特表 2024-533650 プロセスキャリア

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-09-12

(54)【発明の名称】プロセスキャリア

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20240905BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 V

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2024518258

(86)(22)【出願日】2022-09-20

(85)【翻訳文提出日】2024-05-20

(86)【国際出願番号】 US2022044128

(87)【国際公開番号】W WO2023049117

(87)【国際公開日】2023-03-30

(31)【優先権主張番号】63/247,038

(32)【優先日】2021-09-22

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】505307471

【氏名又は名称】インテグリス・インコーポレーテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110002077

【氏名又は名称】園田・小林弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】チャイ， リム ジュー

(72)【発明者】

【氏名】ジャブカ， マイケル シー．

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131AA03

5F131AA10

5F131BA00

5F131BA18

5F131BA37

5F131CA12

5F131GA13

5F131GA22

5F131GA26

5F131GA33

5F131GA43

5F131GA53

5F131GA54

5F131GA62

5F131GA68

(57)【要約】

プロセスコンテナは、複数のスロットを画定するフランジを備える。フランジの少なくとも１つは、複数のフランジのうち先述の少なくとも１つによって画定された複数のスロットのうちの１つにディスクまたはウエハが挿入されるとディスクまたはウエハに接触するように構成された締付け具を含む。締付け具は、複数のフランジのうち先述の少なくとも１つから、複数のスロットのうち先述の１つに外向きに突き出ている。締付け具は、ディスクまたはウエハを複数のスロットのうち先述の１つに挿入する方向に沿って少なくとも１つの締付け具の断面厚さが増加する、テーパ状部分を含む。締付け具は、１つの連続する傾斜または曲部を含むことができる。締付け具は、面取り部を含むことができる。締付け具は、フランジから延びるにつれて接触面積が減少して移行が滑らかとなり、ディスクまたはウエハがプロセスコンテナに挿入されるか、そこから取り外されるか、またはその中での保管中に移動する際の擦れおよび付随する粒子排出を低減する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

プロセスキャリアであって、
前記プロセスキャリアの内部空間内に延びるとともに複数のスロットを画定する複数のフランジを備え、
前記複数のフランジのうち少なくとも１つが、前記複数のフランジのうち前記少なくとも１つによって画定された前記複数のスロットのうち１つにディスクまたはウエハが挿入されると前記ディスクまたはウエハに接触するように構成された締付け具を含み、
前記締付け具が、前記複数のフランジのうち前記少なくとも１つから前記複数のスロットのうち前記１つに外向きに突き出ており、
前記締付け具が、前記ディスクまたはウエハが前記複数のスロットのうち前記１つに挿入される方向に沿って少なくとも１つの前記締付け具の断面厚さが増加するテーパ状部分を含む、プロセスキャリア。

【請求項2】

前記締付け具が、前記複数のフランジのうち前記少なくとも１つと一体的に形成される、請求項１に記載のプロセスキャリア。

【請求項3】

前記スロットの少なくとも１つが、前記複数のフランジのうち２つによって画定され、前記複数のフランジのうち前記２つのそれぞれが前記締付け具を含む、請求項１または２に記載のプロセスキャリア。

【請求項4】

前記複数のフランジのそれぞれが、前記締付け具の少なくとも１つを備える、請求項１～３のいずれか一項に記載のプロセスキャリア。

【請求項5】

前記テーパ状部分が、前記ウエハの挿入方向で前記締付け具の全長の少なくとも半分まで延びる、請求項１～４のいずれか一項に記載のプロセスキャリア。

【請求項6】

前記テーパ状部分が、前記複数のスロットのうち前記１つに面する側で凹状である、請求項１～５のいずれか一項に記載のプロセスキャリア。

【請求項7】

前記締付け具が、前記締付け具の最大断面厚さを有する保持部分をさらに含む、請求項１～６のいずれか一項に記載のプロセスキャリア。

【請求項8】

前記保持部分が、前記ウエハの挿入方向で前記締付け具の全長の最大三分の一まで延びる、請求項７に記載のプロセスキャリア。

【請求項9】

前記テーパ状部分が前記保持部分に当たる曲面を含む、請求項７に記載のプロセスキャリア。

【請求項10】

前記締付け具が、前記プロセスキャリアの前記内部空間内の前記複数のフランジのうち前記１つの一端に向かって前記締付け具の片側に面取り部を含む、請求項１～９のいずれか一項に記載のプロセスキャリア。

