特表2024-531030ローディング中のセルフロック及びセンタリングのためのばね機構
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公表特許公報(A)
(11)【公表番号】
(43)【公表日】2024-08-29
(54)【発明の名称】ローディング中のセルフロック及びセンタリングのためのばね機構
(51)【国際特許分類】
F16F 1/12 20060101AFI20240822BHJP
H01L 21/683 20060101ALI20240822BHJP
F16F 3/00 20060101ALI20240822BHJP
【ＦＩ】
F16F1/12 Z
H01L21/68 N
F16F3/00
【審査請求】未請求
【予備審査請求】未請求
(21)【出願番号】P 2023575916
(86)(22)【出願日】2022-08-09
(85)【翻訳文提出日】2023-12-08
(86)【国際出願番号】 US2022039886
(87)【国際公開番号】W WO2023018749
(87)【国際公開日】2023-02-16
(31)【優先権主張番号】63/231,267
(32)【優先日】2021-08-10
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(31)【優先権主張番号】17/816,103
(32)【優先日】2022-07-29
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(81)【指定国・地域】
(71)【出願人】
【識別番号】500049141
【氏名又は名称】ケーエルエー コーポレイション
(74)【代理人】
【識別番号】110001210
【氏名又は名称】弁理士法人ＹＫＩ国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】ブレンダー マイヤー
(72)【発明者】
【氏名】ウォルシュ ジョセフ
【テーマコード（参考）】
3J059
5F131
【Ｆターム（参考）】
3J059AC03
3J059AE01
3J059BA01
3J059BB04
3J059BC01
3J059DA50
5F131BA39
5F131CA01
5F131CA12
5F131EB58
5F131EB79
5F131FA13
5F131FA14
5F131FA32
5F131FA33
5F131FA37
5F131GA76
(57)【要約】
装置は、上部部材、上部部材の下に配置される下部部材、及び上部部材と下部部材との間に配置されるばねを含む。上部部材は、そこから下方に延びるピンを有する。下部部材は、ピンの自由端を受けるように構成された座部を有する。ばねはピンを取り囲み、ピンの長さよりも短い自由長を有する。無負荷状態では、ピンの自由端は座部に接触し、ばねは圧縮力を加えて、上部部材と下部部材との間の相対的な横方向の移動を防止する。下部部材が、負荷状態で荷重を担持すると、その荷重はばねに引張力を加えて、ピンの自由端と座部との間に隙間を形成し、それによって上部部材と下部部材との間の相対的な横方向の移動が可能になる。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
下方に延びるピンを有する上部部材と、前記上部部材の下に配置され、前記ピンの自由端を受けるように構成された座部を有する下部部材であって、負荷状態では荷重を担持し、無負荷状態では前記荷重を解放するように構成される下部部材と、
前記上部部材と前記下部部材との間に配置され、前記上部部材に接続された上部端及び前記下部部材に接続された下部端を有するばねであって、前記ピンを取り囲み、前記ピンの長さよりも短い自由長を有するばねと、を備え、
ここで前記無負荷状態では、前記ピンの前記自由端は前記座部に接触し、前記ばねが圧縮力を加えて、前記上部部材と前記下部部材との間の相対的な横方向の移動を防止し、
ここで前記負荷状態では、前記荷重は、前記ばねに引張力を加えて、前記ピンの前記自由端と前記座部との間に隙間を形成し、それによって前記上部部材と前記下部部材との間の相対的な横方向の移動が可能になる、
装置。
【請求項2】
前記下部部材の下に配置され、前記下部部材に結合するように構成されたベース部材、を更に備え、ここで前記ベース部材が前記下部部材に結合されると、前記ベース部材は前記下部部材に前記荷重を加え、前記下部部材を前記無負荷状態から前記負荷状態に移行させ、
ここで前記ベース部材が前記下部部材から結合解除されると、前記ベース部材は前記下部部材から前記荷重を解放し、前記下部部材を前記負荷状態から前記無負荷状態に移行さる、
請求項１に記載の装置。
【請求項3】
前記ベース部材は、そこから上方に延びる支柱を含み、前記支柱の自由端は、前記支柱の直径よりも大きな直径の球形を有し、ここで前記下部部材は開口部を含み、
ここで前記ベース部材が前記下部部材に結合されると、前記支柱の前記自由端は前記開口部内に受容される、
請求項２に記載の装置。
【請求項4】
前記開口部は、前記球形の前記直径よりも大きい幅を有する第１の部分、及び
前記支柱の前記直径よりも大きく、かつ前記球形の前記直径よりも小さい幅を有する第２の部分を含み、
ここで前記ベース部材が前記下部部材に結合されると、前記支柱の前記自由端は前記第１の部分内に受容され、前記支柱は少なくとも部分的に前記第２の部分内に受容される、
請求項３に記載の装置。
【請求項5】
前記下部部材は、前記開口部の内側に１対の内部当接面を更に含み、前記ベース部材が前記下部部材に結合されると、前記球形は前記１対の内部当接面に接触する、
請求項４に記載の装置。
【請求項6】
前記１対の内部当接面は、前記開口部の前記第１の部分を前記第２の部分に接続するテーパ面によって画定される、請求項５に記載の装置。
【請求項7】
前記１対の内部当接面は平面であり、前記球形は各内部当接面上の１つの点と接触する、請求項５に記載の装置。
【請求項8】
前記負荷状態において、前記ピンの前記自由端は少なくとも部分的に前記座部から引き出される、請求項１に記載の装置。
【請求項9】
前記ピンの前記自由端は面取り縁部を有し、前記座部は皿穴を含み、前記無負荷状態では、前記ピンの前記自由端は前記座部に受けられ、前記面取り縁部と前記皿穴との間に環状接触面を有する、請求項１に記載の装置。
【請求項10】
前記上部部材と前記下部部材との間に配置され、上部端が前記上部部材に接続され、下部端が前記下部部材に接続されているベローズであって、前記ばねを取り囲むベローズ、を更に備える、請求項１に記載の装置。
【請求項11】
前記ベローズは、前記ベローズの外部から前記ベローズの内部を密閉するように構成される、請求項１０に記載の装置。
【請求項12】
前記ベローズは、前記隙間の前記長さ以上の長さ分だけ弾性変形可能である、請求項１０に記載の装置。
【請求項13】
前記上部部材は固定拘束を含む、請求項１に記載の装置。
【請求項14】
前記上部部材は、そこから下方に延びる少なくとも３本のピンを有し、前記少なくとも３本のピンは、等間隔に配置され、ここで前記下部部材は、少なくとも３つの下部部材を含み、各下部部材の前記座部は、前記少なくとも３本のピンのうちの１本の前記自由端を受けるように構成され、
ここで前記ばねは、前記上部部材と前記少なくとも３つの下部部材のそれぞれとの間に配置された少なくとも３つのばねを含み、各ばねは、前記少なくとも３本のピンのうちの１本を取り囲む、
請求項１に記載の装置。
【請求項15】
前記下部部材の下に配置され、前記下部部材のそれぞれに結合されるように構成されたベース部材を更に備え、ここで前記ベース部材が前記下部部材のそれぞれに結合されると、前記ベース部材は前記下部部材のそれぞれに前記荷重を加え、前記下部部材のそれぞれを前記無負荷状態から前記負荷状態に移行させ、
ここで前記ベース部材が前記下部部材のそれぞれから結合解除されると、前記ベース部材は前記下部部材のそれぞれから前記荷重を解放し、前記下部部材のそれぞれを前記負荷状態から前記無負荷状態に移行させる、
請求項１４に記載の装置。
【請求項16】
前記ベース部材は、そこから上方に延びる少なくとも３本の支柱を含み、前記少なくとも３本の支柱は等間隔に配置され、各支柱の自由端は、前記支柱の直径よりも大きな直径の球形を有し、ここで前記下部部材のそれぞれは開口部を含み、
ここで前記ベース部材が前記下部部材のそれぞれに結合されると、前記支柱のそれぞれの前記自由端は前記開口部内に受容される、
請求項１５に記載の装置。
【請求項17】
下方に延びるピンを有する上部部材であって、負荷状態では荷重を担持し、無負荷状態では前記荷重を解放するように構成される上部部材と、前記上部部材の下に配置されて、前記ピンの自由端を受けるように構成された座部を有する下部部材と、
前記上部部材と前記下部部材との間に配置され、前記上部部材に接続された上部端、及び前記下部部材に接続された下部端を有するばねであって、前記ピンを取り囲み、前記ピンの長さよりも長い自由長を有するばねと、を備え、
