特表 2024-531025 真空保持交換可能なトッププレートを有するクイックスワップチャック

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-08-29

(54)【発明の名称】真空保持交換可能なトッププレートを有するクイックスワップチャック

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/66 20060101AFI20240822BHJP

   H01L 21/683 20060101ALI20240822BHJP

   G01N 21/84 20060101ALI20240822BHJP

   G03F 7/20 20060101ALI20240822BHJP

   G01N 21/956 20060101ALN20240822BHJP

【ＦＩ】

H01L21/66 J

H01L21/68 P

G01N21/84 C

G03F7/20 501

G01N21/956 A

【審査請求】未請求

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2023572229

(86)(22)【出願日】2022-08-29

(85)【翻訳文提出日】2023-11-21

(86)【国際出願番号】 US2022041793

(87)【国際公開番号】W WO2023034162

(87)【国際公開日】2023-03-09

(31)【優先権主張番号】63/238,222

(32)【優先日】2021-08-30

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(31)【優先権主張番号】17/562,544

(32)【優先日】2021-12-27

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】500049141

【氏名又は名称】ケーエルエー コーポレイション

(74)【代理人】

【識別番号】110001210

【氏名又は名称】弁理士法人ＹＫＩ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】リム チョウ ティエン

(72)【発明者】

【氏名】パティル ラジーブ

(72)【発明者】

【氏名】ガディア ハリット

【テーマコード（参考）】

2G051

2H197

4M106

5F131

【Ｆターム（参考）】

2G051AA51

2G051DA20

2H197CD02

2H197CD06

4M106AA01

4M106BA05

4M106CA39

4M106DB04

4M106DJ02

5F131AA02

5F131DA33

5F131DA42

5F131EA12

5F131EA21

(57)【要約】

基板を固定するための装置は、チャックのベースに可逆的に取り付けるように構成された取り外し可能なプレートを含む。チャックのベースは、１つ以上のベース－基板真空入口チャネルと、１つ以上のベース－プレート入口チャネルとを含む。取り外し可能なプレートは、１つ以上の第１の真空リザーバおよび第２の真空リザーバを含む。取り外し可能なプレートは、取り外し可能なプレートとベースとの間に第１の真空シールを形成するために、１つ以上の第１の真空リザーバとベース－プレート入口チャネルとの間に流体接続を確立するようにさらに構成される。取り外し可能なプレートは、取り外し可能なプレートと基板との間に第２の真空シールを形成するために、１つ以上の第２の真空リザーバと流体接続するための１つ以上の貫通チャネルをさらに含む。

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板を固定するための装置であって、
取り外し可能なプレートであって、チャックのベースへの可逆的な取り付けのために構成され、裏側部分上の１つ以上の第１の真空リザーバと、前側部分上の１つ以上の第２の真空リザーバとを含む、取り外し可能なプレート
を備え、
前記ベースは、１つ以上のベース－基板真空入口チャネルと、１つ以上のベース－プレート入口チャネルとを含み、
前記取り外し可能なプレートは、前記取り外し可能なプレートの裏側部分上の前記１つ以上の第１の真空リザーバと、前記取り外し可能なプレートとベースとの間に第１の真空シールを形成するために１つ以上のベース－プレート入口チャネルとの間に流体接続を確立するように構成され、
前記取り外し可能なプレートは、前記取り外し可能なプレートと前記基板との間に第２の真空シールを形成するために前記取り外し可能なプレートの前側部分上の前記１つ以上の第２の真空リザーバ間に流体接続を確立し、前記１つ以上のベース－基板真空入口チャネルと流体接続するための１つ以上の貫通チャネルを含む、
装置。

【請求項2】

前記取り外し可能なプレートは、１つ以上の締結具を介して前記ベースに固定されることを特徴とする請求項１に記載の装置。

【請求項3】

前記１つ以上の締結具は、１つ以上のねじ、１つ以上のボルト、または１つ以上のピンのうちの少なくとも１つを備えることを特徴とする請求項２に記載の装置。

【請求項4】

前記取り外し可能なプレートは、前記取り外し可能なプレートと前記ベースとの間の前記第１の真空シールを介して前記ベースに固定されることを特徴とする請求項１に記載の装置。

【請求項5】

前記取り外し可能なプレートは、１つ以上のコーティングでコーティングされることを特徴とする請求項１に記載の装置。

【請求項6】

前記１つ以上のコーティングは、１つ以上の反射防止コーティングを含むことを特徴とする請求項５に記載の装置。

【請求項7】

前記取り外し可能なプレートの少なくとも一部は、ポリエーテルエーテルケトンポリマー、炭素繊維、または炭化ケイ素のうちの少なくとも１つから形成されることを特徴とする請求項１に記載の装置。

