特表 2024-536264 コーティングされた表面を有する付加製造物品および関連方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-10-04

(54)【発明の名称】コーティングされた表面を有する付加製造物品および関連方法

(51)【国際特許分類】

   C23C 16/40 20060101AFI20240927BHJP

   C23C 26/00 20060101ALI20240927BHJP

【ＦＩ】

C23C16/40

C23C26/00 C

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2024519780

(86)(22)【出願日】2022-09-22

(85)【翻訳文提出日】2024-05-21

(86)【国際出願番号】 US2022044446

(87)【国際公開番号】W WO2023055656

(87)【国際公開日】2023-04-06

(31)【優先権主張番号】63/250,503

(32)【優先日】2021-09-30

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(31)【優先権主張番号】63/336,117

(32)【優先日】2022-04-28

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】505307471

【氏名又は名称】インテグリス・インコーポレーテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110002077

【氏名又は名称】園田・小林弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】ウォルドフリード， カルロ

【テーマコード（参考）】

4K030

4K044

【Ｆターム（参考）】

4K030AA11

4K030AA14

4K030BA02

4K030BA17

4K030BA18

4K030BA22

4K030BA42

4K030BA43

4K030BA46

4K030EA03

4K030EA04

4K030FA10

4K030HA01

4K030KA45

4K044AA01

4K044AB10

4K044BA12

4K044BA13

4K044BB01

4K044CA22

4K044CA24

4K044CA44

(57)【要約】

いくつかの実施形態は、コーティングされた表面を有する付加製造物品および関連方法に関する。方法は、付加製造によって三次元（３Ｄ）物品を形成して、機械加工による構築が可能でないモノリシック構造を有する付加製造３Ｄ物品を得ることと、付加製造３Ｄ物品を、１つまたは複数の前駆体気体に曝露して、付加製造３Ｄ物品の表面にコーティング層を形成することとを含み得る。付加製造物品は、付加製造三次元（３Ｄ）本体を含み得る。付加製造３Ｄ本体は、機械加工による構築が可能でないモノリシック構造を有してもよい。付加製造３Ｄ本体は、付加製造３Ｄ本体の表面にコーティング層を有することができる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

物品を形成するための方法であって、
付加製造３Ｄ物品を得るために、付加製造によって三次元（３Ｄ）物品を形成することであり、
付加製造３Ｄ物品は、機械加工による構築が可能でないモノリシック構造を有する、付加製造によって三次元（３Ｄ）物品を形成することと；
付加製造３Ｄ物品の表面にコーティング層を形成するために、付加製造３Ｄ物品を１つまたは複数の前駆体気体に曝露することであり、
コーティング層は、非プラズマ系堆積プロセスによって形成される、付加製造３Ｄ物品を１つまたは複数の前駆体気体に曝露することと
を含む、方法。

【請求項2】

付加製造３Ｄ物品が、５：１～１０００：１のアスペクト比を有し、アスペクト比が、幅、深さ、高さ、または直径のうちの２つの比である、請求項１に記載の方法。

【請求項3】

形成することが、３Ｄプリンターから３Ｄ印刷可能材料を分配して、付加製造３Ｄ物品を形成することを含む、請求項１または２に記載の方法。

【請求項4】

３Ｄ印刷可能材料が、金属粉末、金属合金粉末、セラミック粉末、熱可塑性ポリマー、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含む、請求項３に記載の方法。

【請求項5】

付加製造３Ｄ物品が一体構築の物品である、請求項１から４のいずれか一項に記載の方法。

【請求項6】

付加製造３Ｄ物品が、プレナム、溝、穴を画定する構造、チャネルを画定する構造、キャビティを画定する構造、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含む、請求項１から５のいずれか一項に記載の方法。

【請求項7】

付加製造３Ｄ物品が継ぎ目を含まない、請求項１から６のいずれか一項に記載の方法。

【請求項8】

付加製造３Ｄ物品がろう付け接合部を含まない、請求項１から７のいずれか一項に記載の方法。

【請求項9】

付加製造３Ｄ物品が溶接接合部を含まない、請求項１から８のいずれか一項に記載の方法。

【請求項10】

コーティング層が、熱原子層堆積（ＡＬＤ）プロセス、化学気相成長（ＣＶＤ）プロセス、または溶液堆積プロセスによって形成される、請求項１から９のいずれか一項に記載の方法。

【請求項11】

コーティング層が、アルミナ、イットリア、チタニア、ジルコニア、酸化タンタル、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含む、請求項１から１０のいずれか一項に記載の方法。

【請求項12】

コーティング層をフッ素化して、ＹＯＦ、ＹＦ_３、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含むコーティング層を形成することをさらに含む、請求項１１に記載の方法。

【請求項13】

コーティング層が、式ＭＯの酸化物［式中、ＭはＣａ、Ｍｇ、もしくはＢｅである］；式Ｍ’Ｏ_２の酸化物［式中、Ｍ’は化学量論的に許容される金属である］；式Ｒｅ_２Ｏ_３の酸化物［式中、Ｒｅは希土類元素である］；または式Ｔａ_ｘＯ_ｙの酸化物［式中、ｘは０より大きく、ｙは０より大きい］を含む、請求項１から１２のいずれか一項に記載の方法。

【請求項14】

コーティング層が、酸窒化アルミニウム；イットリア－アルミナ；酸化ケイ素；酸窒化ケイ素；遷移金属酸化物；遷移金属酸窒化物；希土類金属酸化物；希土類金属酸窒化物；またはそれらの任意の組合せを含む、請求項１から１３のいずれか一項に記載の方法。

【請求項15】

請求項１から１４のいずれか一項に記載の方法によって形成された物品を含む、半導体製造工具の部品。

【請求項16】

物品であって、
付加製造三次元（３Ｄ）本体であり、
付加製造３Ｄ本体が、機械加工による構築が可能でないモノリシック構造を有する、付加製造３Ｄ本体；および
付加製造３Ｄ本体の表面のコーティング層であり、
コーティング層が非プラズマコーティング層である、コーティング層
を含む、物品。

【請求項17】

付加製造３Ｄ本体が、２：１～１０００：１のアスペクト比を有し、アスペクト比が、幅、深さ、高さ、または直径のうちの２つの比である、請求項１６に記載の物品。

【請求項18】

非プラズマコーティング層が熱原子層堆積（ＡＬＤ）コーティング層である、請求項１６または１７に記載の物品。

【請求項19】

付加製造３Ｄ本体が一体構築の本体である、請求項１６から１８のいずれか一項に記載の物品。

【請求項20】

付加製造３Ｄ物品が、プレナム、溝、穴を画定する構造、チャネルを画定する構造、キャビティを画定する構造、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含む、請求項１６から１９のいずれか一項に記載の物品。

