(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公表特許公報(A)
(11)【公表番号】
(43)【公表日】2024-07-25
(54)【発明の名称】デュアル読み出しポートラッチアレイビットセル
(51)【国際特許分類】
G11C 11/412 20060101AFI20240718BHJP
【FI】
G11C11/412 120
【審査請求】有
【予備審査請求】未請求
(21)【出願番号】P 2023575961
(86)(22)【出願日】2022-07-08
(85)【翻訳文提出日】2024-01-12
(86)【国際出願番号】 US2022036516
(87)【国際公開番号】W WO2022272183
(87)【国際公開日】2022-12-29
(81)【指定国・地域】
【公序良俗違反の表示】
(特許庁注:以下のものは登録商標)
(71)【出願人】
【識別番号】591016172
【氏名又は名称】アドバンスト・マイクロ・ディバイシズ・インコーポレイテッド
【氏名又は名称原語表記】ADVANCED MICRO DEVICES INCORPORATED
(74)【代理人】
【識別番号】100108833
【氏名又は名称】早川 裕司
(74)【代理人】
【識別番号】100111615
【氏名又は名称】佐野 良太
(74)【代理人】
【識別番号】100162156
【氏名又は名称】村雨 圭介
(72)【発明者】
【氏名】アリジット バナージー
(72)【発明者】
【氏名】ジョン ジェイ. ウー
(72)【発明者】
【氏名】ラッセル シュレイバー
【テーマコード(参考)】
5B015
【Fターム(参考)】
5B015JJ31
5B015KA09
5B015NN01
(57)【要約】
メモリアクセスの効率的なフロアプランニング、電力及び性能のトレードオフを提供するための装置及び方法が開示される。デュアル読み出しポート及びシングル書き込みポートメモリビットセルは、記憶されたデータを2つの読み出しビット線上で搬送するために、2つの非対称読み出しアクセス回路を使用する。2つの読み出しビット線は、異なる電圧基準レベルにプリチャージされる。メモリビットセルのレイアウトは、2つの読み出しビット線を単一の書き込みビット線から反対のエッジ上に配置する。このレイアウトは、エッジ間のp型拡散とn型拡散の両方の上に配置されたダミーゲートを使用する。このレイアウトは、非対称読み出しアクセス回路を使用するにもかかわらず、n型トランジスタと同じ数のp型トランジスタを有する。このレイアウトは、p型トランジスタの数よりも1つ多いコンタクトゲートピッチを有する。
【選択図】
図1
【特許請求の範囲】
【請求項1】
回路であって、
データを記憶するためのメモリビットセルのアレイを備え、
前記アレイの所定のメモリビットセルは、
データ記憶回路と、
p型トランジスタのみを備える第1の非対称読み出しアクセス回路と、を備え、
前記第1の非対称読み出しアクセス回路は、第1の読み出し動作の指標を受信することに応じて、
前記データ記憶回路によって記憶されたデータにアクセスすることと、
前記データを第1の読み出しビット線に伝達することと、
を行うように構成されている、
回路。
【請求項2】
前記回路は、前記第1の読み出しビット線を接地基準レベルにプリチャージするように構成された第1のプリチャージ回路を備える、
請求項1の回路。
【請求項3】
前記所定のメモリビットセルは、n型トランジスタのみを備える第2の非対称アクセス回路を備える、
請求項1の回路。
【請求項4】
前記回路は、第2の読み出しビット線を電源基準レベルにプリチャージするように構成された回路を備える、
請求項3の回路。
【請求項5】
前記所定のメモリビットセルは、前記第1の読み出し動作と同時に、前記第1の読み出し動作によってターゲットとされた前記アレイの同じ行をターゲットとする第2の読み出し動作を受信することに応じて、前記第2の非対称読み出しアクセス回路を介して、
前記データ記憶回路によって記憶された前記データにアクセスすることと、
前記データを前記第2の読み出しビット線に伝達することと、
を行うように構成されている、
請求項3の回路。
【請求項6】
前記第1の非対称読み出しアクセス回路は、
第1のp型トランジスタであって、前記第1のp型トランジスタのゲート端子において、前記データ記憶回路によって記憶された前記データの相補値を受信するように構成されている、第1のp型トランジスタと、
前記第1のp型トランジスタと直列に接続された第2のp型トランジスタであって、
前記第2のp型トランジスタのゲート端子において、前記第1の読み出し動作の指標として読み出しワード線を受けることと、
前記第2のp型トランジスタのドレイン端子において、前記第1の読み出しビット線を受けることと、
を行うように構成されている、第2のp型トランジスタと、を備える、
請求項1の回路。
【請求項7】
前記第1のプリチャージ回路は、n型トランジスタのみを備える、
請求項1の回路。
【請求項8】
方法であって、
メモリビットセルのアレイにデータを記憶することと、
前記アレイの所定のメモリビットセルの第1の非対称読み出しアクセス回路であって、p型トランジスタのみを備える第1の非対称読み出しアクセス回路が、第1の読み出し動作の指標を受信することに応じて、
前記所定のメモリビットセルのデータ記憶回路によって記憶されたデータにアクセスすることと、
前記データを前記第1の読み出しビット線に伝達することと、を含む、
方法。
【請求項9】
前記第1の読み出しビット線を接地基準レベルにプリチャージすることを含む、
請求項8の方法。
【請求項10】
前記所定のメモリビットセルは、n型トランジスタのみを備える第2の非対称読み出しアクセス回路を備える、
請求項8の方法。
【請求項11】
第2の読み出しビット線を電源基準レベルにプリチャージすることを含む、
請求項10の方法。
【請求項12】
前記第1の読み出し動作と同時に、前記第1の読み出し動作によってターゲットとされた前記アレイの同じ行をターゲットとする第2の読み出し動作を受信することに応じて、前記第2の非対称読み出しアクセス回路が、
前記データ記憶回路によって記憶された前記データにアクセスすることと、
前記データを前記第2の読み出しビット線に伝達することと、を含む、
請求項10の方法。
【請求項13】
前記第1の非対称読み出しアクセス回路の第1のp型トランジスタのゲート端子が、前記データ記憶回路によって記憶された前記データの相補値を受信することと、
前記第1のp型トランジスタと直列に接続された第2のp型トランジスタのゲート端子が、前記第1の読み出し動作の指標として読み出しワード線を受けることと、
前記第2のp型トランジスタのドレイン端子が、前記第1の読み出しビット線を受けることと、を含む、
請求項8の方法。
【請求項14】
前記第1のプリチャージ回路は、n型トランジスタのみを備える、
請求項8の方法。
【請求項15】
標準セルレイアウトであって、
1つ以上のメモリビットセルを含む複数のメモリビットセルを備え、
前記メモリビットセルは、
第1の読み出しワード線を受けるように構成され、前記標準セルレイアウトの第1のエッジにおいてp型拡散のみに配置された第1の金属ゲートと、
前記第1の読み出しワード線とは異なる第2の読み出しワード線を受けるように構成され、前記標準セルの前記第1のエッジにおいてn型拡散のみに配置された第2の金属ゲートと、
前記標準セルレイアウトの前記第1のエッジと第2のエッジとの間でp型拡散とn型拡散の両方に配置されたダミーゲートと、を備える、
標準セルレイアウト。
【請求項16】
