特表 2024-533399 傾斜面を含むラッチを有するレチクルポッド

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-09-12

(54)【発明の名称】傾斜面を含むラッチを有するレチクルポッド

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20240905BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2024515456

(86)(22)【出願日】2022-09-08

(85)【翻訳文提出日】2024-04-23

(86)【国際出願番号】 US2022042891

(87)【国際公開番号】W WO2023039054

(87)【国際公開日】2023-03-16

(31)【優先権主張番号】63/242,305

(32)【優先日】2021-09-09

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】505307471

【氏名又は名称】インテグリス・インコーポレーテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110002077

【氏名又は名称】園田・小林弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】ラシュク， ラス ヴィ．

(72)【発明者】

【氏名】エルウェル， カレブ

(72)【発明者】

【氏名】リーバー， マシュー

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA10

5F131CA09

5F131DA05

5F131DA32

5F131DA37

5F131DA42

5F131FA10

5F131FA13

5F131FA32

5F131FA33

5F131GA13

5F131GA24

5F131GA32

5F131GA52

5F131GA62

5F131GA68

5F131GA72

5F131GA83

5F131GA87

5F131GA92

5F131GB02

5F131GB22

5F131JA04

5F131JA16

5F131JA24

5F131JA33

5F131JA35

(57)【要約】

レチクルポッドは、レチクルポッドのセグメントを互いに固定するための接触面を含む。接触面の少なくとも１つは傾斜面であり、レチクルポッドが互いに固定されると、レチクルポッドのセグメント上に設けられたレチクルコンタクトの間にレチクルがクランプされる。レチクルポッドが組み立てられてレチクルを収容する場合、レチクルポッド内にパージガス流路が形成され得る。レチクルコンタクトの高さ及びレチクルの厚さは、レチクルポッドセグメントが間隙によって互いに離間し、その間隙がパージガス流路を提供するようなものであり得る。レチクルポッドは、レチクルの輸送用及び保管用のストッカーポッドであり得る。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

物品であって、
レチクルポッドであって、
複数の第１のレチクルコンタクト及び複数のラッチを含む第１のレチクルポッドセグメントであって、複数のラッチのそれぞれは第１の接触面を含む第１のレチクルポッドセグメントと、
複数の第２のレチクルコンタクト及び複数の第２の接触面を含む第２のレチクルポッドセグメントと
を含むレチクルポッドを備え、
前記複数のラッチの前記第１の接触面のそれぞれは、前記第１の接触面がラッチ位置にあるとき、前記複数の第２の接触面のうちの１つに接触するように構成され、
前記第１の接触面及び前記第２の接触面の一方又は両方は傾斜面であり、
前記レチクルポッドは、レチクルがレチクル収容空間内にあり、前記第１の接触面が前記第２の接触面に接触するとき、前記レチクルが前記複数の第１のレチクルコンタクト及び前記複数の第２のレチクルコンタクトによってクランプされるように、前記レチクルを前記レチクル収容空間内に収容するように構成される、物品。

【請求項2】

前記レチクルが前記複数の第１のレチクルコンタクト及び前記複数の第２のレチクルコンタクトによって接触されると、前記レチクルポッドは、前記レチクルパッドの外部から前記レチクル空間を通るパージガス流路を画定する、請求項１に記載の物品。

【請求項3】

前記パージガス流路が、前記第１のレチクルポッドセグメントと前記第２のレチクルポッドセグメントとの間の間隙によって形成される、請求項２に記載の物品。

【請求項4】

前記間隙が０．５～６ミリメートル（ｍｍ）の範囲である、請求項３に記載の物品。

【請求項5】

前記間隙が、前記複数の第１のレチクルコンタクト及び前記複数の第２のレチクルコンタクトのそれぞれの高さと、前記レチクルの厚さとによって形成される、請求項３に記載の物品。

【請求項6】

前記第１のレチクルポッドセグメント及び前記第２のレチクルポッドセグメントの少なくとも一方が複数のレチクルコンタクトボスを含み、前記第１の複数のレチクルコンタクトの少なくとも一部又は前記第２の複数のレチクルコンタクトの少なくとも一部が、前記複数のレチクルコンタクトボス内に部分的に配置されている、請求項１から５のいずれか一項に記載の物品。

【請求項7】

前記複数の第１のレチクルコンタクト及び前記複数の第２のレチクルコンタクトが、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）材料を含む、請求項１から６のいずれか一項に記載の物品。

【請求項8】

前記第１のレチクルポッドセグメント及び前記第２のレチクルポッドセグメントの少なくとも一方がアルミニウムを含む、請求項１から７のいずれか一項に記載の物品。

【請求項9】

前記第１の接触面及び前記第２の接触面の両方が傾斜面である、請求項１から８のいずれか一項に記載の物品。

【請求項10】

前記第２の接触面のそれぞれが、前記第２のレチクルポッドセグメントの外面上に配置される、請求項１から９のいずれか一項に記載の物品。

【請求項11】

開口部が前記第２のレチクルポッドセグメント上に設けられ、前記開口部は前記第１の接触面を含む前記ラッチ部材本体の一部が前記開口部を通過できるように構成され、前記開口部は前記第２の接触面のそれぞれに隣接して配置される、請求項１０に記載の物品。

【請求項12】

前記第２の接触面のそれぞれがフランジ上に配置され、それぞれのフランジは、前記レチクルポッドが組み立てられたとき、前記第１のレチクルポッドセグメントに向かって突出する、請求項１から１１のいずれか一項に記載の物品。

【請求項13】

前記ラッチのそれぞれが、
チャネルと、
前記チャネル内で移動可能に構成されたラッチ部材本体であって、前記複数の第１の接触面のうちの１つを含むラッチ部材本体と、
前記ラッチ部材本体が前記ラッチ位置に向かって駆動されるように、前記チャネルに沿って前記ラッチ部材本体を駆動するように構成されたばねと
を含む、請求項１から１２のいずれか一項に記載の物品。

【請求項14】

前記第１の接触面のそれぞれ及び前記第２の接触面のそれぞれの角度、ならびに前記第１の接触面のそれぞれ及び前記第２の接触面のそれぞれの摩擦係数は、前記第１の接触面が前記第２の接触面に接触するとき、前記ラッチ本体が前記ラッチ位置から後退するのに抵抗するように選択される、請求項１３に記載の物品。

【請求項15】

前記第１の接触面のそれぞれ、及び前記第２の接触面のそれぞれの角度が３０°以下である、請求項１３に記載の物品。

【請求項16】

レチクルを保管する方法であって、
レチクルをレチクルポッド内に配置することを含み、
前記レチクルポッドは、
複数の第１のレチクルコンタクト及び複数のラッチを含む第１のレチクルポッドセグメントであって、前記複数のラッチのそれぞれは第１の接触面を含む第１のレチクルポッドセグメントと、
複数の第２のレチクルコンタクト及び複数の第２の接触面を含む第２のレチクルポッドセグメントと
を含み、
前記複数のラッチの前記第１の接触面のそれぞれは、前記第１の接触面がラッチ位置にあるとき前記複数の第２の接触面のうちの１つに接触するように構成され、
前記第１の接触面及び前記第２の接触面の一方又は両方は傾斜面であり、
前記レチクルポッドは、レチクルがレチクル収容空間内にあり、前記第１の接触面が前記第２の接触面に接触するとき、前記レチクルが前記複数の第１のレチクルコンタクト及び前記複数の第２のレチクルコンタクトによってクランプされるように、前記レチクルを前記レチクル収容空間内に収容するように構成される、方法。

【請求項17】

前記レチクルが前記複数の第１のレチクルコンタクト及び前記複数の第２のレチクルコンタクトによって接触されると、前記レチクルポッドは前記レチクルパッドの外部から前記レチクル空間を通るパージガス流路を画定し、更に、本方法は前記パージガス流路を通してパージガス流を供給することを含む、請求項１６に記載の方法。

【請求項18】

前記ラッチのそれぞれが、
チャネルと、
前記チャネル内で移動可能に構成され、前記複数の第１の接触面のうちの１つを含むラッチ部材本体と、
前記ラッチ部材本体が前記ラッチ位置に向かって駆動されるように、前記チャネルに沿って前記ラッチ部材本体を駆動するように構成されたばねと
を含み、
前記レチクルを前記物品内に配置することが、
前記ラッチ部材本体のそれぞれをラッチ解除位置に引き込むことと、
前記レチクルが前記複数の第１のレチクルコンタクトと前記複数の第２のレチクルコンタクトとによって接触されるように、前記第１のレチクルポッドセグメントと前記第２のレチクルポッドセグメントとを一緒にすることと、
前記ばねが前記ラッチ部材本体を前記ラッチ位置に駆動できるように、前記ラッチ部材本体のそれぞれを解放することと
を含む、請求項１６又は１７のいずれか一項に記載の方法。