【請求項21】

モノリシック構造を有する付加製造三次元（３Ｄ）本体；および
付加製造３Ｄ本体の表面の少なくとも一部分上の非プラズマコーティング層
を含む医療装置。

【請求項22】

哺乳動物に移植されるように構成された、請求項２１に記載の医療装置。

【請求項23】

哺乳動物に一時的に挿入されるように構成された、請求項２１に記載の医療装置。

【請求項24】

哺乳動物で外用されるように構成された、請求項２１に記載の医療装置。

【請求項25】

付加製造３Ｄ本体が生体適合性である、請求項２１から２４のいずれか一項に記載の医療装置。

【請求項26】

付加製造３Ｄ本体が医療装置の本体である、請求項２１から２５のいずれか一項に記載の医療装置。

【請求項27】

付加製造３Ｄ本体が医療装置の部品である、請求項２１から２５のいずれか一項に記載の医療装置。

【請求項28】

付加製造３Ｄ本体が、バルーン、グラフト、ステント、カテーテル、シャント、塞栓剤、ペースメーカー、除細動器、人工インプラント、補綴物、刺激器、センサー、ワイヤー、リード線、弁、プラグ、ポンプ、フィルター、メカニカルコネクター、チューブ、プレート、手術器具、筐体、それらの任意の部品、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つである、請求項２１から２７のいずれか一項に記載の医療装置。

【請求項29】

付加製造３Ｄ本体が、血管形成術用バルーン、弁形成術用バルーン、配置バルーン、ペースメーカーリード線、補綴心臓弁、血管フィルター、血管プラグ、人工心臓弁、人工心臓、カテーテルチップ、縫合糸、外科用ステープラー、ネジ、釘、ブラケット、ピン、ロッド、固定具、ガイドワイヤー、薬物ポンプ、合成血管グラフト、血管グラフト、非血管グラフト、ステントグラフト、血管ステント、冠状動脈ステント、末梢ステント、腔内舗装ステント、動静脈シャント、動脈瘤充填物、移植可能パルス発生器、移植可能心臓除細動器、電気除細動器、脊髄刺激器、脳刺激器、仙骨神経刺激器、骨補綴物、関節補綴物、プラスチックチューブ、金属チューブ、歯科矯正具、補聴器、包帯、それらの任意の部品、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つである、請求項２１から２８のいずれか一項に記載の医療装置。

【請求項30】

付加製造３Ｄ本体が、２：１～１０００：１のアスペクト比を有する構造部品を含み、アスペクト比が、幅、深さ、高さ、または直径のうちの２つの比である、請求項２１から２９のいずれか一項に記載の医療装置。

【請求項31】

付加製造３Ｄ本体が一体構築の物品である、請求項２１から３０のいずれか一項に記載の医療装置。

【請求項32】

付加製造３Ｄ本体が継ぎ目を含まない、請求項２１から３１のいずれか一項に記載の医療装置。

【請求項33】

付加製造３Ｄ本体がろう付け接合部を含まない、請求項２１から３２のいずれか一項に記載の医療装置。

【請求項34】

付加製造３Ｄ本体が溶接接合部を含まない、請求項２１から３３のいずれか一項に記載の医療装置。

【請求項35】

非プラズマコーティング層が、熱原子層堆積（ＡＬＤ）コーティング層、化学気相成長（ＣＶＤ）コーティング層、または溶液堆積コーティング層である、請求項２１から３４のいずれか一項に記載の医療装置。

【請求項36】

非プラズマコーティング層が、アルミナ、イットリア、チタニア、ジルコニア、酸化タンタル、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含む、請求項２１から３５のいずれか一項に記載の医療装置。

【請求項37】

非プラズマコーティング層が、ＹＯＦ、ＹＦ_３、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含む、請求項２１から３６のいずれか一項に記載の医療装置。

【請求項38】

非プラズマコーティング層が、
式ＭＯの酸化物［式中、ＭはＣａ、Ｍｇ、またはＢｅである］；
式Ｍ’Ｏ_２の酸化物［式中、Ｍ’は金属である］；
式Ｒｅ_２Ｏ_３の酸化物［式中、Ｒｅは希土類元素である］；
式Ｔａ_ｘＯ_ｙの酸化物［式中、ｘは０より大きく、ｙは０より大きい］；または
それらの任意の組合せ
のうちの少なくとも１つを含む、請求項２１から３７のいずれか一項に記載の医療装置。

【請求項39】

非プラズマコーティング層が、酸窒化アルミニウム；イットリア－アルミナ；酸化ケイ素；酸窒化ケイ素；遷移金属酸化物；遷移金属酸窒化物；希土類金属酸化物；希土類金属酸窒化物；またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含む、請求項２１から３８のいずれか一項に記載の医療装置。

【請求項40】

モノリシック構造が、機械加工による構築が可能でないものである、請求項２１から３９のいずれか一項に記載の医療装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は一般に、コーティングされた表面を有する付加製造物品および関連方法に関する。

【背景技術】

【0002】

機械加工プロセスでは、一体構築の装置または装置部品を製造することが可能ではない。例えば、複雑な形状を有する装置部品は、複数の部品を組み立てることによってのみ製造することができる。複数の部品を組み立てることにより、２つ以上の部品の接触面に形成された継ぎ目または溶接部が生じることが多い。

【発明の概要】

【0003】

第１の態様において、物品を形成するための方法であって、付加製造３Ｄ物品を得るために、付加製造によって三次元（３Ｄ）物品を形成することであり、付加製造３Ｄ物品は、機械加工による構築が可能でないモノリシック構造を有する、付加製造によって三次元（３Ｄ）物品を形成することと；付加製造３Ｄ物品の表面にコーティング層を形成するために、付加製造３Ｄ物品を１つまたは複数の前駆体気体に曝露することであり、コーティング層は、非プラズマ系堆積プロセスによって形成される、付加製造３Ｄ物品を１つまたは複数の前駆体気体に曝露することとを含む、方法が開示される。

【0004】

付加製造３Ｄ物品が、５：１～１０００：１のアスペクト比を有し、アスペクト比が、幅、深さ、高さ、または直径のうちの２つの比である、第１の態様に従う第２の態様。

【0005】

形成することが、３Ｄプリンターから３Ｄ印刷可能材料を計量分配して、付加製造３Ｄ物品を形成することを含む、第１または第２の態様に従う第３の態様。

【0006】

３Ｄ印刷可能材料が、金属粉末、金属合金粉末、セラミック粉末、熱可塑性ポリマー、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含む、第１から第３の態様のいずれか１つに従う第４の態様。

【0007】

付加製造３Ｄ物品が一体構築（ｕｎｉｔａｒｙ ｃｏｎｓｔｒｕｃｔｉｏｎ）の物品である、第１から第４の態様のいずれか１つに従う第５の態様。

【0008】

付加製造３Ｄ物品が、プレナム、溝、穴を画定する構造、チャネルを画定する構造、キャビティを画定する構造、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含む、第１から第５の態様のいずれか１つに従う第６の態様。

