特表 2024-536431 固体化学気化チャンバのためのモジュール式トレイ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-10-04

(54)【発明の名称】固体化学気化チャンバのためのモジュール式トレイ

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/31 20060101AFI20240927BHJP

   C23C 16/448 20060101ALI20240927BHJP

   H01L 21/683 20060101ALN20240927BHJP

【ＦＩ】

H01L21/31 B

C23C16/448

H01L21/68 N

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2024521082

(86)(22)【出願日】2022-10-06

(85)【翻訳文提出日】2024-05-23

(86)【国際出願番号】 US2022045941

(87)【国際公開番号】W WO2023059827

(87)【国際公開日】2023-04-13

(31)【優先権主張番号】63/253,798

(32)【優先日】2021-10-08

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】505307471

【氏名又は名称】インテグリス・インコーポレーテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110002077

【氏名又は名称】園田・小林弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】バトル， スコット エル．

(72)【発明者】

【氏名】トーマス， ジェイコブ

(72)【発明者】

【氏名】オルソン， ベンジャミン エイチ．

(72)【発明者】

【氏名】グレッグ， ジョン エヌ．

【テーマコード（参考）】

4K030

5F045

5F131

【Ｆターム（参考）】

4K030EA01

4K030KA47

5F045AA03

5F045AA15

5F045EE01

5F045EE02

5F131AA10

5F131BA01

5F131BA04

5F131EB78

5F131EB79

5F131EB81

5F131GA05

(57)【要約】

原子層堆積（ＡＬＤ）法、化学気相成長（ＣＶＤ）法、またはその両方で使用される固体前駆体材料の送達システムのアンプルのためのモジュール式トレイ。モジュール式トレイは、モジュール式トレイをアンプルに挿入することができる容易さを強化することができる別個の構成要素を備えて構成され、トレイは、アンプルの内壁面との接触を改善して、内壁からモジュール式トレイへの、最終的にはモジュール式トレイ上に配置された固体前駆体材料への改善された熱伝達を提供するように構成される。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１の構成要素と、
第２の構成要素と、
第３の構成要素と
を備え、
第１の構成要素、第２の構成要素、および第３の構成要素が、互いに接続されたときに、
第２の構成要素が、第１の構成要素と熱的に接触し、
第３の構成要素が、第１の構成要素および第２の構成要素と熱的に接触する
ように、互いに係脱可能に接続可能に構成される、
アンプルのためのモジュール式トレイ。

【請求項2】

第１の構成要素が、上部プレートを含み、
第２の構成要素が、くさびを含み、
第３の構成要素が、底部プレートを含み、
第２の構成要素が、第１の構成要素と第３の構成要素との間に配置される、
請求項１に記載のモジュール式トレイ。

【請求項3】

底部プレート
をさらに備え、
底部プレートが、固体前駆体材料を保持するように構成され、
底部プレートが、第１の構成要素、第２の構成要素、または第３の構成要素の少なくとも１つに係脱可能に接続可能に構成され、
接続されたときに、底部プレートが、第１の構成要素、第２の構成要素、または第３の構成要素の少なくとも１つと熱的に接触するようになっている、
請求項１または２に記載のモジュール式トレイ。

【請求項4】

第１の構成要素が、第１の円弧状部分を有する第１の壁を含み、
第２の構成要素が、第２の円弧状部分を有する第２の壁を含み、
第３の構成要素が、くさび部分を含み、
くさび部分が、第１の円弧状部分に係脱可能に接続して第１の分割区画を画定するように構成される、
請求項３に記載のモジュール式トレイ。

【請求項5】

くさび部分が、内壁面から固体前駆体材料への熱的エネルギー伝達を強化するために、第１の円弧状部分をアンプルの内壁面に向かって押すように構成される、請求項４に記載のモジュール式トレイ。

【請求項6】

くさび部分が、第２の円弧状部分に係脱可能に接続して、第２の分割区画を画定するように構成される、請求項４に記載のモジュール式トレイ。

【請求項7】

くさび部分が、内壁面から固体前駆体材料への熱的エネルギー伝達を強化するために、第２の円弧状部分をアンプルの内壁面に向かって押すように構成される、請求項６に記載のモジュール式トレイ。

【請求項8】

第１の構成要素が、
底部プレート部分と、
円弧壁部分と
を備え、
底部プレート部分が、円弧壁部分と熱的に接触するように構成される、
請求項１に記載のモジュール式トレイ。

【請求項9】

第１の構成要素が、
第１の壁部分であって、
第１の壁部分が、底部プレート部分および円弧壁部分と熱的に接触する、第１の壁部分と、
第２の壁部分であって、
第２の壁部分が、底部プレート部分、円弧壁部分、および第１の壁部分と熱的に接触する、第２の壁部分と
を備える、
請求項８に記載のモジュール式トレイ。