【請求項19】

レチクル保管システムであって、
ポッド容器と、
パージガス供給部と、
前記ポッド容器内に収容されるようにそれぞれ構成された複数のレチクルポッドであって、それぞれのレチクルポッドが、
複数の第１のレチクルコンタクト及び複数のラッチを含む第１のレチクルポッドセグメントであって、前記複数のラッチのそれぞれは第１の接触面を含む、第１のレチクルポッドセグメントと、
複数の第２のレチクルコンタクト及び複数の第２の接触面を含む第２のレチクルポッドセグメントと
を含むレチクルポッドと
を含み、
前記複数のラッチの前記第１の接触面のそれぞれは、前記第１の接触面がラッチ位置にあるとき、前記複数の第２の接触面のうちの１つに接触するように構成され、
前記第１の接触面及び前記第２の接触面の一方又は両方は傾斜面であり、
前記レチクルポッドは、前記レチクルが前記レチクル収容空間内にあり、前記第１の接触面が前記第２の接触面に接触するとき、前記レチクルが前記複数の第１のレチクルコンタクト及び前記複数の第２のレチクルコンタクトによってクランプされるように、前記レチクルを前記レチクル収容空間内に収容するように構成される、レチクル保管システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

優先権
本開示は、２０２１年９月９日に出願された米国仮特許第６３／２４２、３０５号の優先権を主張し、その全体が参照により組み込まれる。

【0002】

本開示は、レチクルの保管用及び／又は輸送用のポッド、特に傾斜面を含む接触面を有するポッドセグメントを含むポッドに関する。

【背景技術】

【0003】

レチクルは、通常、内側ポッド及び外側ポッドを含むレチクルポッド内で輸送、処理、及び保管される。内側ポッドは、例えば極紫外線（ＥＵＶ）処理などのフォトリソグラフィーでは、レチクルの処理中に使用できるように構成されている。フィルタ、シールの形成、及び／又は内側ポッドの他の機能など、レチクル処理に使用するのに適した内側ポッドの機能により、内側ポッドはより複雑かつ高価なものになり、レチクルの保管にあまり適さないものになる可能性がある。

【発明の概要】

【0004】

本開示は、レチクルの保管用及び／又は輸送用のポッド、特に傾斜面を含む接触面を有するポッドセグメントを含むポッドに関する。

【0005】

レチクルポッドは、ポッドを閉じ、その中に収容されたレチクルをクランプするためのクランプ力を提供するために、少なくとも１つの傾斜面を含む接触面を使用することができる。レチクルポッドは、第１及び第２のセグメント上にそれぞれ設けられた第１及び第２の傾斜面の連動によって、一緒に保持され得る。レチクルはストッカーポッド内に形成されたレチクル収容空間内に固定されるように、また第１及び第２のセグメントのそれぞれに設けられたレチクルコンタクトでレチクルをクランプするように、傾斜面の連動により第１及び第２のセグメントは一緒に保持され得る。これにより、レチクルのクランプを改善することができ、レチクルポッドの移動中や、レチクルポッドに打撃を与えたり落としたりするような衝撃事象中でも、レチクルを固定することができる。

【0006】

レチクルポッドはストッカーポッドであり得る。ストッカーポッドは、従来のレチクルポッドよりもかさばらないことによって、より高い保管密度を可能にすることができ、フィルタ、ポッドのシールなどのレチクル処理のための機能を含まず、レチクルの保管を対象とした機能のみを含むことによって、コストを低減することができる。ストッカーポッドは、酸素、水、粒子状物質、他の夾雑物などを追い出すために、ストッカーポッドを通ってパージガスを流すことができる１つ又は複数の流路を含むことができ、収容されているレチクルを保護し、したがってプロセス全体の歩留まりを向上させる。流路は、レチクルポッドのセグメント間の間隙であり得る。複数のレチクルポッドをストッカーポッド容器内で使用して、多数のレチクルを保管することができ、ストッカーポッド容器は、例えばストッカーポッドを通るパージガスの流れを含めて、レチクルの保管に適した環境を提供する。

【0007】

一実施形態では、物品はレチクルポッドを含む。レチクルポッドは第１のレチクルポッドセグメントを含み、第１のレチクルポッドは複数の第１のレチクルコンタクトと複数のラッチとを含み、複数のラッチのそれぞれは第１の接触面を含む。レチクルポッドは、複数の第２のレチクルコンタクト及び複数の第２の接触面を含む第２のレチクルポッドセグメントを更に含む。複数のラッチの第１の接触面のそれぞれは、第１の接触面がラッチ位置にあるとき、複数の第２の接触面のうちの１つに接触するように構成される。第１の接触面及び第２の接触面の一方又は両方は傾斜面である。レチクルポッドは、レチクルがレチクル収容空間内にあり、第１の接触面が第２の接触面に接触するとき、レチクルが複数の第１のレチクルコンタクトと複数の第２のレチクルコンタクトとによってクランプされるように、レチクルをレチクル収容空間内に収容するように構成される。

【0008】

一実施形態では、レチクルが複数の第１のレチクルコンタクト及び複数の第２のレチクルコンタクトによって接触されると、レチクルポッドは、レチクルパッドの外部からレチクル空間を通るパージガス流路を画定する。一実施形態では、パージガス流路は、第１のレチクルポッドセグメントと第２のレチクルポッドセグメントとの間の間隙によって形成される。一実施形態では、間隙は０．５～６ミリメートル（ｍｍ）の範囲である。一実施形態では、間隙は、複数の第１のレチクルコンタクト及び複数の第２のレチクルコンタクトのそれぞれの高さ及びレチクルの厚さによって形成される。

【0009】

一実施形態では、第１のレチクルポッドセグメント及び第２のレチクルポッドセグメントの少なくとも一方は、複数のレチクルコンタクトボスを含み、第１の複数のレチクルコンタクトの少なくとも一部又は第２の複数のレチクルコンタクトの少なくとも一部は、複数のレチクルコンタクトボス内に部分的に配置される。

【0010】

一実施形態では、複数の第１のレチクルコンタクト及び複数の第２のレチクルコンタクトは、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）材料を含む。

【0011】

一実施形態では、第１のレチクルポッドセグメント及び第２のレチクルポッドセグメントの少なくとも一方はアルミニウムを含む。

【0012】

一実施形態では、第１の接触面及び第２の接触面の両方が傾斜面である。

【0013】

一実施形態では、第２の接触面のそれぞれは、第２のレチクルポッドセグメントの外面に配置される。一実施形態では、開口部が第２のレチクルポッドセグメント上に設けられ、この開口部は、第１の接触面を含むラッチ部材本体の一部が前記開口部を通過できるように構成され、また、この開口部は、第２の接触面のそれぞれに隣接して位置決めされる。

【0014】

一実施形態では、第２の接触面のそれぞれはフランジ上に配置され、各フランジは、レチクルポッドが組み立てられたとき、第１のレチクルポッドセグメントに向かって突出する。

【0015】

一実施形態では、ラッチのそれぞれは、チャネルと、チャネル内で移動可能に構成され複数の第１の接触面のうちの１つを含むラッチ部材本体と、ラッチ部材本体がラッチ位置に向かって駆動されるようにチャネルに沿ってラッチ部材本体を駆動するように構成されたばねとを含む。一実施形態では、第１の接触面のそれぞれ及び第２の接触面のそれぞれの角度、ならびに第１の接触面のそれぞれ及び第２の接触面のそれぞれの摩擦係数は、第１の接触面が第２の接触面に接触するとき、ラッチ本体がラッチ位置から後退するのに抵抗するように選択される。一実施形態では、第１の接触面のそれぞれと第２の接触面のそれぞれとの角度は、３０°以下である。

【0016】

一実施形態では、レチクルを保管する方法は、レチクルポッド内にレチクルを配置することを含む。レチクルポッドは第１のレチクルポッドセグメントを含み、第１のレチクルポッドは複数の第１のレチクルコンタクトと複数のラッチとを含み、複数のラッチのそれぞれは第１の接触面を含む。レチクルポッドは、複数の第２のレチクルコンタクト及び複数の第２の接触面を含む第２のレチクルポッドセグメントを更に含む。複数のラッチの第１の接触面のそれぞれは、第１の接触面がラッチ位置にあるとき、複数の第２の接触面のうちの１つに接触するように構成される。第１の接触面及び第２の接触面の一方又は両方は傾斜面である。レチクルポッドは、レチクルがレチクル収容空間内にあり、第１の接触面が第２の接触面に接触するとき、レチクルが複数の第１のレチクルコンタクトと複数の第２のレチクルコンタクトとによってクランプされるように、レチクルをレチクル収容空間内に収容するように構成される。