【0009】

付加製造３Ｄ物品が、継ぎ目を含まない、第１から第６の態様のいずれか１つに従う第７の態様。

【0010】

付加製造３Ｄ物品がろう付け接合部を含まない、第１から第７の態様のいずれか１つに従う第８の態様。

【0011】

付加製造３Ｄ物品が溶接接合部を含まない、第１から第８の態様のいずれか１つに従う第９の態様。

【0012】

コーティング層が、熱原子層堆積（ＡＬＤ）プロセス、化学気相成長（ＣＶＤ）プロセス、または溶液堆積プロセスによって形成される、第１から第９の態様のいずれか１つに従う第１０の態様。

【0013】

コーティング層が、アルミナ、イットリア、チタニア、ジルコニア、酸化タンタル、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含む、第１から第１０の態様のいずれか１つに従う第１１の態様。

【0014】

方法が、コーティング層をフッ素化して、ＹＯＦ、ＹＦ_３、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含むコーティング層を形成することをさらに含む、第１から第１１の態様のいずれか１つに従う第１２の態様。

【0015】

コーティング層が、式ＭＯの酸化物［式中、ＭはＣａ、Ｍｇ、もしくはＢｅである］；式Ｍ’Ｏ_２の酸化物［式中、Ｍ’は化学量論的に許容される金属である］；式Ｒｅ_２Ｏ_３の酸化物［式中、Ｒｅは希土類元素である］；または式Ｔａ_ｘＯ_ｙの酸化物［式中、ｘは０より大きく、ｙは０より大きい］を含む、第１から第１２の態様のいずれか１つに従う第１３の態様。

【0016】

本明細書に記載の技術が方法に関し、コーティング層が、酸窒化アルミニウム；イットリア－アルミナ；酸化ケイ素；酸窒化ケイ素；遷移金属酸化物；遷移金属酸窒化物；希土類金属酸化物；希土類金属酸窒化物；またはそれらの任意の組合せを含む、第１から第１３の態様のいずれか１つに従う第１４の態様。

【0017】

第１５の態様において、本明細書に開示される方法に従って形成された物品を含む半導体製造工具の部品が本明細書に開示される。

【0018】

第１６の態様において、物品であって、付加製造三次元（３Ｄ）本体であり、付加製造３Ｄ本体が、機械加工による構築が可能でないモノリシック構造を有する、付加製造３Ｄ本体；および付加製造３Ｄ本体の表面のコーティング層であり、コーティング層が非プラズマコーティング層である、コーティング層を含む、物品が本明細書に開示される。

【0019】

付加製造３Ｄ本体が、２：１～１０００：１のアスペクト比を有し、アスペクト比が、幅、深さ、高さ、または直径のうちの２つの比である、第１６の態様に従う第１７の態様。

【0020】

非プラズマコーティング層が熱原子層堆積（ＡＬＤ）コーティング層である、第１６または第１７の態様に従う第１８の態様。

【0021】

付加製造３Ｄ本体が一体構築の本体である、第１６から第１８の態様のいずれか１つに従う第１９の態様。

【0022】

付加製造３Ｄ物品が、プレナム、溝、穴を画定する構造、チャネルを画定する構造、キャビティを画定する構造、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含む、第１６から第１９の態様のいずれか１つに従う第２０の態様。

【0023】

第２１の態様において、モノリシック構造を有する付加製造三次元（３Ｄ）本体；および付加製造３Ｄ本体の表面の少なくとも一部分上の非プラズマコーティング層を含む医療装置が開示される。

【0024】

医療装置が哺乳動物に移植されるように構成された、第２１の態様に従う第２２の態様。

【0025】

医療装置が哺乳動物に一時的に挿入されるように構成された、第２１の態様に従う第２３の態様。

【0026】

医療装置が哺乳動物で外用されるように構成された、第２１の態様に従う第２４の態様。

【0027】

付加製造３Ｄ本体が生体適合性である、第２１から第２４の態様のいずれか１つに従う第２５の態様。

【0028】

付加製造３Ｄ本体が医療装置の本体である、第２１から第２５の態様のいずれか１つに従う第２６の態様。

【0029】

付加製造３Ｄ本体が医療装置の部品である、第２１から第２５の態様のいずれか１つに従う第２７の態様。

【0030】

付加製造３Ｄ本体が、バルーン、グラフト、ステント、カテーテル、シャント、塞栓剤、ペースメーカー、除細動器、人工インプラント、補綴物、刺激器、センサー、ワイヤー、リード線、弁、プラグ、ポンプ、フィルター、メカニカルコネクター、チューブ、プレート、手術器具、筐体、それらの任意の部品、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つである、第２１から第２７の態様のいずれか１つに従う第２８の態様。

【0031】

付加製造３Ｄ本体が、血管形成術用バルーン、弁形成術用バルーン、配置バルーン、ペースメーカーリード線、補綴心臓弁、血管フィルター、血管プラグ、人工心臓弁、人工心臓、カテーテルチップ、縫合糸、外科用ステープラー、ネジ、釘、ブラケット、ピン、ロッド、固定具、ガイドワイヤー、薬物ポンプ、合成血管グラフト、血管グラフト、非血管グラフト、ステントグラフト、血管ステント、冠状動脈ステント、末梢ステント、腔内舗装ステント（ｉｎｔｒａｌｕｍｉｎａｌ ｐａｖｉｎｇ ｓｔｅｎｔ）、動静脈シャント、動脈瘤充填物、移植可能パルス発生器、移植可能心臓除細動器、電気除細動器、脊髄刺激器、脳刺激器、仙骨神経刺激器、骨補綴物、関節補綴物、プラスチックチューブ、金属チューブ、歯科矯正具、補聴器、包帯、それらの任意の部品、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つである、第２１から第２８の態様のいずれか１つに従う第２９の態様。

【0032】

付加製造３Ｄ本体が、２：１～１０００：１のアスペクト比を有する構造を含み、アスペクト比が、幅、深さ、高さ、または直径のうちの２つの比である、第２１から第２９の態様のいずれか１つに従う第３０の態様。

【0033】

付加製造３Ｄ本体が一体構築の物品である、第２１から第３０の態様のいずれか１つに従う第３１の態様。

【0034】

付加製造３Ｄ本体が継ぎ目を含まない、第２１から第３１の態様のいずれか１つに従う第３２の態様。

【0035】

付加製造３Ｄ本体がろう付け接合部を含まない、第２１から第３２の態様のいずれか１つに従う第３３の態様。

【0036】

付加製造３Ｄ本体が溶接接合部を含まない、第２１から第３３の態様のいずれか１つに従う第３４の態様。

【0037】

非プラズマコーティング層が、熱原子層堆積（ＡＬＤ）コーティング層、化学気相成長（ＣＶＤ）コーティング層、または溶液堆積コーティング層である、第２１から第３４の態様のいずれか１つに従う第３５の態様。

【0038】

非プラズマコーティング層が、アルミナ、イットリア、チタニア、ジルコニア、酸化タンタル、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含む、第２１から第３５の態様のいずれか１つに従う第３６の態様。

【0039】

非プラズマコーティング層が、ＹＯＦ、ＹＦ_３、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含む、第２１から第３６の態様のいずれか１つに従う第３７の態様。