【請求項10】

第１の構成要素が、第１の分割区画を画定する、請求項９に記載のモジュール式トレイ。

【請求項11】

第２の構成要素が、第２の分割区画を画定する、
請求項１０に記載のモジュール式トレイ。

【請求項12】

第３の構成要素が、第３の分割区画を画定する、
請求項１１に記載のモジュール式トレイ。

【請求項13】

第４の構成要素
をさらに備え、
第４の構成要素が第４の分割区画を画定し、
第４の構成要素が、第１の区画、第２の構成要素、第３の構成要素、またはそれらのいずれかの少なくとも１つに係脱可能に接続するように構成され、
接続されたときに、第４の構成要素が、第１の構成要素、第２の構成要素、第３の構成要素、またはそれらのいずれかの少なくとも１つと熱的に接触するようになっている、
請求項１２に記載のモジュール式トレイ。

【請求項14】

第１の構成要素、第２の構成要素、第３の構成要素、または第４の構成要素のいずれか１つまたは複数が、実質的に同様の構造を有する、
請求項１３に記載のモジュール式トレイ。

【請求項15】

第１の構成要素および第２の構成要素が、互いに接続して、キャリアガスの流路を画定する、
請求項１３に記載のモジュール式トレイ。

【請求項16】

第２の構成要素および第３の構成要素が、互いに接続して、キャリアガスの流路を画定する、
請求項１３に記載のモジュール式トレイ。

【請求項17】

第３の構成要素および第４の構成要素が、互いに接続して、キャリアガスの流路を画定する、
請求項１３に記載のモジュール式トレイ。

【請求項18】

請求項１から１７のいずれか一項に記載のモジュール式トレイ
を備える、アンプル。

【請求項19】

モジュール式トレイをアンプルに挿入する方法であって、
請求項１から１７のいずれか一項に記載のモジュール式トレイを得ることと、
第１の構成要素をアンプルの内側容積に挿入することと、
第２の構成要素をアンプルの内側容積に挿入することと、
第３の構成要素をアンプルの内側容積に挿入することと、
第１の構成要素、第２の構成要素、および第３の構成要素を互いに接続することと
を含む、方法。

【請求項20】

第４の構成要素をアンプルの内側容積に挿入することと、
第４の構成要素を第１の構成要素、第２の構成要素、および第３の構成要素と接続することと
をさらに含む、請求項１９に記載の方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

優先権
本開示は、出願日が２０２１年１０月８日である米国仮特許第６３／２５３，７９８号明細書の優先権を主張する。優先権書類は、あらゆる目的のために参照により組み込まれる。

【0002】

本開示は、一般に、原子層堆積（ＡＬＤ）法、化学気相成長（ＣＶＤ）法、またはその両方で使用される固体前駆体材料の送達システムに関する。

【背景技術】

【0003】

ＡＬＤおよびＣＶＤ法で使用される固体前駆体材料の輸送のために設計された送達システムは、ウェハの製造プロセスで使用される。そのようなシステムは、固体前駆体材料を含むように構成されたアンプルを含むことができる。

【発明の概要】

【0004】

送達システムのいくつかの実施形態は、内面を有する内部チャンバを画定する本体を有するアンプルを含む。送達システムのこれらの実施形態の少なくともいくつかは、ＡＬＤ、ＣＶＤ、または両方の方法で使用される。固体前駆体材料は、マイクロ電子デバイスの製作に使用することができる。いくつかの実施形態では、固体前駆体材料は、様々な有機前駆体、無機前駆体、金属有機前駆体、またはそれらの組合せである。いくつかの実施形態では、固体前駆体材料を使用するために熱が必要とされる。

【0005】

いくつかの実施形態では、アンプルは、その内側チャンバ内に、固体前駆体材料を保持するための少なくとも１つのトレイを含む。いくつかの実施形態では、トレイは、キャリアガスなどの流体を内側チャンバの底部から内側チャンバの上部に、内側チャンバの上部から内側チャンバの底部に、またはその両方に流すための通路を備えて構成される。

【0006】

いくつかの実施形態では、トレイは、内部チャンバの内面から固体前駆体材料に熱を伝導するように構成される。いくつかの実施形態では、トレイは、内部チャンバの内面との接触を増加または最大化するためにトレイの一部を押すための少なくとも一部分を備えて構成される。いくつかの実施形態では、トレイは、内部チャンバの内面からトレイの別の部分、固体前駆体材料、またはその両方への熱伝達を増加または最大化する部分を備えて構成される。