【請求項8】

前記チャックのベースは、回転駆動ユニットに機械的に連結され、前記回転駆動ユニットは、
スピンドルと、
モータと、
を備えることを特徴とする請求項１に記載の装置。

【請求項9】

半導体ウェハ
を備えることを特徴とする請求項１に記載の装置。

【請求項10】

基板を固定するための装置であって、
チャックのベースと、
取り外し可能なプレートであって、前記チャックの前記ベースに可逆的に取り付けられるように構成され、裏側部分上に１つ以上の第１の真空リザーバと、前側部分上に１つ以上の第２の真空リザーバとを含む、取り外し可能なプレートと、
を備え、
前記ベースは、１つ以上のベース－基板真空入口チャネルと、１つ以上のベース－プレート入口チャネルとを含み、
前記取り外し可能なプレートは、前記取り外し可能なプレートの裏側部分上の前記１つ以上の第１の真空リザーバと、前記取り外し可能なプレートと前記ベースとの間に第１の真空シールを形成するために前記１つ以上のベース－プレート入口チャネルとの間に流体接続を確立するように構成され、
前記取り外し可能なプレートは、前記取り外し可能なプレートと前記基板との間に第２の真空シールを形成するために前記取り外し可能なプレートの前側部分上の前記１つ以上の第２の真空リザーバ間に流体接続を確立し、前記１つ以上のベース－基板真空入口チャネルと流体接続するための１つ以上の貫通チャネルを含む、
装置。

【請求項11】

光学システムであって、
基板チャッキングサブシステムであって、
ベースと、
取り外し可能なプレートであって、前記ベースに可逆的に取り付けられるように構成され、裏側部分上に１つ以上の第１の真空リザーバと、表側部分上に１つ以上の第２の真空リザーバとを含む、取り外し可能なプレートと、
を備え、
ベースは、１つ以上のベース基板真空入口チャネルと、１つ以上のベースプレート入口チャネルとを含み、
前記取り外し可能なプレートは、前記取り外し可能なプレートの裏側部分上の１つ以上の第１の真空リザーバと、前記取り外し可能なプレートと前記ベースとの間に第１の真空シールを形成するために前記１つ以上のベースプレート入口チャネルとの間に流体接続を確立するように構成され、
前記取り外し可能なプレートは、前記取り外し可能なプレートと前記基板との間に第２の真空シールを形成するために前記取り外し可能なプレートの前側部分上の前記１つ以上の第２の真空リザーバ間に流体接続を確立し、前記１つ以上のベース－基板真空入口チャネルと流体接続するための１つ以上の貫通チャネルを含み、
前記基板チャッキングサブシステムによって固定された前記基板の１つ以上の部分を照明するように構成された照明源と、
前記基板の照明された１つ以上の部分から照明を収集するように構成された検出器と、
を備える光学システム。

【請求項12】

前記光学システムは、検査ツールとして構成されることを特徴とする請求項１１に記載の光学システム。

【請求項13】

前記光学システムは、計測ツールとして構成されることを特徴とする請求項１１に記載の光学システム。

【請求項14】

前記取り外し可能なプレートは、１つ以上の締結具を介して前記ベースに固定されることを特徴とする請求項１１に記載の光学システム。

【請求項15】

前記１つ以上の締結具は、１つ以上のねじ、１つ以上のボルト、または１つ以上のピンのうちの少なくとも１つを備えることを特徴とする請求項１４に記載の光学システム。

【請求項16】

前記取り外し可能なプレートは、前記取り外し可能なプレートと前記ベースとの間の第１の真空シールを介して前記ベースに固定されることを特徴とする請求項１１に記載の光学システム。

【請求項17】

前記取り外し可能なプレートは、１つ以上のコーティングでコーティングされることを特徴とする請求項１１に記載の光学システム。

【請求項18】

前記１つ以上のコーティングは、１つ以上の反射防止コーティングを含むことを特徴とする請求項１７に記載の光学システム。

【請求項19】

前記取り外し可能なプレートの少なくとも一部は、ポリエーテルエーテルケトンポリマー、炭素繊維、または炭化ケイ素のうちの少なくとも１つから形成されることを特徴とする請求項１１に記載の光学システム。