前記1つ以上のメモリビットセルは、n型トランジスタの数と等しい数のp型トランジスタを備え、
前記標準セルレイアウトのコンタクトゲートピッチは、前記p型トランジスタの数よりも1つ多い、
請求項15の標準セルレイアウト。
【請求項17】
前記1つ以上のメモリビットセルは、
前記第1のエッジにおいて、前記p型拡散のみにドレイン領域として配置された第1の読み出しビット線と、
前記第1のエッジにおいて、前記n型拡散のみにドレイン領域として配置された、前記第1の読み出しビット線とは異なる第2の読み出しビット線と、を備える、
請求項16の標準セルレイアウト。
【請求項18】
前記1つ以上のメモリビットセルは、前記第2のエッジにおいて、前記p型拡散と前記n型拡散の両方にドレイン領域として配置された書き込みビット線を備える、
請求項17の標準セルレイアウト。
【請求項19】
前記1つ以上のメモリビットセルは、
書き込みワード線を受けるように構成され、前記第2のエッジにおいてp型拡散のみに配置された第3の金属ゲートと、
前記書き込みワード線の相補値を受信するように構成され、前記第2のエッジにおいてn型拡散のみに配置された第4の金属ゲートと、を備える、
請求項18の標準セルレイアウト。
【請求項20】
前記複数のメモリビットセルのうち第1のメモリビットセルを備え、
前記第1のメモリビットセルは、前記第1のエッジが、前記第1のメモリビットセルのミラーリングされた方式で配置された前記複数のメモリビットセルのうち第2のメモリビットセルの第1のエッジに当接した状態で配置されており、前記第1のメモリビットセル及び前記第2のメモリビットセルが前記第1の読み出しビット線及び前記第2の読み出しビット線を共有することを可能にする、
請求項17の標準セルレイアウト。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【0001】
(関連技術の説明)
一般に、様々な半導体チップは、メモリに結合された少なくとも1つの処理ユニットを含む。処理ユニットは、命令及びデータをフェッチし、命令をデコードし、命令を実行し、結果を記憶することによって、命令を処理する。処理ユニットは、命令をフェッチし、データをフェッチし、計算の結果を記憶するために、メモリアクセス要求をメモリに送信する。いくつかの設計では、処理ユニット及びメモリは、システムオンチップ(system-on-a-chip、SOC)のように、同じダイ上にあり、一方、他の設計では、処理ユニット及びメモリは、マルチチップモジュール(multi-chip-module、MCM)システムインパッケージ(system-in-a-package、SIP)のように、同じパッケージ内の異なるダイ上にある。メモリとしては、スタティックランダムアクセスメモリ(Static Random Access Memory、SRAM)が一般的に使用される。SRAMは、多くのメモリビットセルのアレイと、アレイに記憶された値にアクセスするために使用される周辺回路と、を含む。
【0002】
ダイ又はパッケージは、処理ユニット及びメモリに加えて、他のユニット又は構成要素を含み得る。個々の構成要素の寸法は、構成要素の全てを同じダイ又は同じパッケージ上に配置するために制限を有する。SRAM等のいくつかのタイプのメモリでは、効率的な配置のために寸法が制限を超えることがある。高さ及び/又は幅等のメモリの寸法は、他の構成要素の配置を妨げるほど十分に大きいことがある。場合によっては、他の構成要素は、同じダイ又は同じパッケージ内に収まらないことさえあり得る。その結果、チップは、大幅な再設計なしには動作不能になり得る。
【0003】
上記に鑑みて、メモリアクセスの効率的なフロアプランニング、電力及び性能のトレードオフを提供するための効率的な方法及び装置が望まれる。
【図面の簡単な説明】
【0004】
【
図1】非対称読み出しアクセス回路及びデュアル読み出しポートを含むメモリビットセルの一般化された図である。
【
図2】非対称読み出しアクセス回路及びデュアル読み出しポートを含むメモリビットセルの半導体レイアウトの一実施形態の一般化された図である。
【
図3】非対称読み出しアクセス回路及びデュアル読み出しポートを含む隣接するメモリビットセルの一実施形態の一般化された図である。
【
図4】非対称読み出しアクセス回路及びデュアル読み出しポートを含む隣接するメモリビットセルの半導体レイアウトの一実施形態の一般化された図である。
【
図5】非対称読み出しアクセス回路及びデュアル読み出しポートを有するメモリビットセルを利用するメモリのプリチャージ回路の一実施形態の一般化された図である。
【
図6】非対称読み出しアクセス回路及びデュアル読み出しポートを有するメモリビットセルを利用するメモリバンクの実施形態のブロック図である。
【
図7】非対称読み出しアクセス回路及びデュアル読み出しポートを含むメモリビットセルに記憶されたデータに効率的にアクセスするための方法の一実施形態の一般化された図である。
【
図8】非対称読み出しアクセス回路及びデュアル読み出しポートを含むメモリビットセルの半導体レイアウトを効率的に作成するための方法の一実施形態の一般化された図である。
【発明を実施するための形態】
【0005】
本発明は、様々な変更及び代替形態の余地があるが、具体的な実施形態が例として図面に示されており、本明細書で詳細に説明される。しかしながら、図面及びその詳細な説明は、開示された特定の形態に本発明を限定することを意図するものではなく、逆に、本発明は、添付の特許請求の範囲によって定義される本発明の範囲に含まれる全ての変更、均等物及び代替物を包含するものであることを理解されたい。
【0006】
以下の説明では、本発明の十分な理解を提供するために、多数の具体的な詳細が記載されている。しかしながら、当業者は、これらの具体的な詳細なしに本発明が実施され得ることを認識すべきである。いくつかの例では、本発明を不明瞭にすることを避けるために、周知の回路、構造及び技術が詳細に示されていない。更に、説明の簡略化及び明確化のために、図に示される要素は必ずしも縮尺どおりに描画されていないことが理解されよう。例えば、いくつかの要素の寸法は、他の要素に対して誇張されている。
【0007】
メモリアクセスの効率的なフロアプランニング、電力及び性能のトレードオフを提供するための装置及び方法が企図される。メモリアレイ(又はアレイ)は、複数の行(ロウ)及び複数の列(カラム)として配列された複数のメモリビットセルを利用する。これらの複数のメモリビットセルの少なくとも一部は、非対称読み出しアクセス回路及びデュアル読み出しポートを利用する。本明細書で使用される場合、「非対称回路」は、n型トランジスタの数とは異なる数のp型トランジスタを含む回路を指す。メモリビットセルは、少なくとも第1の非対称読み出しアクセス回路及び第2の非対称読み出しアクセス回路を利用して、要求されたデータを対応する読み出しビット線上で提供する。いくつかの実施形態では、メモリビットセルの第1の非対称読み出しアクセス回路は、要求されたデータを第1の読み出しビット線上で搬送する。この第1の読み出しビット線は、予め接地基準レベルにプリチャージされている。この第1の非対称読み出しアクセス回路は、n型トランジスタよりも多くのp型トランジスタを含む。いくつかの実施形態では、第1の非対称読み出しアクセス回路は、p型トランジスタのみを含む。
【0008】