【請求項11】

ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）材料を含む、請求項１～１０のいずれか一項に記載のプロセスキャリア。

【請求項12】

全体的に前記ＰＥＥＫ材料である、請求項１１に記載のプロセスキャリア。

【請求項13】

前記ＰＥＥＫ材料が、粉砕炭素繊維を含む複合材である、請求項１１に記載のプロセスキャリア。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、ディスクまたはウエハ用のプロセスキャリア、具体的にはディスクまたはウエハを固定するための締付け具を備えたプロセスキャリアに関する。

【背景技術】

【0002】

ディスクまたはウエハは、ディスクまたはウエハの輸送、保管、および加工のために、例えばディスクまたはウエハの製造中に、プロセスキャリアに保管することができる。ディスクまたはウエハは、スロットに保管することができる。スロットは、それらスロット内にディスクまたはウエハをさらに固定するための締付け具を含むことができる。これらの締付け具は、スロットから大きく突き出る傾向があり、ディスクまたはウエハが締付け具に接触しているときにディスクまたはウエハの位置を固定するための有効表面積を提供する。ディスクまたはウエハの挿入、保持、およびプロセスキャリアからの取外しの最中にディスクまたはウエハが締付け具に擦れると、プロセスキャリアに粒子状物質を排出させる擦れが生じるおそれがある。

【発明の概要】

【0003】

本開示は、ディスクまたはウエハ用のプロセスキャリア、具体的にはディスクまたはウエハを固定するための締付け具を備えたプロセスキャリアに関する。

【0004】

ディスクまたはウエハを保持する締付け具への滑らかな移行を提供し、締付け具が最大厚さに到達する点を低くすることによって、実施形態によるプロセスコンテナは、より小さくて緩やかな接触面積を使用しながら十分な保持を提供することができる。これにより、ディスクまたはウエハの挿入、保管、またはプロセスコンテナからの取外しに伴う粒子排出が低減する。

【0005】

一実施形態では、プロセスキャリアは、プロセスキャリアの内部空間内に延びる複数のフランジを備え、複数のフランジは複数のスロットを画定する。複数のフランジのうち少なくとも１つは、複数のフランジのうち先述の少なくとも１つによって画定された複数のスロットのうちの１つにディスクまたはウエハが挿入されるとディスクまたはウエハに接触するように構成された締付け具を含む。締付け具は、複数のフランジのうち先述の少なくとも１つから、複数のスロットのうち先述の１つに外向きに突き出ている。締付け具は、ディスクまたはウエハを複数のスロットのうち先述の１つに挿入する方向に沿って少なくとも１つの締付け具の断面厚さが増加する、テーパ状部分を含む。

【0006】

一実施形態では、締付け具は、複数のフランジのうち先述の少なくとも１つと一体的に形成される。

【0007】

一実施形態では、スロットの少なくとも１つは、複数のフランジのうち２つによって画定され、複数のフランジのうち２つのそれぞれは先述の締付け具を含む。

【0008】

一実施形態では、複数のフランジのそれぞれは、先述の締付け具の少なくとも１つを備える。

【0009】

一実施形態では、テーパ状部分は、ウエハの挿入方向で締付け具の全長の少なくとも半分まで延びる。

【0010】

一実施形態では、テーパ状部分は、複数のスロットのうち先述の１つに面する側で凹状である。

【0011】

一実施形態では、締付け具は、締付け具の最大断面厚さを有する保持部分をさらに備える。

【0012】

一実施形態では、保持部分は、ウエハの挿入方向で締付け具の全長の最大三分の一まで延びる。

【0013】

一実施形態では、プロセスキャリアは、テーパ状部分が保持部分に当たる曲面を含む。

【0014】

一実施形態では、締付け具は、プロセスキャリアの内部空間内の複数のフランジのうち先述の１つの一端に向かって締付け具の片側に面取り部を含む。

【0015】

一実施形態では、プロセスキャリアは、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）材料を含む。一実施形態では、プロセスキャリアは全体的にＰＥＥＫ材料である。一実施形態では、ＰＥＥＫ材料は、粉砕炭素繊維を含む複合材である。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】一実施形態によるプロセスキャリアを示す図である。