【0007】

いくつかの実施形態では、トレイはモジュール式である。すなわち、トレイは、別個のモジュール式構成要素で形成される。モジュール式構成要素は、互いに相互接続してトレイを形成するように構成される。したがって、各モジュール式構成要素は、容易にまたは比較的容易にアンプルの内側チャンバに配置することができる。さらに、各モジュール構成要素は、容易にまたは比較的容易にアンプルの内側チャンバから取り出すことができる。内側チャンバ内に配置されたとき、モジュール式構成要素は、トレイの形成（例えば、その構造の変更）を完了して、内側チャンバ内にしっかりと固定され保持されるように構成することができる。いくつかの実施形態によれば、トレイは、機械的に、摩擦的に、またはその両方で、内側チャンバの内面または他の部分に係合する、接触する、接続する、またはそれらの任意の組合せを行う部分を有することができる。

【0008】

いくつかの実施形態では、モジュール式トレイは、第１の構成要素と、第２の構成要素と、第３の構成要素とを備え、第１の構成要素、第２の構成要素、および第３の構成要素は、互いに接続されたときに、第２の構成要素が、第１の構成要素と熱的に接触し、第３の構成要素が、第１の構成要素および第２の構成要素と熱的に接触するように、互いに係脱可能に接続可能に構成される。

【0009】

モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、第１の構成要素は、上部プレートを含み、第２の構成要素は、くさびを含み、第３の構成要素は、底部プレートを含み、第２の構成要素は、第１の構成要素と第３の構成要素との間に配置される。

【0010】

いくつかの実施形態では、モジュール式トレイは、底部プレートをさらに備え、底部プレートは、固体前駆体材料を保持するように構成され、底部プレートは、第１の構成要素、第２の構成要素、または第３の構成要素の少なくとも１つに係脱可能に接続可能に構成され、接続されたときに、底部プレートは、第１の構成要素、第２の構成要素、または第３の構成要素の少なくとも１つと熱的に接触するようになっている。

【0011】

モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、第１の構成要素は、第１の円弧状部分を有する第１の壁を含み、第２の構成要素は、第２の円弧状部分を有する第２の壁を含み、第３の構成要素は、くさび部分を含み、くさび部分は、第１の円弧状部分に係脱可能に接続して第１の分割区画を画定するように構成される。

【0012】

モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、くさび部分は、内壁面から固体前駆体材料への熱的エネルギー伝達を強化するために、第１の円弧状部分をアンプルの内壁面に向かって押すように構成される。

【0013】

モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、くさび部分は、第２の円弧状部分に係脱可能に接続して、第２の分割区画を画定するように構成される。

【0014】

モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、くさび部分は、内壁面から固体前駆体材料への熱的エネルギー伝達を強化するために、第２の円弧状部分をアンプルの内壁面に向かって押すように構成される。

【0015】

モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、第１の構成要素は、底部プレート部分と、円弧壁部分とを備え、底部プレート部分は、円弧壁部分と熱的に接触するように構成される。

【0016】

モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、第１の構成要素は、第１の壁部分を備え、第１の壁部分は、底部プレート部分および円弧壁部分と熱的に接触し、第２の壁部分を備え、第２の壁部分は、底部プレート部分、円弧壁部分、および第１の壁部分と熱的に接触する。

【0017】

モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、第１の構成要素は、第１の分割区画を画定する。

【0018】

モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、第２の構成要素は、第２の分割区画を画定する。

【0019】

モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、第３の構成要素は、第３の分割区画を画定する。

【0020】

いくつかの実施形態では、モジュール式トレイは、第４の構成要素を備え、第４の構成要素は、第４の分割区画を画定し、第４の構成要素は、第１の区画、第２の構成要素、第３の構成要素、またはそれらのいずれかの少なくとも１つに係脱可能に接続するように構成され、接続されたときに、第４の構成要素は、第１の構成要素、第２の構成要素、第３の構成要素、またはそれらのいずれかの少なくとも１つと熱的に接触するようになっている。

【0021】

モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、第１の構成要素、第２の構成要素、第３の構成要素、または第４の構成要素のいずれか１つまたは複数は、実質的に同様の構造を有する。

【0022】

モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、第１の構成要素および第２の構成要素は、互いに接続して、キャリアガスの流路を画定する。

【0023】

モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、第２の構成要素および第３の構成要素は、互いに接続して、キャリアガスの流路を画定する。

【0024】

モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、第３の構成要素および第４の構成要素は、互いに接続して、キャリアガスの流路を画定する。