メモリビットセルの第2の非対称読み出しアクセス回路は、要求されたデータを、予め電源基準レベルにプリチャージされた第2の読み出しビット線上で搬送する。この第2の非対称読み出しアクセス回路は、p型トランジスタよりも多くのn型トランジスタを含む。n型トランジスタの数と同じ数のp型トランジスタを含む対称読み出しアクセス回路を使用しないことによって、メモリビットセルは、フロアプランにおけるメモリビットセルの配置のために使用されるオンダイ面積を低減する。加えて、各読み出しビット線は、ビットセルエッジ(p型トランジスタ又はn型トランジスタの何れか)に沿って拡散領域を共有することによって、ビットセルの対ごとに単一トランジスタドレイン接続の拡散領域に接続される。したがって、対応する読み出しビット線上の容量性負荷が低減される。
【0009】
非対称読み出しアクセス回路を含むメモリビットセルの半導体レイアウト(又はレイアウト)は、2つの読み出しビット線の配置のためにレイアウトの最外エッジ上のドレイン領域を使用する。これらのドレイン領域の配置は、隣接するメモリビットセル間のノードの共有を可能にする。更に、このレイアウトはダミーゲートを使用し、ダミーゲートは、金属ゲートの下に活性領域ではなく絶縁層を含む構造である。この絶縁層は、ダミーゲート構造の金属ゲートの両側でソース/ドレイン領域間の電気的分離を提供する。レイアウト内の金属層及び他の構造の配置は、レイアウト内のp型トランジスタの数よりも1つ多い数のレイアウトのコンタクトゲートピッチ(CPP)を提供する。隣接するメモリビットセルの回路とレイアウトの両方の更なる説明が、以下の説明において提供される。
【0010】
図1を参照すると、非対称読み出しアクセス回路及びデュアル読み出しポートを含むメモリビットセル100の一実施形態の一般化されたブロック図が示されている。図示した実施形態では、ラッチ要素によるデータ記憶は、メモリビットセル100によって提供される。例えば、デバイス102~112は、インバータ及びトライステートインバータのバックツーバック構成を使用してデータ記憶を提供する。インバータは、デバイス102~104で実装される。トライステートインバータは、デバイス106~112で実装される。デバイス140、142、150、152は、メモリビットセル100がデュアル読み出しポートビットセルであるように、メモリビットセル100に対して2つの読み出しアクセス回路を提供する。様々な実施形態では、メモリビットセル100のデバイスはトランジスタである。いくつかの実施形態では、トランジスタは、プレーナ金属酸化物半導体(metal oxide semiconductor、MOS)電界効果トランジスタ(field effect transistor、FET)である。他の実施形態では、メモリビットセル100内のデバイス(又はトランジスタ)は、非プレーナトランジスタである。非プレーナトランジスタは、短チャネル効果を低減するために半導体処理において最近開発されたものである。トライゲートトランジスタ、フィン型電界効果トランジスタ(FET)及び全周ゲート(gate all around、GAA)トランジスタは、非プレーナトランジスタの例である。
【0011】
メモリビットセル100は、スタティックRAM(static RAM、SRAM)の一実施形態である。他の実施形態では、様々なタイプのRAMセルのうち別のRAMセルが使用される。この「メモリビットセル」は、「メモリビットセル」及び「SRAMビットセル」と呼ばれることもある。様々な実施形態では、メモリビットセル100は、何度もコピーされ、メモリ用の行及び列のアレイに配列される。アレイは、行デコーダ、列デコーダ、センス増幅器、プリチャージ回路、並びに、読み出しアクセスデータ及び書き込みアクセスデータを記憶するためのラッチ又はフリップフロップ回路等の順次要素のうち1つ以上等の外部回路(図示せず)を含む。
【0012】
本明細書で使用される場合、ブール論理高レベルは、論理高レベルとも呼ばれる。同様に、ブール論理低レベルは、論理低レベルとも呼ばれる。様々な実施形態では、論理高レベルは電源基準レベルに等しく、論理低レベルは接地基準レベルに等しい。本明細書で使用される場合、回路ノード又は線は、ノード又は線が、電圧レベルを受けるトランジスタをイネーブルする電圧レベルを蓄える場合に、「アサート」される。例えば、n型トランジスタは、n型トランジスタがそのソース端子上の電圧レベルを少なくとも閾値電圧だけ上回る正の非0電圧レベルをそのゲート端子上で受ける場合に、イネーブルされる。本明細書で使用される場合、回路ノード又は線は、ノード又は線が、電圧レベルを受けるトランジスタをディセーブルする電圧レベルを蓄える場合に、「ネゲート」される。n型トランジスタは、n型トランジスタがそのソース端子上の電圧レベルを閾値電圧だけ下回る電圧レベルをそのゲート端子上で受ける場合に、ディセーブルされる。同様に、p型トランジスタは、p型トランジスタがそのソース端子上の電圧レベルを少なくとも閾値電圧だけ下回る電圧レベルをそのゲート端子上で受ける場合に、イネーブルされる。p型トランジスタは、p型トランジスタがそのソース端子上の電圧レベルを少なくとも閾値電圧だけ上回る電圧レベルをそのゲート端子上で受ける場合に、ネゲートされる。
【0013】
メモリビットセル100のデータ記憶ノードD130が論理高レベルを有する場合に、n型トランジスタ104はイネーブルされ、p型トランジスタ102はディセーブルされる。イネーブルされたn型トランジスタ104は、ノードDX132を放電し、これにより、p型トランジスタ110はイネーブルされ、n型トランジスタ108はディセーブルされる。メモリビットセル100のデータ記憶ノードD130が論理低レベルを有する場合に、n型トランジスタ104はディセーブルされ、p型トランジスタ102はイネーブルされる。イネーブルされたp型トランジスタ102は、ノードDX132を充電し、これにより、n型トランジスタ108はイネーブルされ、p型トランジスタ110はディセーブルされる。本明細書で使用される場合、「n型トランジスタ」は、「n型デバイス」、「n型MOSFET」及び「nfet」とも呼ばれる。更に、「p型トランジスタ」は、「p型デバイス」、「p型MOSFET」及び「pfet」とも呼ばれる。したがって、n型トランジスタ108はnfet108とも呼ばれ、p型トランジスタ110はpfet110とも呼ばれる。nfet108は、
図1ではNFB0 108としてラベル付けされていることにも留意されたい。「NFB0 108」等のように、
図1で使用されるラベルは、
図1の回路図内のトランジスタ及び回路ノード、並びに、少なくとも
図2等の後の説明で使用される半導体レイアウト図内の等価なトランジスタ及びノードを識別するのに役立つ。
【0014】
書き込み動作が行われていない場合に、書き込みワード線(write word line、WWL)160及び相補書き込みワード線(WWLX)162の各々はネゲートされる。したがって、パスゲートのn型トランジスタ122及びp型トランジスタ120の各々はディセーブルされ、それにより、ワード線WBL164は、メモリビットセル100のノードD130から電気的に切断される。更に、n型トランジスタ106及びp型トランジスタ112の各々はイネーブルされ、それにより、n型トランジスタ108及びp型トランジスタ110のうち一方は、ノードDX132の電圧レベルに基づいてノードD130上で特定の電圧レベルを送ることと、メモリビットセル100のデータ記憶ループを閉じることとの両方を行うことが可能になる。例えば、ノードDX132が論理高レベルを蓄える場合に、n型トランジスタ108はイネーブルされ、p型トランジスタ110はディセーブルされる。n型トランジスタ106は、ネゲートされたWWLX162の論理高レベルによって、イネーブルされる。イネーブルされたn型トランジスタ106及び108は、データ記憶ノードD130と「VSS」によって示される接地基準レベルとの間に放電経路を提供し、これにより、データ記憶ノードD130上で論理低レベルが維持され、データ記憶ループが閉じられる。逆に、ノードDX132が論理低レベルを蓄える場合に、n型トランジスタ108はディセーブルされ、p型トランジスタ110はイネーブルされる。p型トランジスタ112は、ネゲートされたWWL160の論理低レベルによって、イネーブルされる。イネーブルされたp型トランジスタ110及び112は、データ記憶ノードD130と「VDD」によって示される電源基準レベルとの間に充電経路を提供し、これにより、データ記憶ノードD130上で論理高レベルが維持され、データ記憶ループが閉じられる。
