５は、Ｖ溝２１４を径方向断面（図３の線ＢＢに沿った断面）で示す。

【0083】

環状のＶ溝２１４（図３）の代わりに、図４に示すように、キャリア２０２’は３つの個別のＶ溝２１４’も有することができる。この場合、３つの個別のＶ溝２１４’は、α、β、γの角度で相互に対してオフセットして配置される。図４に示す例では、３つの個別のＶ溝２１４’は、それぞれ１２０°の等角で相互に対してオフセットして配置される（すなわち、α＝β＝γ＝１２０°）。他の例では、３つの個別のＶ溝は、ゼロ以外の異なる角度α、β、γで相互に対してオフセットして配置されてもよい。図５及び図６に示すＶ溝２１４、２１４’の断面は、環状のＶ溝２１４（図３）の断面及び３つのＶ溝２１４’（図４）の１つの断面の両方に対応する。環状のＶ溝２１４（図３）又は３つの個別のＶ溝２１４’の代わりに、円錐溝、円錐セグメントの形状の溝、漏斗状の溝、球根状の溝、及び／又は球根状カップの形態の溝等の１つ又は複数の異なる形状の溝を用いることができることに留意されたい。

【0084】

図５に示すように、Ｖ溝２１４、２１４’は、２つの相互傾斜面２１６を有する。さらに、Ｖ溝２１４、２１４’は、環状カバー２０４への接着接続のために２つの面２１６を接続する第１接着面２１８を有する。特に、Ｖ溝２１４、２１４’は、（図５において）底部で切断されたＶ字形を有し、その切断された変気が第１接着面２１８を有する。図５に示す例では、第１接着面２１８は、キャリア２０２からカバー２０４へ向かう方向Ｚに対して垂直に配置される。

【0085】

Ｖ溝球形マウント２０８によりキャリア２０２にカバー２０４を取り付けるために、カバー２０４は、３つの球形部２２０を有し、そのうちの１つを図５及び図６に断面で示す。図５は、球形部２２０がＶ溝２１４又は２１４’に導入される前の状態のＶ溝球形マウント２０８を示す。図６は、球形部２２０がＶ溝２１４又は２１４’に位置付けられた状態のＶ溝球形マウント２０８を示す。

【0086】

３つの球形部２２０のそれぞれが、カバー２０４の下面２２２（図５）からキャリア２０２の方向に突出する。図５に示す球形部２２０は、特に、図５で下端２２４が平坦化された半球である。３つの球形部２２０のそれぞれが、球体２２８に従って球状に湾曲した球面部２２６を含む。さらに、３つの球形部２２０のそれぞれが、第２接着面２３０を有する。第２接着面２３０は、図５において球面部２２０の平坦化された端２２４に配置される。さらに、図５に示す例では、第２接着面２３０は、方向Ｚに対して垂直に配置される。第２接着面２３０は、図５の断面で見ると、特に球面部２２６の２つの副部２３２及び２３４間に配置される。

【0087】

図６に示すように、液体接着剤２１２が第１接着面２１８と第２接着面２３０との間に挿入される。さらに、３つの球形部２２０のそれぞれが、１つの環状のＶ溝２１４（図３及び図６）に又は３つの個別のＶ溝２１４’の１つ（図４及び図６）に挿入され、球形部２２０が２つの支持点又は２つの小さな支持面Ａ１、Ａ２でＶ溝２１４、２１４’の相互傾斜面２１６に載るように取り付けられる。特に、３つの球形部２２０とＶ溝２１４（又は３つのＶ溝２１４’）との間には、点接触又は公差及び変形に関連する小さな面接触のみがある。例えば、３つの球形部２２０とＶ溝２１４（又は３つのＶ溝２１４’）との間には、合計６つの点接触又は面接触Ａ１、Ａ２がある。換言すれば、カバー２０４は、Ｖ溝球形マウント２０８を介してマウント２０８の領域の点接触又は面接触でのみキャリア２０２と接触している。