ここで前記無負荷状態では、前記ピンの前記自由端は前記座部に接触し、前記ばねが引張力を加えて前記上部部材と前記下部部材との間の相対的な横方向の移動を防止し、
ここで前記負荷状態では、前記荷重は前記ばねに圧縮力を加え、前記ピンの前記自由端と前記座部との間に隙間を形成し、それによって前記上部部材と前記下部部材との間の相対的な横方向の移動が可能になる、
装置。
【請求項18】
前記上部部材上に配置されて、前記上部部材に結合するように構成されるベース部材を更に備え、ここで前記ベース部材が前記上部部材に結合されると、前記ベース部材は前記上部部材に前記荷重を加え、前記上部部材を前記無負荷状態から前記負荷状態に移行させ、
ここで前記ベース部材が前記上部部材から結合解除されると、前記ベース部材は前記上部部材から前記荷重を解放し、前記上部部材を前記負荷状態から前記無負荷状態に移行させる、
請求項１７に記載の装置。
【請求項19】
前記ベース部材は、そこから下方に延びる支柱を含み、前記支柱の自由端は、前記支柱の直径よりも大きな直径の球形を有し、ここで前記上部部材の上部面は溝を含み、
ここで前記ベース部材が前記上部部材に結合されると、前記支柱の前記自由端は前記上部部材の前記溝に接触する、
請求項１８に記載の装置。
【請求項20】
サスペンションアセンブリであって、下方に延びるピンを有する上部部材、
前記上部部材の下に配置されて、前記ピンの自由端を受けるように構成された座部を有する下部部材であって、負荷状態では荷重を担持し、無負荷状態では荷重を解放するように構成される下部部材、及び、
前記上部部材と前記下部部材との間に配置され、前記上部部材に接続された上部端と、前記下部部材に接続された下部端とを有するばねであって、前記ピンを取り囲み、前記ピンの長さよりも短い自由長を有するばね、を備え、
ここで前記無負荷状態では、前記ピンの前記自由端は前記座部に接触し、前記ばねは圧縮力を加えて、前記上部部材と前記下部部材との間の相対的な横方向の移動を防止し、
ここで前記負荷状態では、前記荷重は前記ばねに引張力を加え、前記ピンの前記自由端と前記座部との間に隙間を形成し、それによって前記上部部材と前記下部部材との間の相対的な横方向の移動が可能になる、サスペンションアセンブリを供給することと、
ベース部材を前記サスペンションアセンブリの下で前記下部部材に結合することであって、前記ベース部材は、前記下部部材に前記荷重を加え、前記下部部材を前記無負荷状態から前記負荷状態に移行させることと、
を含む、方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、キネマチックカップリングに関し、特に、コンプライアントアセンブリを有するキネマチックカップリングに関する。
【背景技術】
【0002】
関連出願の相互参照
本出願は、２０２１年８月１０日に出願され、米国出願番号第６３／２３１，２６７号に譲渡された仮特許出願に対する優先権を主張し、その開示内容は参照により本明細書に援用される。
本出願は、２０２１年８月１０日に出願され、米国出願番号第６３／２３１，２６７号に譲渡された仮特許出願に対する優先権を主張し、その開示内容は参照により本明細書に援用される。
【0003】
半導体製造業界の発展により、歩留まり管理、特に計測及び検査システムへの要求が高まっている。限界寸法は縮小し続けているが、業界は、高い歩留まり、高い価値の生産を達成するための時間を短縮する必要がある。歩留まり問題の検出からそれを修正するまでの合計時間を最小限にすることが、半導体製造業者の投資収益率を決定する。
【0004】
半導体デバイス、例えば論理デバイス及び記憶デバイスの製造は、通常、半導体ウェハを、多数の製造プロセスを用いて処理して、様々なフィーチャ及び複数の階層の半導体デバイスを形成することを含む。例えば、リソグラフィとは、パターンをレチクルから半導体ウェハ上に配置されたフォトレジストに転写することを含む、半導体製造プロセスである。半導体製造プロセスの更なる例は、限定するものではないが、化学機械研磨（ＣＭＰ）、エッチング、堆積、及びイオン注入を含む。複数の半導体デバイスは、単一の半導体ウェハ上に配列して製造され、その後、それらは個別の半導体デバイスに分離され得る。
【0005】
検査プロセスは、半導体製造中の様々な工程で使用されてウェハ上の欠陥を検出し、その製造プロセスの歩留まりを向上させ、それによって利益の増加を促す。検査は、常に、半導体デバイス、例えば集積回路（ＩＣ）の製造の重要部分である。しかし、半導体デバイスの寸法が縮小されるにつれて、検査は、許容可能な半導体デバイスの良好な製造のために更に重要となっており、なぜなら、より小さな欠陥がデバイスの不具合を引き起こす可能性があるためである。例えば、半導体デバイスの寸法が縮小されるにつれて、より小さなサイズの欠陥の検出が必要になっており、それは相対的に小さな欠陥でさえ、半導体デバイスに望ましくない収差を引き起こす可能性があるためである。
【0006】
特定の検査プロセスは、ステージ上のターゲットに向けられた結像ミラーアセンブリ（ＩＭＡ）を使用して実行される。ＩＭＡは、振動に対する感度が高いため、パッシブ振動絶縁装置アセンブリに取り付けられる。様々な用途では、ＩＭＡの絶縁装置アセンブリへの取り付け及び取り外しを必要とする場合があり、そのためこの接続は再現性が高くなければならない。半導体設備の他の用途又は他の分野では、同様のタイプの取り付けアセンブリを必要とする場合がある。
【0007】
従来のキネマチックカップリングでは、第１のインタフェースの３つのボールが第２のインタフェースの３つのｖ形に配置され、その配置は、両方のインタフェースが剛性であれば高い再現性となり得る。しかし、絶縁装置アセンブリは、コンプライアントインタフェースを提供する。ＩＭＡは絶縁装置アセンブリに完全に装着し得るが、その配置は再現可能ではなく、最終的な配置はインタフェースの初期荷重設定による。従来の方法では、ロック機構を使用して、ローディング中のコンプライアントインタフェースの横方向の動きを制限している。しかしながら、そのようなロック機構は、機構をロック及びロック解除するためにオペレータによる手動操作を必要とする。加えて、これらのロック操作により、清浄な状態を保つことが意図されている真空チャンバの内側に粒子が生成される場合がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0008】
【特許文献1】特開２０１１－２４７３１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
したがって、ローディング中に剛性を維持し得るコンプライアントアセンブリを有する改良されたキネマチックカップリングが必要とされている。
【課題を解決するための手段】
【0010】
本開示の一実施形態は、上部部材、下部部材、及びばねを含む装置を提供する。上部部材は、そこから下方に延びるピンを有し得る。下部部材は、上部部材の下に配置され得て、ピンの自由端を受けるように構成された座部を有し得る。下部部材は、負荷状態では荷重を担持し、無負荷状態では荷重を解放するように構成され得る。ばねは、上部部材と下部部材との間に配置され得て、上部部材に接続された上部端と、下部部材に接続された下部端とを有し得る。ばねはピンを取り囲んでもよく、ばねはピンの長さよりも短い自由長を有してもよい。無負荷状態では、ピンの自由端は座部に接触し得て、ばねが圧縮力を加えて、上部部材と下部部材との間の相対的な横方向の移動を防止し得る。負荷状態では、荷重は、ばねに引張力を加えることができ、ピンの自由端と座部との間に隙間が形成され得て、それによって上部部材と下部部材との間の相対的な横方向の移動が可能になり得る。
【0011】
本開示の一実施形態によれば、装置はベース部材を更に含み得る。ベース部材は、下部部材の下に配置され得て、下部部材に結合するように構成され得る。ベース部材が下部部材に結合されると、ベース部材は、下部部材に荷重をかけることができ、下部部材を無負荷状態から負荷状態に移行させ得る。ベース部材が下部部材から結合解除されると、ベース部材は、下部部材から荷重を解放することができ、下部部材を負荷状態から無負荷状態に移行させ得る。
【0012】
本開示の一実施形態によれば、ベース部材は、そこから上方に延びる支柱を含み得る。支柱の自由端は、支柱の直径よりも大きな直径を有する球形を有してもよい。
【0013】
本発明の一実施形態によれば、下部部材は開口部を更に含み得る。ベース部材が下部部材に結合されると、支柱の自由端は開口部内に受容され得る。
【0014】
本開示の一実施形態によれば、開口部は、第１の部分及び第２の部分を含み得る。第１の部分は、球形の直径よりも大きい幅を有し得て、第２の部分は、支柱の直径よりも大きく、かつ球形の直径よりも小さい幅を有し得る。ベース部材が下部部材に結合されると、支柱の自由端は第１の部分内に受容され得て、支柱は少なくとも部分的に第２の部分内に受容され得る。
【0015】