【0015】
書き込み動作が行われている場合に、行デコーダ(図示せず)は、アドレス情報を受信し、複数の行ワード線のうち単一の行ワード線をイネーブルする。メモリバンクを利用する実施形態では、行デコーダ(図示せず)は、アドレス情報を受信し、複数の行ワード線を含むターゲットメモリバンクの特定のワード線をイネーブルする。メモリビットセル100が、イネーブルされた行ワード線に対応する行にある場合に、メモリビットセル100のWWL160及びWWLX162の各々は、外部アクセス回路によってアサートされる。したがって、パスゲートのp型トランジスタ120及びn型トランジスタ122の各々はイネーブルされる。パスゲートのイネーブルされたトランジスタ120及び122は、ワード線WBL164をメモリビットセル100のノードD130に電気的に接続する。したがって、WBL164は、ノードD130上に蓄えられる電圧レベルを送る。書き込みワード線WWL160は、アレイの対応する行内の他のメモリビットセルにも接続される。n型トランジスタ106及びp型トランジスタ112の各々はディセーブルされ、それにより、データ記憶ノードD130及びDX132は互いに電気的に切断される。この実施形態では、メモリビットセル100は、シングル書き込みポートを有するシングルエンド書き込みビットセルである。ビット線WBL164は、アレイの列上の書き込みデータを送る外部シーケンシャル要素及びバッファ回路によって書き込みデータで送られる。書き込みアクセス動作の場合、外部回路は、入力データに対応する論理高レベル又は論理低レベル等の特定の電圧レベルを、列全体にわたってルーティングされたビット線WBL164上に送る。書き込み動作によってターゲットにされないメモリビットセルについては、データ記憶は変化しないままであることに留意されたい。
【0016】
読み出しアクセス動作の場合に、いくつかの実施形態では、外部プリチャージトランジスタはディセーブルされ、読み出しワード線はアサートされ、外部センス増幅器はイネーブルされ、外部読み出しラッチはイネーブルされて、ターゲットメモリビットセルから読み出されたデータをキャプチャする。メモリビットセル100のラッチ要素(トランジスタ102~112)によって記憶されたデータは、非対称読み出しアクセス回路180によって読み出しビット線RBL0 176からゲート制御される。同様に、メモリビットセル100のラッチ要素(トランジスタ102~112)によって記憶されたデータは、非対称読み出しアクセス回路182によって読み出しビット線RBL1 178からゲート制御される。本明細書で使用される場合、「非対称」は、n型トランジスタの数とは異なる数のp型トランジスタを含む回路を指す。
【0017】
様々な実施形態では、非対称読み出しアクセス回路180は、n型トランジスタよりも多くのp型トランジスタを含む。いくつかの実施形態では、非対称読み出しアクセス回路180は、p型トランジスタのみを含む。そのような実施形態では、非対称読み出しアクセス回路180は、如何なるn型トランジスタも含まない。図示した実施形態では、非対称読み出しアクセス回路180は、直列スタックトポロジで接続された2つのp型トランジスタ140及び142と、0個のn型トランジスタと、を含む。したがって、非対称読み出しアクセス回路180は、ここでは0個のn型トランジスタの数とは異なる、ここでは2個のp型トランジスタの数を利用する。非対称読み出しアクセス回路180への入力は、ノードDX132及び読み出しワード線RWL0 170である。非対称読み出しアクセス回路180の出力は、読み出しビット線RBL0 176である。
【0018】
様々な実施形態では、非対称読み出しアクセス回路182は、p型トランジスタよりも多くのn型トランジスタを含む。いくつかの実施形態では、非対称読み出しアクセス回路182は、n型トランジスタのみを含む。そのような実施形態では、非対称読み出しアクセス回路182は、如何なるp型トランジスタも含まない。図示した実施形態では、非対称読み出しアクセス回路182は、直列スタックトポロジで接続された2つのn型トランジスタ150及び152と、0個のp型トランジスタと、を含む。したがって、非対称読み出しアクセス回路182は、ここでは2個であるn型トランジスタの数とは異なる、ここでは0個のp型トランジスタの数を利用する。非対称読み出しアクセス回路182への入力は、ノードDX132及び読み出しワード線RWL1 172である。非対称読み出しアクセス回路180の出力は、読み出しビット線RBL1 178である。
【0019】
ビット線RBL0 176は、接地基準レベル「VSS」等の論理低レベルにプリチャージされる。プリチャージサイクル(又はフェーズ)が終了した後、ワード線RWL0 170がアサートされる場合に、p型トランジスタ140はイネーブルになる。p型トランジスタ142がイネーブルされるかどうかは、ノードDX132上に記憶されたバイナリ値に基づく。p型トランジスタ140及び142の両方がイネーブルされ、ノードDX132が論理低レベルを蓄える場合に、p型トランジスタ140及び142のこの直列スタックは、ビット線RBL0 176を論理高レベルに充電する。
【0020】
メモリビットセル100の他の非対称読み出しアクセス回路に関して、ビット線RBL1 178は、電源基準レベル「VDD」等の論理高レベルにプリチャージされる。プリチャージサイクル(又はフェーズ)が終了した後、ワード線RWL1 172がアサートされる場合に、n型トランジスタ150はイネーブルになる。n型トランジスタ152がイネーブルされるかどうかは、ノードDX132上に記憶されたバイナリ値に基づく。n型トランジスタ150及び152の両方がイネーブルされ、ノードDX132が論理高レベルを蓄える場合に、n型トランジスタ150及び152のこの直列スタックは、ビット線RBL1 178を論理低レベルに放電する。したがって、p型トランジスタ140及び142は、p型トランジスタのみに依存する非対称読み出しアクセス回路を提供する。この非対称読み出しアクセス回路は、n型トランジスタを使用しない。n型トランジスタ150及び152は、n型トランジスタのみに依存する非対称読み出しアクセス回路を提供する。この非対称読み出しアクセス回路は、p型トランジスタを使用しない。メモリビットセル100のこのトポロジは、デュアル読み出しポートを実装するために完全相補型トライステートインバータを使用するビットセルよりも少ないトランジスタを使用する。
【0021】