【0088】

他の例では、球形部２２０の代わりに、図５に示すような径方向断面も有する単一のトロイダル部（図示せず）を用いることもできる。

【0089】

第１接着面２１８と第２接着面２３０との間に液体形態で塗布された接着剤２１２は、硬化され、固化形態で接着剤層２１２’（図６）を形成する。環状カバー２０４とキャリア２０２との間の接着接続２１０は、固定の接着剤層２１２’により生じる。

【0090】

硬化中に、接着剤２１２、２１２’は、収縮することにより環状カバー２０４及び／又はキャリア２０２に力をかける可能性がある。接着剤２１２、２１２’は、カバー２０４とキャリア２０２との間の３つの離散的な場所で、すなわち平坦な側２２４（図５）に配置された３つの球形部２２０の第２接着面２３０にのみ塗布されるので、環状カバー２０４等のコンポーネントとキャリア２０２等の別のコンポーネントとの間で接着剤が平面状且つ環状に塗布される状況に比べて、接着剤２１２、２１２’による力が低減される。

【0091】

接着剤２１２、２１２’の硬化中に、カバー２０４の変位及び／又は傾斜が起きた場合、カバー２０４とキャリア２０２との間のＶ溝球形マウント２０８（図６）は、キャリア２０２もそれにより傾斜するのを防止する。その結果、特に、レンズ素子又はミラー等のキャリア２０２により保持された光学素子２０６（図２）が変位及び／又は傾斜するのを防止することが可能である。

【0092】

図７～図９は、Ｖ溝球形マウント３０８及び接着接続３１０を有するマウント装置３００の第２実施形態を示す。第２実施形態によるマウント装置３００は、（第１実施形態によるキャリア２０２と同様に）光学素子２０６用のキャリア３０２と、（第１実施形態による環状カバー２０４と同様に）環状カバー３０４とを有する。

【0093】

キャリア３０２は、（Ｖ溝２１４、２１４’、図５と同様に）Ｖ溝３１４及びＶ溝３１４と連通する３つの凹部３４０（図８）を有する。第１実施形態の場合のように、Ｖ溝３１４は、Ｖ溝２１４（図３）に対応する環状のＶ溝であり得るか、又はＶ溝２１４’（図４）に対応する３つの個別のＶ溝が存在し得る。Ｖ溝３１４と連通する凹部３４０（図８）は、特にカップ状であり、キャリア３０２上の３つの離散的な離間した場所に形成される。特に、凹部３４０は円周状又は環状である。

【0094】

１つを図８及び図９に断面で示す凹部３４０のそれぞれが、その内壁３４２に接着面３１８（第１接着面）を有し、そこに接着剤３１２（図９）が配置される。

【0095】

さらに、環状カバー３０４は、３つの球形部３２０を有し、そのうちの１つを図８及び図９に断面で示す。球形部３２０は、第１実施形態（図５）の球形部２２０のように、２つの副部３３２、３３４を有する球面部３２６を有する。

【0096】

球形部３２０は、当該球形部に配置された突起３４４が第１実施形態（図５）の球形部２２０とは異なる。突起３４４は、球形部３２０と一体的に形成され得る（図示せず）。代替として、突起は、図７～図９に示すように、球形部３２０に固定される別個の要素３４６により設けることができる。図示の例では、突起３４４は、第１端部３４８にねじ３５０を有する雄ねじ３４６により設けられる。

【0097】

雄ねじ３４６は、雄ねじ３４６のシャンク３５４（第２端部３５４）により設けられた突起３４４が断面で見ると球面部３２６の２つの副部３３２、３３４間に突出するように、球形部３２０（図９）のねじ孔３５２に螺入される。突起３４４は、凹部３４０の第１接着面３１８に接着固定するための第２接着面３３０も有する。

【0098】

キャリア３０２への環状カバー３０４の取付固定のために、接着剤３１２（図９）が液体形態でキャリア３０２の凹部３４０に充填される。続いて、突起３４４がキャリア３０２の凹部３４０に挿入されて接着剤３１２、３１２’によりそこに接着接合されるように、環状カバー３０４がキャリア３２０上に配置される。さらに、第１実施形態のように、球形部３２０は、球形部３２０が離散的な点接触又は面接触Ａ１、Ａ２でＶ溝３１４の相互傾斜面３１６に当接するように、Ｖ溝３１４（図９）に挿入される。接着剤３１２の硬化により、固体の接着剤層３１２’が形成され、これにより環状カバー３０４とキャリア３０２との間の接着接続３１０が生じる。