本開示の一実施形態によれば、下部部材は、開口部の内側に１対の内部当接面を更に含み得る。ベース部材が下部部材に結合されると、球形は１対の内部当接面に接触し得る。１対の内部当接面は、開口部の第１の部分を第２の部分に接続するテーパ面によって画定され得る。１対の内部当接面は平面であってもよく、それによって球形が各内部当接面上の１点に接し得る。
【0016】
本開示の一実施形態によれば、負荷状態では、ピンの自由端は座部から少なくとも部分的に引き出され得る。
【0017】
本開示の一実施形態によれば、ピンの自由端は面取り縁部を有し得て、座部は皿穴を有し得る。無負荷状態では、ピンの自由端は座部に受けられて、面取り縁部と皿穴との間に環状接触面を有し得る。
【0018】
本開示の一実施形態によれば、装置はベローズを更に含み得る。ベローズは、上部部材と下部部材との間に配置され得て、上部部材に接続された上部端と下部部材に接続された下部端とを有し得る。ベローズは、ばねを取り囲み得る。ベローズは、ベローズの外部からベローズの内部を密閉するように構成され得る。ベローズは、隙間の長さ以上の長さ分だけ、弾性変形可能であり得る。
【0019】
本開示の一実施形態によれば、上部部材は固定拘束を含み得る。
【0020】
本開示の一実施形態によれば、上部部材は、そこから下方に延びる少なくとも３本のピンを有し得る。少なくとも３本のピンは、等間隔に配置され得る。下部部材は、少なくとも３つの下部部材を含み得て、各下部部材の座部は、少なくとも３本のピンのうちの１本の自由端を受けるように構成され得る。ばねは、上部部材と少なくとも３つの下部部材のそれぞれとの間に配置された少なくとも３つのばねを含み得て、各ばねは、少なくとも３本のピンのうちの１本を取り囲み得る。ベース部材は、下部部材の下に配置され得て、下部部材のそれぞれに結合されるように構成され得る。ベース部材が各下部部材に結合されると、ベース部材は各下部部材に荷重を加えることができ、各下部部材を無負荷状態から負荷状態に移行させ得る。ベース部材が各下部部材から結合解除されると、ベース部材は各下部部材から荷重を解放することができ、各下部部材を負荷状態から無負荷状態に移行させ得る。
【0021】
本開示の一実施形態によれば、ベース部材は、そこから上方に延びる少なくとも３本の支柱を含み得る。少なくとも３本の支柱は等間隔に配置され得て、各支柱の自由端は、支柱の直径よりも大きな直径の球形を有し得る。
【0022】
本開示の一実施形態によれば、下部部材のそれぞれは開口部を含み得る。ベース部材が各下部部材に結合されると、各支柱の自由端は開口部内に受容され得る。
【0023】
本開示の別の実施形態は、上部部材、下部部材、及びばねを含む装置を提供する。上部部材は、そこから下方に延びるピンを有し得る。上部部材は、負荷状態では荷重を担持し、無負荷状態では荷重を解放するように構成され得る。下部部材は、上部部材の下に配置され得て、ピンの自由端を受けるように構成された座部を有し得る。ばねは、上部部材と下部部材との間に配置され得て、上部部材に接続された上部端と、下部部材に接続された下部端とを有し得る。ばねはピンを取り囲み得て、ばねはピンの長さよりも長い自由長を有し得る。無負荷状態では、ピンの自由端が座部に接触し得て、ばねが引張力を加えて上部部材と下部部材との間の相対的な横方向の移動を防止し得る。負荷状態では、荷重によりばねに圧縮力が加えられて、ピンの自由端と座部との間に隙間が形成され得て、それによって上部部材と下部部材との間の相対的な横方向の移動が可能になり得る。
【0024】
本開示の一実施形態によれば、装置はベース部材を更に含み得る。ベース部材は、上部部材上に配置され得て、上部部材に結合するように構成され得る。ベース部材が上部部材に結合されると、ベース部材は上部部材に荷重を加えることができ、上部部材を無負荷状態から負荷状態に移行させ得る。ベース部材が上部部材から結合解除されると、ベース部材は上部部材からの荷重を解放し得て、上部部材を負荷状態から無負荷状態に移行させ得る。
【0025】
本開示の一実施形態によれば、ベース部材は、そこから下方に延びる支柱を含み得る。支柱の自由端は、支柱の直径よりも大きな直径の球形を有し得る。上部部材の上部面は溝を含んでもよい。ベース部材が上部部材に結合されると、支柱の自由端は上部部材の溝に接触し得る。
【0026】
本開示の別の実施形態は、方法を提供する。方法は、サスペンションアセンブリを供給することを含み得る。サスペンションアセンブリは、上部部材、下部部材、及びばねを含み得る。上部部材は、そこから下方に延びるピンを有してもよい。下部部材は、上部部材の下に配置され得て、ピンの自由端を受けるように構成された座部を有し得る。下部部材は、負荷状態では荷重を担持し、無負荷状態では荷重を解放するように構成され得る。ばねは、上部部材と下部部材との間に配置され得て、上部部材に接続された上部端と、下部部材に接続された下部端とを有し得る。ばねはピンを取り囲み得て、ばねは、ピンの長さよりも短い自由長を有し得る。無負荷状態では、ピンの自由端は座部に接触し得て、ばねは圧縮力を加えて、上部部材と下部部材との間の相対的な横方向の移動を防止し得る。負荷状態では、荷重はばねに引張力を加えることができ、ピンの自由端と座部との間に隙間が形成され得て、それによって上部部材と下部部材との間の相対的な横方向の移動が可能になり得る。
【0027】
本開示の一実施形態によれば、方法は、ベース部材をサスペンションアセンブリの下で下部部材に結合することを更に含み得る。ベース部材は、下部部材に荷重を加えることができ、下部部材を無負荷状態から負荷状態に移行させ得る。
【図面の簡単な説明】
【0028】
本件開示の性質及び目的の完全な理解のため、以下の詳細な説明を添付図面と併せて参照されたい。
【図1A】本開示の一実施形態による、無負荷状態での装置の断面図である。
【図3A】本開示の別の実施形態による装置の正面図である。
【図9】本開示の一実施形態による、方法のフローチャートである。
【図10A】本開示の別の実施形態による、無負荷状態の装置の断面図である。
【図12A】本開示の別の実施形態による、装置の正面図である。
【図18】本開示の別の実施形態による方法のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【0029】
特許請求される主題は特定の実施形態に関して説明されるが、本明細書に記載される利点及び特徴のすべてを提供しない実施形態を含んで、他の実施形態もまた、本開示の範囲内である。様々な構造的、論理的、プロセス、ステップ、及び電子的な変更は、本開示の範囲から逸脱することなく行われ得る。したがって、本開示の範囲は、添付の特許請求の範囲を参照することによってのみ定義される。
【0030】
図１～図２を参照すると、本開示の実施形態は装置１００を提供する。装置１００は、上部部材１１０を含み得る。上部部材１１０は、上部面１１１及び下部面１１２を有し得る。上部部材１１０の上部面１１１は、固定拘束であってもよい。上部部材１１０の下部面１１２は、そこから下方に延びるピン１１３を有し得る。ピン１１３は円筒形を有してもよい。ピン１１３は、上部部材１１０の下部面１１２から遠位に自由端１１４を有し得る。上部部材１１０は、円形又は多角形を有してもよい。
【0031】
装置１００は、下部部材１２０を更に含み得る。下部部材１２０は、上部部材１１０の下に配置され得る。例えば、下部部材１２０は上部部材１１０から垂直方向に離隔されてもよい。下部部材１２０と上部部材１１０は同軸に配列されてもよい。下部部材１２０は、円形又は多角形を有し得る。下部部材１２０は、上部面１２１及び下部面１２２を有し得る。下部部材１２０の上部面１２１は、ピン１１３の自由端１１４を受けるように構成された座部１２３を有し得る。下部部材１２０は、負荷状態では荷重を担持し、無負荷状態では荷重を解放するように構成され得る。
【0032】
装置１００は、ばね１３０を更に含み得る。ばね１３０は、コイルばねであってもよい。ばね１３０は、上部部材１１０と下部部材１２０との間に配置され得る。ばね１３０は、上部部材１１０に接続された上部端１３１と、下部部材１２０に接続された下部端１３２とを有し得る。例えば、ばね１３０の上部端１３１は、上部部材１１０の下部面１１２に接続されてもよく、ばね１３０の下部端１３２は、下部部材１２０の上部面１２１に接続されてもよい。ばね１３０は、上部部材１１０及び下部部材１２０に、締結具又は溶接によって接続され得る。代替的に、ばね１３０は、上部部材１１０及び下部部材１２０と一体的に形成されてもよい。ばね１３０は、ピン１１３を取り囲み得る。例えば、ばね１３０は、ピン１１３の直径よりも大きい内径を有し得る。ばね１３０は、ピン１１３の長さよりも短い自由長（すなわち、無負荷の長さ）を有し得る。ばね１３０の自由長及びピン１１３の長さは、設計によって設定され得る。例えば、ばね１３０の自由長及びピン１１３の長さは、ばね１３０の別のパラメータ（例えば、ばね定数）とピン１１３の別のパラメータ（例えば、直径）との組み合わせに依存しており、ピン１１３が、無負荷状態でばね１３０の力によって破損するのを防ぎ得る。