【0017】

一実施形態では、レチクルが複数の第１のレチクルコンタクト及び複数の第２のレチクルコンタクトによって接触されると、レチクルポッドは、レチクルパッドの外部からレチクル空間を通るパージガス流路を画定し、更に、本方法は、パージガス流路を通してパージガス流を供給することを含む。

【0018】

一実施形態では、ラッチのそれぞれは、チャネルと、チャネル内で移動可能に構成され複数の第１の接触面のうちの１つを含むラッチ部材本体と、ラッチ部材本体がラッチ位置に向かって駆動されるようにチャネルに沿ってラッチ部材本体を駆動するように構成されたばねとを含む。レチクルを物品内に配置することは、各ラッチ部材本体をラッチ解除位置に引き込むことと、レチクルが複数の第１のレチクルコンタクト及び複数の第２のレチクルコンタクトに接触するように、第１のレチクルポッドセグメント及び第２のレチクルポッドセグメントを一緒にすることと、ばねがラッチ部材本体をラッチ位置に駆動することができるように、各ラッチ部材本体を解放することとを含む。

【0019】

一実施形態では、レチクル保管システムは、ポッド容器と、パージガス供給部と、それぞれがポッド容器内に収容されるように構成された複数のレチクルポッドとを含む。各レチクルポッドは第１のレチクルポッドセグメントを含み、第１のレチクルポッドは複数の第１のレチクルコンタクト及び複数のラッチを含み、複数のラッチのそれぞれは第１の接触面を含む。レチクルポッドは、複数の第２のレチクルコンタクト及び複数の第２の接触面を含む第２のレチクルポッドセグメントを更に含む。複数のラッチの第１の接触面のそれぞれは、第１の接触面がラッチ位置にあるとき、複数の第２の接触面のうちの１つに接触するように構成される。第１の接触面及び第２の接触面の一方又は両方は傾斜面である。レチクルポッドは、レチクルがレチクル収容空間内にあり、第１の接触面が第２の接触面に接触するとき、レチクルが複数の第１のレチクルコンタクトと複数の第２のレチクルコンタクトとによってクランプされるように、レチクルをレチクル収容空間内に収容するように構成される。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】一実施形態によるレチクルポッドの断面図を示す。

【図2】一実施形態によるレチクルポッドの斜視図を示す。

【図3】一実施形態によるレチクルポッドの底面図を示す。

【図4】一実施形態によるレチクルポッドの側面図を示す。

【図5】一実施形態によるレチクル保管システムの概略図を示す。

【図6】一実施形態によるレチクルポッドの断面図を示す。

【発明を実施するための形態】

【0021】

本開示は、レチクルの保管用及び／又は輸送用のポッド、特に傾斜面を含む接触面を有するポッドセグメントを含むポッドに関する。

【0022】

図１は、一実施形態によるレチクルポッドの断面図を示す。レチクルポッド１００は、第１のレチクルポッドセグメント１０２及び第２のレチクルポッドセグメント１０４を含む。第１のレチクルポッドセグメント１０２はラッチ１０６を含む。ラッチ１０６は、チャネル１０８と、ばね１１０と、ラッチ本体１１２とを含む。ラッチ本体１１２は、フランジ１１４と、第１の接触面１１６とを含む。第２のレチクルポッドセグメント１０４は、ボス１１８とレチクルコンタクト１２０とを含む。第２のレチクルポッドセグメント１０４は、第２の接触面１２２を更に含む。第２のレチクルポッドセグメント１０４は、第２の接触面１２２の近く又はそれに隣接して配置された開口部１２４を含むことができる。レチクル１２６は、第１のレチクルポッドセグメント１０２と第２のレチクルポッドセグメント１０４とによって形成されたレチクル収容空間１２８に収容され得る。間隙１３０は、第１のレチクルポッドセグメント１０２と第２のレチクルポッドセグメント１０４との間に形成され得る。

【0023】

レチクルポッド１００は、レチクル１２６などのレチクルを保管するためのポッドである。レチクルポッド１００は、後述し、図５に示すように、レチクル保管システムに含まれる複数のストッカーポッドのうちの１つであり得る。一実施形態では、レチクル１２６がレチクルポッド１００内に収容されているとき、レチクルポッド１００はシールを形成しない。一実施形態では、レチクルポッド１００は、非限定的な例として、極紫外線（ＥＵＶ）処理を含むフォトリソグラフィーなどのレチクル処理に使用されるレチクルポッドに含まれ得るフィルタ又は他のこのような機能を含まない。一実施形態では、レチクルポッド１００は、レチクルの処理に使用されるポッド用のフィルタ及び／又は任意の他の適切な機能を含む。

【0024】

第１のレチクルポッドセグメント１０２は、第２のレチクルポッドセグメント１０４に接合されたとき、レチクル収容空間１２８を画定するように構成されたレチクルポッド１００のセグメントである。一実施形態では、第１のレチクルポッドセグメント１０２は、レチクルポッド１００の下部を形成し、レチクルポッド１００のベースプレートとして機能する。一実施形態では、第１のレチクルポッドセグメント１０２は、レチクルポッド１００の上部を形成し、レチクルポッド１００のカバーとして機能する。一実施形態では、第１のレチクルポッドセグメント１０２は主にアルミニウムで作ることができる。

【0025】

ラッチ１０６は、第１の接触面１１６が第２のレチクルポッドセグメント１０４上に設けられた第２の接触面１２２に接触できるように、第１の接触面１１６を提供する。ラッチ１０６は、第１の接触面１１６がラッチ位置からラッチ解除位置に移動することを可能にするように更に構成することができる。ラッチ位置で、第１の接触面１１６は第２の接触面１２２と接触する。ラッチ解除位置で、第１の接触面１１６と第２の接触面１２２とは接触していない。一実施形態では、ラッチ解除位置は、例えば、開口部１２４を通過できるように第１の接触面１１６を位置決めすることによって、第１のレチクルポッドセグメント１０２と第２のレチクルポッドセグメント１０４とが互いに分離できるように、第１の接触面１１６を位置決めすることを更に含み得る。

【0026】

一実施形態では、ラッチ１０６はチャネル１０８を含む。チャネル１０８は、ラッチ本体１１２の少なくとも一部を収容するようなサイズにすることができる。一実施形態では、チャネル１０８は、第１のレチクルポッドセグメント１０２の平面と平面内で主方向に向けられている。一実施形態では、チャネル１０８は、フランジ１１４が第２のレチクルポッドセグメント１０４に向かって延びることができるスロットを含む。ばね１１０は、チャネル１０８内に配置され得、ばね１１０は、チャネル１０８の端部及びラッチ本体１１２に接触する。一実施形態では、ラッチ１０６はラッチ本体１１２を含む。ラッチ本体１１２は、ラッチ本体がばね１１０からの力によってチャネル１０８に沿って駆動され得るように、チャネル１０８内に保持され得るように構成され得る。ラッチ本体１１２は、第１の接触面１１６を第２の接触面１２２と接触する位置に配置するために、チャネル１０８から延びるフランジ１１４を含むことができる。

【0027】

ラッチ１０６は、第１の接触面１１６を有する。第１の接触面１１６は、対応する第２の接触面１２２と接触するように構成された傾斜面である。図１には１つの第１の接触面１１６のみが示されているが、複数の第１の接触面１１６を第１のレチクルポッドセグメント１０２に設けることができる。一実施形態では、各第１の接触面１１６は、別個のラッチ１０６上に設けることができる。一実施形態では、複数の第１の接触面１１６は、第１のレチクルポッドセグメント１０２の周囲に分配され得る。一実施形態では、複数の第１の接触面１１６は、第１のレチクルポッドセグメント１０２の両側に設けられ得る。ラッチ１０６は、ラッチの作動によって、第１のレチクルポッドセグメント１０２の第２のレチクルポッドセグメント１０４への移動が低減されるか、又は全く生じないように、位置決め及び配向され得る。第１の接触面１１６は、第１のレチクルポッドセグメント１０２及び第２のレチクルポッドセグメント１０４がレチクル１２６を取り囲み、第１の接触面１１６がラッチ位置にあるとき、第１の接触面１１６の少なくとも一部が第２の接触面１２２の少なくとも一部に接触するように、成形され位置決めされ得る。一実施形態では、第１の接触面１１６は、例えば図１に示すように傾斜面である。一実施形態では、第２の接触面１２２が傾斜面である場合、第１の接触面１１６は、傾斜面以外の形状、例えば平坦面、丸み面、ピンなどを有することができる。一実施形態では、第１の接触面１１６及び第２の接触面１２２はそれぞれ相補的な傾斜面である。第１の接触面１１６と第２の接触面１２２との接触は、第１のレチクルポッドセグメント１０２及び第２のレチクルポッドセグメント１０４を互いに向かって押す力を与えることができ、レチクルポッド１００内に収容されたレチクル１２６にクランプ力を与えることができる。