【0099】

第１接着面３１８を有する凹部３４０及び第２接着面３３０を有する突起３４４により、接着剤３１２を目標通りに塗布することができる。特に、液体形態の接着剤３１２が環状カバー３０４及び／又はキャリア３０２の第１接着面３１８及び第２接着面３３０の外側の領域に広がるのを回避することができる。

【0100】

図１０は、Ｖ溝球形マウント３０８’を有するマウント装置３００’の第２実施形態の変形形態を示す。以下では、第２実施形態との相違点のみを説明する。マウント装置３００’において、突起３４４’は、接着剤３１２、３１２’の硬化中の力を補償するために球形部３２０に対して曲がることができるように設計される。特に、突起３４４’は、第１屈強軸Ｘ（図１０のＸ方向と平行）を中心に且つ第１屈曲軸に対して垂直な第２屈曲軸Ｙ（図１０のＹ方向と平行）を中心に球形部３２０に対して曲がることができる。第１屈曲軸Ｘ及び第２屈曲軸Ｙの両方が、キャリア３０２からカバー３０４へ向かう方向Ｚに対して垂直に配置される。

【0101】

図１０に示す例では、突起３４４’の屈曲性は、雄ねじ３４６’のシャンク３５４’の壁の切込み３５６により実現される。図１０は断面を示すが、実際には上面図でしか見えない２つの切込み３５６を説明のために図１０に示す。第１板ばね３６０を形成するウェブ３５８が、２つの切込み３５６間に残る。シャンク３５４’の後側には、第１板ばね３６０と対称な板ばね３６０が２つの切込み３５６により形成される。２つの第１板ばね３６０は、それぞれがＹ－Ｚ方向に主延在平面を有し、シャンク３５４’（すなわち突起３４４’）をＸ方向の屈曲軸を中心に屈曲させることができる。さらに、シャンク３５４’は、２つのさらなる切込み３６２、３６４（図１１）を有し、これにより２つの第２板ばね３６６が形成される（そのうちの一方が図１１で見える）。２つの第２板ばね３６６は、Ｘ－Ｚ平面に主延在平面を有し、シャンク３５４’（すなわち、突起３４４’）をＹ方向の屈曲軸を中心に屈曲させることができる。

【0102】

シャンク３４６’の屈曲性により、接着剤３１２、３１２’の硬化中に生じる力の補償が可能である。この補償により、キャリア３０２の、したがって光学素子２０６（図２）の傾斜が接着接続３１０の接着剤３１２、３１２’の硬化により起こるのを防止することが可能となる。

【0103】

図１２及び図１３は、Ｖ溝球形マウント４０８及び接着接続４１０を有するマウント装置４００の第３実施形態を示す。第３実施形態によるマウント装置４００は、（第１実施形態によるキャリア２０２と同様に）光学素子２０６用のキャリア４０２と、（第１実施形態による環状カバー２０４と同様に）環状カバー４０４とを有する。以下では、第１実施形態との相違点のみを説明する。

【0104】

マウント装置４００において、球形部４２０は、第２接着面４３０を有する凹部４４０を有する。さらに、球形部４２０は、（第１実施形態、図５のように）環状カバー４０４と一体的に形成されるのではなく、別個の要素４４２として形成される。特に、マウント装置４００は、別個の要素としてねじ４４２を有し、これは、第１端部４４４にねじ山を有することで環状カバー４０４のねじ孔４４６に螺入することができる。さらに、ねじ４４２は、その第２端部４４８に球頭部４５０を有し、これは、凹部４４０を有する球形部４２０を形成する。他の例では、図１２及び図１３に示すように別個のねじ４４２の球頭部４５０により形成された球形部４２０は、凹部４４０なしで実現することもできる。図１３は、第３実施形態のマウント装置４００を、支持点又は離散的な接触面Ａ１、Ａ２及び硬化した接着接続４１０で取り付けた組立状態で示す。