図2を参照すると、非対称読み出しアクセス回路及びデュアル読み出しポートを含むメモリビットセルの半導体標準セルレイアウト200の一実施形態の一般化されたブロック図が示されている。先に説明された信号及び回路は、全く同様に符号が付されている。非対称読み出しアクセス回路180及び182の破線ボックスは、これらの回路のレイアウト要素を強調するために使用され、破線ボックスはレイアウト200の一部ではないことに留意されたい。ここで、p型トランジスタ(p-type transistor)は、標準セルレイアウト200(又はレイアウト200)の上部にあり、n型トランジスタ(n-type transistor)は、標準セルレイアウト200の下部にある。図示した実施形態では、標準セルレイアウト200は、シングルエンド読み出し機能及びシングルエンド書き込み機能を有する、デュアル読み出しポート及びシングル書き込みポートメモリビットセル用である。様々な実施形態では、標準セルレイアウト200は、(
図1の)メモリビットセル100の回路トポロジのために使用される。図示したように、標準セルレイアウト200は、垂直方向に金属ゲート206を使用し、水平方向に活性領域を画定するために使用される拡散領域202及び204を使用する。例えば、p型拡散領域202は、レイアウト200においてp型活性領域を画定し、一方、n型拡散領域204は、レイアウト200においてn型活性領域を画定する。標準セルレイアウト200を回転させて異なる向きを有することが可能であることに留意されたい。
【0022】
(
図1の)メモリビットセル100のトランジスタと同様に、いくつかの実施形態では、レイアウト200内のトランジスタは、プレーナ金属酸化膜半導体(MOS)電界効果トランジスタ(FET)である。他の実施形態では、レイアウト200のデバイス(又はトランジスタ)は、トライゲートトランジスタ、フィン型電界効果トランジスタ(FET)及び全周ゲート(GAA)トランジスタ等の非プレーナトランジスタである。いくつかの実施形態では、ソース/ドレイン領域は、トレンチシリサイドコンタクトを用いて実装される。ソース/ドレイン領域に使用されるトレンチシリサイドコンタクト、異なる金属層における信号経路、コンタクト及びビア等は、説明を容易にするためにレイアウト200には示されていない。図示したように、p型トランジスタ102、110、112、120、140、142は、特定の順序で配置される。同様に、n型トランジスタ104、106、108、122、150、152は、特定の順序で配置される。非対称読み出しアクセス回路を使用するにもかかわらず、標準セルレイアウト200は、n型トランジスタの数に等しい数のp型トランジスタを含み、それとともに、p型トランジスタの数(又はn型トランジスタの数)よりも1つ多いコンタクトゲートピッチを提供する。コンタクトゲート(ポリ)ピッチ(contacted gate (poly)pitch、CPP)の数のメトリックは、半導体レイアウトの密度を特徴付けるために使用される1つのメトリックである。図示した実施形態では、レイアウト200は、非対称読み出しアクセス回路を使用するにもかかわらず、6つのp型トランジスタと6つのn型トランジスタとを有する。レイアウト200は、7CPPに等しい密度を有する。
【0023】
ダミーゲートは、通常、領域間の電気的分離を提供するために使用される。様々な実施形態では、ダミーゲートは金属ゲートを使用するが、ゲート領域は、n型又はp型拡散層等の活性シリコン層ではなく、絶縁層の上に形成される。分離層は、窒化ケイ素層、二酸化ケイ素層等の酸化ケイ素層、又は、別のタイプの誘電体層を使用する。したがって、ダミーゲートと、ソース/ドレイン領域等のダミーゲートの両側の領域のうち1つ以上とに電圧レベルが印加されても、電気経路は提供されず、ソース/ドレイン領域間に電流は流れない。ダミーゲートの製造ステップは、ダミーゲートのレイアウト内の位置に活性トランジスタが形成されないことを保証する。いくつかの実施形態では、標準セルレイアウトは、セルレイアウトのエッジにおいてダミーゲートを使用する。これらの場合、ダミーゲートは、セルを互いに分離するために使用される。例えば、セルのエッジは、最後の活性金属ゲートと、それに続く活性拡散と、次いでダミーゲートとを有する。いくつかの設計では、2つの隣接するセルがダミーゲートを共有する。しかしながら、図示した実施形態に示されるように、標準セルレイアウト200は、エッジにダミーゲートを有しない。そうではなく、標準セルレイアウト200は、レイアウトの中央においてダミーゲート270を使用する。
【0024】
標準セルレイアウト200の左エッジには、書き込みビット線が配置される。例えば、レイアウト200の左エッジには、p型トランジスタ120のソース/ドレイン領域WBL210が配置される。同様に、レイアウト200の左エッジには、n型トランジスタ122のソース/ドレイン領域WBL212が配置される。標準セルレイアウト200の右エッジには、2つの読み出しビット線が配置される。例えば、レイアウト200の右上エッジには、p型トランジスタ140のドレイン領域RBL0 240が配置される。同様に、レイアウト200の右下エッジには、n型トランジスタ150のドレイン領域RBL1 242が配置される。ダミーゲートは、レイアウト200の左エッジ又は右エッジには配置されない。
【0025】
レイアウト200のソース/ドレイン領域210~242は、同様に名前が付けられ、且つ、(
図1の)メモリビットセル100において使用される信号と電気的に等価である。同様に、レイアウト200の金属ゲート250~284は、同様に名前が付けられ、且つ、(
図1の)メモリビットセル100において使用される信号と電気的に等価である。しかしながら、ここでは、信号は、ノードを互いに電気的に接続するために更なる層及びコンタクトが配置されるまで、ソース/ドレイン領域及び金属ゲートにおいて物理的に切断される。したがって、
図2において互いに同一の名前が付けられ、且つ、(
図1の)メモリビットセル100において先に説明された信号と同一の名前が付けられた信号は、レイアウト200の異なる物理的要素を識別する信号のために、レイアウト200において異なる符号が付けられる。例えば、データ記憶ノードD214及びD216は論理的に等価であるが、ノードD214のソース/ドレイン領域を形成するp型活性領域は、ノードD216のソース/ドレイン領域を形成するn型活性領域に物理的に当接しない。したがって、ノードD214及びD216は、ソース/ドレイン領域において物理的に接続されない。しかしながら、ノードD214及びD216は、更なる金属層、ビア及びコンタクトが半導体製造ステップによって配置された後に、物理的に接続される。
【0026】
半導体製造ステップが、説明を容易にするために示されていない更なる金属層、ビア及びコンタクトを配置する場合に、ノードD214及びD216は、物理的に接続されるようになる。この物理的接続は、電圧レベルがレイアウト200に印加される場合に、ノードD214及びD216が電気的に接続されるようになることを可能にする。同様に、書き込みワード線WWL252及びWWL256は論理的に等価であるが、WWL252の金属ゲートは、WWL256の金属ゲートに物理的に当接しない。したがって、書き込みワード線WWL252及びWWL256は、金属ゲートにおいて物理的に接続されない。しかしながら、書き込みワード線WWL252及びWWL256は、半導体製造ステップによって更なる層及びコンタクトが配置された後に、物理的に接続される。半導体製造ステップが更なる金属層、ビア及びコンタクトを配置する場合に、書き込みワード線WWL252及びWWL256は、物理的に接続されるようになる。この物理的接続は、電圧レベルがレイアウト200に印加される場合に、書き込みワード線WWL252及びWWL256が電気的に接続されるようになることを可能にする。
【0027】
次に