【請求項20】

前記ベースは回転駆動ユニットに機械的に連結され、前記回転駆動ユニットは、
スピンドルと、
モータと、
を備えることを特徴とする請求項１１に記載の光学システム。

【請求項21】

前記基板は半導体ウェハを備えることを特徴とする請求項１１に記載の光学システム。

【請求項22】

方法であって、
取り外し可能なプレートの裏側部分上に１つ以上の第１の真空リザーバと、前記取り外し可能なプレートの前側部分上に１つ以上の第２の真空リザーバとを含む前記取り外し可能なプレートを受け取るステップと、
前記取り外し可能なプレートの裏側部分上の前記１つ以上の第１の真空リザーバと１つ以上のベースプレート入口チャネルとの間に流体接続を確立し、前記取り外し可能なプレートとベースとの間に第１の真空シールを形成することによって、前記取り外し可能なプレートをチャックのベースに固定するステップと、
基板を受け取るステップと、
１つ以上のベース－基板真空入口チャネルと前記取り外し可能なプレートの前側部分上の前記１つ以上の第２の真空リザーバとの間に、１つ以上の貫通チャネルを介して流体接続を確立し、前記取り外し可能なプレートと前記基板との間に第２の真空シールを形成することによって、前記基板を前記取り外し可能なプレートに固定するステップと、
を備える方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、概して基板チャックシステムに関し、より詳細には、真空保持式の取り外し可能なトッププレートを有する基板チャックシステムに関する。

【背景技術】

【0002】

関連出願の参照
本出願は、米国仮出願６３／２３８，２２２号（２０２１年８月３０日、ＱＵＩＣＫ ＳＷＡＰ ＣＨＵＣＫ ＷＩＴＨ ＶＡＣＵＵＭ ＨＯＬＤＩＮＧ ＩＮＴＥＲＣＨＡＮＧＥＡＢＬＥ ＴＯＰ ＰＬＡＴＥ）、発明者としてのＬｉｍ Ｃｈｏｗ Ｔｉａｎ、Ｒａｊｅｅｖ Ｐａｔｉｌ、およびＨａｒｉｔ Ｍａｇａｎｌａｌ Ｇａｄｈｉａの利益を米国特許法１１９条（ｅ）の下に請求し、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。

【0003】

半導体デバイス製造プロセスに対する公差が狭まり続けるにつれて、半導体ウェーハレビューのための改善された光学システムの需要は増加し続けている。このような光学システムでは、基板チャックを使用して基板を適所に固定することができる。従来、複数の形状、サイズ、及び様々な基板を検討するために、複数の基板チャックを交換しなければならない。基板チャックを交換し、複数の基板チャックを適切に較正するプロセスは、しばしば、長時間を要し得る。さらに、複数の基板チャックの製造は、費用がかかり得る。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】国際公開第２００８／１２１５６１号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

したがって、上記で特定された以前のアプローチの欠点を解決するシステムおよび方法を提供することが望ましいであろう。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の１つ以上の実施形態による、基板を固定するための装置が開示される。一実施形態では、装置は、チャックのベースに可逆的に取り付けるように構成された取り外し可能なプレートを含む。別の実施形態では、取り外し可能なプレートは、取り外し可能なプレートの裏側部分上の１つ以上の第１の真空リザーバと、取り外し可能なプレートの表側部分上の１つ以上の第２の真空リザーバとを含む。別の実施形態では、ベースは、１つ以上のベース－基板真空入口チャネルと、１つ以上のベース－プレート入口チャネルとを含む。別の実施形態では、取り外し可能なプレートは、取り外し可能なプレートの裏側部分上の１つ以上の第１の真空リザーバと、取り外し可能なプレートとベースとの間に第１の真空シールを形成するために１つ以上のベース－プレート入口チャネルとの間に流体接続を確立するように構成される。別の実施形態では、取り外し可能なプレートは、取り外し可能なプレートと基板との間に第２の真空シールを形成するために取り外し可能なプレートの前側部分上の１つ以上の第２の真空リザーバ間に流体接続を確立し、１つ以上のベース－基板真空入口チャネルと流体接続するための１つ以上の貫通チャネルを含む。

【0007】

本開示の１つ以上の実施形態による、基板を固定するための装置が開示される。一実施形態では、装置はチャックのベースを含む。別の実施形態では、ベースは、１つ以上のベース－基板真空入口チャネルと、１つ以上のベース－プレート入口チャネルとを含む。別の実施形態では、装置は、チャックのベースに可逆的に取り付けるように構成された取り外し可能なプレートを含む。別の実施形態では、取り外し可能なプレートは、取り外し可能なプレートの裏側部分上の１つ以上の第１の真空リザーバと、取り外し可能なプレートの表側部分上の１つ以上の第２の真空リザーバとを含む。別の実施形態では、取り外し可能なプレートは、取り外し可能なプレートの裏側部分上の１つ以上の第１の真空リザーバと、取り外し可能なプレートとベースとの間に第１の真空シールを形成するために１つ以上のベース－プレート入口チャネルとの間に流体接続を確立するように構成される。別の実施形態では、取り外し可能なプレートは、取り外し可能なプレートと基板との間に第２の真空シールを形成するために取り外し可能なプレートの前側部分上の１つ以上の第２の真空リザーバ間に流体接続を確立し、１つ以上のベース－基板真空入口チャネルと流体接続するための１つ以上の貫通チャネルを含む。

