特表2024-536098イオンブロッカプレートを用いたプラズマ生成のための方法及び装置

発明の名称　イオンブロッカプレートを用いたプラズマ生成のための方法及び装置

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 41 位（531件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 35 位（521件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2024-536098

公報発行日　2024年10月4

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2024-536098

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