特表2024-525417凹部およびキャップを有する研磨ヘッドアセンブリ

発明の名称　凹部およびキャップを有する研磨ヘッドアセンブリ

出願人　グローバルウェーハズ　カンパニー　リミテッド　（識別番号 518112516）

　　　　特許公開件数ランキング 829 位（28件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 835 位（24件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2024-525417

公報発行日　2024年7月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2024-525417

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