【0033】
図１Ａに示す無負荷状態では、ピン１１３の自由端１１４は座部１２３に接触し、ばね１３０は圧縮力を加えて上部部材１１０と下部部材１２０との間の相対的な横方向の移動を防止する。したがって、装置１００は、剛性であって、ローディングを容易にし得る。ピン１１３の自由端１１４は、面取り縁部１１５を有し得て、座部１２３は皿穴１２５を含み得る。無負荷状態では、ピン１１３の自由端１１４は、座部１２３に受けられて、ピン１１３の面取り縁部１１５と座部１２３の皿穴１２５との間に環状接触面を有し得る。
【0034】
図２に示す負荷状態では、荷重は、ばね１３０に引張力を加え、ピン１１３の自由端１１４と座部１２３との間に隙間１２４を形成し、これにより、上部部材１１０と下部部材１２０との間の相対的な横方向の移動が可能になる。したがって、装置１００は、荷重がかかったときに振動を吸収するように柔軟であってもよい。負荷状態では、ピン１１３の自由端１１４は、座部１２３から少なくとも部分的に引き出され得る。例えば、負荷状態では、ピン１１３の自由端１１４は、座部１２３から完全に引き出されてもよい。隙間１２４のサイズは、ピン１１３と座部１２３との間のインタフェースの幾何学的形状に依存して、上部部材１１０と下部部材１２０との間のいかなる相対運動にも適応するのに十分な大きさになり得ることを理解されたい。
【0035】
装置１００は、ベース部材１４０を更に含み得る。ベース部材１４０は、吊り下げて搬送され得る任意の敏感なアセンブリを担持するように構成され得る。例えば、ベース部材１４０は、結像ミラーアセンブリ（ＩＭＡ）、照明アセンブリ、レーザ、干渉計、又は他の高感度の器具類若しくは構成要素を担持するように構成され得る。ベース部材１４０は、下部部材１２０の下に配置されてもよい。ベース部材１４０は、円形又は多角形を有してもよい。ベース部材１４０は、上部面１４１及び下部面１４２を有し得る。ベース部材１４０は、下部部材１２０に結合するように構成され得る。例えば、ベース部材１４０の上部面１４１は、下部部材１２０の下部面１２２に結合するように構成され得る。
【0036】
ベース部材１４０が下部部材１２０に結合されると（図２に示すように）、ベース部材１４０は、下部部材１２０に荷重を加えて、下部部材１２０を無負荷状態から負荷状態に移行させ得る。
【0037】
ベース部材１４０が下部部材１２０から結合解除されると（図１Ａに示すように）、ベース部材１４０は、下部部材１２０から荷重を解放し、下部部材１２０を負荷状態から無負荷状態に移行させ得る。
【0038】
ベース部材１４０の上部面１４１は、そこから上方に延びる支柱１４３を有し得る。支柱１４３は、円筒形を有してもよい。支柱１４３は、ベース部材１４０の上部面１４１から遠位に自由端１４４を有してもよい。自由端１４４は、球形１４５を有し得る。球形１４５は、支柱１４３の直径より大きい直径を有し得る。自由端１４４は、他の形状、例えば、カヌーの球体（canoe sphere）、球面円柱状、又は他のキネマチック／半キネマチックフィーチャであってもよい。
【0039】
下部部材１２０の下部面１２２は、開口部１２６を含み得る。ベース部材１４０が下部部材１２０に結合されると、支柱１４３の自由端１４４は開口部１２６内に受容され得る。
【0040】
開口部１２６は、第１の部分１２７及び第２の部分１２８を含み得る。第１の部分１２７は、球形１４５の直径よりも大きい幅を有し得る。第２の部分１２８は、支柱１４３の直径よりも大きく、かつ球形１４５の直径よりも小さい幅を有し得る。ベース部材１４０が下部部材１２０に結合されると、支柱１４３の自由端１４４は第１の部分１２７内に受容され得て、支柱１４３は少なくとも部分的に第２の部分１２８内に受容され得る。
【0041】
下部部材１２０は、１対の内部当接面１２９を開口部１２６の内側に更に含み得る。１対の内部当接面１２９は、開口部１２６の第１の部分１２７を開口部１２６の第２の部分１２８に接続するテーパ面によって画定され得る。１対の内部当接面１２９は、平面であっても湾曲していてもよい。ベース部材１４０が下部部材１２０に結合されると、球形１４５は、１対の内部当接面１２９に接触し得る。例えば、球形１４５は、各内部当接面１２９上の１点と接触し得る。１対の内部当接面１２９のテーパ形状は、ベース部材１４０が下部部材１２０に結合されるとセルフセンタリングを生じ得る。例えば、カップリングが最初に位置ずれしている場合（すなわち、図１Ｂに示すように、球形１４５が１対の内部当接面１２９の一方のみと接触する場合）、テーパ形状により、球形１４５が芯出し位置（図１Ｃに示す）にスライドすることが可能になり得て、ここで、両方の内部当接面１２９と接触した後、負荷状態に移行する。
【0042】
装置１００は、ベローズ１５０を更に含み得る。ベローズ１５０は、上部部材１１０と下部部材１２０との間に配置され得る。ベローズ１５０は、上部部材１１０に接続された上部端１５１と、下部部材１２０に接続された下部端１５２とを有し得る。例えば、ベローズ１５０の上部端１５１は上部部材１１０の下部面１１２に接続されてもよく、ベローズ１５０の下部端１５２は下部部材１２０の上部面１２１に接続されてもよい。ベローズ１５０は、上部部材１１０及び下部部材１２０に溶接によって接続され得る。ベローズ１５０は、ばね１３０を取り囲み得る。例えば、ベローズ１５０の内径は、ばね１３０の外径よりも大きくてもよい。ベローズ１５０は、ベローズ１５０の内部をベローズ１５０の外部から密閉するように構成され得る。例えば、ばね１３０の移動、及びピン１１３と座部１２３との間の接触によって生成される粒子は、ベローズ１５０の内側に収容されて、ベローズ１５０の外部の清浄な空気を汚染しないようにされ得る。ベローズ１５０は、弾性材料で作製され得る。例えば、ベローズ１５０は、柔軟な波形要素であり得る。ベローズ１５０は、水平方向に波形を有して、軸方向の変形を可能にし得る。ベローズ１５０は、隙間１２４の長さ以上の長さ分だけ、弾性変形可能であってもよく、この範囲内での繰り返し変形に対して十分な疲労寿命を有し得る。このようにして、ベローズ１５０は、上部部材１１０と下部部材１２０との間の密閉を負荷状態と無負荷状態の両方において維持し得る。ベローズ１５０はまた、ベローズ１５０の外部とベローズ１５０の内部との間の圧力差に耐えるのに十分な強度を有し得る。装置１００は真空チャンバ内に配置され得て、ベローズ１５０は、上部部材１１０と下部部材１２０との間の密閉を、真空チャンバ内の圧力変動中に維持し得ることを理解する必要がある。
【0043】
本開示の一実施形態によれば、装置１００は、上述した多数の構成要素を含み得る。例えば、装置１００は、以下に更に説明するように、３つ以上の特定の構成要素を含み得る。図３Ａ及び図３Ｂの装置１０１と、図４～図８の個々の構成要素を参照する。
【0044】
上部部材１１０の下部面１１２は、そこから下方に延びる少なくとも３本のピン１１３を有し得る。例えば、図４に示すように、少なくとも３本のピン１１３は、第１のピン１１３ａ、第２のピン１１３ｂ、及び第３のピン１１３ｃを含み得る。少なくとも３本のピン１１３は、上部部材１１０の下部面１１２に等間隔に配置され得る。例えば、第１のピン１１３ａ、第２のピン１１３ｂ、及び第３のピン１１３ｃは、上部部材１１０の下部面１１２の３つの同一円周上の点にあってもよい。少なくとも３本のピン１１３のそれぞれは、同一の構造を有し得る。少なくとも３本のピン１１３のそれぞれの自由端１１４は、面取り縁部１１５を有してもよい。例えば、第１のピン１１３ａの自由端１１４ａは、第１の面取り縁部１１５ａを有し得て、第２のピン１１３ｂの自由端１１４ｂは、第２の面取り縁部１１５ｂを有し得て、第３のピン１１３ｃの自由端１１４ｃは、第３の面取り縁部１１５ｃを有し得る。
【0045】
下部部材１２０は、少なくとも３つの下部部材を含み得る。例えば、図５Ａに示すように、下部部材１２０は、第１の下部部材１２０ａ、第２の下部部材１２０ｂ、及び第３の下部部材１２０ｃを含み、それぞれ第１の座部１２３ａ、第２の座部１２３ｂ、及び第３の座部１２３ｃを有し得る。少なくとも３つの下部部材１２０のそれぞれは、同一の構造を有してもよい。各下部部材１２０の座部１２３は、少なくとも３本のピン１１３のうちの１本の自由端１１４を受けるように構成され得る。例えば、第１の座部１２３ａは、第１のピン１１３ａの自由端１１４ａを受けるように構成され得て、第２の座部１２３ｂは、第２のピン１１３ｂの自由端１１４ｂを受けるように構成され得て、第３の座部１２３ｃは、第３のピン１１３ｃの自由端１１４ｃを受けるように構成され得る。少なくとも３つの下部部材１２０の各座部１２３は、皿穴１２５を含み得る。例えば、第１の下部部材１２０ａの第１の座部１２３ａは第１の皿穴１２５ａを含み得て、第２の下部部材１２０ｂの第２の座部１２３ｂは第２の皿穴１２５ｂを含み得て、第３の下部部材１２０ｃの第３の座部１２３ｃは、第３の皿穴１２５ｃを含み得る。少なくとも３つの下部部材１２０は、放射状対称に配置され得る。例えば、第１の下部部材１２０ａ、第２の下部部材１２０ｂ、及び第３の下部部材１２０ｃは、互いに１２０°で配置され得る。