【0040】

非プラズマコーティング層が、式ＭＯの酸化物［式中、ＭはＣａ、Ｍｇ、もしくはＢｅである］；式Ｍ’Ｏ_２の酸化物［式中、Ｍ’は金属である］；式Ｒｅ_２Ｏ_３の酸化物［式中、Ｒｅは希土類元素である］；式Ｔａ_ｘＯ_ｙの酸化物［式中、ｘは０より大きく、ｙは０より大きい］；またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含む、第２１から第３７の態様のいずれか１つに従う第３８の態様。

【0041】

非プラズマコーティング層が、酸窒化アルミニウム；イットリア－アルミナ；酸化ケイ素；酸窒化ケイ素；遷移金属酸化物；遷移金属酸窒化物；希土類金属酸化物；希土類金属酸窒化物；またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含む、第２１から第３８の態様のいずれか１つに従う第３９の態様。

【0042】

モノリシック構造が、機械加工による構築が可能でないものである、第２１から第３９の態様のいずれか１つに従う第４０の態様。

【0043】

本開示の一部を形成し、本明細書に記載の材料および方法を実施することができる実施形態を例示する図面を参照する。

【図面の簡単な説明】

【0044】

【図1】本開示の一部の実施形態による、物品を形成するための方法のフロー図である。

【図2】本開示の一部の実施形態による、物品の断面の概略図である。

【図3】本開示の一部の実施形態による、物品の断面の概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0045】

本開示の実施形態は、特に、付加製造によって形成された物品、付加製造によって物品を形成する方法、付加製造によって形成された物品を含む用途、および関連実施形態に関する。本開示の一部の実施形態は、１つまたは複数のコーティングされた表面を有する付加製造物品に関する。一部の実施形態において、付加製造によって形成された物品は、モノリシック構造、１つまたは複数の高アスペクト比フィーチャ、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを有してもよい。一部の実施形態において、付加製造による物品の製作後、物品を堆積プロセス、例えば原子層堆積（ＡＬＤ）プロセスまたは熱ＡＬＤプロセスに供してもよく、これにより付加製造物品の１つまたは複数の表面が１層または複数の層でコーティングされる。一部の実施形態において、堆積プロセスは、付加製造物品の全曝露表面をコーティングするのに十分である。一部の実施形態において、付加製造物品のコーティングされた表面は、耐腐食性層、耐エッチング性層、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを提供する。

【0046】

図１は、本開示の一部の実施形態による、物品を形成するための方法のフロー図である。図１に示すように、物品を形成するための方法１００は、以下の工程：付加製造によって三次元（３Ｄ）物品を形成する工程１０２；および３Ｄ物品を１つまたは複数の前駆体ガスに曝露してコーティング層を形成する工程１０４のうちの１つまたは複数を含んでもよい。

【0047】

工程１０２において、一部の実施形態では、方法１００は、付加製造によって３Ｄ物品を形成することを含んでもよい。一部の実施形態において、付加製造は、３Ｄ印刷を含んでもよい。一部の実施形態において、３Ｄ物品は、３Ｄプリンターから３Ｄ印刷可能材料を計量分配して３Ｄ物品を形成することによって形成される。一部の実施形態において、３Ｄ印刷は、対象物を段階的に作ることによって３Ｄモデルから固体対象物を作成することを含んでもよい。一部の実施形態において、例えば、３Ｄ印刷は、選択的に共に接合または融合される層で３Ｄ印刷可能材料を適用して、モノリシック構造、一体構築、機械加工による構築が可能でない構造、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを有する３Ｄ物品を作成することを含んでもよい。３Ｄ印刷は、以下のもの：選択的レーザー溶融（ＳＬＭ）、選択的レーザー焼結（ＳＬＳ）、熱溶解積層（ＦＤＭ）、電子ビーム溶融（ＥＢＭ）、直接金属レーザー焼結（ＤＭＬＳ）、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つにより行ってもよい。

【0048】

一部の実施形態において、３Ｄ物品は、前駆体材料から形成してもよい。一部の実施形態において、前駆体材料は、３Ｄ印刷可能材料を含むか、それからなるか、またはそれから本質的になってもよい。一部の実施形態において、前駆体材料は、原材料、例えば粒状原材料を含む。例えば、一部の実施形態において、前駆体材料は、金属粉末、金属合金粉末、セラミック粉末、ポリマー（例えば、フォトポリマー樹脂、熱可塑性ポリマー、もしくはそれらの任意の組合せ）、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含んでもよい。一部の実施形態において、前駆体材料は、熱（例えば、走査レーザーまたは走査電子ビーム）によって融合可能な材料を含んでもよい。一部の実施形態において、前駆体材料は、金属成分を含むか、それからなるか、またはそれから本質的になってもよい。一部の実施形態において、金属成分は、１つもしくは複数の金属、１つもしくは複数の金属化合物、１つもしくは複数の金属酸化物、１つもしくは複数の金属合金、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含むか、それからなるか、またはそれから本質的になってもよい。一部の実施形態において、前駆体材料は、以下：Ａｌ、Ｍｇ、Ｎｉ、Ｔｉ、Ｖ、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｚｎ、Ｍｏ、Ｌｉ、Ｃｕ、Ｍｎ、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｐ、Ｓｂ、Ａｓ、Ｂｉ、Ｐｂ、Ｔｅ、Ｓｅ、Ｗ、Ｇｅ、Ｃｄ、Ｃｏ、Ａｇ、Ｐｔ、Ｈｇ、Ｉｒ、Ｏｓ、Ｓ、Ｋ、Ｇａ、Ｎａ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｓｉ、Ｌａ_２Ｏ_３、ＮｉＯ、Ｆｅ_２Ｏ_３、Ａｌ_２Ｏ_３、ＢａＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＨｆＯ_２、ＺｒＯ_２、ＳｎＯ_２、Ｉｎ_２Ｏ_３、Ｋ_２Ｏ、ＣｅＯ_２、Ｃｅ_２Ｏ_３、Ｓｃ_２Ｏ_３、Ｙ_２Ｏ_３、Ｇａ_２Ｏ_３、Ｎａ_２Ｏ、Ｂ_２Ｏ_３、ＳｒＯ、ＢｅＯ、酸化チタン、酸化タンタル、酸化ニオブ、炭化ケイ素、ステンレス鋼、希土類酸化物、それらの成分、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含むか、それからなるか、またはそれから本質的になるか、あるいはそれからなる群から選択されてもよい。一部の実施形態において、前駆体材料は１つまたは複数の溶媒を含んでもよい。