図3を参照すると、非対称読み出しアクセス回路及びデュアル読み出しポートを含む隣接するメモリビットセル300の一実施形態の一般化されたブロック図が示されている。先に説明された信号及び回路は、全く同様に符号が付されている。図示した実施形態では、2つのメモリビットセル380及び382が隣接して配置されている。いくつかの実施形態では、ビットセル380及び382は、アレイの同じ列内の2つの異なる行の2つの隣接するビットである。一例では、ビットセル380は、マルチ行アレイの行9に記憶されたデータワードのビット[4]であり、ビットセル382は、同じマルチ行アレイの行10に記憶された別のデータワードのビット[4]である。ビットセル380及び382は、読み出しビット線RBL0 176及びRBL1 178を共有する。同様に、ビットセルは、書き込みビット線WBL164を共有する。ビットセル380は、(
図1の)メモリビットセル100と同じトランジスタ及びトポロジを使用する。同様に、ビットセル382は、メモリビットセル100と同じトランジスタ及びトポロジを使用するが、ミラーリングされた方式で使用する。図示したように、ビットセル382は、ビットセル380のトランジスタ102~152と同じ電気的トポロジを使用するトランジスタ302~352を含む。同様に、ビットセル382は、ビットセル380が制御信号160~172を受信するのと同様の方式で制御信号360~372を受信する。
【0028】
図4を参照すると、非対称読み出しアクセス回路及びデュアル読み出しポートを含む隣接するメモリビットセルの半導体レイアウト400の一実施形態の一般化されたブロック図が示されている。先に説明された信号及び回路は、全く同様に符号が付されている。ここで、p型トランジスタは標準セルレイアウト400の上部にあり、n型トランジスタは標準セルレイアウト400の下部にある。図示した実施形態では、標準セルレイアウト400は、シングルエンド書き込みを有する、2つのデュアル読み出しポート、シングル書き込みポートメモリビットセル用である。いくつかの実施形態では、ビットセルは、アレイの同じ列内の2つの異なる行の2つの隣接するビットである。一実施形態では、標準セルレイアウト400は、(
図3の)メモリビットセル300のレイアウトを提供する。図示したように、標準セルレイアウト400(又はレイアウト400)は、ソース/ドレイン領域210~242及び410~436を利用するトランジスタ102~152及び302~352を含み、金属ゲート上で受信される制御信号250~284及び450~484を受信する。
【0029】
レイアウト200と同様に、
図4において互いに同一の名前が付けられ、且つ、(
図1の)メモリビットセル100及び(
図3の)メモリビットセル300において先に説明された信号と同一の名前が付けられた信号は、半導体レイアウト400の異なる物理的要素を識別する信号のために、半導体レイアウト400において異なる符号が付けられる。例えば、書き込みワード線WWL452及びWWL456は論理的に等価であるが、WWL452の金属ゲートは、WWL456の金属ゲートに物理的に当接しない。したがって、書き込みワード線WWL452及びWWL456は、金属ゲートにおいて物理的に接続されない。しかしながら、書き込みワード線WWL452及びWWL456は、半導体製造ステップによって更なる層及びコンタクトが配置された後に、物理的に接続される。半導体製造ステップが更なる金属層、ビア及びコンタクトを配置する場合に、書き込みワード線WWL452及びWWL456は、物理的に接続されるようになる。この物理的接続は、電圧レベルがレイアウト400に印加される場合に、書き込みワード線WWL452及びWWL456が電気的に接続されるようになることを可能にする。
【0030】
標準セルレイアウト200(又はレイアウト200)と同様に、レイアウト400は、最外エッジにおいてダミーゲートを使用しない。そうではなく、レイアウト400は、個別のメモリビットセルにおいてダミーゲート270及び470を使用する。様々な実施形態では、ダミーゲート470は、ダミーゲート270を形成するために使用されるのと同様の製造ステップを使用して形成される。ダミーゲート270と同様に、いくつかの実施形態では、ダミーゲート470は左フローティングであるが、他の実施形態では、ダミーゲート270及び470のうち1つ以上はVDD及びVSSのうち何れかに接続される。金属ゲートを使用するにもかかわらず、ダミーゲート270及び470が誘電体層上に形成され、その結果、電流を伝導することができない。したがって、ソース/ドレイン領域DX226は、ソース/ドレイン領域VDD230から電気的に分離される。同様に、ソース/ドレイン領域DX228は、ソース/ドレイン領域VSS232から電気的に分離される。更に、ソース/ドレイン領域DX426は、ソース/ドレイン領域VDD430から電気的に分離され、ソース/ドレイン領域DX428は、ソース/ドレイン領域VSS432から電気的に分離される。レイアウト400は、読み出しビット線に使用されるドレイン領域RBL0 240及びRBL1 242の共有を提供する。例えば、2つのp型トランジスタ140、340は、ドレイン領域RBL0 240を共有する。同様に、2つのn型トランジスタ150及び350は、ドレイン領域RBL1 242を共有する。左エッジと右エッジの両方において、ドレイン領域WBL210、WBL212、WBL410、WBL412を共有する他のビットセルの他のレイアウトとの更なる共有が起こり得る。
【0031】
次に
図5を参照すると、プリチャージ回路500の一実施形態の一般化されたブロック図が示されている。先に説明された信号名は、全く同様に符号が付されている。例えば、読み出しビット線RBL0 176及びRBL1 178は、(
図1の)メモリビットセル100からの読み出しビット線である。図示したように、回路500は、2つの読み出しビット線のためのプリチャージ回路(又は回路)を含む。回路520は、読み出しビット線RBL1 178をプリチャージする。読み出しビット線RBL1 178は、n型トランジスタのみを使用する非対称読み出しアクセス回路(図示せず)に接続される。先に示されたように、n型トランジスタのみを使用するこの非対称読み出しアクセス回路の例は、(
図1の)非対称読み出しアクセス回路182である。回路520は、プリチャージp型トランジスタ502と、インバータ510と、直列スタックトポロジのp型トランジスタ512及び514と、を含む。プリチャージp型トランジスタ502は、プリチャージ制御信号PCH1 504を受信する。トランジスタ514は、制御信号LE1 516を受信する。回路540は、読み出しビット線RBL0 176をプリチャージする。読み出しビット線RBL0 176は、p型トランジスタのみを使用する非対称読み出しアクセス回路(図示せず)に接続される。先に示されたように、p型トランジスタのみを使用するこの非対称読み出しアクセス回路の例は、(
図1の)非対称読み出しアクセス回路180である。回路540は、プリチャージトランジスタ522と、インバータ530と、直列スタックトポロジのn型トランジスタ532及び534と、を含む。プリチャージトランジスタ522はプリチャージ制御信号PCH0 524を受信し、トランジスタ522は制御信号PCH0 524を受信する。回路520の動作の更なる説明は、以下の説明において提供される。回路540を動作させるために同様のステップが使用される。
【0032】