【図2】ディスクを収容する図１のプロセスキャリアの断面図を示す。

【図3】一実施形態によるプロセスキャリア内の締付け具の正面図を示す。

【図4】図３の締付け具の側面図を示す。

【図5】複数の締付け具を備えたプロセスキャリアの断面の斜視図を示す。

【発明を実施するための形態】

【0017】

本開示は、ディスクもしくはディスクまたはウエハ用のプロセスキャリア、具体的にはディスクまたはウエハを固定するための締付け具を備えたプロセスキャリアに関する。

【0018】

図１は、一実施形態によるプロセスキャリアを示す。プロセスキャリア１００は、内部空間を画定するキャリア本体１０２を備える。キャリア本体１０２は、第１の側壁１０４と、第２の側壁１０６と、端壁１０８とを備える。第１の側壁１０４および第２の側壁１０６からは複数のフランジ１１０が延びており、フランジ１１０は内部空間内に突き出ている。フランジ１１０は、それぞれがディスクまたはウエハ１１４を収容可能なスロット１１２を画定する。フランジ１１０の少なくとも一部は、１つまたは複数の締付け具１１６を備える。

【0019】

プロセスキャリア１００は、ディスクまたはウエハ１１４のうち１つまたは複数に対するキャリアである。プロセスキャリア１００は、ディスクまたはウエハ１１４の輸送、保管、および／または加工に使用することができる。ディスクまたはウエハ１１４は、半導体やハードディスクドライブコンポーネントなどのあらゆる好適なウエハとすることができる。一実施形態では、ディスクまたはウエハ１１４は、ハードディスクドライブ記憶ディスクとすることができる。プロセスキャリア１００は、ディスクまたはウエハ１１４の平面が略垂直方向に配向されるよう、ディスクまたはウエハ１１４のそれぞれを保持するように構成することができるが、ディスクまたはウェージャ１１４に対するスロット１１２のサイズ調整や製造公差などに起因して、完全な垂直から幾分ずれが生じ得ることが理解される。

【0020】

キャリア本体１０２は、プロセスキャリア１００を画定する。プロセスキャリア１００は、ディスクまたはウエハに接触して、ディスクまたはウエハに供されるあらゆる好適な加工を受けるのに適したあらゆる材料とすることができる。実施形態では、キャリア本体１０２はポリマー材料を含むことができる。一実施形態では、キャリア本体１０２は、ポリ－エーテル－エーテル－ケトン（ＰＥＥＫ）材料を含むことができる。一実施形態では、キャリア本体１０２は、全体的にＰＥＥＫ材料で作製される。一実施形態では、キャリア本体１０２は、非限定的な例として粉砕炭素繊維などの繊維材料を含んだ複合材とすることができる。キャリア本体１０２は、所定数のディスクまたはウエハ１１４を収納可能な内部空間を画定するように成形され得る。内部空間は、第１の側壁１０４、第２の側壁１０６、および端壁１０８によって少なくとも部分的に画定することができる。キャリア本体１０２はさらに、ディスクまたはウエハ１１４の加工に使用される保管コンテナおよび／または１つもしくは複数の加工ツール内に配置されるように構成することができる。