【0008】

本開示の１つ以上の実施形態による光学システムが開示される。一実施形態では、光学システムは、基板チャッキングサブシステムを含む。別の実施形態では、光学システムは、基板チャッキングサブシステムによって固定された基板の１つ以上の部分を照射するように構成された照明源を含む。別の実施形態では、光学システムは、基板の照明された１つ以上の部分から照明を収集するように構成された検出器を含む。一実施形態では、基板チャッキングサブシステムはベースを含む。別の実施形態では、ベースは、１つ以上のベース－基板真空入口チャネルと、１つ以上のベース－プレート入口チャネルとを含む。別の実施形態では、基板チャッキングサブシステムは、ベースに可逆的に取り付けるように構成された取り外し可能なプレートを含む。別の実施形態では、取り外し可能なプレートは、取り外し可能なプレートの裏側部分上の１つ以上の第１の真空リザーバと、取り外し可能なプレートの表側部分上の１つ以上の第２の真空リザーバとをさらに含む。別の実施形態では、取り外し可能なプレートは、取り外し可能なプレートの裏側部分上の１つ以上の第１の真空リザーバと、取り外し可能なプレートとベースとの間に第１の真空シールを形成するために１つ以上のベース－プレート入口チャネルとの間に流体接続を確立するように構成される。別の実施形態では、取り外し可能なプレートは、取り外し可能なプレートと基板との間に第２の真空シールを形成するために取り外し可能なプレートの前側部分上の１つ以上の第２の真空リザーバ間に流体接続を確立し、１つ以上のベース－基板真空入口チャネルと流体接続するための１つ以上の貫通チャネルを含む。

【0009】

本開示の１つ以上の実施形態による方法が開示される。一実施形態では、方法は、取り外し可能プレートの裏側部分上の１つ以上の第１の真空リザーバと、取り外し可能プレートの表側部分上の１つ以上の第２の真空リザーバとを含む、取り外し可能プレートを受け取る。別の実施形態では、方法は、取り外し可能なプレートの背面部分上の１つ以上の第１の真空リザーバと１つ以上のベース－プレート入口チャネルとの間に流体接続を確立し、取り外し可能なプレートとベースとの間に第１の真空シールを形成することによって、取り外し可能なプレートをチャックのベースに固定するステップを含む。別の実施形態では、方法は、基板を受け取ることを含む。別の実施形態では、方法は、１つ以上の貫通チャネルを介して、１つ以上のベース－基板真空入口チャネルと取り外し可能なプレートの前側部分上の１つ以上の第２の真空リザーバとの間に流体接続を確立し、取り外し可能なプレートと基板との間に第２の真空シールを形成することによって、基板を取り外し可能なプレートに固定するステップを含む。

【0010】

前述の概要および以下の詳細な説明の両方は、例示的および説明的なものにすぎず、特許請求される本発明を必ずしも限定するものではないことを理解されたい。明細書に組み込まれ、明細書の一部を構成する添付の図面は、本発明の実施形態を示し、全般的な説明とともに、本発明の原理を説明するのに役立つ。

【図面の簡単な説明】

【0011】

本開示の多数の利点は、添付の図面を参照することによって当業者によってよりよく理解され得る：

【図1A】本開示の１つ以上の実施形態による基板チャッキングサブシステムの断面図を示す。

【図1B】本開示の１つ以上の実施形態による基板チャッキングサブシステムの上面図を示す。

【図2A】本開示の１つ以上の実施形態による、基板チャッキングサブシステムを備えた光学システムの概略図である。

【図2B】本開示の１つ以上の実施形態による、基板チャッキングサブシステムを備えた光学システムの概略図である。

【図3】本開示の１つ以上の実施形態による、基板をチャッキングするための方法のフローチャートを示す。

【発明を実施するための形態】

【0012】

本開示は、特定の実施形態およびその特定の特徴に関して具体的に示され、説明されてきた。本明細書に記載される実施形態は、限定的ではなく例示的であると解釈される。本開示の精神および範囲から逸脱することなく、形態および詳細における種々の変更および修正が行われ得ることが、当業者に容易に明白となるはずである。ここで、添付の図面に示される開示された主題を詳細に参照する。

【0013】

概して図１Ａ～図３を参照すると、本開示の１つ以上の実施形態による基板チャックシステムのためのシステムおよび方法が記載されている。

【0014】

本開示の実施形態は、チャックベース上での迅速な交換に適した真空固定された取り外し可能なトッププレートを有する基板チャックシステムに関する。このような構成は、共通のチャックベースが様々な基板に使用される複数のトッププレートを収容することを可能にするので、基板チャック交換プロセスにおいてより時間及び費用効率が高い。基板チャッキングシステムは、限定はしないが、検査システム、計測システム、およびリソグラフィシステムなど、様々な光学システムにおいて実装され得ることにさらに留意されたい。

