特表2024-527822プラズマプロセスの監視および制御

発明の名称　プラズマプロセスの監視および制御

出願人　ラム　リサーチ　コーポレーション　（識別番号 592010081）

　　　　特許公開件数ランキング 126 位（249件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 136 位（200件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2024-527822

公報発行日　2024年7月26

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2024-527822

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