【0049】

一部の実施形態において、３Ｄ物品は、付加製造３Ｄ物品を含んでもよい。一部の実施形態において、３Ｄ物品は、付加製造３Ｄ本体を含んでもよい。一部の実施形態において、３Ｄ物品は、モノリシック構造を有してもよい。一部の実施形態において、モノリシック構造は、機械加工による構築が可能でない構造としてもよい。一部の実施形態において、「機械加工」という用語は、例えば、限定するものではないが、特に、フライス加工、研削、切断、彫刻、チッピング、または形成によって材料を成形するプロセスを指しうる。一部の実施形態において、モノリシック構造は、一体構築の構造としてもよい。一部の実施形態において、３Ｄ物品は、一体構築のものとしてもよい。一部の実施形態において、「一体構築」という用語は、製作後に共に接合された２つ以上の構造を含まない構造を指しうる。例えば、一部の実施形態において、３Ｄ物品は、別個に製作されてその後共に接合されたあらゆる構造を含まないことがある。一部の実施形態において、一体構築のモノリシック構造は、継ぎ目を含まない構造としてもよい。一部の実施形態において、一体構築のモノリシック構造は、ろう付け接合部を含まない構造としてもよい。一部の実施形態において、一体構築のモノリシック構造は、溶接接合部を含まない構造としてもよい。

【0050】

一部の実施形態において、３Ｄ物品は、少なくとも１つのフィーチャを有してもよい。一部の実施形態において、少なくとも１つのフィーチャは、プレナム、溝、穴を画定する構造、開口部を画定する構造、チャネルを画定する構造、キャビティを画定する構造（例えば、キャビティを画定する部分的に囲まれた領域）、平面表面、非平面表面、またはそれらの任意の組合せを含むか、それからなるか、またはそれから本質的になるか、あるいはそれからなる群から選択されてもよい。一部の実施形態において、少なくとも１つのフィーチャはアスペクト比を有してもよい。例えば、一部の実施形態において、フィーチャのアスペクト比は、深さの幅に対する比を指しうる。一部の実施形態において、フィーチャのアスペクト比は、幅の深さに対する比を指しうる。一部の実施形態において、フィーチャのアスペクト比は、長さ、幅、または高さのうちの２つの比を指しうる。一部の実施形態において、フィーチャのアスペクト比は、深さの直径に対する比を指しうる。一部の実施形態において、フィーチャのアスペクト比は、直径の深さに対する比を指しうる。一部の実施形態において、フィーチャのアスペクト比は、幅、深さ、高さ、直径、および円周のうちの少なくとも２つの比を指しうる。

【0051】

一部の実施形態において、少なくとも１つのフィーチャは、２：１～１０００：１、またはその間の任意の範囲もしくは部分的範囲のアスペクト比を有してもよい。例えば、少なくとも１つのフィーチャは、少なくとも２：１、少なくとも３：１、少なくとも４：１、少なくとも５：１、少なくとも６：１、少なくとも７：１、少なくとも８：１、少なくとも９：１、少なくとも１０：１、少なくとも１５：１、少なくとも２０：１、少なくとも２５：１、少なくとも３０：１、少なくとも３５：１、少なくとも４０：１、少なくとも４５：１、少なくとも５０：１、少なくとも５５：１、少なくとも６０：１、少なくとも６５：１、少なくとも７０：１、少なくとも７５：１、少なくとも８０：１、少なくとも８５：１、少なくとも９０：１、少なくとも９５：１、少なくとも１００：１、少なくとも２００：１、少なくとも３００：１、少なくとも４００：１、少なくとも５００：１、少なくとも６００：１、少なくとも７００：１、少なくとも８００：１、少なくとも９００：１～１０００：１、および／またはその間の任意の範囲もしくは部分的範囲のアスペクト比を有してもよい。

【0052】

一部の実施形態において、３Ｄ物品は、半導体製造工具の部品、例えば、限定するものではないが、プロセスチャンバ、側壁、フローヘッド（例えば、シャワーヘッド）、シールド、トレイ、支持体、ノズル、弁、導管、対象物を取り扱うまたは保持するためのステージ、ウェーハ取扱い固定具、セラミックウェーハキャリアー、ウェーハホルダー、サセプター、スピンドル、チャック、リング、バッフル、締結具（例えば、（ねじ込み）ネジ、（ねじ込み）ナット、ボルト、クランプ、リベットなど）、膜、フィルター、三次元ネットワーク、導管（例えば、気体ライン）、マニホールド（例えば、気体マニホールド）、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つとしてもよい。

【0053】

工程１０４において、一部の実施形態においては、方法１００は、３Ｄ物品を１つまたは複数の前駆体気体に曝露して、コーティング層を形成することを含んでもよい。一部の実施形態において、方法１００は、付加製造３Ｄ物品を１つまたは複数の前駆体気体に曝露して、付加製造３Ｄ物品の表面にコーティング層を形成することを含んでもよい。一部の実施形態において、コーティング層は堆積プロセスによって形成してもよい。一部の実施形態において、堆積プロセスは、非プラズマ堆積プロセスを含んでもよい。一部の実施形態において、堆積プロセスは、プラズマを用いない堆積プロセスを含んでもよい。一部の実施形態において、堆積プロセスは、原子層堆積プロセスを含んでもよい。一部の実施形態において、原子層堆積プロセスは、熱原子層堆積プロセスを含んでもよい。したがって、一部の実施形態において、コーティング層は、原子層堆積コーティング層、すなわちＡＬＤコーティング層を含んでもよい。一部の実施形態において、コーティング層は、非プラズマコーティング層（例えば、プラズマ堆積プロセスによって形成されていないコーティング層）を含んでもよい。一部の実施形態において、コーティング層は、熱原子層堆積コーティング層、すなわち熱ＡＬＤコーティング層を含んでもよい。一部の実施形態において、堆積プロセスは、化学気相成長（ＣＶＤ）、溶液堆積（例えば、ゾル－ゲル堆積、ディップコーティングなど）、電解系コーティング法、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含んでもよい。

【0054】

一部の実施形態において、曝露することは、原子層堆積のためのプロセスシーケンスを含んでもよい。一部の実施形態において、プロセスシーケンスは、１つまたは複数の前駆体を繰返しの原子層堆積（ＡＬＤ）プロセスで利用してＡＬＤコーティング層または熱ＡＬＤコーティング層を形成するプロセスシーケンスとしてもよい。一部の実施形態において、曝露することは、３Ｄ物品を反応チャンバ内で少なくとも第１の前駆体と接触させ、反応チャンバをパージし、３Ｄ物品を反応チャンバ内で少なくとも第２の前駆体と接触させ、反応チャンバをパージしてサイクルを完了するプロセスシーケンスを含んでもよい。一部の実施形態において、曝露することは、１～５０００サイクルを含んでもよい。一部の実施形態において、曝露することは、１００～５０００サイクルを含んでもよい。一部の実施形態において、曝露することは、５０～１５００サイクルを含んでもよい。一部の実施形態において、曝露することは、所望の厚さ、所望の特性、または他の特徴を達成するのに十分な回数のサイクルを含んでもよい。