【0046】
ばね１３０は、少なくとも３つのばねを含み得る。例えば、ばね１３０は、第１のばね１３０ａ、第２のばね１３０ｂ、及び第３のばね１３０ｃを含み得る。図６に示すように、第１のばね１３０ａ、第２のばね１３０ｂ、及び第３のばね１３０ｃは、同一であり得る。少なくとも３つのばね１３０のそれぞれは、上部部材１１０と少なくとも３つの下部部材１２０のそれぞれ１つとの間に配置され得る。例えば、第１のばね１３０ａの上部端１３１ａ、第２のばね１３０ｂの上部端１３１ｂ、及び第３のばね１３０ｃの上部端１３１ｃは、それぞれ上部部材１１０に接続され得る。第１のばね１３０ａの下部端１３２ａ、第２のばね１３０ｂの下部端１３２ｂ、及び第３のばね１３０ｃの下部端１３２ｃは、第１の下部部材１２０ａ、第２の下部部材１２０ｂ、及び第３の下部部材１２０ｃに、それぞれ接続され得る。少なくとも３つのばね１３０のそれぞれは、少なくとも３本のピン１１３のうちの１本を取り囲み得る。例えば、第１のばね１３０ａは第１のピン１１３ａを取り囲み得て、第２のばね１３０ｂは第２のピン１１３ｂを取り囲み得て、第３のばね１３０ｃは第３のピン１１３ｃを取り囲み得る。
【0047】
ベローズ１５０は、少なくとも３つのベローズを含み得る。例えば、ベローズ１５０は、第１のベローズ１５０ａ、第２のベローズ１５０ｂ、及び第３のベローズ１５０ｃを含み得る。図７に示すように、第１のベローズ１５０ａ、第２のベローズ１５０ｂ、及び第３のベローズ１５０ｃは、同一であってもよい。少なくとも３つのベローズ１５０のそれぞれは、上部部材１１０と少なくとも３つの下部部材１２０のそれぞれ１つとの間に配置され得る。例えば、第１のベローズ１５０ａの上部端１５１ａ、第２のベローズ１５０ｂの上部端１５１ｂ、及び第３のベローズ１５０ｃの上部端１５１ｃは、それぞれ上部部材１１０に接続されてもよい。第１のベローズ１５０ａの下部端１５２ａ、第２のベローズ１５０ｂの下部端１５２ｂ、及び第３のベローズ１５０ｃの下部端１５２ｃは、第１の下部部材１２０ａ、第２の下部部材１２０ｂ、及び第３の下部部材１２０ｃに、それぞれ接続され得る。少なくとも３つのベローズ１５０のそれぞれは、少なくとも３つのばね１３０のうちの１つを取り囲み得る。例えば、第１のベローズ１５０ａは第１のばね１３０ａを取り囲み得て、第２のベローズ１５０ｂは第２のばね１３０ｂを取り囲み得て、第３のベローズ１５０ｃは第３のばね１３０ｃを取り囲み得る。
【0048】
ベース部材１４０の上部面１４１は、そこから上方に延びる少なくとも３本の支柱１４３を有し得る。例えば、図３Ａに示すように、少なくとも３本の支柱１４３は、第１の支柱１４３ａ、第２の支柱１４３ｂ、及び第３の支柱１４３ｃを含み得る。少なくとも３本の支柱１４３は、ベース部材１４０の上部面１４１上に等間隔に配置され得る。例えば、第１の支柱１４３ａ、第２の支柱１４３ｂ、及び第３の支柱１４３ｃは、ベース部材１４０の上部面１４１上の３つの同一円周上の点にあってもよい。少なくとも３本の支柱１４３のそれぞれは、同一の構造を有し得る。少なくとも３本の支柱１４３のそれぞれの自由端１４４は、支柱１４３の直径より大きい直径を有する球形１４５を有してもよい。例えば、図８に示すように、第１の支柱１４３ａの自由端１４４ａは、第１の球形１４５ａを有し得て、第２の支柱１４３ｂの自由端１４４ｂは、第２の球形１４５ｂを有し得て、第３の支柱１４３ｃの自由端１４４ｃは第３の球形１４５ｃを有し得る。
【0049】
ベース部材１４０は、下部部材１２０のそれぞれに結合されるように構成され得る。例えば、図３Ｂに示すように、第１の支柱１４３ａ、第２の支柱１４３ｂ、及び第３の支柱１４３ｃは、それぞれ第１の下部部材１２０ａ、第２の下部部材１２０ｂ、及び第３の下部部材１２０ｃに結合されるように構成され得る。ベース部材１４０が各下部部材１２０に結合されると、ベース部材１４０は各下部部材１２０に荷重を加え、各下部部材１２０を無負荷状態から負荷状態に移行させる。ベース部材１４０が各下部部材１２０から結合解除されると、ベース部材１４０は各下部部材１２０から荷重を解放し、各下部部材１２０を負荷状態から無負荷状態に移行させる。
【0050】
各下部部材１２０の下部面１２２は、開口部１２６を含み得る。例えば、図５Ｂに示すように、第１の下部部材１２０ａの下部面１２２ａは第１の開口部１２６ａを含み得て、第２の下部部材１２０ｂの下部面１２２ｂは第２の開口部１２６ｂを含み得て、第３の下部部材１２０ｃの下部面１２２ｃは第３の開口部１２６ｃを含み得る。ベース部材１４０が各下部部材１２０に結合されると、各支柱１４３の自由端１４４は開口部１２６内に受容される。例えば、第１の支柱１４３ａの自由端１４４ａは第１の開口部１２６ａ内に受容され得て、第２の支柱１４３ｂの自由端１４４ｂは第２の開口部１２６ｂ内に受容され得て、第３の支柱１４３ｃの自由端１４４ｃは、第３の開口部１２６ｃ内に受容され得る。各支柱１４３の自由端１４４は、開口部１２６内に同時に又は順次、受容され得る。ベース部材１４０は、各支柱１４３の自由端１４４がそれぞれの開口部１２６内に受容されるように回転され得る。
【0051】
下部部材１２０のそれぞれの開口部１２６は、第１の部分１２７及び第２の部分１２８を含み得る。例えば、図３Ｂに示すように、第１の下部部材１２０ａの第１の開口部１２６ａは、第１の部分１２７ａ及び第２の部分１２８ａを有し得て、第２の下部部材１２０ｂの第２の開口部１２６ｂは、第１の部分１２７ｂ及び第２の部分１２８ｂを有し得て、第３の下部部材１２０ｃの第３の開口部１２６ｃは、第１の部分１２７ｃ及び第２の部分１２８ｃを有し得る。ベース部材１４０が下部部材１２０に結合されると、支柱１４３の自由端１４４は第１の部分１２７内に受容され得て、支柱１４３は少なくとも部分的に第２の部分１２８内に受容され得る。
【0052】
各下部部材１２０は、１対の内部当接面１２９を開口部１２６の内側に更に含み得る。例えば、図３Ｂに示すように、第１の下部部材１２０ａの第１の開口部１２６ａは、第１の当接面１２９ａを有し得て、第２の下部部材１２０ｂの第２の開口部１２６ｂは、第２の当接面１２９ｂを有し得て、第３の下部部材１２０ｃの第３の開口部１２６ｃは、第３の当接面１２９ｃを有し得る。内部当接面１２９の各対は、開口部１２６の第１の部分１２７を開口部１２６の第２の部分１２８に接続するテーパ面によって画定され得る。内部当接面１２９の各対は、平面であっても湾曲していてもよい。ベース部材１４０が下部部材１２０に結合されると、球形１４５は、１対の内部当接面１２９に接触し得る。例えば、球形１４５は、各内部当接面１２９上の１点と接触してもよい。第１の球形１４５ａは第１の当接面１２９ａと接触し得て、第２の球形１４５ｂは第２の当接面１２９ｂと接触し得て、第３の球形１４５ｃは第３の当接面１２９ｃと接触し得る。
【0053】
いくつかの実施形態では、各支柱１４３の自由端１４４の形状及び内部当接面１２９の数は、同じであってもよく、又は異なっていてもよい。例えば、各開口部１２６は、１対の内部当接面１２９（例えば、ｖ形）を有し、それぞれが各支柱１４３の自由端１４４との２つの接触点を供給し得る。代替的に、開口部１２６は、単一の内部当接面１２９（例えば、平面状）を有して、支柱１４３の自由端１４４との１つの接触点を供給してもよく、又は開口部１２６は、３つの内部当接面１２９（例えば、円錐形）を有して、支柱１４３の自由端１４４との３つの接触点を供給してもよい。各支柱１４３の自由端１４４は、対応する内部当接面１２９に接触するために、球形、円錐形、又は平面状を有してもよい。一実施形態では、装置１００は、上記の形状の組み合わせを有し得る。例えば、１つの開口部１２６はｖ形を有してもよく、１つの開口部１２６は平面状を有し得て、１つの開口部１２６は円錐形を有し得る。この配置では、開口部１２６は平行であり得ることで、各支柱１４３の自由端１４４が各開口部１２６内に同時に受容され得る。
【0054】
装置１００は、様々な構成要素のうちの１つ又は３つを有するものとして説明されているが、これらの構成要素の数は、装置１００の特定の用途に基づいて変化し得て、コンプライアント構造上に取り付けられたアセンブリのセルフセンタリングが所望される場合があることを理解する必要がある。６つの自由度すべてを拘束するために、６つの接触点が、ベース部材１４０と下部部材１２０との間に必要とされる場合がある。例えば、６つのアセンブリは、各アセンブリが単一の接触点を供給する場合に使用され得て、又は３つのアセンブリは、各アセンブリが２つの接触点を供給する場合に使用され得る。
【0055】
本開示の装置１００では、手動操作が、剛性状態から柔軟状態へ移行するのに必要とされない場合があり、それはカップリング荷重自体が移行を引き起こすためである。これにより、アセンブリの繰り返し芯出し配置が可能になり得る。加えて、内部機構の係合／係合解除によって生成される粒子、又は使用される任意の潤滑剤からの化学汚染は、装置１００の本体内に捕捉されて、清浄な外部環境を汚染しない可能性がある。