【0015】

図１Ａは、本開示の１つ以上の実施形態による、基板チャッキングサブシステム１００の断面図を示し、図１Ｂは、チャッキングサブシステム１００の上面図を示す。実施形態では、図１Ｂによって図示されるように、チャッキングサブシステム１００は、１つ以上のエンドエフェクタスロット１１８を含んでもよい。実施形態では、基板チャッキングサブシステム１００は、チャックベース１０４と、取り外し可能なプレート１０２と、１つ以上の上側真空入口１１４と、１つ以上の下側真空入口１１２と、上側真空リザーバ１０８と、１つ以上の下側真空リザーバ１０６と、基板１１６を取り外し可能なプレート１０２に固定するための１つ以上の締結具１１０とを含む。実施形態では、チャックベース１０４は、回転駆動ユニットに機械的に連結されてもよい。例えば、チャックベース１０４は、回転駆動ユニットに連結されてもよく、回転駆動ユニットは、光学システムプロセス（例えば、検査、計測、およびリソグラフィ）中にチャックベース１０４、取り外し可能なプレート１０２、および基板１１６を回転させるように構成される。

【0016】

実施形態では、図１Ａおよび図１Ｂに示すように、取り外し可能なプレート１０２は、取り外し可能なプレート１０２の底側（裏側）部分およびチャックベース１０４の上側部分に配置された１つ以上の下側真空リザーバを含む。この点に関して、取り外し可能なプレート１０２は、１つ以上の下部真空リザーバ１０６を使用してチャックベース１０４に取り付けられる。例えば、動作中、１つ以上の下側真空入口１１２と１つ以上の下側真空リザーバ１０６との間に流体接続を確立して、取り外し可能なプレート１０２とチャックベース１０４との間に真空シールを作り出すことができる。これに関して、１つ以上の下側真空リザーバ１０６および１つ以上の下側真空入口１１２を使用して確立された真空シールは、取り外し可能なプレート１０２に下向きの力をもたらし、取り外し可能なプレート１０２の下側をチャックベース１０４の上側に封止および保持する働きをする。

【0017】

実施形態では、取り外し可能なプレート１０２は、１つ以上の締結具１１０を使用して、チャックベース１０４に固定されてもよい。１つ以上の締結具１１０は、ネジ、ボルト、およびピンを含むが、それらに限定されない、当技術分野で公知の任意の締結要素を含んでもよい。実施形態では、取り外し可能なプレート１０２は、限定されないが、ポリエーテルエーテルケトンポリマー、炭素繊維、または炭化ケイ素を含む材料から形成され得る。実施形態では、取り外し可能なプレート１０２は、１つ以上のコーティングでコーティングされてもよい。例えば、取り外し可能なプレート１０２は、反射防止コーティングの１つ以上の層でコーティングされてもよい。

【0018】

実施形態では、取り外し可能なプレート１０２は、１つ以上の上部真空リザーバ１０８を含む。この点に関して、基板１１６（例えば、半導体ウエハ）は、基板１１６の底部側および取り外し可能なプレート１０２の上部側に位置する１つ以上の上部真空リザーバ１０８を使用して、取り外し可能なプレート１０２に取り付けられ得る。例えば、取り外し可能なプレート１０２と基板１１６との間に真空シールを形成するために、１つ以上の上側真空入口１１４と１つ以上の上側真空リザーバ１０８との間に流体接続を確立することができる。これに関して、１つ以上の上側真空リザーバ１０８および１つ以上の上側真空入口１１４を使用して確立された真空シールは、基板１１６に下向きの力をもたらし、基板１１６の下側を取り外し可能なプレート１０２の上側に封止および保持する働きをする。

【0019】

図２Ａおよび図２Ｂは、本開示の１つ以上の実施形態による、取り外し可能なプレートを有するウェハチャッキングサブシステムを備えた光学システムの簡略化された概略図を示す。実施形態では、本開示の光学システム２００、２１０は、本明細書で前述したように、基板チャッキングサブシステム１００を含むことができる。一実施形態では、光学システム２００、２１０は、基板１１６の表面上の領域を照明するように構成された少なくとも１つの光源２０２（例えば、１つ以上のレーザ、１つ以上の広帯域光源など。）をさらに含む。別の実施形態では、光学システム２００、２１０は、光源２０２によって照明された領域から反射、回折、または散乱された光を検出するのに適した１つ以上の検出器２０４またはカメラを含む。一実施形態では、１つ以上の検出器２０４は、ＣＣＤまたはＴＤＩ－ＣＣＤ検出器、あるいは光電子増倍管検出器を含んでもよいが、それらに限定されない。加えて、光学システム２００、２１０は、光源２０２からの照明を基板１１６の表面上に方向付け（および集束させ）、次いで、基板１１６の表面からの照明を光学システム２００、２１０の検出器２０４の撮像部分に方向付けるように構成される、一組の光学要素（例えば、照明光学系、集光光学系、ビームスプリッタ２０６、フィルタなど）を含んでもよい。例えば、光学システム２００、２１０のための光学要素のセットは、限定されないが、基板の照射された領域を検出器２０４の収集部分上に結像するのに適した一次結像レンズを含んでもよい。さらに、撮像検出器２０４は、検出器２０４から取得された画像データを識別および記憶し得る画像処理コンピュータに通信可能に結合され得る。