【0025】

いくつかの実施形態では、アンプルは、本明細書に記載のトレイ実施形態のいずれかによるモジュール式トレイを備える。

【0026】

いくつかの実施形態では、モジュール式トレイをアンプルに挿入する方法は、本明細書に記載の実施形態のいずれかによるモジュール式トレイを得ることと、第１の構成要素をアンプルの内側容積に挿入することと、第２の構成要素をアンプルの内側容積に挿入することと、第３の構成要素をアンプルの内側容積に挿入することと、第１の構成要素、第２の構成要素、および第３の構成要素を互いに接続することとを含む。

【0027】

いくつかの実施形態では、モジュール式トレイをアンプルに挿入する方法は、第４の構成要素をアンプルの内側容積に挿入することと、第４の構成要素を第１の構成要素、第２の構成要素、および第３の構成要素と接続することとをさらに含む。

【0028】

本開示の一部を形成し、本明細書に記載のシステムおよび方法を実施することができる実施形態を示す添付の図面を参照する。同様の参照番号は、全体を通して同じまたは同様の部分を表す。

【図面の簡単な説明】

【0029】

【図1】実施形態のいくつかによるトレイを含むアンプルの概略断面図を示す。

【図2A】実施形態のいくつかによるモジュール式トレイを示す。

【図2B】図２Ａに示すモジュール式トレイの構成要素を示す。

【図2C】図２Ａに示すモジュール式トレイの別の構成要素を示す。

【図3A】実施形態のいくつかによるモジュール式トレイを示す。

【図3B】図３Ａに示すモジュール式トレイの分解図を示す。

【図4A】実施形態のいくつかによるモジュール式トレイを示す。

【図4B】図４Ａに示すモジュール式トレイの構成要素の１つを示す。

【図5】実施形態のいくつかによるモジュール式トレイを示す。

【図6】モジュール式トレイをアンプルに挿入するための方法の実施形態のいくつかによるフローチャートを示す。

【図7】モジュール式トレイをアンプルに挿入するための方法の実施形態のいくつかによるフローチャートを示す。

【図8】モジュール式トレイをアンプルに挿入するための方法の実施形態のいくつかによるフローチャートを示す。

【発明を実施するための形態】

【0030】

図１は、いくつかの実施形態による例示的なアンプル１００の概略断面図を示す。アンプル１００は、本明細書に記載の実施形態のいずれかによるトレイ１０２を任意の組合せで含む。アンプル１００は、トレイ１０２の積重体を保持するのに十分な内側容積を画定し、また内側容積内の流体（例えば、ガス）の流れを可能にする内側チャンバ１０４を有する。図１に示すように、内側チャンバ１０４およびその容積は、略円筒形の形状である。

【0031】

内側チャンバ１０４は、内壁面１０６を有する。トレイ１０２の各々は、積み重ね可能に構成され、内側チャンバ１０４の内側容積内に含まれるようなサイズにされる。内側チャンバ１０４は、流体（例えば、ガス）を内側チャンバ１０４の上部１１０に向かって上方に、内側チャンバ１０４の底部１１２に向かって下方に、またはその両方に流すための流路１０８を含む。トレイ１０２はまた、それぞれ、上方、下方、またはその両方への流体の流れを可能にするように構成される。例えば、トレイ１０２の各々は、トレイ１０２の本体を貫通する穿孔または孔を有することができる。

【0032】

各トレイ１０２は、内壁面１０６と接触するように構成された部分１１４を有する。部分１１４と内壁面１０６との表面間接触の面積を増加させることにより、内壁面１０６からトレイ１０２への熱伝達が強化され、したがって固体前駆体材料への熱伝達が強化される。トレイ１０２は、ステンレス鋼、グラファイト、アルミニウム、またはアンプルでの使用に適した他の材料であってもよい。トレイ１０２は、使用中にトレイを保護するためのコーティング、例えば、酸化アルミニウムなどのセラミックコーティングまたはＰＴＦＥなどのポリマーコーティングを含むことができる。

【0033】

内側チャンバ１０４の直径は一般に変化しないため、モジュール式構成要素を分離するために分解することができるトレイ１０２は、トレイを挿入し、それらを内側チャンバ１０４内に積み重ねるプロセスを比較的容易にすることができる。本明細書に開示されるトレイ１０２の実施形態は、アンプル１００の内側チャンバ１０４に容易に挿入することができ、次いで、形成されたトレイ１０２がアンプル１００の内壁面１０６との接触を改善して内壁面１０６からトレイ１０２および／またはトレイ１０２上に配置された固体前駆体材料への良好な熱伝達を提供するように、一緒に組み立てることができるという両方の利点を達成することができる。トレイ１０２の様々な例示的な実施形態を以下に説明する。