【0056】
図９を参照すると、本開示の一実施形態は、方法２００を提供する。方法２００は以下のステップを含み得る。
【0057】
ステップ２１０では、サスペンションアセンブリが提供される。サスペンションアセンブリは、図１～図８に関連して上述した装置１００の、又は本明細書に開示される他の実施形態の構成要素を含み得る。サスペンションアセンブリは、上部部材を含み得る。上部部材は、上部面及び下部面を有し得る。上部部材の上部面は固定拘束であってもよい。上部部材の下部面は、そこから下方に延びるピンを有し得る。ピンは、円筒形であり得る。ピンは、上部部材の下部面から遠位に自由端を有してもよい。上部部材は、円形又は多角形を有してもよい。
【0058】
サスペンションアセンブリは、下部部材を更に含み得る。下部部材は、上部部材の下に配置されてもよい。例えば、下部部材は、上部部材から垂直方向に離隔され得る。下部部材と上部部材は、同軸上に配列され得る。下部部材は、円形又は多角形を有してもよい。例えば、下部部材と上部部材は、同じ形状であってもよい。下部部材は、上部面及び下部面を有し得る。下部部材の上部面は、ピンの自由端を受けるように構成された座部を有し得る。下部部材は、負荷状態では荷重を担持し、無負荷状態では荷重を解放するように構成され得る。
【0059】
サスペンションアセンブリは、ばねを更に含み得る。ばねは、上部部材と下部部材との間に配置されてもよい。ばねは、上部部材に接続された上部端と、下部部材に接続された下部端とを有してもよい。例えば、ばねの上部端は上部部材の下部面に接続され得て、ばねの下部端は下部部材の上部面に接続され得る。ばねはピンを取り囲んでもよい。例えば、ばねは、ピンの直径よりも大きい内径を有していてもよい。ばねは、ピンの長さよりも短い自由長（すなわち、無負荷の長さ）を有し得る。
【0060】
無負荷状態では、ピンの自由端は座部に接触し、ばねが圧縮力を加えて上部部材と下部部材との間の相対的な横方向の移動を防止する。負荷状態では、荷重によりばねに引張力がかかり、ピンの自由端と座部との間に隙間を形成し、それによって上部部材と下部部材との間の相対的な横方向の動きが可能になる。
【0061】
ステップ２２０では、ベース部材は、サスペンションアセンブリの下の下部部材に結合される。ベース部材は、円形を有してもよい。ベース部材は、上部面及び下部面を有してもよい。ベース部材の上部面は、下部部材の下部面に結合するように構成され得る。ベース部材は、下部部材に荷重を加えて、下部部材を無負荷状態から負荷状態に移行させ得る。
【0062】
本開示の一実施形態によれば、方法２００は、ステップ２３０を更に含み得る。ステップ２３０では、ベース部材がサスペンションアセンブリの下部部材から結合解除される。ベース部材は、下部部材から荷重を解放し、下部部材を負荷状態から無負荷状態に移行させ得る。
【0063】
本開示の方法２００を使用すると、手動操作は、剛性状態から柔軟状態へ移行するのに必要とされない場合があり、それはベース部材の下部部材へのカップリングによって加えられる荷重自体が移行を引き起こすためである。ベース部材を下部部材から単に結合解除すると、アセンブリが剛性状態に戻る可能性がある。これにより、アセンブリの繰り返し芯出し配置が可能になり得る。
【0064】
図１０～図１１を参照すると、本開示の一実施形態は装置３００を提供する。装置３００は、上述の装置１００と同様であってもよく、上述の装置１００の構成要素と同様の構成要素を含んでもよい。装置３００は、装置１００とは異なり、それは、装置３００が圧縮サスペンションを設ける場合があるのに対し、装置１００が延長サスペンションを設け場合があるという点においてである。
【0065】
装置３００は、上部部材３１０を含み得る。上部部材３１０は、上部面３１１及び下部面３１２を有し得る。上部部材３１０の下部面３１２は、そこから下方に延びるピン３１３を有し得る。ピン３１３は、円筒形を有してもよい。ピン３１３は、上部部材３１０の下部面３１２から遠位に自由端３１４を有してもよい。ピン３１３の自由端３１４は、環状３１５を有し得る。環状３１５は球形又は円筒形を有し得る。環状３１５の直径は、ピン３１３の直径より大きくてもよい。上部部材３１０は、円形又は多角形を有してもよい。上部部材３１０は、負荷状態で荷重を担持し、無負荷状態で荷重を解放するように構成され得る。
【0066】
装置３００は、下部部材３２０を更に含み得る。下部部材３２０は、上部部材３１０の下に配置されてもよい。例えば、下部部材３２０は上部部材３１０から垂直方向に離隔されてもよい。下部部材３２０と上部部材３１０は、同軸上に配列され得る。下部部材３２０は、円形又は多角形を有してもよい。下部部材３２０は固定拘束であり得る。下部部材３２０は、上部面３２１及び下部面３２２を有してもよい。下部部材３２０の上部面３２１は、ピン３１３の自由端３１４を受けるように構成された座部３２３を有し得る。
【0067】
装置３００は、ばね３３０を更に含み得る。ばね３３０は、コイルばねであり得る。ばね３３０は、上部部材３１０と下部部材３２０との間に配置され得る。ばね３３０は、上部部材３１０に接続された上部端３３１と、下部部材３２０に接続された下部端３３２とを有し得る。例えば、ばね３３０の上部端３３１は、上部部材３１０の下部面３１２に接続され得て、ばね３３０の下部端３３２は、下部部材３２０の上部面３２１に接続され得る。ばね３３０は、上部部材３１０及び下部部材３２０に、締結具又は溶接によって接続され得る。代替的に、ばね３３０は、上部部材３１０及び下部部材３２０と一体的に形成されてもよい。ばね３３０は、ピン３１３を取り囲み得る。例えば、ばね３３０は、ピン３１３の直径よりも大きい内径を有してもよい。ばね３３０は、ピン３１３の長さよりも長い自由長（すなわち、無負荷の長さ）を有し得る。ばね３３０の自由長及びピン３１３の長さは、設計によって設定され得る。例えば、ばね３３０の自由長及びピン３１３の長さは、ばね３３０の他のパラメータ（例えば、ばね定数）及びピン３１３の他のパラメータ（例えば、直径）の組み合わせに依存して、ピン３１３又は下部部材３２０が、無負荷状態において、ばね３３０の力で破損するのを防止し得る。
【0068】
図１０Ａに示す無負荷状態では、ピン３１３の自由端３１４は座部３２３に接触し、ばね３３０は引張力を加えて、上部部材３１０と下部部材３２０との間の相対的な横方向の移動を防止する。したがって、装置３００は、ローディングを容易にするために剛性であってもよい。座部３２３は、皿穴３２５を含み得る。無負荷状態では、ピン３１３の自由端３１４は、座部３２３に受けられ、ピン１１３の環状３１５と座部３２３の皿穴３２５との間に環状接触面を有し得る。
【0069】
図１１に示す負荷状態では、荷重は、圧縮力をばね３３０に加えて、ピン３１３の自由端３１４と座部３２３との間に隙間３２４を形成し、これにより、上部部材３１０と下部部材３２０との間の相対的な横方向の移動が可能になる。したがって、装置３００は、負荷がかかったときに振動を吸収するように柔軟であってもよい。隙間３２４のサイズは、ピン３１３と座部３２３との間のインタフェースの幾何学的形状に依存して、上部部材３１０と下部部材３２０との間のいかなる相対運動にも適応するのに十分な大きさになり得ることを理解されたい。
【0070】
負荷状態では、ピン３１３の自由端３１４は、依然として座部３２３に受けられ得る。例えば、座部３２３は、第１の部分３２６及び第２の部分３２７を含み得る。第１の部分３２６は、ピン３１３の直径よりも大きく、かつ環状３１５の直径よりも小さい直径を有し得る。第２の部分３２７は、環状３１５の直径よりも大きい直径を有してもよい。したがって、ピン３１３は第１の部分３２６に受けられることができ、ピン３１３の自由端３１４は第２の部分３２７に受けられ得る。このようにして、ピン３１３の自由端３１４は、負荷状態で座部３２３の第２の部分３２７内で下方に移動し得る。座部３２３は、座部３２３の第２の部分３２７に配置されたプラグ３２８を更に含み得る。プラグ３２８は、座部３２３の内部を下部部材３２０の外部から密閉し得る。
【0071】
装置３００は、ベース部材３４０を更に含み得る。ベース部材３４０は、吊り下げて搬送され得る任意の敏感なアセンブリを担持するように構成され得る。例えば、ベース部材３４０は、結像ミラーアセンブリ（ＩＭＡ）、照明アセンブリ、レーザ、干渉計、又は他の高感度の器具類若しくは構成要素を担持するように構成され得る。ベース部材３４０は、上部部材３１０の上に配置されてもよい。ベース部材３４０は、円形又は多角形を有してもよい。ベース部材３４０は、上部面３４１及び下部面３４２を有し得る。ベース部材３４０は、上部部材３１０に結合するように構成され得る。例えば、ベース部材３４０の下部面３４２は、上部部材３１０の上部面３１１に結合するように構成され得る。
【0072】