【0028】

第２のレチクルポッドセグメント１０４は、第１のレチクルポッドセグメント１０２に接合されたとき、レチクル収容空間１２８を画定するように構成された、レチクルポッド１００のセグメントである。一実施形態では、第２のレチクルポッドセグメント１０４は、レチクルポッド１００の上部を形成し、レチクルポッド１００のカバーとして機能する。一実施形態では、第２のレチクルポッドセグメント１０４は、レチクルポッド１００の下部を形成し、レチクルポッド１００のベースプレートとして機能する。一実施形態では、第２のレチクルポッドセグメント１０４は、主にアルミニウムで作ることができる。

【0029】

ボス１１８は、第２のレチクルポッドセグメント１０４に形成され得る。追加のボス１１８は、図１の図では見えない第２のレチクルポッドセグメント１０４の部分に形成され得る。一実施形態では、ボス１１８は、第２のレチクルポッドセグメント１０４に含まれる各レチクルコンタクト１２０に設けられる。ボス１１８はそれぞれ、レチクルコンタクト１２０を固定するための１つ又は複数の機械的機構を含むことができる。機械的機能は、非限定的な例として、レチクルコンタクト１２０が圧入され得るチャネルを含むことができる。各ボス１１８が対応する機構を含むレチクルコンタクト１２０を保持するために任意の適切な機械的接続が使用され得ることを理解されたい。一実施形態では、ボス１１８の代わりに、レチクルコンタクト１２０は、穿孔などのような、第１のレチクルポッドセグメント１０２及び第２のレチクルポッドセグメント１０４に形成された機構内に収容され得る。図１は第２のレチクルポッドセグメント１０４上のボス１１８を示しているが、実施形態は、第２のレチクルポッドセグメント１０４上に形成されたボスに加えて、又はその代わりに、第１のレチクルポッドセグメント１０２上にもボス１１８などのボスを含むことができることを理解されたい。

【0030】

レチクルコンタクト１２０は、レチクルポッド１００が組み立てられたとき、レチクル１２６に接触するように構成される。レチクルコンタクト１２０は、非限定的な例として、圧入などの任意の適切な機械的接続によってボス１１８内に固定され得る。レチクルコンタクト１２０は、第１のレチクルポッドセグメント１０２及び第２のレチクルポッドセグメント１０４の両方に設けられた複数のレチクルコンタクトのうちの１つであり得る。レチクルポッド１００が組み立てられると、複数のレチクルコンタクトの少なくとも一部がレチクル１２６をクランプしてレチクル１２６をレチクル収容空間１２８内に固定する。レチクルコンタクト１２０は、レチクル１２６に接触するための任意の適切な材料で作ることができる。非限定的な例として、レチクルコンタクト１２０は、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）材料、例えば純粋なＰＥＥＫ又は炭素繊維もしくはガラス繊維などの充填剤を含むＰＥＥＫなど、を含むことができる。レチクルコンタクト１２０を含むレチクルコンタクトは、レチクル１２６がレチクルコンタクトによってクランプされたとき、第１のレチクルポッドセグメント１０２と第２のレチクルポッドセグメント１０４とが互いに離れて保持され、間隙１３０を形成することができるようなサイズにすることができる。

【0031】

第２の接触面１２２は、第１の接触面１１６と接触するように構成された接触面である。一実施形態では、第１の接触面１１６が傾斜面である場合、第２の接触面１２２は、傾斜面以外の形状、例えば平坦面、丸み面、ピンなどを有することができる。一実施形態では、第１の接触面１１６及び第２の接触面１２２はそれぞれ相補的な傾斜面である。第２の接触面１２２は、第２のレチクルポッドセグメント１０４上の固定位置に存在し得る。一実施形態では、第２の接触面１２２は、第２のレチクルポッドセグメント１０４から直接突出している。一実施形態では、第２の接触面１２２は、第２のレチクルポッドセグメント１０４の本体と同じ材料で形成される。第２の接触面１２２は、第１のレチクルポッドセグメント１０２及び第２のレチクルポッドセグメント１０４がレチクル１２６を取り囲み、第１の接触面１１６がラッチ位置にあるとき、第２の接触面１２２の少なくとも一部が第１の接触面１１６の少なくとも一部に接触するように、成形及び位置決めされ得る。一実施形態では、第２の接触面１２２は、第１の接触面１１６の角度と同じ角度を有する。

【0032】

一実施形態では、第１の接触面１１６及び第２の接触面１２２の角度は、第１の接触面１１６及び第２の接触面１２２の接触面の摩擦係数に基づいて選択されて、第１の接触面がラッチ位置から後退するのを制限又は防止することができる。一実施形態では、第１の接触面１１６及び／又は第２の接触面１２２の傾斜面の角度は３０°以下であり得る。一実施形態では、第１の接触面１１６及び／又は第２の接触面１２２の傾斜面の角度は２０°以下であり得る。一実施形態では、第１の接触面１１６及び／又は第２の接触面１２２の傾斜面の角度は１５°以下であり得る。

【0033】

開口部１２４は、第１の接触面１１６がラッチ解除位置にあるとき、第１の接触面１１６を含むフランジ１１４の端部が開口部１２４を通過できるようなサイズにされた、第２のレチクルポッドセグメント１０４に形成された開口部である。開口部１２４は、第１の接触面１１６がラッチ位置にあるとき、例えば、ラッチ本体１１２がばね１１０によってチャネル１０８に沿って駆動されるとき、第１の接触面１１６と第２の接触面１２２とが互いに接触することができるように、第２の接触面１２２に隣接して又はその近くに位置決めされ得る。一実施形態では、開口部１２４は省略され得て、第１の接触面１１６が第２の接触面１２２に依然として接触することができるようにフランジ１１４上に配置された状態で、フランジ１１４は、第２のレチクルポッドセグメント１０４の周囲の外側に上向きに延びることができる。

【0034】

レチクル１２６は、レチクルポッド１００内に保管され得るレチクルである。レチクル１２６は、ＥＵＶ処理などのフォトリソグラフィーが施された、又は施される予定のレチクルなど、任意の適切なレチクルであり得る。レチクル１２６は、レチクル収容空間１２８内に収まるようなサイズにされ得る。一実施形態では、レチクル１２６の厚さは、第１のレチクルポッドセグメント１０２及び第２のレチクルポッドセグメント１０４上に設けられたレチクルコンタクト１２０を含むレチクルコンタクト間にレチクル１２６がクランプされたとき、第１のレチクルポッドセグメント１０２と第２のレチクルポッドセグメント１０４とが互いに離間して間隙１３０を形成するようにすることができる。

【0035】

レチクル収容空間１２８は、第１のレチクルポッドセグメント１０２及び第２のレチクルポッドセグメント１０４によって画定され得る。レチクル収容空間は、レチクル１２６が第１のレチクルポッドセグメント１０２及び第２のレチクルポッドセグメント１０４に設けられたレチクルコンタクト１２０を含むレチクルコンタクトの間にクランプされ得るようなサイズにされ得る。レチクル１２６がレチクル収容空間１２８内に位置しているとき、レチクル１２６は、任意選択的に間隙１３０又は別のパージガス流路とは別に、第１のレチクルポッドセグメント１０２及び第２のレチクルポッドセグメント１０４によって取り囲まれ得る。