【0055】

一部の実施形態において、１つまたは複数の前駆体気体は、形成される特定のＡＬＤコーティング層に基づいて選択してもよい。一部の実施形態において、トリメチルアルミニウムおよびオゾンを含む１つまたは複数の前駆体が、Ａｌ_２Ｏ_３を堆積させるのに有用な前駆体組成物でありうる。一部の実施形態において、トリメチルアルミニウムおよび水を含む１つまたは複数の前駆体が、Ａｌ_２Ｏ_３を堆積させるのに有用な前駆体組成物でありうる。一部の実施形態において、金属ＭまたはＬｎのシクロペンタジエニル化合物を含む１つまたは複数の前駆体が、オゾン（Ｏ_３）または水蒸気（Ｈ_２Ｏ）を利用する繰返しのＡＬＤプロセスでＭＯまたはＬｎ_２Ｏ_３を堆積させるのに有用な前駆体組成物でありうる。一部の実施形態において、ＭまたはＬｎのベータ－ジケトネートを含む１つまたは複数の前駆体が、ベータ－ジケトネート金属前駆体の反応性パルスがＯ_３のパルスと交互になった繰返しのＡＬＤプロセスでＭＯまたはＬｎ_２Ｏ_３を堆積させるのに有用な前駆体組成物でありうる。

【0056】

例えば、一部の実施形態において、原子層堆積は、トリメチルアルミニウムおよびオゾンを繰返しのＡＬＤプロセスで利用してＡＬＤコーティング層を形成するプロセスシーケンスを含んでもよい。一部の実施形態において、原子層堆積は、トリメチルアルミニウムおよび水を繰返しのＡＬＤプロセスで利用してＡＬＤコーティング層を形成するプロセスシーケンスを含んでもよい。一部の実施形態において、原子層堆積は、シクロペンタジエニルＭ化合物およびオゾンを繰返しのＡＬＤプロセスで利用してＡＬＤコーティング層を形成するプロセスシーケンスを含んでもよい。一部の実施形態において、原子層堆積は、シクロペンタジエニルＭ化合物および水を繰返しのＡＬＤプロセスで利用してＡＬＤコーティング層を形成するプロセスシーケンスを含んでもよい。一部の実施形態において、原子層堆積は、Ｍベータ－ジケトネート化合物およびオゾンを繰返しのＡＬＤプロセスで利用してＡＬＤコーティング層を形成するプロセスシーケンスを含んでもよい。一部の実施形態において、他の金属酸化物前駆体化合物を使用してもよい。

【0057】

一部の実施形態において、トリメチルアルミニウムおよびオゾンを含む１つまたは複数の前駆体が、Ａｌ_２Ｏ_３を堆積させるのに有用な前駆体組成物でありうる。一部の実施形態において、トリメチルアルミニウムおよび水を含む１つまたは複数の前駆体が、Ａｌ_２Ｏ_３を堆積させるのに有用な前駆体組成物でありうる。一部の実施形態において、金属ＭまたはＬｎのシクロペンタジエニル化合物を含む１つまたは複数の前駆体が、オゾン（Ｏ_３）または水蒸気（Ｈ_２Ｏ）を利用する繰返しのＡＬＤプロセスでＭＯまたはＬｎ_２Ｏ_３を堆積させるのに有用な前駆体組成物でありうる。一部の実施形態において、ＭまたはＬｎのベータ－ジケトネートを含む１つまたは複数の前駆体が、ベータ－ジケトネート金属前駆体の反応性パルスがＯ_３のパルスと交互になった繰返しのＡＬＤプロセスでＭＯまたはＬｎ_２Ｏ_３を堆積させるのに有用な前駆体組成物でありうる。

【0058】

一部の実施形態において、コーティング層の堆積のために、１つまたは複数の前駆体配位子を使用してもよい。一部の実施形態において、１つまたは複数の前駆体配位子は、水素、直鎖状または分枝状、環式または非環式、飽和または不飽和であってもよいＣ_１～Ｃ_１０アルキル；アリール、複素環、アルコキシ、シクロアルキル、シリル、シリルアルキル、シリルアミド、トリメチルシリルシリル置換アルキル、トリアルキルシリル置換アルキン、トリアルキルシリルアミド置換アルキン、ジアルキルアミド、エチレン、アセチレン、アルキン、置換アルケン、置換アルキン、ジエン、シクロペンタジエニルアレン、アミン、アルキルアミン、二座アミン、アンモニア、ＲＮＨ_２（Ｒは、有機置換基、例えばヒドロカルビル置換基である）、アミジネート、グアニジネート、ジアザジエンシクロペンタジエニル、オキシム、ヒドロキシアミン、アセテート、ベータ－ジケトネート、ベータ－ケトイミネート、ニトリル、ニトレート、スルフェート、ホスフェート、ハロゲン、ヒドロキシル、置換ヒドロキシル、それらの任意の誘導体、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含んでもよい。

【0059】

一部の実施形態において、形成することは、２０℃～４００℃、またはその間の任意の範囲もしくは部分的範囲の温度で行ってもよい。例えば、一部の実施形態において、形成することは、２５℃～４００℃、５０℃～４００℃、７５℃～４００℃、１００℃～４００℃、１２５℃～４００℃、１５０℃～４００℃、１７５℃～４００℃、２００℃～４００℃、２２５℃～４００℃、２５０℃～４００℃、２７５℃～４００℃、３００℃～４００℃、３２５℃～４００℃、３５０℃～４００℃、３７５℃～４００℃、２０℃～３７５℃、２０℃～３５０℃、２０℃～３２５℃、２０℃～３００℃、２０℃～２７５℃、２０℃～２５０℃、２０℃～２２５℃、２０℃～２００℃、２０℃～１７５℃、２０℃～１５０℃、２０℃～１２５℃、２０℃～１００℃、２０℃～７５℃、２０℃～５０℃、１２５℃～３７５℃、１５０℃～３５０℃、１７５℃～３５０℃、１７５℃～３２５℃、２００℃～３５０℃、２００℃～３２５℃、２２５℃～３５０℃、２２５℃～３２５℃、２５０℃～３５０℃、２５０℃～３２５℃、２７５℃～３５０℃、２７５℃～３２５℃、３００℃～３５０℃、３００℃～３２５℃、および／またはその間の任意の範囲もしくは部分的範囲の温度で行ってもよい。

【0060】

一部の実施形態において、堆積プロセスは、コンフォーマルコーティング層を形成するプロセスである。一部の実施形態において、コンフォーマルコーティング層は、均一または実質的に均一な厚さを有するコーティング層を含んでもよい。