【0034】

本明細書で使用される「モジュール式」という用語は、構成要素を分離するために分解することができ、デバイスを形成するために一緒にすることができるデバイスを意味する。

【0035】

本明細書で使用される「圧縮可能」という用語は、構造、材料、またはその両方の構成であって、デバイス、またはデバイスの直線長さ、半径方向長さ、直径方向長さ、円周方向長さ、またはそれらの任意の組合せの一部の変造、変更、短縮、伸長、またはそれらの任意の組合せを可能にするように設計された構成を意味する。圧縮可能な構造の例には、ばね、アコーディオン状構造、オープンリング、ロック機構を有するまたは有さない機械的接合部、可鍛性材料、多孔性材料などの１つまたは複数が含まれる。

【0036】

図２Ａは、実施形態のいくつかによる組み立てられたモジュール式トレイ２００を示す。モジュール式トレイ２００は、他の同じまたは同様のトレイと積み重ねられるように構成される。トレイ２００は、少なくとも３つの分離可能な構成要素、下側プレート２０２、上側プレート２０４、および少なくとも１つのくさび片２０６を含む。図２Ｂは、下側プレート２０２の一実施形態を示す。いくつかの実施形態では、上側プレート２０４は、下側プレート２０２と同じ構造を有する。下側プレート２０２または上側プレート２０４の一方または両方は、固体前駆体材料を保持するように構成される。図２Ｃは、少なくとも１つのくさび片２０６の一実施形態を示す。いくつかの実施形態では、モジュール式トレイ２００の構成要素の少なくともいくつかまたはすべては、構成要素の１つまたは複数から別の構成要素に熱を伝達するように構成される。いくつかの実施形態では、モジュール式トレイ２００の構成要素の少なくともいくつかまたはすべては、構成要素の１つまたは複数から別の構成要素への熱の伝達を可能にする材料で作られる。組み立てられたとき、図２Ａに示すように、下側プレート２０２は、固体前駆体材料を保持するためにトレイの底部を形成する底部にあり、少なくとも１つのくさび片２０６は、下側プレート２０２の周りまたは周囲に配置され、次いで、上側プレート２０４は、トレイの上部を形成する上部に配置され、少なくとも１つのくさび片２０６に接続する。いくつかの実施形態では、くさび片２０６は、下側プレート２０２と上側プレート２０４との間に挟まれる。下側プレート２０２および上側プレート２０４の外周面２０８、２１０は、アンプルの内壁面と接触することができる。くさび片２０６は、アンプルの内壁面に接触するように構成された湾曲した外面２１２を有する。いくつかの実施形態では、くさび片２０６の上面２１４は、一緒に組み立てられ、トレイ２００の上側プレート２０４が下方に押されたときに、この下方への力が、くさび片２０６の上面２１４を押して湾曲面２１２を互いに押し離して、くさび片２０６がアンプルの内壁面とのその接触を強化することができるように、傾斜または段差を含む構成を有することができる。ここで、上側プレート２０４は、固体前駆体材料を保持するように配置され、アンプル内側容積が満たされるまで、後続のトレイが積み重ねられるための底部プレートになるときにその上に配置される追加のくさび片２１２を有する。

【0037】

図３Ａおよび図３Ｂは、実施形態のいくつかによるトレイ３００の様々な図を示す。図３Ａは、トレイ３００の斜視図を示す。図３Ｂは、トレイ３００の分解図を示す。トレイ３００は、単一の一体構造ではない。トレイ３００は、少なくとも４つの別個の構成要素３０２、３０４、３０６、３０８から組み立てられるモジュール式構造である。結果として得られる組み立てられたトレイ３００は、固体前駆体材料を保持するための２つの区画３１０、３１２を有する。

【0038】

トレイ３００の４つの構成要素３０２、３０４、３０６、３０８は、固体前駆体材料を保持するための表面３０２－ａを有するベースプレート３０２、第１の円弧壁構成要素３０４、第２の円弧壁構成要素３０６、およびくさび構成要素３０８である。２つの円弧壁構成要素３０４、３０６は、図３Ａに示すように、ベースプレート３０２の周囲または周りで接続するように構成される。くさび構成要素３０８は、２つの円弧壁構成要素３０４、３０６の端部に接続し、くさび構成要素３０８の挿入および接続は、２つの円弧壁構成要素３０４、３０６を直径方向に反対方向に沿って（例えば、くさび構成要素３０８から外向きに離れて）互いに押し離す。トレイ３００がアンプルの内側にあるとき、円弧壁構成要素３０４、３０６のこの「押し離し」は、アンプルの内面壁と円弧壁構成要素３０４、３０６の外面３１４、３１６との間の表面間接触を強化する。この増加した表面間接触により、アンプルの内壁面から２つの円弧壁構成要素３０４、３０６への熱の伝達が増加し、これにより、２つの円弧壁構成要素３０４、３０６からベースプレート３０２への熱的な熱伝達が強化される。さらに、くさび構成要素３０８は、トレイ３００からトレイ３００の表面３０２－ａ上の固体前駆体材料への熱伝達を増加させる追加の表面積を提供する。