プリチャージフェーズの間、制御信号PCH1 504はアサートされ、p型トランジスタ502はイネーブルされ、イネーブルされたトランジスタ502は、電源電圧基準レベル「VDD」と読み出しビット線RBL1 178との間に導電経路を生成する。RBL1 178が電源基準レベルにプリチャージされる場合に、インバータ510はp型トランジスタ512のゲート端子を放電し、これにより、トランジスタ512がイネーブルされる。トランジスタ512は、キーパートランジスタとして使用される。いくつかの実施形態では、回路520は、トランジスタ514なしに、トランジスタ512等の単一のキーパートランジスタを使用する。他の実施形態では、回路520は、様々なスプリットキーパー(又はデュアルキーパー)方式のうち何れかを提供する2つのp型トランジスタ512及び514とともに示されるような直列スタックを使用する。例えば、2つのp型トランジスタ512及び514は、様々な遅延オンセットキーパー回路のうち何れかを提供する。評価フェーズの間、制御信号PCH1 504はネゲートされ、トランジスタ502はディセーブルされる。読み出しビット線RBL1 178上の電圧レベルは、選択されたビットセルの非対称読み出しアクセス回路によって提供される電圧レベルに少なくとも基づく。
【0033】
次に
図6を参照すると、メモリバンク600の一実施形態の一般化されたブロック図が示されている。様々な実施形態では、メモリは複数のメモリバンクとして編成され、メモリマクロブロックは、左バンクと右バンクの両方を含む。いくつかの実施形態では、バンク600は、メモリマクロブロックの左バンク又は右バンクのうち何れかである。メモリバンクを説明するために「左」及び「右」が使用されるが、「上部バンク」及び「下部バンク」等の他の表記が使用されてもよい。図示したように、メモリバンク600は、アレイ610A~610Bと、行デコーダ620A~620Bと、アレイ610A~610Bの間のセンス増幅器630A~630Bと、読み出し及び書き込みタイミング制御論理640A~640Bと、ブロック650内の読み出しラッチ及び書き込みラッチと、を含む。いくつかの実施形態では、複数のバンクが、同じクロックサイクル又は同じパイプラインステージにおいて同時にアクセスされることに留意されたい。アクセスは、読み出しアクセス及び書き込みアクセスのうち何れかを含む。そのような実施形態では、バンクアドレスデコーダが、アクセスすべき対応するバンクを選択する。
【0034】
様々な実施形態では、メモリバンク600内のブロック610A~610B、620A~620B、630A~630B、640A~640B、650の各々は、別のブロックに通信可能に結合される。例えば、ルーティングが別のブロックを介して行われるような直接接続が使用される。あるいは、信号のステージングが中間ブロックにおいて行われる。様々な実施形態では、アレイ610A~610Bの各々は、タイル形式で配列された複数のメモリビットセル660を含む。いくつかの実施形態では、1つ以上のビットセルは、非対称読み出しアクセス回路を含む。例えば、アレイ610A及び610Bのうち1つ以上は、デュアル読み出しポート及びシングル書き込みポート機能を提供する。したがって、メモリビットセルは、記憶されたバイナリ値が、プリチャージされた読み出しビット線166に影響を及ぼすかどうかを制御する、(
図1の)p型トランジスタ140及び142等のp型トランジスタのスタックを含む。加えて、メモリビットセルは、記憶されたバイナリ値が、プリチャージされた読み出しビット線168に影響を及ぼすかどうかを制御する、(
図1の)p型トランジスタ150及び152等のn型トランジスタのスタックを含む。
【0035】
ブロック620A~620B内の行デコーダ及びワード線ドライバは、アクセス要求に対応するアドレス情報を受信する。例えば、ブロック620A~620Bの各々は、アクセス要求アドレス670によって提供される情報を受信する。ブロック620A~620Bの各々は、アレイ620A~620Bのうち関連するアレイ内の複数の行のうち特定の行又はエントリを選択する。いくつかの実施形態では、ブロック620A~620Bは、アレイ620A~620Bのうちの関連するアレイ内の所定の行又はエントリを選択するためにアドレス660のインデックス部分を使用する。各行又はエントリは、1つ以上のメモリラインを記憶する。
【0036】
図示した実施形態では、アレイ620A~620B内の行又はエントリは、垂直方向に配列される。しかしながら、他の実施形態では、メモリラインの記憶のために水平方向が使用される。書き込みアクセス要求の場合、書き込みラッチはブロック650内に配置される。書き込みデータは、アレイ610A~610Bに送られる。タイミング制御論理640A~640Bは、ブロック650において、書き込みラッチを新しいデータで更新し、書き込みワード線ドライバ論理をセットアップする。書き込みデータは、ブロック620A~620Bのうち関連するブロックによって選択されたビットセルの行に書き込まれる。いくつかの実施形態では、プリチャージ回路がブロック650に含まれる。
【0037】
読み出しアクセス要求の場合、ブロック650は、アレイ610A~610Bにルーティングされる読み出しビット線をプリチャージするために使用される。ブロック640A~640B内のタイミング回路は、ブロック630A~630B内のセンス増幅器をプリチャージし、セットアップするために使用される。タイミング回路640A~640Bは、読み出しワード線ドライバ論理をセットアップする。行デコーダ620A~620Bのうち何れかは、データを読み出す行を選択し、このデータは、センス増幅器によってセンシングされる読み出しビット線上で提供される。読み出しラッチは、読み出しデータをキャプチャする。
【0038】
次に
図7を参照すると、メモリビットセルに記憶されたデータに効率的にアクセスするための方法700の一実施形態が示されている。説明のために、この実施形態(及び
図8)におけるステップを順番に示す。しかしながら、他の実施形態では、いくつかのステップは、図示した順序とは異なる順序で行われ、いくつかのステップは、同時に実行され、いくつかのステップは、他のステップと組み合わされ、いくつかのステップは、存在しない。
【0039】
複数の行及び列として配列されたメモリビットセルのアレイが、データを記憶する(ブロック702)。様々な実施形態では、記憶されたデータの値は、メモリビットセル内のデータ記憶ループによって維持される。また、記憶されたデータの値は、書き込み動作によって更新される。いくつかの実施形態では、メモリビットセルは、パスゲートとフィードバックインバータ(及びフィードバックトライステートインバータ)とを含み、データ記憶ループを実装し、書き込み動作中に記憶された値の更新を可能にする。いくつかの実施形態では、メモリビットセルは、(
図1の)メモリビットセル100並びに(
図3の)メモリビットセル380及び382のパスゲートとフィードバックインバータとを使用する。
【0040】
メモリビットセルの外部の回路が、第1の読み出しビット線を接地基準レベルにプリチャージする(ブロック704)。回路は、第2の読み出しビット線を電源基準レベルにプリチャージする(ブロック706)。アレイが、アレイの第1の行をターゲットにし、且つ、第1の読み出しビット線上で読み出されるデータをターゲットにする第1の読み出し動作を受信する場合(条件ブロック708:「はい」)、n型トランジスタよりも多くのp型トランジスタを含む第1の非対称読み出しアクセス回路が、第1の行内のビットセルに記憶されたデータを第1の読み出しビット線に搬送する(ブロック710)。いくつかの実施形態では、第1の非対称読み出しアクセス回路は、p型トランジスタのみを含む。例えば、メモリビットセルは、非対称読み出しアクセス回路180を含む(