【0020】

本開示の光学システム２００、２１０は、限定はしないが、検査システム、計測システム、およびリソグラフィシステムを含む、当技術分野で知られている任意の光学システムとして構成され得る。例えば、図２Ａに示されるように、本発明の光学システム２００は、明視野（ＢＦ）検査システムとして構成されてもよい。代替として、図２Ｂに示されるように、光学システム２１０は、暗視野（ＤＦ）検査システムとして構成されてもよい。出願人は、図２Ａおよび２Ｂに描写される光学構成は、単に例示目的で提供され、限定として解釈されるべきではないことに留意する。一般的な意味で、本開示の光学システム２００、２１０は、基板１１６の表面を結像するのに適した結像及び光学要素の任意のセットを含むことができる。ウェハ検査ツールの例は、米国特許７，０９２，０８２号、米国特許６，７０２，３０２号、米国特許６，６２１，５７０号及び米国特許５，８０５，２７８号に詳細に記載されており、その各々は参照により本明細書に組み込まれる。

【0021】

図３は、本開示の１つ以上の実施形態による、交換可能なウェーハプレートを使用してウェハをチャッキングするための方法３００のフローチャートを示す。本明細書では、方法３００のステップは、サブシステム１００によってすべてまたは部分的に実装され得ることに留意されたい。しかしながら、方法３００は、追加のまたは代替のシステムレベルの実施形態が方法３００のステップのすべてまたは一部を実行し得るという点で、サブシステム１００に限定されないことがさらに認識される。

【0022】

ステップ３０２において、取り外し可能なプレートが受け入れられ、取り外し可能なプレートは、取り外し可能なプレートの裏側（底部）および前側（上部）に真空リザーバを含む。例えば、図１Ａ及び図１Ｂに示すように、取り外し可能なプレート１０２は、取り外し可能なプレート１０２の前側に１つ又は複数の上側真空リザーバ１０８を含み、取り外し可能なプレート１０２の裏側に１つ又は複数の下側真空リザーバ１０６を含むことができる。

【0023】

ステップ３０４において、取り外し可能なプレートの底部上の下側真空リザーバと下側真空入口との間に流体接続を確立して、取り外し可能なプレートとチャックベースとの間に真空シールを形成することによって、取り外し可能なプレートをチャックベースに固定する。例えば、図１Ａ及び図１Ｂに示すように、１つ又は複数の下側真空入口１１２と１つ又は複数の下側真空リザーバ１０６との間に流体接続を確立して、取り外し可能なプレート１０２とチャックベース１０４との間に真空シールを形成することができる。これに関して、１つ以上の下側真空リザーバ１０６および１つ以上の下側真空入口１１２を使用して確立された真空シールは、取り外し可能なプレート１０２に下向きの力をもたらし、取り外し可能なプレート１０２の下側をチャックベース１０４の上側に封止および保持する働きをする。

【0024】

ステップ３０６において、基板が受け取られる。例えば、半導体ウェハ、透明ガラスウエハ等を収納してもよい。

【0025】

ステップ３０８では、取り外し可能なプレートの上部の上側真空入口と上側真空リザーバとの間に流体接続を確立することによって、取り外し可能なプレートの上部と基板の下部との間に真空シールを形成することによって、基板が取り外し可能なプレートに固定される。例えば、図１Ａおよび１Ｂに図示されるように、流体接続が、１つ以上の上側真空入口１１４と１つ以上の上側真空貯留部１０８との間に確立され、取り外し可能なプレート１０２と基板１１６との間に真空シールを生成してもよい。これに関して、１つ以上の上側真空リザーバ１０８および１つ以上の上側真空入口１１４を使用して確立された真空シールは、基板１１６に下向きの力をもたらし、基板１１６の下側を取り外し可能なプレート１０２の上側に封止および保持する働きをする。

【0026】

当業者は、本明細書で説明される構成要素（例えば、動作）、デバイス、オブジェクト、およびそれらに付随する議論が、概念を明確にするために、例として使用され、種々の構成修正が検討されることを認識するであろう。したがって、本明細書で使用されるように、記載される特定の例および付随する議論は、それらのより一般的なクラスの代表であることが意図される。概して、任意の特定の例の使用は、そのクラスを表すことが意図され、特定の構成要素（例えば、動作）、デバイス、およびオブジェクトの非包含は、限定として解釈されるべきではない。