【0036】

レチクル１２６がレチクル収容空間１２８内に位置しているとき、第１のレチクルポッドセグメント１０２と第２のレチクルポッドセグメント１０４との間に間隙１３０が形成され得る。間隙１３０は、パージガスの供給を可能にするパージガス流路の少なくとも一部を形成することができ、レチクル収容空間１２８に入り、レチクル１２６の表面を通過し、レチクル収容空間１２８から出る。パージガスは、例えば、レチクル収容空間１２８から夾雑物をパージするための窒素又は任意の他の適切なガスであり得る。パージガスは、レチクルポッド１００を収容するレチクル保管システムに接続されたパージガス源などの任意の適切な供給源から供給され得る。一実施形態では、レチクル１２６がレチクルコンタクト１２０などのレチクルコンタクトによってクランプされたとき、間隙が存在するように、レチクル１２６の厚さ及びレチクルコンタクト１２０などのレチクルコンタクトの厚さによって、間隙１３０を形成することができる。一実施形態では、間隙１３０は、レチクル１２６がレチクル収容空間１２８内に位置している場合にのみ、第１のレチクルポッドセグメント１０２と第２のレチクルポッドセグメント１０４との間に形成される。一実施形態では、間隙１３０の幅は、０．５ミリメートル（ｍｍ）～６ｍｍであり得る。一実施形態では、間隙１３０の幅は、１．０ｍｍ～３ｍｍであり得る。一実施形態では、間隙１３０の幅は、１．０ｍｍ～１．５ｍｍであり得る。間隙１３０の幅は、レチクルポッド１００を通るパージガスの所望の流れ特性に基づいて選択され得ることを理解されたい。

【0037】

図２は、一実施形態によるレチクルポッドの斜視図を示す。レチクルポッド２００は、第１のレチクルポッドセグメント２０２及び第２のレチクルポッドセグメント２０４を含む。第１のレチクルポッドセグメント２０２はラッチ２０６を含む。ラッチ２０６は、チャネル（図示せず）と、ラッチ本体２０８と、スロット２１０と、スロット２１０を通って突出するフランジ２１２と、フランジ２１２上に配置された第１の接触面２１４とを含む。第２のレチクルポッドセグメント２０４は、開口部２１６と、第２の接触面２１８とを含む。第２のレチクルポッドセグメント２０４はまた、ボス２２０及びレチクルコンタクト２２２も含む。

【0038】

レチクルポッド２００は、レチクル、例えば、上述し、図１に示すレチクル１２６を収容するように構成されたポッドである。レチクルポッド２００は、レチクルの輸送及び／又は保管に使用され得る。一実施形態では、レチクルポッド２００は、レチクルの輸送及び保管のために構成されたストッカーポッドである。

【0039】

第１のレチクルポッドセグメント２０２は、レチクルポッド２００の一部を形成する。図２に示す実施形態では、第１のレチクルポッドセグメント２０２は、レチクルポッド２００のベースプレートを形成する。別の実施形態では、第１のレチクルポッドセグメント２０２はレチクルポッド２００のカバーであり得る。第１のレチクルポッドセグメント２０２はラッチ２０６を含む。ラッチ２０６は、第１の接触面２１４を第２の接触面２１８に接触させる機構を提供する。ラッチ２０６は、第１のレチクルポッドセグメントに形成されたチャネル（図示せず）を含む。ラッチ本体２０８は、主として流路内に配置され得る。ラッチ本体２０８は、上述し、図１に示すばね１１０などのばね（図示せず）によって接触させることができる。ラッチ本体２０８は、フランジ２１２を含む。スロット２１０は第１のレチクルポッドセグメント２０２に形成され得、このスロット２１０は、フランジ２１２がチャネルから延びることを可能にするように構成される。フランジ２１２は、レチクルポッド２００が組み立てられたとき、第２のレチクルポッドセグメント２０４に向かって延びることができる。図２に示すレチクルポッド２００の部分には１つのラッチ２０６が示されているが、複数のラッチ２０６、対応する開口部２１６及び第２の接触面２１８は、レチクルポッド２００に設けられ得ることを理解されたい。第１の接触面２１４は、フランジ２１２に設けられる。一実施形態では、第１の接触面２１４は、例えば図２に示すように傾斜面である。一実施形態では、第２の接触面２１８が傾斜面である場合、第１の接触面２１４は、傾斜面以外の形状、例えば平坦面、丸み面、ピンなどを有することができる。一実施形態では、第１の接触面２１４及び第２の接触面２１８はそれぞれ相補的な傾斜面である。第１の接触面２１４と第２の接触面２１８との接触は、第１のレチクルポッドセグメント２０２及び第２のレチクルポッドセグメント２０４を互いに向かって押す力を与えることができ、レチクルポッド２００内に収容されたレチクルにクランプ力を与えることができる。

【0040】

第２のレチクルポッドセグメント２０４は、第１のレチクルポッドセグメント２０２に接合されるように構成された、レチクルポッド２００の別の構成要素である。図２に示す実施形態などの実施形態では、第２のレチクルポッドセグメント２０４はレチクルポッド２００のカバーを形成する。別の実施形態では、第２のレチクルポッドセグメント２０４は、レチクルポッド２００のベースプレートを形成する。第２のレチクルポッドセグメント２０４は開口部２１６を含む。１つの開口部２１６が示されているが、開口部２１６を、第１のレチクルポッドセグメント２０２に含まれる各ラッチ２０６に設けることができることを理解されたい。開口部２１６は、ラッチ２０６がラッチ解除位置にあるとき、ならびに第１及び第２のレチクルポッドセグメント２０２、２０４が一緒にされているとき、第１の接触面２１４及びフランジ２１２の一部が開口部２１６を通過することができるようなサイズ及び位置にある、第２のレチクルポッドセグメント２０４を通る開口部である。開口部２１６は、ラッチ２０６がラッチ位置に移動されると、第１の接触面２１４が第２の接触面２１８に接触することができるように位置決めされ得る。開口部２１６のこのような位置は、第２の接触面２１８に隣接し得るし、又は近接し得る。第２の接触面２１８は、第１の接触面２１４と接触するように構成された接触面である。一実施形態では、第１の接触面２１４が傾斜面である場合、第２の接触面２１８は、傾斜面以外の形状、例えば平坦面、丸み面、ピンなどを有することができる。一実施形態では、第１の接触面２１４及び第２の接触面２１８はそれぞれ相補的な傾斜面である。第１の接触面２１４及び第２の接触面２１８が互いに接触すると、第１の接触面２１４又は第２の接触面２１８のいずれか一方又は両方の傾斜面は、レチクルポッド２００内にレチクルをクランプし、第１のレチクルポッドセグメント２０２を第２のレチクルポッドセグメント２０４に保持するためのクランプ力を与えることができる。

【0041】

図２の実施形態に示すように、第２のレチクルポッドセグメント２０４はボス２２０を含むことができる。ボス２２０は、レチクルコンタクト２２２を保持するために使用され得る。レチクルコンタクト２２２は、レチクルポッド２００内に保持されたレチクルに接触するように構成される。レチクルコンタクト２２２は、レチクルに接触するための任意の適切な材料で作ることができる。一実施形態では、レチクルコンタクト２２２は、ＰＥＥＫ材料、例えば、純粋なＰＥＥＫ材料又は充填ＰＥＥＫ材料などを含む。レチクルコンタクト２２２は、レチクルポッド２００内にレチクルコンタクト２２２を保持するための任意の適切な機械的接続によって、レチクルポッド２００内に保持され得る。図２に示す実施形態では、ボス２２０は、レチクルコンタクト２２２を圧入することができるチャネルを含む。一実施形態では、レチクルコンタクト２２２が任意の他の適切な機械的接続によって固定されている状態で、ボス２２０をレチクルポッド２００から省略することができ、非限定的な一例として、レチクルコンタクト２２２が、第２のレチクルポッドセグメント２０４などのレチクルポッド２００の一部に形成された、又はこれを貫通して穿孔されたチャネルに圧入されることが挙げられる。図２には１つのボス２２０及びレチクルコンタクト２２２のみが示されているが、第２のレチクルポッドセグメント２０４は複数のボス２２０及び／又はレチクルコンタクト２２２を含むことができることを理解されたい。レチクルコンタクト２２２はまた、第１のレチクルポッドセグメント２０２に設けることもできる。一実施形態では、レチクルコンタクト２２２は、レチクルポッド２００がレチクル内に収容された状態で組み立てられたとき、レチクルがレチクルコンタクト２２２の間にクランプされるように、第１のレチクルポッドセグメント２０２及び第２のレチクルポッドセグメント２０４上の対応する位置に設けられ得る。

【0042】

図３は、一実施形態によるレチクルポッドの底面図を示す。図３の底面図では、第１のレチクルポッドセグメント３００を見ることができる。第１のレチクルポッドセグメント３００は、ボス３０２とレチクルコンタクト３０４とを含む。第１のレチクルポッドセグメント３００はまた、チャネル３０８、ばね３１０、及びラッチ本体３１２を含むラッチ３０６を含む。ラッチ本体３１２は、操作機能３１４を含むことができる。

【0043】

第１のレチクルポッドセグメント３００は、上述し、図１及び図２に示すように、レチクルポッド１００又はレチクルポッド２００の一部であり得る。特に、第１のレチクルポッドセグメント３００は、第１のレチクルポッドセグメント１０２又は第１のレチクルポッドセグメント２０２として、レチクルポッド１００又はレチクルポッド２００に含まれ得る。図３に示す実施形態では、第１のレチクルポッドセグメント３００は、上述し、図１及び図２に示すように、レチクルポッド１００又はレチクルポッド２００などのレチクルポッドの底部を形成する。