【0039】

トレイ３００はまた、トレイ３００がアンプル内に設置されたときの流体の流れ（例えば、ガスの流れ）のための少なくとも１つの通路３１８を有する。トレイ３００はまた、同じまたは同様の構造の他のトレイと積み重ね可能に構成される。

【0040】

モジュール式トレイ３００は比較的容易に組み立てまたは分解することができるので、モジュールトレイ３００は、非常に容易にアンプルに配置し、取り出すことができる。

【0041】

いくつかの実施形態では、固体前駆体材料を保持するためのベースプレート３０２の表面３０２－ａは平面である。いくつかの実施形態では、表面３０２－ａは非平面である。いくつかの実施形態では、表面３０２－ａは、平面部分および非平面部分を含む。

【0042】

図４Ａは、実施形態のいくつかによるモジュール式トレイ４００を示す。図４Ｂは、トレイ４００の構成要素４０２の１つを示す。モジュール式トレイ４００は、互いに接続して完全に組み立てられたモジュール式トレイ４００を形成する４つの構成要素４０２－ａ、４０２－ｂ、４０２－ｃ、４０２－ｄを有する。各構成要素４０２は、ベース４０４と、円弧外壁４０６と、第１の半径方向壁４０８と、第２の半径方向壁４１０と、円弧内壁４１２とを有する。２つの半径方向壁４０８、４１０は、別の構成要素のそれぞれの半径方向壁に接触および／または接続するように構成される。２つの半径方向壁４０８、４１０は、流体が流れることを可能にするための通気口４１４を形成するための構造で構成される。円弧内壁４１２はまた、モジュール式トレイ４００が組み立てられたときに通気口４１６を形成するように構成され、この通気口４１６は流体がそれを通って流れることを可能にする。ベース４０４は、固体前駆体材料を保持するように構成される。モジュール式トレイ４００は、アンプルの内側チャンバの内側に組み立てられたとき、構成要素４０２－ａ、４０２－ｂ、４０２－ｃ、４０２－ｄの各々の円弧外壁４０６が円弧外壁４０６とアンプルの内側チャンバの内壁面との表面間接触を増加させるように、外向きに半径方向圧力を及ぼす。

【0043】

この増加した表面間接触により、アンプルの内壁面から円弧外壁４０６への熱の伝達が増加し、これにより、ベース４０４への熱的な熱伝達が強化される。さらに、半径方向壁４０８、４１０は、トレイ４００からトレイ４００の表面上の固体前駆体材料への熱伝達を増加させる追加の表面積を提供する。トレイ４００はまた、同じまたは同様の構造の他のトレイと積み重ね可能に構成される。モジュール式トレイ４００は比較的容易に組み立てまたは分解することができるので、モジュールトレイ４００は、非常に容易にアンプルに配置し、取り出すことができる。いくつかの実施形態では、ベース４０４の表面は平面である。いくつかの実施形態では、ベース４０４の表面は非平面である。いくつかの実施形態では、ベース４０４の表面は、平面部分および非平面部分を含む。

【0044】

図示されていないが、トレイ４００は、トレイ４００の中央通気口に配置されるように構成されたくさびとすることができる別の構成要素を含むことができる。くさびは、アンプルの内壁面に向かって外向きにモジュール式構成要素４０２を押すことを強化するために、半径方向に沿って追加の外向きの力を提供することができる。