ベース部材３４０が上部部材３１０に結合されると（図１１に示すように）、ベース部材３４０は上部部材３１０に荷重を加え、上部部材３１０を無負荷状態から負荷状態に移行させ得る。
【0073】
ベース部材３４０が上部部材３１０から結合解除されると（図１０Ａに示すように）、ベース部材３４０は上部部材３１０から荷重を解放し、上部部材３１０を負荷状態から無負荷状態に移行させ得る。
【0074】
ベース部材３４０の下部面３４２は、そこから下方に延びる支柱３４３を有し得る。支柱３４３は、円筒形を有してもよい。支柱３４３は、ベース部材３４０の下部面３４２から遠位に自由端３４４を有してもよい。自由端３４４は、球形３４５を有し得る。球形３４５は、支柱３４３の直径より大きい直径を有し得る。自由端３４４は、他の形状、例えば、カヌーの球体、球面円柱状、又は他のキネマチック／半キネマチックフィーチャであってもよい。
【0075】
上部部材３１０の上部面３１１は、溝３１６を含み得る。ベース部材３４０が上部部材３１０に結合されると、支柱３４３の自由端３４４は溝３１６内に受容され得る。
【0076】
溝３１６は、ｖ形を有し、１対の当接面３１７を含み得る。１対の当接面３１７は、平面であっても湾曲していてもよい。ベース部材３４０が上部部材３１０に結合されると、球形３４５は、１対の当接面３１７に接触し得る。例えば、球形３４５は、各当接面３１７上の１点と接触してもよい。１対の当接面３１７のテーパ形状は、ベース部材３４０が上部部材３１０に結合されるとセルフセンタリングを引き起こし得る。例えば、カップリングが最初に位置ずれしている場合（すなわち、図１０Ｂに示すように、球形３４５が１対の当接面３１７の一方のみと接触する場合）、テーパ形状により、球形３４５が芯出し位置に滑動することが可能になり得て（図１０Ｃに示す）、ここで、両方の当接面３１７と接触した後に負荷状態に移行する。
【0077】
装置３００は、ベローズ３５０を更に含み得る。ベローズ３５０は、上部部材３１０と下部部材３２０との間に配置され得る。ベローズ３５０は、上部部材３１０に接続された上部端３５１と、下部部材３２０に接続された下部端３５２とを有し得る。例えば、ベローズ３５０の上部端３５１は上部部材３１０の下部面３１２に接続され得て、ベローズ３５０の下部端３５２は下部部材３２０の上部面３２１に接続され得る。ベローズ３５０は、溶接によって上部部材３１０及び下部部材３２０に接続されてもよい。ベローズ３５０は、ばね３３０を取り囲み得る。例えば、ベローズ３５０の内径は、ばね３３０の外径より大きくされ得る。ベローズ３５０は、ベローズ３５０の外部からベローズ３５０の内部を密閉するように構成され得る。例えば、ばね３３０の移動及びピン３１３と座部３２３との間の接触によって生成された粒子は、ベローズ３５０の内側に収容されて、ベローズ３５０の外部の清浄な空気を汚染しないようにされ得る。ベローズ３５０は弾性材料で作製され得る。例えば、ベローズ３５０は、柔軟な波形要素であり得る。ベローズ３５０は、水平方向に波形を有して、軸方向の変形を可能にし得る。ベローズ３５０は、隙間３２４の長さ以上の長さ分だけ、弾性変形可能であってもよく、この範囲内での繰り返し変形に対して十分な疲労寿命を有し得る。このようにして、ベローズ３５０は、上部部材３１０と下部部材３２０との間の密閉を負荷状態と無負荷状態の両方において維持し得る。ベローズ３５０はまた、ベローズ３５０の外部とベローズ３５０の内部との間の圧力差に耐えるのに十分な強度を有し得る。装置３００は真空チャンバ内に配置され得て、ベローズ３５０は、上部部材３１０と下部部材３２０との間の密閉を、真空チャンバ内の圧力変動中に維持し得ることを理解する必要がある。
【0078】
本開示の一実施形態によれば、装置３００は、上述した多数の構成要素を含み得る。例えば、装置３００は、以下に更に説明するように、３つ以上の特定の構成要素を含み得る。図１２Ａ及び図１２Ｂの装置３０１と、図１３～図１７の個々の構成要素を参照する。
【0079】
上部部材３１０の下部面３１２は、そこから下方に延びる少なくとも３本のピン３１３を有し得る。例えば、図１３Ｂに示すように、少なくとも３本のピン３１３は、第１のピン３１３ａ、第２のピン３１３ｂ、及び第３のピン３１３ｃを含み得る。少なくとも３本のピン３１３は、上部部材３１０の下部面３１２に等間隔に配置され得る。例えば、第１のピン３１３ａ、第２のピン３１３ｂ、及び第３のピン３１３ｃは、上部部材３１０の下部面３１２の３つの同一円周上の点にあってもよい。少なくとも３本のピン３１３のそれぞれは、同一の構造を有し得る。少なくとも３本のピン３１３のそれぞれの自由端３１４は、環状３１５を有し得る。例えば、第１のピン３１３ａの自由端３１４ａは、第１の環状３１５ａを有し得て、第２のピン３１３ｂの自由端３１４ｂは、第２の環状３１５ｂを有し得て、第３のピン３１３ｃの自由端３１４ｃは、第３の環状３１５ｃを有し得る。少なくとも３本のピン３１３のそれぞれの環状３１５の直径は、各ピン３１３の直径より大きくてもよい。
【0080】
下部部材３２０は、少なくとも３つの座部３２３を含み得る。例えば、下部部材３２０は、第１の座部３２３ａ、第２の座部３２３ｂ、及び第３の座部３２３ｃを含み得る。各座部３２３は、少なくとも３本のピン３１３のうちの１本の自由端３１４を受けるように構成され得る。例えば、第１の座部３２３ａは、第１のピン３１３ａの自由端３１４ａを受けるように構成され得て、第２の座部３２３ｂは、第２のピン３１３ｂの自由端３１４ｂを受けるように構成され得て、第３の座部３２３ｃは、第３のピン３１３ｃの自由端３１４ｃを受けるように構成され得る。少なくとも３つの座部３２３のそれぞれは、皿穴３２５を含み得る。例えば、第１の座部３２３ａは第１の皿穴３２５ａを含み得て、第２の座部３２３ｂは第２の皿穴３２５ｂを含み得て、第３の座部３２３ｃは、第３の皿穴３２５ｃを含み得る。少なくとも３つの座部３２３は、下部部材３２０の上部面３２１から下部面３２２まで延びる３つの同一円周上の点にあってもよい。例えば、図１４Ａに示すように、第１の座部３２３ａ、第２の座部３２３ｂ、及び第３の座部３２３ｃは、互いに１２０°で配置され得る。
【0081】
少なくとも３つの座部３２３のそれぞれは、第１の部分３２６及び第２の部分３２７を含み得る。例えば、図１２Ａ及び図１２Ｂに示すように、第１の座部３２３ａは、第１の部分３２６ａ及び第２の部分３２７ａを有し得て、第２の座部３２３ｂは、第１の部分３２６ｂ及び第２の部分３２７ｂを有し得て、第３の座部３２３ｃは、第１の部分３２６ｃ及び第２の部分３２７ｃを有し得る。少なくとも３本のピン３１３のうちの１本のピン３１３は、第１の部分３２６内に受けられ得て、少なくとも３本のピン３１３のうちの１本の自由端３１４は、第２の部分３２７内に受けられ得る。例えば、第１のピン３１３ａは第１の座部３２３ａの第１の部分３２６ａに受けられてもよく、第２のピン３１３ｂは第２の座部３２３ｂの第１の部分３２６ｂに受けられてもよく、第３のピン３１３ｃは第３の座部３２３ｃの第１の部分３２６ｃに受けられてもよい。第１のピン３１３ａの自由端３１４ａは、第１の座部３２３ａの第２の部分３２７ａに受けられてもよく、第２のピン３１３ｂの自由端３１４ｂは、第２の座部３２３ｂの第２の部分３２７ｂに受けられてもよく、第３のピン３１３ｃの自由端３１４ｃは、第３の座部３２３ｃの第２の部分３２７ｃに受けられてもよい。
【0082】
下部部材３２０は、少なくとも３つのプラグ３２８を更に含み得る。少なくとも３つのプラグは、下部部材３２０の下部面３２２において少なくとも３つの座部３２３のそれぞれ１つに配置され得る。例えば、図１４Ｂに示すように、第１のプラグ３２８ａ、第２のプラグ３２８ｂ、及び第３のプラグ３２８ｃは、それぞれ、第１の座部３２３ａ、第２の座部３２３ｂ、及び第３の座部３２３ｃに配置され得る。
【0083】
ばね３３０は、少なくとも３つのばねを含み得る。例えば、ばね３３０は、第１のばね３３０ａ、第２のばね３３０ｂ、及び第３のばね３３０ｃを含み得る。図１５に示すように、第１のばね３３０ａ、第２のばね３３０ｂ、及び第３のばね３３０ｃは同一であってもよい。少なくとも３つのばね３３０のそれぞれは、上部部材３１０と下部部材３２０との間に配置され得る。例えば、第１のばね３３０ａの上部端３３１ａ、第２のばね３３０ｂの上部端３３１ｂ、及び第３のばね３３０ｃの上部端３３１ｃは、それぞれ上部部材３１０に接続されてもよい。第１のばね３３０ａの下部端３３２ａ、第２のばね３３０ｂの下部端３３２ｂ、及び第３のばね３３０ｃの下部端３３２ｃは、下部部材３２０に接続されてもよい。少なくとも３つのばね３３０のそれぞれは、少なくとも３本のピン３１３のうちの１本を取り囲み得る。例えば、第１のばね３３０ａは第１のピン３１３ａを取り囲み得て、第２のばね３３０ｂは第２のピン３１３ｂを取り囲み得て、第３のばね３３０ｃは第３のピン３１３ｃを取り囲み得る。
【0084】