【0027】

当業者は、本明細書で説明されるプロセスおよび／またはシステムおよび／または他の技術に影響を及ぼすことができる種々の車両が存在すること（例えば、ハードウェア、ソフトウェア、及び／又はファームウェア）、および好ましい車両は、プロセスおよび／またはシステムおよび／または他の技術が展開される状況によって変動するであろうことを理解するであろう。例えば、速度および精度が最も重要であると実装者が判断した場合、実装者は、主にハードウェアおよび／またはファームウェアのビークルを選択することができる；代替として、柔軟性が最重要である場合、実装者は、主にソフトウェア実装を選ぶことができる；または、やはり代替的に、実装者は、ハードウェア、ソフトウェア、および／またはファームウェアの何らかの組合せを選ぶことができる。したがって、本明細書で説明されるプロセスおよび／またはデバイスおよび／または他の技術に影響を及ぼし得る、いくつかの可能なビヒクルが存在し、そのいずれも、利用される任意のビヒクルが、ビヒクルが展開される状況および実装者の具体的懸念（例えば、速度、柔軟性、または予測可能性）に依存する選択肢であり、そのいずれも、変動し得るという点で、他よりも本質的に優れていない。

【0028】

前述の説明は、当業者が、特定の用途およびその要件の文脈において提供されるような本発明を作製および使用することを可能にするために提示される。本明細書で使用するとき、「上」、「下」、「上」、「下」、「上」、「上方」、「下方」、「下方」などの方向を示す用語は、説明の目的で相対的な位置を提供することを意図しており、絶対的な基準系を指定することを意図していない。説明された実施形態に対する様々な修正は、当業者には明らかであり、本明細書で定義された一般的な原理は、他の実施形態に適用され得る。したがって、本発明は、図示および説明した特定の実施形態に限定されるものではなく、本明細書で開示した原理および新規の特徴に合致する最も広い範囲を与えられるべきである。

【0029】

本明細書における実質的に任意の複数形および／または単数形の用語の使用に関して、当業者は、文脈および／または用途に適切であるように、複数形から単数形に、および／または単数形から複数形に変換することができる。様々な単数形／複数形の置き換えは、理解しやすいように、本明細書で明確に記載されない。

【0030】

本明細書で説明される全ての方法は、方法の実施形態の１つ以上のステップの結果をメモリに記憶することを含んでもよい。結果は、本明細書で説明される結果のいずれかを含んでもよく、当技術分野で公知の任意の様式で記憶されてもよい。メモリは、本明細書で説明される任意のメモリ、または当技術分野で知られている任意の他の好適な記憶媒体を含み得る。結果が記憶された後、結果は、メモリ内にアクセスされ、本明細書に説明される方法またはシステム実施形態のうちのいずれかによって使用され、ユーザへの表示のためにフォーマットされ、別のソフトウェアモジュール、方法、またはシステムによって使用される等することができる。さらに、結果は、「永久的に」、「半永久的に」、「一時的に」、またはある期間にわたって記憶され得る。例えば、メモリは、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）であってもよく、結果は、必ずしもメモリ内に無期限に持続しなくてもよい。

【0031】

上述の方法の実施形態の各々は、本明細書に記載される任意の他の方法の任意の他のステップを含み得ることがさらに企図される。加えて、上述の方法の実施形態の各々は、本明細書に記載のシステムのいずれかによって実行することができる。

【0032】

本明細書で説明される主題は、場合によっては、他の構成要素内に含まれる、または他の構成要素と接続される、異なる構成要素を図示する。そのような描写されたアーキテクチャは、単なる例示であり、実際には、同じ機能性を達成する多くの他のアーキテクチャが実装され得ることを理解されたい。概念的な意味では、同じ機能を達成するための構成要素の任意の配置は、所望の機能が達成されるように効果的に「関連付けられる」。したがって、特定の機能を達成するために組み合わされた本明細書の任意の２つの構成要素は、アーキテクチャまたは中間構成要素にかかわらず、所望の機能が達成されるように互いに「関連付けられる」と見なすことができる。同様に、そのように関連付けられた任意の２つの構成要素はまた、所望の機能性を達成するために、相互に「接続」または「結合」されていると見なされることができ、そのように関連付けられることが可能な任意の２つの構成要素はまた、所望の機能性を達成するために、相互に「結合可能」であると見なされることができる。結合可能な特定の例は、物理的に結合可能及び／又は物理的に相互作用する構成要素及び／又は無線で相互作用可能及び／又は無線で相互作用する構成要素及び／又は論理的に相互作用及び／又は論理的に相互作用可能な構成要素を含むが、これらに限定されない。