【0044】

ボス３０２は、レチクルコンタクト３０４を保持するように構成される。レチクルコンタクト３０４は、機械的接続を形成するための任意の適切な機能を介してボス３０２内に保持することができる。非限定的な例として、機械的接続とは、ボス３０２内のレチクルコンタクト３０４の圧入であり得る。レチクルコンタクト３０４は、上述し、図１に示すレチクル１２６などのレチクルに接触するように構成される。レチクルは、レチクルコンタクト３０４と、上述し、図１に示すレチクルコンタクト１２０など第２のレチクルポッドセグメント上に設けられたレチクルコンタクトとの間にクランプされ得る。一実施形態では、ボス３０２の代わりに、レチクルコンタクト３０４は、穿孔など第１のレチクルポッドセグメント３００に形成された機能内に含まれ得る。第１のレチクルポッドセグメント３００のセクションは、１つのボス３０２及びレチクルコンタクト３０４を含むが、複数のボス３０２及びレチクルコンタクト３０４が第１のレチクルポッドセグメント３００などの第１のレチクルポッドセグメントに含まれ得ることを理解されたい。一実施形態では、レチクルコンタクト３０４は、レチクルに接触するための任意の適切な材料、例えば、純粋ＰＥＥＫ又は充填ＰＥＥＫを含むＰＥＥＫ材料などで形成されるか、又はそれらを含む。

【0045】

ラッチ３０６は、第１のレチクルポッドセグメント３００に設けられる。ラッチ３０６は、第２のレチクルポッドセグメント（図示せず）上に設けられた第２の接触面、例えば、上述し、図１に示すように第２のレチクルポッドセグメント１０４の第２の接触面１２２に接触することができるように、上述し、図１に示す第１の接触面１１６などの接触面を提供するように構成され得る。ラッチ３０６は、チャネル３０８、ばね３１０、及びラッチ本体３１２を含むことができる。

【0046】

チャネル３０８は、第１のレチクルポッドセグメント３００に形成されたチャネルである。チャネル３０８は、ラッチ本体３１２をチャネル３０８内に保持し、チャネル３０８に沿ってスライドさせることができるようなサイズである。

【0047】

ばね３１０は、ばね３１０がチャネル３０８に沿ってラッチ本体３１２を駆動できるように、チャネル３０８内に配置され、チャネル３０８の端部及びラッチ本体３１２に接触することができる。ラッチ本体３１２は、ラッチ本体３１２がラッチ位置とラッチ解除位置との間でチャネル３０８に沿ってスライドすることができるように、少なくとも部分的にチャネル３０８内に配置されるようなサイズにすることができる。ラッチ本体３１２は、上述し、図１に示す第１の接触面１１６などの接触面（図示せず）を含むことができる。一実施形態では、ラッチ本体３１２は、上述し、図１に示すフランジ１１４などのフランジを含むことができる。

【0048】

操作機能３１４をラッチ本体３１２に形成して、ラッチ本体３１２との機械的接触を可能にし、ラッチ本体３１２を例えばラッチ解除位置に移動させることができる。一実施形態では、操作機能３１４は、ペグ、ポストなどのラッチ本体からの突起であり得る。一実施形態では、操作機能３１４は、穿孔された開口部など、ラッチ本体３１２に形成された凹部であり得る。操作機能は、ロードポート又はその近くの機能などの操作自動化装置（図示せず）の一部と係合することができる。操作自動化装置は、ラッチ本体３１２を、第１のレチクルポッドセグメント３００を含むレチクルポッドの組立て又は開放に適した位置に移動させることができる。例えば、操作自動化装置は、ラッチ本体をラッチ解除位置に移動させて、レチクルポッドの組立て又は開放を可能にすることができる。

【0049】

図４は、一実施形態によるレチクルポッドの側面図を示す。レチクルポッド４００は、第１のレチクルポッドセグメント４０２及び第２のレチクルポッドセグメント４０４を含む。第１のレチクルポッドセグメント４０２は、チャネル４０８、ラッチ本体４１０、及びばね４１２を含むラッチ４０６を含む。第１の接触面４１４は、ラッチ本体４１０に設けられる。第２のレチクルポッドセグメントは、フランジ４１６と、フランジ４１６上に設けられた第２の接触面４１８とを含む。ラッチ４０６は、開口部４２０を更に含む。

【0050】

レチクルポッド４００は、レチクルを収容するように構成されたポッドである。レチクルポッド４００は、レチクルの保管及び／又は輸送のためのストッカーポッドであり得る。一実施形態では、レチクルポッド４００は、パージガス流路、例えば上述し、図１に示すような間隙１３０などの間隙を提供することができる。

【0051】

第１のレチクルポッドセグメント４０２はレチクルポッド４００の一部である。図４に示す実施形態などの実施形態では、第１のレチクルポッドセグメント４０２は、レチクルポッド４００のベースプレートとして機能する。別の実施形態では、第１のレチクルポッドセグメント４０２は、レチクルポッド４００のカバーとして機能する。第１のレチクルポッドセグメントはラッチ４０６を含む。ラッチ４０６は、ラッチ本体４１０を収容するように構成されたチャネル４０８を含む。ラッチ本体４１０は、ばね４１２がラッチ本体４１０をラッチ位置に向かって押すことができるように、ばね４１２に接触している。一実施形態では、ラッチ本体４１０は、上述し図３に示す操作機能３１４などの操作機能を含むことができる。ラッチ本体４１０は、第１の接触面４１４を含む。第１の接触面４１４は、第２の接触面４１８に接触してレチクルポッド４００を一緒に固定し、レチクルポッド４００内でレチクルをクランプするように構成された面である。一実施形態では、図４に示すように、第１の接触面４１４は傾斜面である。一実施形態では、第２の接触面４１８が傾斜面である場合、第１の接触面は、傾斜面、平坦面、曲面、ピンなどを含む、第２の接触面４１８の傾斜面と接触するための任意の適切な形状を有することができる。レチクルポッド４００では、第１の接触面４１４又は第２の接触面４１８の少なくとも一方は傾斜面である。一実施形態では、例えば図４に示すように、第１の接触面４１４及び第２の接触面４１８のそれぞれは傾斜面である。

【0052】

第２のレチクルポッドセグメント４０４はレチクルポッド４００の別の部分である。図４に示す実施形態などの実施形態では、第２のレチクルポッドセグメント４０４は、レチクルポッド４００のカバーとして機能する。別の実施形態では、第２のレチクルポッドセグメント４０４は、レチクルポッド４００のベースプレートとして機能する。第２のレチクルポッドセグメント４０４はフランジ４１６を含む。フランジ４１６は、レチクルポッド４００が組み立てられたとき、第１のレチクルポッドセグメント４０２に面する第２のレチクルポッドセグメント４０４の側で、第２のレチクルポッドセグメント４０４から突出している。フランジ４１６は、第２のレチクルポッドセグメント４０４が第１のレチクルポッドセグメント４０２に接合されたとき、第２の接触面４１８がラッチ４０６に挿入され得る位置に設けられることを可能にする。第２の接触面４１８は、第１の接触面４１４と接触するように構成された面である。一実施形態では、第２の接触面４１８は傾斜面である。一実施形態では、第１の接触面４１４が傾斜面である場合、第２の接触面は、傾斜面、平坦面、曲面、ピンなどを含む、第１の接触面４１４の傾斜面と接触するための任意の適切な形状を有することができる。レチクルポッド４００では、第１の接触面４１４又は第２の接触面４１８の少なくとも一方は傾斜面である。一実施形態では、例えば図４に示すように、第１の接触面４１４及び第２の接触面４１８のそれぞれは傾斜面である。図４は、一組の第１の接触面４１４及び第２の接触面４１８を示しているが、対応する複数組の第１の接触面４１４及び第２の接触面４１８をレチクルポッド４００に設けることができ、例えば、周囲に分配させるか、又は第１及び第２のレチクルポッドセグメント４０２、４０４の特定の側面に沿って分配させることができることを理解されたい。