ベローズ３５０は、少なくとも３つのベローズを含み得る。例えば、ベローズ３５０は、第１のベローズ３５０ａ、第２のベローズ３５０ｂ、及び第３のベローズ３５０ｃを含み得る。図１６に示すように、第１のベローズ３５０ａ、第２のベローズ３５０ｂ、及び第３のベローズ３５０ｃは同一であってもよい。少なくとも３つのベローズ３５０のそれぞれは、上部部材３１０と下部部材３２０との間に配置され得る。例えば、第１のベローズ３５０ａの上部端３５１ａ、第２のベローズ３５０ｂの上部端３５１ｂ、及び第３のベローズ３５０ｃの上部端３５１ｃは、それぞれ上部部材３１０に接続され得る。第１のベローズ３５０ａの下部端３５２ａ、第２のベローズ３５０ｂの下部端３５２ｂ、及び第３のベローズ３５０ｃの下部端３５２ｃは、下部部材３２０に接続され得る。少なくとも３つのベローズ３５０のそれぞれは、少なくとも３つのばね３３０のうちの１つを取り囲み得る。例えば、第１のベローズ３５０ａは第１のばね３３０ａを取り囲み得て、第２のベローズ３５０ｂは第２のばね３３０ｂを取り囲み得て、第３のベローズ３５０ｃは第３のばね３３０ｃを取り囲み得る。
【0085】
ベース部材３４０の下部面３４２は、そこから下方に延びる少なくとも３本の支柱３４３を有し得る。例えば、図１２Ａに示すように、少なくとも３本の支柱３４３は、第１の支柱３４３ａ、第２の支柱３４３ｂ、及び第３の支柱３４３ｃを含み得る。少なくとも３本の支柱３４３は、ベース部材３４０の下部面３４２に等間隔に配置され得る。例えば、第１の支柱３４３ａ、第２の支柱３４３ｂ、及び第３の支柱３４３ｃは、ベース部材３４０の下部面３４２の３つの同一円周上の点にあってもよい。少なくとも３本の支柱３４３のそれぞれは、同一の構造を有してもよい。少なくとも３本の支柱３４３のそれぞれの自由端３４４は、支柱３４３の直径よりも大きい直径を有する球形３４５を有してもよい。例えば、図１７に示すように、第１の支柱３４３ａの自由端３４４ａは第１の球形３４５ａを有し得て、第２の支柱３４３ｂの自由端３４４ｂは第２の球形３４５ｂを有し得て、第３の支柱３４３ｃの自由端３４４ｃは第３の球形３４５ｃを有し得る。
【0086】
ベース部材３４０は、上部部材３１０に結合されるように構成され得る。例えば、図１２Ｂに示すように、第１の支柱３４３ａ、第２の支柱３４３ｂ、及び第３の支柱３４３ｃは、上部部材３１０に結合されるように構成され得る。ベース部材３４０が上部部材３１０に結合されると、ベース部材３４０は上部部材３１０に荷重を加え、上部部材３１０を無負荷状態から負荷状態に移行させる。ベース部材３４０が上部部材３１０から結合解除されると、ベース部材３４０は上部部材３１０から荷重を解放し、上部部材３１０を負荷状態から無負荷状態に移行させる。
【0087】
上部部材３１０の上部面３１１は、少なくとも３つの溝３１６を含み得る。例えば、図１３Ａに示すように、上部部材３１０の上部面３１１は、第１の溝３１６ａ、第２の溝３１６ｂ、及び第３の溝３１６ｃを含み得る。少なくとも３つの溝３１６は、ｖ形を有してもよく、それぞれが、１対の当接面３１７を含み得る。例えば、第１の溝３１６ａ、第２の溝３１６ｂ、及び第３の溝３１６ｃは、それぞれ、第１の当接面３１７ａ、第２の当接面３１７ｂ、及び第３の当接面３１７ｃを含むことができる。１対の当接面３１７は、平面であっても湾曲していてもよい。少なくとも３つの溝３１６は、互いに対して１２０°で配置され得る。ベース部材３４０が上部部材に結合されると、少なくとも３本の支柱３４３のそれぞれの自由端３４４は、少なくとも３つの溝３１６のうちの１つの１対の当接面３１７と接触し得る。例えば、第１の支柱３４３ａの自由端３４４ａは、第１の溝３１６ａの第１の当接面３１７ａに接触してもよく、第２の支柱３４３ｂの自由端３４４ｂは、第２の溝３１６ｂの第２の当接面３１７ｂに接触してもよく、第３の支柱３４３ｃの自由端３４４ｃは、第３の溝３１６ｃの第３の当接面３１７ｃに接触してもよい。
【0088】
装置３００は、様々な構成要素のうちの１つ又は３つを有するものとして説明されるが、これらの構成要素の数は、装置３００の特定の用途に基づいて変化し得て、コンプライアント構造上に取り付けられたアセンブリのセルフセンタリングが所望される場合があることを理解する必要がある。６つの自由度すべてを拘束するために、６つの接触点が、ベース部材３４０と上部部材３１０との間に必要とされる場合がある。例えば、６つのアセンブリは、各アセンブリが単一の接触点を供給する場合に使用され得て、又は３つのアセンブリは、各アセンブリが２つの接触点を供給する場合に使用され得る。
【0089】
本開示の装置３００では、手動操作は、剛性状態から柔軟状態へ移行するのに必要とされない場合があり、それはカップリング荷重自体が移行を引き起こすためである。これにより、アセンブリの繰り返し芯出し配置が可能になり得る。加えて、内部機構の係合／係合解除によって生成される粒子、又は使用される任意の潤滑剤からの化学汚染は、装置３００の本体内に捕捉されて、清浄な外部環境を汚染しない可能性がある。
【0090】
図１８を参照すると、本開示の一実施形態は、方法４００を提供する。方法４００は以下のステップを含み得る。
【0091】
ステップ４１０では、サスペンションアセンブリが提供される。サスペンションアセンブリは、図１０～図１１に関連して上述した装置３００の、又は本明細書に開示される他の実施形態の構成要素を含み得る。サスペンションアセンブリは、上部部材を含み得る。上部部材は、上部面及び下部面を有し得る。上部部材の下部面は、そこから下方に延びるピンを有し得る。ピンは、円筒形であり得る。ピンは、上部部材の下部面から遠位に自由端を有してもよい。上部部材は、円形又は多角形を有してもよい。上部部材は、負荷状態では荷重を担持し、無負荷状態では荷重を解放するように構成され得る。
【0092】
サスペンションアセンブリは、下部部材を更に含み得る。下部部材は、上部部材の下に配置されてもよい。例えば、下部部材は、上部部材から垂直方向に離隔され得る。下部部材と上部部材は、同軸上に配列され得る。下部部材は、円形又は多角形を有してもよい。例えば、下部部材と上部部材は、同じ形状であってもよい。下部部材は、固定拘束であってもよい。下部部材は、上部面及び下部面を有し得る。下部部材の上部面は、ピンの自由端を受けるように構成された座部を有し得る。
【0093】
サスペンションアセンブリは、ばねを更に含み得る。ばねは、上部部材と下部部材との間に配置されてもよい。ばねは、上部部材に接続された上部端と、下部部材に接続された下部端とを有してもよい。例えば、ばねの上部端は上部部材の下部面に接続され得て、ばねの下部端は下部部材の上部面に接続され得る。ばねはピンを取り囲んでもよい。例えば、ばねは、ピンの直径よりも大きい内径を有してもよい。ばねは、ピンの長さよりも長い自由長（すなわち、無負荷の長さ）を有し得る。
【0094】
無負荷状態では、ピンの自由端は座部に接触し、ばねが引張力を加えて上部部材と下部部材との間の相対的な横方向の移動を防止する。負荷状態では、荷重によりばねに圧縮力がかかり、ピンの自由端と座部との間に隙間を形成し、それによって上部部材と下部部材との間の相対的な横方向の移動が可能になる。
【0095】
ステップ４２０では、ベース部材は、サスペンションアセンブリの上の上部部材に結合される。ベース部材は、円形を有してもよい。ベース部材は、上部面及び下部面を有してもよい。ベース部材の下部面は、上部部材の上部面に結合するように構成され得る。ベース部材は、上部部材に荷重を加えて、上部部材を無負荷状態から負荷状態に移行させ得る。
【0096】
本開示の一実施形態によれば、方法４００は、ステップ４３０を更に含み得る。ステップ４３０では、ベース部材がサスペンションアセンブリの上部部材から結合解除される。ベース部材は、上部部材から荷重を解放し、上部部材を負荷状態から無負荷状態に移行させ得る。
【0097】
本開示の方法４００を使用すると、手動操作は、剛性状態から柔軟状態へ移行するのに必要とされない場合があり、それはベース部材の上部部材へのカップリングによって加えられる荷重自体が移行を引き起こすためである。ベース部材を上部部材から単に結合解除すると、アセンブリが剛性状態に戻る可能性がある。これにより、アセンブリの繰り返し芯出し配置が可能になり得る。
【0098】
本開示は、１つ以上の特定の実施形態に関して説明されているが、本開示の他の実施形態が本開示の範囲から逸脱することなく実施され得ることが理解されるであろう。したがって、本開示は、添付の特許請求の範囲及びその合理的な解釈によってのみ限定されるものとみなされる。
【図1A】
【図1B】
【図1C】
【図2】
【図3A】
【図3B】
【図4】
【図5A】
【図5B】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10A】
【図10B】
【図10C】
【図11】
【図12A】
【図12B】
【図13A】
【図13B】
【図14A】
【図14B】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【国際調査報告】