【0061】

一部の実施形態において、コーティング層は、１ｎｍ～５０ｎｍ、またはその間の任意の範囲もしくは部分的範囲の厚さを有してもよい。例えば、一部の実施形態において、コーティング層は、５μｍ未満、１μｍ未満、または２５０ｎｍ未満の厚さを有してもよい。一部の実施形態において、コーティング層は、１００ｎｍ～２５０ｎｍ、１ｎｍ～４μｍ、１ｎｍ～３μｍ、１ｎｍ～２μｍ、１ｎｍ～１μｍ、１ｎｍ～９００ｎｍ、１ｎｍ～８５０ｎｍ、１ｎｍ～８００ｎｍ、１ｎｍ～７５０ｎｍ、１ｎｍ～７００ｎｍ、１ｎｍ～６５０ｎｍ、１ｎｍ～６００ｎｍ、１ｎｍ～５５０ｎｍ、１ｎｍ～４５０ｎｍ、１ｎｍ～４００ｎｍ、１ｎｍ～３５０ｎｍ、１ｎｍ～３００ｎｍ、１ｎｍ～２５０ｎｍ、１ｎｍ～２００ｎｍ、１ｎｍ～１５０ｎｍ、１ｎｍ～１００ｎｍ、１ｎｍ～５０ｎｍ、５０ｎｍ～５μｍ、１００ｎｍ～５μｍ、２００ｎｍ～５μｍ、３００ｎｍ～５μｍ、４００ｎｍ～５μｍ、５００ｎｍ～５μｍ、６００ｎｍ～５μｍ、７００ｎｍ～５μｍ、８００ｎｍ～５μｍ、９００ｎｍ～５μｍ、１μｍ～５μｍ、２μｍ～５μｍ、３μｍ～５μｍ、４μｍ～５μｍ、１ｎｍ～７５０ｎｍ、１ｎｍ～５００ｎｍ、２ｎｍ～５００ｎｍ、１ｎｍ～２５０ｎｍ、２０ｎｍ～１２５ｎｍ、２０ｎｍ～２５０ｎｍ、２０ｎｍ～５００ｎｍ、５０ｎｍ～５００ｎｍ、５０ｎｍ～４００ｎｍ、５０ｎｍ～３００ｎｍ、５０ｎｍ～２００ｎｍ、１５ｎｍ～２００ｎｍ、２０ｎｍ～５０ｎｍ、１０ｎｍ～４０ｎｍ、３０ｎｍ～５０ｎｍ、１ｎｍ～５μｍ、１μｍ～５μｍ、１μｍ～４μｍ、１μｍ～３μｍ、１μｍ～２μｍ、５ｎｍ～５μｍ、１ｎｍ～１μｍ、および／またはその間の任意の範囲もしくは部分的範囲の厚さを有してもよい。

【0062】

一部の実施形態において、コーティング層は、少なくとも１つの第２の金属成分を含んでもよい。一部の実施形態において、少なくとも１つの第２の金属成分は、元素金属、金属合金、金属化合物（例えば、金属酸化物化合物）、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含むか、それからなるか、またはそれから本質的になってもよい。一部の実施形態において、少なくとも１つの第２の金属成分は、マグネシウム、アルミニウム、バナジウム、鉄、ニッケル、クロム、亜鉛、モリブデン、チタン、リチウム、銅、マンガン、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含むか、それからなるか、またはそれから本質的になってもよい。一部の実施形態において、少なくとも１つの第２の金属成分は、マグネシウム、アルミニウム、バナジウム、鉄、ニッケル、クロム、亜鉛、モリブデン、チタン、リチウム、銅、マンガン、ケイ素、銅、マンガン、酸化マグネシウム、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つからなる群から選択されてもよい。一部の実施形態において、少なくとも１つの第２の金属成分は、基材の第１の金属成分に含まれる金属と同じである少なくとも１つの金属を含んでもよい。一部の実施形態において、例えば、一部の実施形態において、第１の金属成分および第２の金属成分は、アルミニウム、または他の金属のいずれか１つもしくは複数を含む。

【0063】

一部の実施形態において、コーティング層は、チタニア、イットリア、アルミナ、ジルコニア、酸化タンタル、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含むか、それからなるか、またはそれから本質的になるか、あるいはそれからなる群から選択されてもよい。一部の実施形態において、コーティング層は、Ａｌ_２Ｏ_３；式ＭＯの酸化物［式中、ＭはＣａ、Ｍｇ、もしくはＢｅである］；式Ｍ’Ｏ_２の酸化物［式中、Ｍ’は化学量論的に許容される金属である］；および式Ｒｅ_２Ｏ_３の酸化物［式中、Ｒｅは希土類元素、例えばランタニド元素である］；および式Ｔａ_ｘＯ_ｙの酸化物［式中、ｘは０より大きく、ｙは０より大きい］のうちの１つまたは複数を含むか、それからなるか、またはそれから本質的になるか、あるいはそれからなる群から選択されてもよい。一部の実施形態において、ランタニド元素は、Ｌａ、Ｓｃ、またはＹを含むか、それからなるか、またはそれから本質的になってもよい。一部の実施形態において、コーティング層は、アルミナ、酸窒化アルミニウム、イットリア、イットリア－アルミナ、酸化ケイ素、酸窒化ケイ素、遷移金属酸化物、遷移金属酸窒化物、希土類金属酸化物、希土類金属酸窒化物、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含むか、それからなるか、またはそれから本質的になるか、あるいはそれからなる群から選択されてもよい。一部の実施形態において、方法は、コーティング層をフッ素化して、ＹＯＦ、ＹＦ_３、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含むコーティング層を形成することをさらに含む。

【0064】

一部の実施形態において、コーティング層はコンフォーマル層である。一部の実施形態において、コーティング層は、実質的に均一な厚さまたは均一な厚さを有する層である。一部の実施形態において、コーティング層は耐腐食性層としてもよく、または耐腐食性基材表面を形成してもよい。一部の実施形態において、コーティング層は耐エッチング性層としてもよく、または耐エッチング性基材表面を形成してもよい。一部の実施形態において、コーティング層は、基材の表面を不動態化してもよい。一部の実施形態において、コーティング層は保護層としてもよい。一部の実施形態において、コーティング層は、少なくとも１つの改善された表面特性を付与してもよい。

【0065】

一部の実施形態は、本明細書に開示される方法のいずれかに従って形成された物品に関する。例えば、一部の実施形態において、物品は、付加製造三次元（３Ｄ）本体、および付加製造３Ｄ本体の表面のコーティング層を含んでもよい。物品は、本明細書に開示される特徴のいずれかを含んでもよいことが理解されよう。

【0066】

図２は、本開示の一部の実施形態による、物品の断面の概略図である。図２に示すように、物品２００は、付加製造３Ｄ本体２０２およびコーティング層２０４を含んでもよい。一部の実施形態において、コーティング層２０４はＡＬＤコーティング層を含んでもよい。一部の実施形態において、コーティング層２０４は熱ＡＬＤコーティング層を含んでもよい。一部の実施形態において、コーティング層２０４は、付加製造３Ｄ本体２０２の表面に形成してもよい。

【0067】

物品２００は、生体適合性であるという特徴を有してもよい。すなわち、例えば、一部の実施形態において、物品２００は生体適合性である。本明細書において使用する場合、「生体適合性」という用語は、生存在物への悪影響を有することなく、生体液、生存在物の組織、またはそれらの任意の組合せと接触して機能または存在することが可能な材料を指しうる。一部の実施形態において、「生体適合性」という用語は、生存在物への正味の有益な効果を有しながら、生体液、生存在物の組織、またはそれらの任意の組合せと接触して機能または存在することが可能な材料を指す。いくつかの実施形態において生体適合性であることにより、物品２００は、特に、医療装置または医療装置の一部として有用でありうる。