【0053】

開口部４２０は、第１の接触面４１４が第２の接触面４１８と接触できるように、第２の接触面４１８及びフランジ４１６の少なくとも一部がチャネル４０８に挿入されることを可能にする開口部である。レチクルポッドを閉じてラッチするために、ラッチ本体４１０をラッチ解除位置に移動させ、第２の接触面４１８を開口部４２０に挿入し、ラッチ本体４１０をばね４１２がチャネル４０８に沿って駆動できるように、ラッチ本体４１０を解放する。第１の接触面４１４及び第２の接触面４１８は互いに係合し、第１の接触面４１４又は第２の接触面４１８の少なくとも一方の傾斜面は、第１のレチクルポッドセグメント４０２と第２のレチクルポッドセグメント４０４とを一緒にクランプする力を与える。

【0054】

図５は、一実施形態によるレチクル保管システムの概略図を示す。レチクル保管システム５００は、ストッカーポッド容器５０２と、パージガス源５０４と、複数のレチクルポッド５０６とを含む。任意選択的に、レチクル保管システム５００は、レチクル移送自動化装置５０８を更に含むことができる。

【0055】

レチクル保管システム５００は、例えばフォトリソグラフィーなどの処理後にレチクルを保管するために使用され得る。レチクル保管システム５００に保管された、又は保管されるレチクルに対して実行することができる処理の非限定的な例には、ＥＵＶ処理がある。レチクル保管システムはストッカーポッド容器を含む。ストッカーポッド容器５０２は、複数のレチクルポッド５０６を収容できるようなサイズになっている。ストッカーポッド容器５０２は、レチクル保管システム５００内のレチクルの保管の少なくとも一部の間、シールされるように構成され得る。一実施形態では、パージガス源５０４をストッカーポッド容器５０２に接続することができる。パージガス源５０４は、ストッカーポッド容器の内部にパージガスを供給するように構成され得る。パージガス源５０４は、酸素、水分、粒子状物質、任意の他の夾雑物などを追い出すことによってストッカーポッド容器からこれらをパージするための任意の適切なガスであり得る。非限定的な例として、パージガスは窒素ガスであり得る。パージガス源５０４は、非限定的な例として、パージガスを収容するタンク、半導体製造会社のパージシステムへの接続などがあり得る。

【0056】

レチクル保管システム５００は、複数のレチクルポッド５０６を含む。レチクルポッド５０６は、本明細書で説明するレチクルポッド５０６の実施形態のいずれかに合致し得る。レチクルポッド５０６はそれぞれ、１つのレチクルを保管するために使用され得る。

【0057】

一実施形態では、レチクル保管システム５００にレチクル移送自動化装置５０８を含めることができる。一実施形態では、レチクル移送自動化装置５０８は、ストッカーポッド容器５０２内に位置する。レチクル移送自動化装置５０８は、例えば、レチクルポッド５０６を開閉するために、上述し、図３に示すような操作機能３１４などの機能でレチクルポッドと連動するように構成され得る。レチクル移送自動化装置５０８は、ＥＵＶポッドなどのレチクルポッド５１０を受け取り、レチクルポッド５１０からレチクルポッド５０６に、又はその逆にレチクルを移送するように更に構成され得る。一実施形態では、レチクルポッド５１０は、外側ポッド及び内側ポッドを含む完全なレチクルポッドであり得る。一実施形態では、レチクルポッド５１０は内側ポッドのみであり得る。一実施形態では、レチクル移送自動化装置５０８は、ストッカーポッド容器５０２内からレチクルポッド５０６を取り出すように構成され得る。

【0058】

図６は、一実施形態によるレチクルポッドの断面図を示す。レチクルポッド６００は、第１のレチクルポッドセグメント６０２及び第２のレチクルポッドセグメント６０４を含む。第１のレチクルポッドセグメント６０２及び第２のレチクルポッドセグメント６０４は、レチクル収容空間６０６を画定する。レチクル６０８は、レチクル収容空間６０６内に保持され得る。レチクル６０８は、第１のレチクルポッドセグメント６０２上に設けられた第１のレチクルコンタクト６１０と、第２のレチクルポッドセグメント６０４上に設けられた第２のレチクルコンタクト６１２との間でクランプすることによって所定の位置に保持され得る。第１のレチクルコンタクト６１０及び第２のレチクルコンタクト６１２は、第１のレチクルポッドセグメント６０２及び第２のレチクルポッドセグメント６０４に設けられた第１及び第２の接触面（図示せず）の連動によって互いに向かって駆動され得る。第１及び第２の接触面は、上述し、図１～図４に示す対応する第１及び第２の接触面のいずれかであり得る。レチクルコンタクト６１０、６１２を一緒に駆動することにより、レチクル６０８をクランプすることができる。一実施形態では、第１のレチクルコンタクト６１０及び第２のレチクルコンタクト６１２は、レチクル６０８が第１のレチクルコンタクト６１０と第２のレチクルコンタクト６１２との間にクランプされると、第１のレチクルポッドセグメント６０２と第２のレチクルポッドセグメント６０４との間に間隙６１４が形成されるようなサイズ及び／又は位置にすることができる。

【0059】

態様
態様１～１５のいずれかを態様１６～１８又は１９のいずれかと組み合わせることができることを理解されたい。態様１６～１８のいずれかを態様１９と組み合わせることができることを理解されたい。

【0060】

態様１。物品であって、
レチクルポッドであって、
複数の第１のレチクルコンタクト及び複数のラッチを含む第１のレチクルポッドセグメントであって、複数のラッチのそれぞれは第１の接触面を含む第１のレチクルポッドセグメントと、
複数の第２のレチクルコンタクト及び複数の第２の接触面を含む第２のレチクルポッドセグメントと
を含むレチクルポッドを備え、
複数のラッチの第１の接触面のそれぞれは、第１の接触面がラッチ位置にあるとき、複数の第２の接触面のうちの１つに接触するように構成され、
第１の接触面及び第２の接触面の一方又は両方は傾斜面であり、
レチクルポッドは、レチクルがレチクル収容空間内にあり、第１の接触面が第２の接触面に接触するとき、レチクルが複数の第１のレチクルコンタクト及び複数の第２のレチクルコンタクトによってクランプされるように、レチクルをレチクル収容空間内に収容するように構成される、物品。

【0061】

態様２。レチクルが複数の第１のレチクルコンタクト及び複数の第２のレチクルコンタクトによって接触されると、レチクルポッドは、レチクルパッドの外部からレチクル空間を通るパージガス流路を画定する、態様１に記載の物品。

【0062】

態様３。パージガス流路が、第１のレチクルポッドセグメントと第２のレチクルポッドセグメントとの間の間隙によって形成される、態様２に記載の物品。

【0063】

態様４。間隙が、０．５～６ミリメートル（ｍｍ）の範囲である、態様３に記載の物品。

【0064】

態様５。間隙が、複数の第１のレチクルコンタクト及び複数の第２のレチクルコンタクトのそれぞれの高さとレチクルの厚さとによって形成される、態様３～４のいずれか一態様に記載の物品。

【0065】

態様６。第１のレチクルポッドセグメント及び第２のレチクルポッドセグメントの少なくとも一方が複数のレチクルコンタクトボスを含み、第１の複数のレチクルコンタクトの少なくとも一部又は第２の複数のレチクルコンタクトの少なくとも一部が、複数のレチクルコンタクトボス内に部分的に配置されている、態様１～５のいずれか一態様に記載の物品。

【0066】

態様７。複数の第１のレチクルコンタクト及び複数の第２のレチクルコンタクトが、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）材料を含む、態様１～６のいずれか一態様に記載の物品。

【0067】

態様８。第１のレチクルポッドセグメント及び第２のレチクルポッドセグメントの少なくとも一方がアルミニウムを含む、態様１～７のいずれか一態様に記載の物品。

【0068】

態様９。第１の接触面及び第２の接触面の両方が傾斜面である、態様１～８のいずれか一態様に記載の物品。

【0069】

態様１０。第２の接触面のそれぞれが第２のレチクルポッドセグメントの外面上に配置される、態様１～９のいずれか一態様に記載の物品。

【0070】

態様１１。開口部が第２のレチクルポッドセグメント上に設けられ、この開口部は第１の接触面を含むラッチ部材本体の一部が前記開口部を通過できるように構成され、この開口部は第２の接触面のそれぞれに隣接して配置される、態様１０に記載の物品。

【0071】

態様１２。第２の接触面のそれぞれがフランジ上に配置され、それぞれのフランジは、レチクルポッドが組み立てられたとき、第１のレチクルポッドセグメントに向かって突出する、態様１～１１のいずれか一態様に記載の物品。

【0072】

態様１３。ラッチのそれぞれが、
チャネルと、
チャネル内で移動可能に構成されたラッチ部材本体であって、複数の第１の接触面のうちの１つを含むラッチ部材本体と、
ラッチ部材本体がラッチ位置に向かって駆動されるように、チャネルに沿ってラッチ部材本体を駆動するように構成されたばねと
を含む、態様１～１２のいずれか一態様に記載の物品。