【0033】

さらに、本発明は添付の特許請求の範囲によって定義されることを理解されたい。一般に、本明細書および特に添付の特許請求の範囲（例えば、添付の特許請求の範囲の本体）で使用される用語は、一般に「オープン」用語（例えば、「含む（ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ）」という用語は、「含む（ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ）がこれに限定されない」と解釈されるべきであり、「有する（ｈａｖｉｎｇ）」という用語は「少なくとも有する（ｈａｖｉｎｇ）」と解釈されるべきであり、「含む（ｉｎｃｌｕｄｅｓ）」という用語は「含む（ｉｎｃｌｕｄｅｓ）がこれに限定されない」と解釈されるべきである等である）として意図されることが当業者には理解されよう。導入される請求項の記載の具体的な数が意図される場合、そのような意図は、その請求項において明示的に記載されることになり、そのような記載がない場合、そのような意図は存在しないことが、当業者にはさらに理解されよう。例えば、理解の助けとして、以下の添付の特許請求の範囲は、導入句「少なくとも１つの（ａｔ ｌｅａｓｔ ｏｎｅ）」および「１つ以上の（ｏｎｅ ｏｒ ｍｏｒｅ）」を使用して請求項の記載を導くことを含むことができる。しかしながら、そのような語句の使用は、不定冠詞「ａ」または「ａｎ」による請求項の記載の導入が、そのような導入された請求項の記載を含む任意の特定の請求項を、１つのそのような記載のみを含む発明に限定することを意味すると解釈されるべきではない。同じ請求項が「１つ以上」または「少なくとも１つ」という導入句および「ａ」または「ａｎ」（例えば、「ａ」および／または「ａｎ」は、典型的には、「少なくとも１つ」または「１つ以上」を意味すると解釈されるべきである）などの不定冠詞を含む場合でも、同じことが、請求項の記載を紹介するために使用される明確な記事の使用にも当てはまる。また、導入される請求項の記載の具体的な数が明示的に列挙されている場合でも、そのような記載は、典型的には少なくとも列挙された数（例えば、他の修飾因子を伴わない「２つの列挙」の裸の列挙は、典型的には、少なくとも２つの列挙、または２つ以上の列挙を意味する）を意味すると解釈されるべきであることを、当業者は認識されよう。さらに、「Ａ、Ｂ、およびＣのうちの少なくとも１つなど」に類似する慣例表現が使用される事例では、概して、そのような構成は、当業者が慣例表現（例えば、「Ａ、Ｂ、およびＣのうちの少なくとも１つを有するシステム」は、Ａのみ、Ｂのみ、Ｃのみ、ＡおよびＢを共に、ＡおよびＣを共に、ＢおよびＣを共に、および／またはＡ、Ｂ、およびＣを共に有するシステムを含むが、それらに限定されない）を理解するであろう意味で意図される。「Ａ、Ｂ、またはＣのうちの少なくとも１つなど」に類似する慣例表現が使用される事例では、概して、そのような構成は、当業者が慣例表現（例えば、「Ａ、Ｂ、またはＣのうちの少なくとも１つを有するシステム」は、限定されないが、Ａのみ、Ｂのみ、Ｃのみ、ＡおよびＢを共に、ＡおよびＣを共に、ＢおよびＣを共に、ならびに／またはＡ、Ｂ、およびＣを共に有するシステムを含むであろう）を理解するであろう意味で意図される。２つ以上の代替用語を提示する事実上いかなる離接する語および／または句も、説明、特許請求の範囲、または図面のどこにあっても、その用語の一方（ｏｎｅ ｏｆ ｔｈｅ ｔｅｒｍｓ）、その用語のいずれか（ｅｉｔｈｅｒ ｏｆ ｔｈｅ ｔｅｒｍｓ）、または両方の用語（ｂｏｔｈ ｔｅｒｍｓ）を含む可能性を企図すると理解されるべきであることが、当業者にはさらに理解されよう。例えば、「ＡまたはＢ」という語句は、「Ａ」または「Ｂ」または「ＡおよびＢ」の可能性を含むと理解されるであろう。

【0034】

本開示およびその付随する利点の多くは、前述の説明によって理解されるであろうと考えられ、開示される主題から逸脱することなく、またはその物質的利点の全てを犠牲にすることなく、構成要素の形態、構造、および配置において種々の変更が行われ得ることが明白となるであろう。説明される形態は単なる説明であり、そのような変更を包含し、含むことが以下の特許請求の範囲の意図である。さらに、本発明は添付の特許請求の範囲によって定義されることを理解されたい。

【図1A】

【図1B】

【図2A】

【図2B】

【図3】

【国際調査報告】