【0021】

フランジ１１０は、キャリア本体１０２の側壁１０４、１０６から内向きに延びる。フランジ１１０は、水平方向Ｈにおいてキャリア本体１０２内の内部空間内に部分的に延びる。フランジ１１０はそれぞれ、キャリア本体１０２の垂直方向で、フランジが延びているキャリア本体１０２の各側壁１０４、１０６に沿っても延在する。フランジ１１０は、対向する第１の側壁１０４および第２の側壁１０６上の対応位置にフランジ１１０があるように、キャリア本体１０２の長手方向Ｌに沿って分布している。スロット１１２はフランジ１１０によって画定される。スロット１１２のそれぞれは、ディスクまたはウエハ１１４のうち一方を収納できるようなサイズとされる。スロット１１２はそれぞれ、キャリア本体１０２の対向する側壁１０４、１０６のそれぞれの上で一対の隣接するフランジ１１０によって画定することができる。

【0022】

ディスクまたはウエハ１１４は、プロセスキャリア１００に保管され得るあらゆる好適なディスクまたはウエハとすることができる。ディスクまたはウエハ１１４は、非限定的な例として、基板、半導体ディスクまたはウエハ、ハードディスクドライブ用のディスクなどとすることができる。ディスクまたはウエハ１１４は、かかるディスクまたはウエハの保管、加工、または輸送のあらゆる好適な段階でプロセスキャリア１００内に配置することができる。一実施形態では、ディスクまたはウエハ１１４は、ハードディスクドライブ用のディスクである。キャリア本体１０２によって画定される内部空間のサイズおよび形状、ならびにフランジ１１０および締付け具１１６の分布およびサイズによって画定されるスロット１１２のサイズは、ディスクまたはウエハをスロット１１２に挿入してその中に保持できるようなものとすることができる。

【0023】

締付け具１１６は、フランジ１１０上に位置付けられる。締付け具１１６は、締付け具１１６が対応のスロット１１２の中に接触保持ディスクまたはウエハ１１４を設けるように、フランジ１１０からスロット１１２まで外向きに突き出ている。締付け具１１６は、ディスクまたはウエハ１１４がスロット１１２内に保持されているときにディスクまたはウエハ１１４がより垂直配向に近づいて保持されるのを確実とするために使用することができる。

【0024】

締付け具１１６は、フランジ１１０の表面から、ディスクまたはウエハ１１４に接触する締付け具１１６の表面への移行が滑らかとなるように構成することができる。一実施形態では、締付け具１１６の一端におけるフランジ１００の表面と締付け具１１６の表面との間の角度は、３０度未満である。一実施形態では、締付け具１１６の一端におけるフランジ１００の表面と締付け具１１６の表面との間の角度は、１５度未満である。一実施形態では、締付け具１１６の一端におけるフランジ１００の表面と締付け具１１６の表面との間の角度は、２度～５度の間である。一実施形態では、締付け具１１６の表面およびフランジ１１０の表面は、締付け具１１６がフランジ１１０から延びるように連続する曲面または傾斜面を形成することができる。一実施形態では、締付け具は、対応するフランジ１１０から外向きに延びるように直線傾斜を有することができる。一実施形態では、締付け具は、対応するフランジ１１０から外向きに延びるように凸曲部を含むことができる。一実施形態では、締付け具は、対応するフランジ１１０から外向きに延びるように凹曲部を含むことができる。

【0025】

締付け具１１６は、ディスクまたはウエハ１１４を保持するためにディスクまたはウエハに接触する締付け具１１６の一部が、キャリア本体１０２の底部に近接して位置付けられるように構成することができる。一実施形態では、締付け具１１６は、フランジ１１０から現れる締付け具１１６の起点から、フランジ１１０および締付け具１１６がキャリア本体１０２に当たる場所までの距離の半分を超える点において、最大厚さに達することができる。一実施形態では、締付け具１１６は、フランジ１１０から現れる締付け具１１６の起点から、フランジ１１０および締付け具１１６がキャリア本体１０２に当たる場所までの距離の四分の三を超える点において、最大厚さに達することができる。締付け具１１６は、締付け具１１６およびフランジ１１０がキャリア本体１０２の内部空間内に延びる傾斜縁部をさらに含むことができる。一実施形態では、締付け具１１６はフランジ１１０と一体的に形成される。一実施形態では、締付け具１１６は、フランジ１１０上にオーバーモールドされるか、またはそれに接合され得る。