【0073】

態様１４。前記第１の接触面のそれぞれ及び前記第２の接触面のそれぞれの角度、ならびに前記第１の接触面のそれぞれ及び前記第２の接触面のそれぞれの摩擦係数は、前記第１の接触面が前記第２の接触面に接触するとき、前記ラッチ本体が前記ラッチ位置から後退するのに抵抗するように選択される、態様１３に記載の物品。

【0074】

態様１５。第１の接触面のそれぞれ、及び第２の接触面のそれぞれとの角度が３０°以下である、態様１３～１４のいずれか一態様に記載の物品。

【0075】

態様１６。レチクルを保管する方法であって、
レチクルをレチクルポッド内に配置することを含み、
レチクルポッドは、
複数の第１のレチクルコンタクト及び複数のラッチを含む第１のレチクルポッドセグメントであって、複数のラッチのそれぞれは第１の接触面を含む、第１のレチクルポッドセグメントと、
複数の第２のレチクルコンタクト及び複数の第２の接触面を含む第２のレチクルポッドセグメントと
を含み、
複数のラッチの第１の接触面のそれぞれは、第１の接触面がラッチ位置にあるとき、複数の第２の接触面のうちの１つに接触するように構成され、
第１の接触面及び第２の接触面の一方又は両方は傾斜面であり、
レチクルポッドは、レチクルがレチクル収容空間内にあり、第１の接触面が第２の接触面に接触するとき、レチクルが複数の第１のレチクルコンタクト及び前記複数の第２のレチクルコンタクトによってクランプされるように、レチクルをレチクル収容空間内に収容するように構成される、方法。

【0076】

態様１７。レチクルが複数の第１のレチクルコンタクト及び複数の第２のレチクルコンタクトによって接触されるとき、レチクルポッドはレチクルパッドの外部から前記レチクル空間を通るパージガス流路を画定し、更に、本方法はパージガス流路を通してパージガス流を供給することを含む、態様１６に記載の方法。

【0077】

態様１８。ラッチのそれぞれが、
チャネルと、
チャネル内で移動可能に構成され、複数の第１の接触面のうちの１つを含むラッチ部材本体と、
ラッチ部材本体がラッチ位置に向かって駆動されるように、チャネルに沿ってラッチ部材本体を駆動するように構成されたばねと
を含み、
レチクルを物品内に配置することが、
ラッチ部材本体のそれぞれをラッチ解除位置に引き込むことと、
レチクルが複数の第１のレチクルコンタクトと前記複数の第２のレチクルコンタクトとによって接触されるように、第１のレチクルポッドセグメントと第２のレチクルポッドセグメントとを一緒にすることと、
ばねが前記ラッチ部材本体をラッチ位置に駆動できるように、ラッチ部材本体のそれぞれを解放することと
を含む、態様１６～１７のいずれか一態様に記載の方法。

【0078】

態様１９。レチクル保管システムであって、
ポッド容器と、
パージガス供給部と、
ポッド容器内に収容されるようにそれぞれ構成された複数のレチクルポッドであって、それぞれのレチクルポッドが、
複数の第１のレチクルコンタクト及び複数のラッチを含む第１のレチクルポッドセグメントであって、複数のラッチのそれぞれが第１の接触面を含む、第１のレチクルポッドセグメントと、
複数の第２のレチクルコンタクト及び複数の第２の接触面を含む第２のレチクルポッドセグメントと
を含むレチクルポッドと
を含み、
複数のラッチの第１の接触面のそれぞれは、第１の接触面がラッチ位置にあるとき、複数の第２の接触面のうちの１つに接触するように構成され、
第１の接触面及び第２の接触面の一方又は両方は傾斜面であり、
レチクルポッドは、レチクルがレチクル収容空間内にあり、第１の接触面が第２の接触面に接触するとき、レチクルが複数の第１のレチクルコンタクト及び複数の第２のレチクルコンタクトによってクランプされるように、レチクルをレチクル収容空間内に収容するように構成される、レチクル保管システム。

【0079】

本出願で開示される例は、全ての点で例示的であり、限定的ではないと見なされるべきである。本発明の範囲は、前述の説明ではなく添付の特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内にある全ての変更は、特許請求の範囲に包含されることが意図されている。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【手続補正書】

【提出日】2024-05-16

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

物品であって、
レチクルポッドであって、
複数の第１のレチクルコンタクト及び複数のラッチを含む第１のレチクルポッドセグメントであって、複数のラッチのそれぞれは第１の接触面を含む第１のレチクルポッドセグメントと、
複数の第２のレチクルコンタクト及び複数の第２の接触面を含む第２のレチクルポッドセグメントと
を含むレチクルポッドを備え、
複数のラッチの第１の接触面のそれぞれは、第１の接触面がラッチ位置にあるとき、複数の第２の接触面のうちの１つに接触するように構成され、
第１の接触面及び第２の接触面の一方又は両方は傾斜面であり、
レチクルポッドは、レチクルがレチクル収容空間内にあり、第１の接触面が第２の接触面に接触するとき、レチクルが複数の第１のレチクルコンタクト及び複数の第２のレチクルコンタクトによってクランプされるように、レチクルをレチクル収容空間内に収容するように構成される、物品。

【請求項2】

ラッチのそれぞれが、
チャネルと、
チャネル内で移動可能に構成されたラッチ部材本体であって、複数の第１の接触面のうちの１つを含むラッチ部材本体と、
ラッチ部材本体がラッチ位置に向かって駆動されるように、チャネルに沿ってラッチ部材本体を駆動するように構成されたばねと
を含む、請求項１に記載の物品。

【請求項3】

レチクルを保管する方法であって、
レチクルをレチクルポッド内に配置することを含み、
レチクルポッドは、
複数の第１のレチクルコンタクト及び複数のラッチを含む第１のレチクルポッドセグメントであって、複数のラッチのそれぞれは第１の接触面を含む第１のレチクルポッドセグメントと、
複数の第２のレチクルコンタクト及び複数の第２の接触面を含む第２のレチクルポッドセグメントと
を含み、
複数のラッチの第１の接触面のそれぞれは、第１の接触面がラッチ位置にあるとき複数の第２の接触面のうちの１つに接触するように構成され、
第１の接触面及び第２の接触面の一方又は両方は傾斜面であり、
レチクルポッドは、レチクルがレチクル収容空間内にあり、第１の接触面が第２の接触面に接触するとき、レチクルが複数の第１のレチクルコンタクト及び複数の第２のレチクルコンタクトによってクランプされるように、レチクルをレチクル収容空間内に収容するように構成される、方法。

【請求項4】

ラッチのそれぞれが、
チャネルと、
チャネル内で移動可能に構成され、複数の第１の接触面のうちの１つを含むラッチ部材本体と、
ラッチ部材本体がラッチ位置に向かって駆動されるように、チャネルに沿ってラッチ部材本体を駆動するように構成されたばねと
を含み、
レチクルを物品内に配置することが、
ラッチ部材本体のそれぞれをラッチ解除位置に引き込むことと、
レチクルが複数の第１のレチクルコンタクトと複数の第２のレチクルコンタクトとによって接触されるように、第１のレチクルポッドセグメントと第２のレチクルポッドセグメントとを一緒にすることと、
ばねがラッチ部材本体をラッチ位置に駆動できるように、ラッチ部材本体のそれぞれを解放することと
を含む、請求項３に記載の方法。

【請求項5】

レチクル保管システムであって、
ポッド容器と、
パージガス供給部と、
ポッド容器内に収容されるようにそれぞれ構成された複数のレチクルポッドであって、それぞれのレチクルポッドが、
複数の第１のレチクルコンタクト及び複数のラッチを含む第１のレチクルポッドセグメントであって、複数のラッチのそれぞれは第１の接触面を含む、第１のレチクルポッドセグメントと、
複数の第２のレチクルコンタクト及び複数の第２の接触面を含む第２のレチクルポッドセグメントと
を含むレチクルポッドと
を含み、
複数のラッチの第１の接触面のそれぞれは、第１の接触面がラッチ位置にあるとき、複数の第２の接触面のうちの１つに接触するように構成され、
第１の接触面及び第２の接触面の一方又は両方は傾斜面であり、
レチクルポッドは、レチクルがレチクル収容空間内にあり、第１の接触面が第２の接触面に接触するとき、レチクルが複数の第１のレチクルコンタクト及び複数の第２のレチクルコンタクトによってクランプされるように、レチクルをレチクル収容空間内に収容するように構成される、レチクル保管システム。

【国際調査報告】