【0045】

図５は、実施形態のいくつかによるモジュール式トレイ５００を示す。モジュール式トレイ５００は、単一の一体構造ではない。モジュール式トレイ５００は、少なくとも３つの構成要素５０２、５０４、５０６を含む。最初の２つの構成要素５０２、５０４の各々は、アコーディオン状構造５０８を有し、アコーディオン状構造５０８は、隆線方向５１０および折畳み方向５１２を有する。アコーディオン状構造５０８は、アコーディオン状の表面５０８－ａを有する。いくつかの実施形態では、表面５０８－ａは平面である。いくつかの実施形態では、表面５０８－ａは非平面である。いくつかの実施形態では、表面５０８－ａは、平面部分および非平面部分を含む。アコーディオン状構造５０８は、折畳み方向５１２に沿って圧縮可能であるが、隆線方向５１０に沿って圧縮可能ではない。アコーディオン状構造５０８が圧縮されているとき、ばねのポテンシャルエネルギーは増加する。すなわち、圧縮状態にあるアコーディオン状構造５０８のばねのポテンシャルエネルギーは、その緩和状態よりも高い。アコーディオン状構造５０８の最大値および最小値は、固体前駆体材料を保持するための少なくとも１つの表面を有するように構成される。さらに、アコーディオン状構造５０８は、トレイからトレイ５００の表面上の固体前駆体材料への熱伝達を増加させるより大きい表面積を有する。構成要素５０２、５０４の各々は、折畳み方向５１２の端部に、およびそれに沿って、円弧状表面積部分５１４を含む。円弧状表面積部分５１４は湾曲しており、アンプルの内側チャンバの内壁面に接触するように構成される。２つの構成要素５０２、５０４は、第３の構成要素５０６が２つの構成要素５０２、５０４の間に配置され得るように、それらの折畳み方向５１２が整列するように配置されるように構成される。第３の構成要素５０６は、アコーディオン構造５０８を折畳み方向に沿って押し離すためのくさびであるように構成される。したがって、このくさび（第３の構成要素）５０６は、アンプルの内側チャンバの内壁面に対する円弧状表面積部分５１４の表面間接触を増加させるように外向きの押出しを増加させる。くさび（第３の構成要素）５０６はまた、トレイ５００がアンプル内に設置されたときに流体の流れ（例えば、ガスの流れ）のための通気口または少なくとも１つの通路５１６を作り出すように構成される。トレイ５００はまた、同じまたは同様の構造の他のトレイと積み重ね可能に構成される。複数のこれらのトレイ５００を積み重ねる場合、１つのトレイ５００の最大値は、別のトレイの最小値に接触および／または接続することができる。

【0046】

図２Ａに示すトレイ２００は、プレートごとに１つの区画を有するが、図３Ａおよび図３Ｂに示すトレイ３００は、２つの区画を有し、図４Ａに示すトレイ４００は４つの区画を有し、モジュール式トレイの実施形態の構造のいくつかを変えることによって任意の数の区画を形成することができることが理解されよう。いくつかの実施形態では、区画は分割区画である。したがって、そのようなトレイは、本開示の範囲内である。したがって、モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、少なくとも１つの区画が存在する。モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、少なくとも２つの区画が存在する。モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、少なくとも３つの区画が存在する。モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、少なくとも４つの区画が存在する。モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、少なくとも５つの区画が存在する。モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、少なくとも６つの区画が存在する。モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、少なくとも７つの区画が存在する。モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、少なくとも８つの区画が存在する。モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、少なくとも９つの区画が存在する。モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、少なくとも１０個の区画が存在する。モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、少なくとも１１個の区画が存在する。モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、少なくとも１２個の区画が存在する。モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、少なくとも１３個の区画が存在する。モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、少なくとも１４個の区画が存在する。モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、少なくとも１５個の区画が存在する。モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、少なくとも１６個の区画が存在する。モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、少なくとも１７個の区画が存在する。モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、少なくとも１８個の区画が存在する。モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、少なくとも１９個の区画が存在する。モジュール式トレイのいくつかの実施形態では、少なくとも２０個の区画が存在する。

【0047】

図６は、モジュール式トレイをアンプルに挿入するための方法の実施形態のいくつかによる例示的なフローチャートを示す。モジュール式トレイは、本明細書に記載の実施形態のいずれかとすることができる。方法６００は、本明細書に記載の実施形態のいずれかによるモジュール式トレイを得ること６０２を含む。次いで、モジュール式トレイの第１の構成要素をアンプルの内側チャンバに挿入する６０４。方法６００は、モジュール式トレイの第２の構成要素をアンプルの内側チャンバに挿入すること６０６を含む。方法６００は、モジュール式トレイの第３の構成要素をアンプルの内側チャンバに挿入すること６０８を含む。次いで、第１の構成要素、第２の構成要素、および第３の構成要素を接続して組み立てられたモジュール式トレイを形成し６１０、これにより、組み立てられたモジュール式トレイの拡張または構成がもたらされて、内側チャンバの内壁面にぴったりと緊密に嵌合することができる。