【0026】

図２は、ディスクまたはウエハ１１４を収容する図１のプロセスキャリアの断面図を示す。本図では、プロセスキャリア１００のキャリア本体１０２の水平方向に断面が取られている。フランジ１１０および締付け具１１６は、見る側に最も近いスロット１１２で確認することができ、スロット１１２は、フランジ１１０／締付け具１１６と図２の断面図が取られる切断線との間に形成される。ディスクまたはウエハ１１４は、スロット１１２に挿入される。ディスクまたはウエハ１１４がスロット１１２に完全に挿入されると、ディスクまたはウエハ１１４は、接触部分１１２において締付け具１１６に接触することができる。接触部分１１２は、プロセスコンテナ１００内でディスクまたはウエハ１１４の垂直配向を維持するためにディスクまたはウエハ１１４を機械的に支持することができる。接触部分１１２は、スロット１１２の反対側を形成するフランジ１１０などの別のフランジ、またはその他のフランジ上に設けられる別の締付け具に対して、ディスクまたはウエハを保持することができる。

【0027】

図３は、一実施形態によるプロセスキャリア内の締付け具の正面図を示す。締付け具２００は、フランジ２０２上に設けられる。締付け具２００は、移行領域２０４および接触領域２０６を含む。締付け具２００は、傾斜縁部２０８をさらに含む。

【0028】

フランジ２０２は、上述されるとともに図１および図２に示されるプロセスキャリア１００などのプロセスキャリア内の内部空間内に延びるフランジである。フランジ２０２は、プロセスキャリア１００内でスロットを少なくとも部分的に画定するように構成される。スロットは、上述されるとともに図１および図２に示されるディスクまたはウエハ１１４などのディスクまたはウエハを保持するために使用することができる。締付け具２００は、フランジ２０２からフランジ２０２によって画定されたスロットのうち１つの中に外向きに延びており、締付け具２００の厚さによって、ウエハに接触してそれを保持するようにスロットが挟持される。図３の正面図では、締付け具２００は、フランジ２０２の表面に対して見る側に向かって延びる。一実施形態では、締付け具２００はフランジ２０２と一体的に形成される。一実施形態では、締付け具２００は、フランジ２０２上にオーバーモールドされるか、またはそれに接合され得る。

【0029】

締付け具２００は、フランジ２０２の一部においてフランジ２０２からプロセスキャリアの底部に向かって延びる。締付け具２００は、一端においてプロセスキャリアの上部に向かう移行領域２０４を備える。移行領域２０４は、締付け具２００のテーパ状部分とすることができる。締付け具２００の厚さは、垂直方向で移行領域２０４の長さにわたって、すなわち、プロセスコンテナの上部から、プロセスコンテナの壁に当たるフランジ２０２の底部に移動するにつれて増加する。移行領域２０４は、締付け具２００がフランジ２０２から突き出ると、フランジ２０２の表面から締付け具２００の表面までの滑らかな移行を提供する。移行領域２０４は、直線勾配または曲部を含むことができる。締付け具２００の厚さは、フランジ２０２に当たる移行領域２０４の一端から、移行領域２０４が接触領域２０６に当たる場所に移動するときに増加することができる。移行領域２０４は、締付け具２００を含むスロットに挿入するようにディスクまたはウエハをガイドすることができる。

【0030】

接触領域２０６は、締付け具２００の最大厚さを有する少なくとも一部と、最大厚さを有する先述の部分よりもプロセスコンテナの底部に近い締付け具２００のいずれかの部分とを含む、締付け具２００の一部である。一実施形態では、接触領域２０６の表面の少なくとも一部は、フランジ２０２の表面と平行である。接触領域２０６がフランジ２０２から突き出る程度は、締付け具２００の全長、およびフランジ２０２の表面と移行領域２０４との間の角度に基づくことができる。接触領域２０６は、ディスクまたはウエハに接触して、フランジ２０２自体と比べて傾きを少なくしてディスクまたはウエハを固定するように構成される。傾斜の低減の程度は、あらゆる好適で許容可能な傾斜、例えば、特定のプロセスにまたは特定のツールの使用時に許容される傾斜の程度となるように選択することができる。一実施形態では、接触領域２０６は、移行領域２０４から、上述されるとともに図１および図２に示されるキャリア本体１０２の側壁１０４、１０６など、プロセスキャリア本体の側壁および／または底壁まで延びる。接触領域２０６は、プロセスキャリアの底部に最も近い締付け具２００の端部を構成することができる。一実施形態では、接触領域２０６は一定の厚さを有する。一実施形態では、移行領域２０４と接触領域２０６との間の接合点における表面は、連続曲部である。一実施形態では、接触領域２０６の表面に当たる移行領域２０４の表面は、所定の角度を形成する。一実施形態では、移行領域２０４が接触領域２０６に当たると、アールが形成される。