【0105】

以下では、図５、図６、及び図１４を参照して、第１実施形態によるリソグラフィ装置１００Ａ、１００Ｂのマウント装置２００を製造する方法を説明する。

【0106】

本方法の第１ステップＳ１において、少なくとも１つの相互傾斜面２１６と２つの面２１６を接続する第１接着面２１８とを含む、光学素子２０６のキャリア２０２（図２及び図５）等の第１コンポーネントを用意する。

【0107】

本方法の第２ステップＳ２において、球面部２２６及び第２接着面２３０を有する少なくとも１つの球形部２２０を含む、環状カバー２０４（図２及び図５）等の第２コンポーネントを用意する。第２接着面２３０は、断面で見ると球面部２２６の２つの副部２３２間に配置される。

【0108】

本方法の第３ステップＳ３において、少なくとも１つの球形部２２０が少なくとも２つの相互傾斜面２１６間に収容されて、第１接着面２１８が第２接着面２３０に隣接して配置されるように、第２コンポーネント２０４を第１コンポーネント２０２上に配置する。

【0109】

本方法の第４ステップＳ４において、第１接着面２１８及び／又は第２接着面２３０に接着剤２１２を塗布する。

【0110】

本方法の第５ステップＳ５において、固体の接着剤層２１２’を形成するように接着剤２１２を硬化させる。

【0111】

本発明は、例示的な実施形態に基づいて説明したが、多様な方法で変更可能である。

【符号の説明】

【0112】

１００Ａ ＥＵＶリソグラフィ装置
１００Ｂ ＤＵＶリソグラフィ装置
１０２ ビーム整形・照明系
１０４ 投影系
１０６Ａ ＥＵＶ光源
１０６Ｂ ＤＵＶ光源
１０８Ａ ＥＵＶ放射線
１０８Ｂ ＤＵＶ放射線
１１０ ミラー
１１２ ミラー
１１４ ミラー
１１６ ミラー
１１８ ミラー
１２０ フォトマスク
１２２ ミラー
１２４ ウェハ
１２６ 光軸
１２８ レンズ素子
１３０ ミラー
１３２ 媒体
２００ マウント装置
２０２ 第１コンポーネント
２０４ 第２コンポーネント
２０６ 光学素子
２０８ マウント
２１０ 接着接続
２１２、２１２’ 接着剤
２１４ 溝
２１６ 面
２１８ 第１接着面
２２０ 球形部
２２２ 面
２２４ 端
２２６ 球面部
２２８ 球体
２３０ 第２接着面
２３２ 副部
２３４ 副部
３００、３００’ マウント装置
３０２ コンポーネント（キャリア）
３０４ コンポーネント（カバー）
３０８、３０８’ マウント
３１０ 接着接続
３１２、３１２’ 接着剤
３１４ 溝
３１６ 面
２１８ 第１接着面
３２０ 球形部
３２６ 球面部
３３０ 第２接着面
３３２ 副部
３３４ 副部
３４０ 凹部
３４２ 内壁
３４４、３４４’ 突起
３４６ 要素（雄ねじ）
３４８ 端部
３５０ ねじ
３５２ ねじ孔
３５４ シャンク（端部）
３５６ 切込み
３５８ ウェブ
３６０ 板ばね
３６２ 切込み
３６４ 切込み
３６６ 板ばね
４００ マウント装置
４０２ コンポーネント（キャリア）
４０４ コンポーネント（カバー）
４０８ マウント
４１０ 接着接続
４２０ 球形部
４３０ 第２接着面
４４０ 凹部
４４２ ねじ
４４４ 端部
４４６ ねじ孔
４４８ 端部
４５０ 球頭部
Ａ１ 支持点／支持面
Ａ２ 支持点／支持面
Ｍ１ ミラー
Ｍ２ ミラー
Ｍ３ ミラー
Ｍ４ ミラー
Ｍ５ ミラー
Ｍ６ ミラー
Ｓ１～Ｓ５ 方法ステップ
Ｘ 方向、軸
Ｙ 方向、軸
Ｚ 方向

【図1A】

【図1B】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【国際調査報告】