図1の)メモリビットセル100と同様である。非対称読み出しアクセス回路180は、記憶されたバイナリ値が、プリチャージされた読み出しビット線176に影響を及ぼすかどうかを制御する、p型トランジスタ140及び142等のp型トランジスタのスタックを含む。
【0041】
アレイが、アレイの第1の行をターゲットにし、且つ、第1の読み出しビット線上で読み出されるデータをターゲットにする第1の読み出し動作を受信しない場合(条件ブロック708:「いいえ」)、方法700の制御フローは、ブロック710をスキップし、条件ブロック712に移動する。アレイが、第1の行をターゲットにし、且つ、第2の読み出しビット線上で読み出されるデータをターゲットにする第2の読み出し動作を受信する場合(条件ブロック712:「はい」)、p型トランジスタよりも多くのn型トランジスタを含む第2の非対称読み出しアクセス回路が、第1の行内のビットセルに記憶されたデータを第2の読み出しビット線に搬送する(ブロック714)。いくつかの実施形態では、第2の非対称読み出しアクセス回路は、n型トランジスタのみを含む。例えば、メモリビットセルは、非対称読み出しアクセス回路182を含む(
図1の)メモリビットセル100と同様である。非対称読み出しアクセス回路182は、記憶されたバイナリ値が、プリチャージされた読み出しビット線178に影響を及ぼすかどうかを制御する、n型トランジスタ150及び152等のn型トランジスタのスタックを含む。
【0042】
アレイが、アレイの第1の行をターゲットにし、且つ、第2の読み出しビット線上で読み出されるデータをターゲットにする第2の読み出し動作を受信しない場合(条件ブロック712:「いいえ」)、方法700の制御フローは、ブロック714をスキップし、ブロック716に移動する。ビットセルは、記憶されたバイナリ値を維持する(ブロック716)。先に説明されたように、ビットセルは、バイナリ値が書き込みアクセス動作によって修正されるまでバイナリ値を記憶するためのラッチ要素を含む。
【0043】
次に
図8を参照すると、メモリビットセルの半導体レイアウトを効率的に生成するための方法800の一実施形態が示されている。第1の読み出しワード線を受けるために、メモリビットセルレイアウトの第1のエッジにおいてp型拡散のみの上に第1の金属ゲートを配置する(ブロック802)。したがって、第1の金属ゲートは、p型トランジスタを生成するために使用されるp型活性領域の上に配置される。第1の読み出しワード線とは異なる第2の読み出しワード線を受けるために、メモリビットセルレイアウトの第1のエッジにおいてn型拡散のみの上に第2の金属ゲートを配置する(ブロック804)。したがって、第2の金属ゲートは、n型トランジスタを生成するために使用されるn型活性領域の上に配置される。エッジから離れたセルレイアウト内でp型拡散とn型拡散の両方の上にダミーゲートを配置する(ブロック806)。
【0044】
第1の読み出しビット線を、p型拡散のみの上のドレイン領域として、第1のエッジに配置する(ブロック808)。第1の読み出しビット線とは異なる第2の読み出しビット線を、n型拡散のみの上のドレイン領域として、第1のエッジに配置する(ブロック810)。書き込みビット線を、p型拡散とn型拡散の両方の上のドレイン領域として、第2のエッジに配置する(ブロック812)。
【0045】
単一メモリビットセルのレイアウトのコンタクトゲートピッチをp型トランジスタの数よりも1つ多いものとして提供する(ブロック814)。第1のメモリビットセルを、第1のメモリビットセルのミラーリングされた方式(鏡像様式)で配置された第2のメモリビットセルの第1のエッジに第1のエッジが当接した状態で配置し、第1のメモリビットセル及び第2のメモリビットセルによって第1の読み出しビット線及び第2の読み出しビット線を共有することを可能にする(ブロック816)。
【0046】
上述した実施形態のうち1つ以上は、ソフトウェアを含むことに留意されたい。そのような実施形態では、方法及び/又は機構を実施するプログラム命令は、コンピュータ可読媒体に搬送又は記憶される。プログラム命令を記憶するように構成されている多数のタイプの媒体が利用可能であり、ハードディスク、フロッピー(登録商標)ディスク、CD-ROM、DVD、フラッシュメモリ、プログラマブルROM(Programmable ROM、PROM)、ランダムアクセスメモリ(random access memory、RAM)等の揮発性又は不揮発性記憶装置が挙げられる。一般的に言えば、コンピュータアクセス可能記憶媒体は、命令及び/又はデータをコンピュータに提供するために、使用中にコンピュータによってアクセス可能な任意の記憶媒体を含む。例えば、コンピュータアクセス可能記憶媒体としては、磁気又は光学媒体(例えば、ディスク(固定又は取り外し可能)、テープ、CD-ROM、DVD-ROM、CD-R、CD-RW、DVD-R、DVD-RW、Blu-Ray(登録商標)等)の記憶媒体が挙げられる。記憶媒体としては、RAM(例えば、同期ダイナミックRAM(synchronous dynamic RAM、SDRAM)、ダブルデータレート(double data rate、DDR、DDR2、DDR3等)SDRAM、低電力DDR(low-power DDR、LPDDR2等)SDRAM、ラムバスDRAM(Rambus DRAM、RDRAM)、スタティックRAM(static RAM、SRAM)等)、ROM、フラッシュメモリ等の揮発性又は不揮発性メモリ媒体、ユニバーサルシリアルバス(Universal Serial Bus、USB)インターフェース等の周辺インターフェースを介してアクセス可能な不揮発性メモリ(例えば、フラッシュメモリ)等が更に挙げられる。記憶媒体としては、微小電気機械システム(microelectromechanical system、MEMS)、並びに、ネットワーク及び/又はワイヤレスリンク等の通信媒体を介してアクセス可能な記憶媒体が挙げられる。
【0047】
更に、様々な実施形態では、プログラム命令は、C等の高レベルプログラミング言語、又は、Verilog、VHDL等の設計言語(design language、HDL)、又は、GDSIIストリームフォーマット(GDSII)等のデータベースフォーマットでのハードウェア機能の動作レベル記述又はレジスタ転送レベル(register-transfer level、RTL)記述を含む。場合によっては、記述は、合成ライブラリからゲートのリストを含むネットリストを生成するために記述を合成する合成ツールによって読み出される。ネットリストは、システムを含むハードウェアの機能も表すゲートのセットを含む。ネットリストは、次いで、マスクに適用される幾何学的形状を記述するデータセットを生成するために、配置及びルーティングされ得る。次に、マスクは、システムに対応する半導体回路又は回路を生成するために、様々な半導体製造ステップで使用され得る。代替的に、コンピュータアクセス可能記憶媒体上の命令は、必要に応じて、ネットリスト(合成ライブラリを有する若しくは有しない)又はデータセットである。追加的に、命令は、Cadence(登録商標)、EVE(登録商標)及びMentor Graphics(登録商標)等のベンダからのハードウェアベースのタイプのエミュレータによるエミュレーションのために利用される。
【0048】
上記の実施形態は、かなり詳細に説明されているが、上記の開示が十分に理解されると、多数の変形及び修正が当業者には明らかになるであろう。以下の特許請求の範囲は、全てのそのような変形及び修正を包含すると解釈されることが意図されている。
【国際調査報告】