【0031】

締付け具２００において、接触領域２０６は、フランジ２０２に沿って締付け具２００の全長の一部のみを形成することができる。一実施形態では、接触領域２０６は、締付け具２００の全長の半分未満の長さである。一実施形態では、接触領域２０６は、締付け具２００の全長の四分の一未満の長さである。接触領域２０６は、フランジ２０２および締付け具２００によって少なくとも部分的に画定されたスロットにディスクまたはウエハが完全に挿入されると、締付け具２００とディスクまたはウエハとの間の接触面積を減少させるように成形かつサイズ調整することができる。接触領域２０６上での締付け具２００とディスクまたはウエハとの間の接触面積の大きさは、ディスクまたはウエハがプロセスキャリア内にあるときに許容されるディスクまたはウエハの垂直からのずれ量に基づき選択することができる。

【0032】

移行領域２０４および接触領域２０６の一方または両方に、傾斜縁部２０８を設けることができる。傾斜縁部２０８は、プロセスキャリアの内部空間に向かうフランジ２０２の側に向かって締付け具２００の片側に設けることができる。締付け具２００の厚さは、プロセスキャリアの内部空間に向かって水平方向に移動するときに傾斜縁部２０８にわたって減少し得る。傾斜縁部２０８は、直線縁部、凹曲部、または凸曲部を含むことができる。傾斜縁部２０８は、円形ウエハなどのウエハの湾曲端の一部を受けて、ディスクまたはウエハを締付け具２００の接触領域２０６によって固定できるようにディスクまたはウエハの湾曲端をフランジ２０２によって画定されたスロットにガイドすることのできる滑らかな移行を提供するように構成することができる。

【0033】

図４は、図３の締付け具の側面図を示す。図４の側面図で確認できるように、締付け具２００は、フランジ２０２から、フランジ２０２と、別の締付け具（図示せず）を備えることができる別のフランジ（図示せず）との間に画定されたスロット内に外向きに延びる。締付け具２００は、スロットの上部からスロットの底部に向かって移動すると、フランジ２００の厚さを効果的に増加させる。図４の側面図において、傾斜縁部２０８は、移行領域２０４および接触領域２０６のそれぞれの上に確認できる。さらに、移行領域２０４にわたる締付け具２００の厚さの増加を、図４の側面図で確認できる。一実施形態では、図４に示されるように、フランジ２０２、移行領域２０４、および接触領域２０６は、曲部を含むことができるが、移行領域２０４、接触領域２０６、またはフランジ２０２から移行領域２０４までもしくは移行領域２０４から接触領域２０６までの移行において角部または縁部を含まない連続面となるように構成することができる。

【0034】

図５は、複数の締付け具を備えたプロセスキャリアの断面の斜視図を示す。図５のフランジ２０２のそれぞれは、少なくとも１つの締付け具２００を備え、各締付け具２００は、上述されるとともに図３および図４にも示される移行領域２０４、接触領域２０６、および傾斜縁部２０８を含む。

【0035】

態様
態様１．プロセスキャリアであって、
プロセスキャリアの内部空間内に延びるとともに複数のスロットを画定する複数のフランジを備え、
複数のフランジのうち少なくとも１つが、複数のフランジのうち先述の少なくとも１つによって画定された複数のスロットのうち１つにディスクまたはウエハが挿入されるとディスクまたはウエハに接触するように構成された締付け具を含み、
締付け具が、複数のフランジのうち先述の少なくとも１つから複数のスロットのうち先述の１つに外向きに突き出ており、
締付け具が、ディスクまたはウエハが複数のスロットのうち先述の１つに挿入される方向に沿って少なくとも１つの締付け具の断面厚さが増加するテーパ状部分を含む、プロセスキャリア。