【0068】

したがって、一部の実施形態において、物品２００は医療装置である。医療装置は、付加製造三次元（３Ｄ）本体、および付加製造３Ｄ本体の表面の少なくとも一部分上の非プラズマコーティング層を含んでもよい。本開示の付加製造３Ｄ本体および非プラズマコーティング層のいずれも、本明細書で使用されうる。例えば、一部の実施形態において、付加製造３Ｄ本体はモノリシック構造を有する。一部の実施形態において、モノリシック構造は、機械加工による構築が不可能である。

【0069】

一部の実施形態において、医療装置は、哺乳動物に移植されるように構成されている。一部の実施形態において、医療装置は、哺乳動物に一時的に挿入されるように構成されている。一部の実施形態において、医療装置は、哺乳動物で外用されるように構成されている。一部の実施形態において、付加製造３Ｄ本体は生体適合性である。一部の実施形態において、付加製造３Ｄ本体は医療装置の本体である。一部の実施形態において、付加製造３Ｄ本体は医療装置の部品である。

【0070】

一部の実施形態において、付加製造３Ｄ本体は、バルーン、グラフト、ステント、カテーテル、シャント、塞栓剤、ペースメーカー、除細動器、人工インプラント、補綴物、刺激器、センサー、ワイヤー、リード線、弁、プラグ、ポンプ、フィルター、メカニカルコネクター、チューブ、プレート、手術器具、筐体、それらの任意の部品、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つである。一部の実施形態において、付加製造３Ｄ本体は、血管形成術用バルーン、弁形成術用バルーン、配置バルーン、ペースメーカーリード線、補綴心臓弁、血管フィルター、血管プラグ、人工心臓弁、人工心臓、カテーテルチップ、縫合糸、外科用ステープラー、ネジ、釘、ブラケット、ピン、ロッド、固定具、ガイドワイヤー、薬物ポンプ、合成血管グラフト、血管グラフト、非血管グラフト、ステントグラフト、血管ステント、冠状動脈ステント、末梢ステント、腔内舗装ステント、動静脈シャント、動脈瘤充填物、移植可能パルス発生器、移植可能心臓除細動器、電気除細動器、脊髄刺激器、脳刺激器、仙骨神経刺激器、骨補綴物、関節補綴物、プラスチックチューブ、金属チューブ、歯科矯正具、補聴器、包帯、それらの任意の部品、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つである。

【0071】

一部の実施形態において、付加製造３Ｄ本体は、２：１～１０００：１のアスペクト比を有する構造部品を含み、アスペクト比は、幅、深さ、高さ、または直径のうちの２つの比である。

【0072】

一部の実施形態において、付加製造３Ｄ本体は、一体構築の物品である。一部の実施形態において、付加製造３Ｄ本体は継ぎ目を含まない。一部の実施形態において、付加製造３Ｄ本体はろう付け接合部を含まない。一部の実施形態において、付加製造３Ｄ本体は溶接接合部を含まない。

【0073】

一部の実施形態において、非プラズマコーティング層は、熱原子層堆積（ＡＬＤ）コーティング層、化学気相成長（ＣＶＤ）コーティング層、または溶液堆積コーティング層である。

【0074】

一部の実施形態において、非プラズマコーティング層は、アルミナ、イットリア、チタニア、ジルコニア、酸化タンタル、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含む。

【0075】

一部の実施形態において、非プラズマコーティング層は、ＹＯＦ、ＹＦ_３、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含む。

【0076】

一部の実施形態において、非プラズマコーティング層は、式ＭＯの酸化物［式中、ＭはＣａ、Ｍｇ、もしくはＢｅである］；式Ｍ’Ｏ_２の酸化物［式中、Ｍ’は金属である］；式Ｒｅ_２Ｏ_３の酸化物［式中、Ｒｅは希土類元素である］；式Ｔａ_ｘＯ_ｙの酸化物［式中、ｘは０より大きく、ｙは０より大きい］；またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含む。

【0077】

一部の実施形態において、非プラズマコーティング層は、酸窒化アルミニウム；イットリア－アルミナ；酸化ケイ素；酸窒化ケイ素；遷移金属酸化物；遷移金属酸窒化物；希土類金属酸化物；希土類金属酸窒化物；またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含む。

【0078】

図３は、本開示の一部の実施形態による、物品の概略図である。一部の実施形態において、物品３００は、半導体または超小型電子製作器械、システム、部品、部分、設備、またはプロセスにおいて使用される部品（例えば、構造、材料、器械、設備など）としてもよい。一部の実施形態において、物品３００は、プロセスチャンバ内の半導体ウェーハに処理ガスを供給するように使用されるシャワーヘッドである。図３に示すように、物品３００は、キャビティ３０４を形成する付加製造３Ｄ支持構造体３０２を含んでもよい。一部の実施形態において、開口部３０６がキャビティ３０４に形成される。一部の実施形態において、１つまたは複数のプロセスガスが開口部３０６を通ってキャビティ３０４に流れてもよい。一部の実施形態において、付加製造３Ｄ支持構造体３０２は、１つまたは複数のプロセスガスが流れる複数の穴３０８をさらに含む。図３に示すように、シャワーヘッド部品は、コーティング層３１０、例えばＡＬＤコーティング層または熱ＡＬＤコーティング層を含んでもよい。一部の実施形態において、コーティング層３１０は、シャワーヘッド部品の全曝露表面に形成される。

【図1】

【図2】

【図3】

【手続補正書】

【提出日】2024-05-30

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

物品を形成するための方法であって、
付加製造３Ｄ物品を得るために、付加製造によって三次元（３Ｄ）物品を形成することであり、
付加製造３Ｄ物品は、機械加工による構築が可能でないモノリシック構造を有する、付加製造によって三次元（３Ｄ）物品を形成することと；
付加製造３Ｄ物品の表面にコーティング層を形成するために、付加製造３Ｄ物品を１つまたは複数の前駆体気体に曝露することであり、
コーティング層は、非プラズマ系堆積プロセスによって形成される、付加製造３Ｄ物品を１つまたは複数の前駆体気体に曝露することと
を含む、方法。

【請求項2】

付加製造３Ｄ物品が一体構築の物品である、請求項１に記載の方法。

【請求項3】

付加製造３Ｄ物品が、プレナム、溝、穴を画定する構造、チャネルを画定する構造、キャビティを画定する構造、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含む、請求項１に記載の方法。

【請求項4】

コーティング層が、アルミナ、イットリア、チタニア、ジルコニア、酸化タンタル、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含む、請求項１に記載の方法。

【請求項5】

物品であって、
付加製造三次元（３Ｄ）本体であり、
付加製造３Ｄ本体が、機械加工による構築が可能でないモノリシック構造を有する、付加製造３Ｄ本体；および
付加製造３Ｄ本体の表面のコーティング層であり、
コーティング層が非プラズマコーティング層である、コーティング層
を含む、物品。

【国際調査報告】