【0036】

態様２．締付け具が複数のフランジのうち先述の少なくとも１つと一体的に形成される、態様１によるプロセスキャリア。

【0037】

態様３．スロットの少なくとも１つが、複数のフランジのうち２つによって画定され、複数のフランジのうち２つのそれぞれが先述の締付け具を含む、態様１～２のいずれかによるプロセスキャリア。

【0038】

態様４．複数のフランジのそれぞれが、先述の締付け具の少なくとも１つを備える、態様１～３のいずれかによるプロセスキャリア。

【0039】

態様５．テーパ状部分が、ウエハの挿入方向で締付け具の全長の少なくとも半分まで延びる、態様１～４のいずれかによるプロセスキャリア。

【0040】

態様６．テーパ状部分が、複数のスロットのうち先述の１つに面する側で凹状である、態様１～５のいずれかによるプロセスキャリア。

【0041】

態様７．締付け具が、締付け具の最大断面厚さを有する保持部分をさらに含む、態様１～６のいずれかによるプロセスキャリア。

【0042】

態様８．保持部分が、ウエハの挿入方向で締付け具の全長の最大三分の一まで延びる、態様７によるプロセスキャリア。

【0043】

態様９．テーパ状部分が保持部分に当たる曲面を含む、態様７～８のいずれかによるプロセスキャリア。

【0044】

態様１０．締付け具が、プロセスキャリアの内部空間内の複数のフランジのうち先述の１つの一端に向かって締付け具の片側に面取り部を含む、態様１～９のいずれかによるプロセスキャリア。

【0045】

態様１１．ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）材料を含む、態様１～１０のいずれかによるプロセスキャリア。

【0046】

態様１２．全体的にＰＥＥＫ材料である、態様１１によるプロセスキャリア。

【0047】

態様１３．ＰＥＥＫ材料が、粉砕炭素繊維を含む複合材である、態様１１によるプロセスキャリア。

【0048】

本出願で開示される例は、すべての点で例示的であって、限定的ではないと考慮されたい。本発明の範囲は、前述の説明ではなく添付の特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と等価な意味および範囲内でのすべての変更は、特許請求の範囲内に包含されることが意図される。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【手続補正書】

【提出日】2024-07-02

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

プロセスキャリアであって、
前記プロセスキャリアの内部空間内に延びるとともに複数のスロットを画定する複数のフランジを備え、
前記複数のフランジのうちの少なくとも１つが、前記複数のフランジのうちの前記少なくとも１つによって画定された前記複数のスロットのうちの１つにディスクまたはウエハが挿入されると前記ディスクまたはウエハに接触するように構成された締付け具を含み、
前記締付け具が、前記複数のフランジのうちの前記少なくとも１つから前記複数のスロットのうちの前記１つに外向きに突き出ており、
前記締付け具が、前記ディスクまたはウエハが前記複数のスロットのうちの前記１つに挿入される方向に沿って少なくとも１つの前記締付け具の断面厚さが増加するテーパ状部分を含む、プロセスキャリア。

【請求項2】

前記締付け具が、前記複数のフランジのうちの前記少なくとも１つと一体的に形成される、請求項１に記載のプロセスキャリア。

【請求項3】

前記スロットの少なくとも１つが、前記複数のフランジのうちの２つによって画定され、前記複数のフランジのうちの前記２つのそれぞれが前記締付け具を含む、請求項１または２に記載のプロセスキャリア。

【請求項4】

前記締付け具が、前記締付け具の最大断面厚さを有する保持部分をさらに含む、請求項１または２に記載のプロセスキャリア。

【請求項5】

前記テーパ状部分が前記保持部分に当たる曲面を含む、請求項４に記載のプロセスキャリア。

【国際調査報告】