【0048】

図７は、モジュール式トレイをアンプルに挿入するための方法の実施形態のいくつかによる例示的なフローチャートを示す。モジュール式トレイは、本明細書に記載の実施形態のいずれかとすることができる。方法７００は、本明細書に記載の実施形態のいずれかによるモジュール式トレイを得ること７０２を含む。次いで、モジュール式トレイの第１の構成要素をアンプルの内側チャンバに挿入する７０４。方法７００は、モジュール式トレイの第２の構成要素をアンプルの内側チャンバに挿入すること７０６を含む。方法７００は、モジュール式トレイの第３の構成要素をアンプルの内側チャンバに挿入すること７０８を含む。方法７００は、モジュール式トレイの第４の構成要素をアンプルの内側チャンバに挿入すること７１０を含む。次いで、第１、第２、第３または第４の構成要素の少なくとも１つをアンプルの内側チャンバの内壁面に向かって押す７１２。

【0049】

図８は、モジュール式トレイをアンプルに挿入するための方法の実施形態のいくつかによる例示的なフローチャートを示す。モジュール式トレイは、本明細書に記載の実施形態のいずれかとすることができる。方法８００は、本明細書に記載の実施形態のいずれかによるモジュール式トレイを得ること８０２を含む。次いで、モジュール式トレイの第１の構成要素をアンプルの内側チャンバに挿入する８０４。方法８００は、モジュール式トレイの第２の構成要素をアンプルの内側チャンバに挿入すること８０６を含む。方法８００は、モジュール式トレイの第３の構成要素をアンプルの内側チャンバに挿入すること８０８を含む。次いで、方法８００は、モジュール式トレイの第４の構成要素をアンプルの内側チャンバに挿入すること８１０を含む。方法８００は、モジュール式トレイの第５の構成要素をアンプルの内側チャンバに挿入すること８１２をさらに含む。次いで、第１、第２、第３、第４または第５の構成要素の少なくとも１つをアンプルの内側チャンバの内壁面に向かって押す８１４。

【0050】

本明細書で使用される用語は、実施形態を説明することを意図しており、限定することを意図していない。「１つの（ａ）」、「１つの（ａｎ）」、および「その（ｔｈｅ）」という用語は、特に明記しない限り、複数形も含む。「含む（ｃｏｍｐｒｉｓｅｓ）」および／または「含む（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」という用語は、本明細書で使用される場合、記載された特徴、整数、工程、動作、要素、および／または構成要素の存在を指定するが、１つまたは複数の他の特徴、整数、工程、動作、要素、および／または構成要素の存在または追加を排除するものではない。

【0051】

本開示の範囲から逸脱することなく、実施形態のいずれかまたはその任意の部分を他の実施形態のいずれかと組み合わせることができることを理解されたい。本開示の範囲から逸脱することなく、特に使用される構築材料、ならびに部品の形状、サイズ、および配置の事項において、詳細に変更が行われ得ることも理解されたい。本明細書および記載された実施形態は例であり、本開示の真の範囲および精神は以下の特許請求の範囲によって示される。

【図1】

【図2A】

【図2B】

【図2C】

【図3A】

【図3B】

【図4A】

【図4B】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【手続補正書】

【提出日】2024-05-30

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１の構成要素と、
第２の構成要素と、
第３の構成要素と
を備え、
第１の構成要素、第２の構成要素、および第３の構成要素が、互いに接続されたときに、
第２の構成要素が、第１の構成要素と熱的に接触し、
第３の構成要素が、第１の構成要素および第２の構成要素と熱的に接触する
ように、互いに係脱可能に接続可能に構成される、
アンプルのためのモジュール式トレイ。

【請求項2】

底部プレート
をさらに備え、
底部プレートが、固体前駆体材料を保持するように構成され、
底部プレートが、第１の構成要素、第２の構成要素、または第３の構成要素の少なくとも１つに係脱可能に接続可能に構成され、
接続されたときに、底部プレートが、第１の構成要素、第２の構成要素、または第３の構成要素の少なくとも１つと熱的に接触するようになっている、
請求項１に記載のモジュール式トレイ。

【請求項3】

第１の構成要素が、第１の分割区画を画定し、第２の構成要素が、第２の分割区画を画定し、第３の構成要素が、第３の分割区画を画定する、請求項１に記載のモジュール式トレイ。

【請求項4】

第４の構成要素
をさらに備え、
第４の構成要素が第４の分割区画を画定し、
第４の構成要素が、第１の区画、第２の構成要素、第３の構成要素、またはそれらのいずれかの少なくとも１つに係脱可能に接続するように構成され、
接続されたときに、第４の構成要素が、第１の構成要素、第２の構成要素、第３の構成要素、またはそれらのいずれかの少なくとも１つと熱的に接触するようになっている、
請求項３に記載のモジュール式トレイ。

【請求項5】

モジュール式トレイをアンプルに挿入する方法であって、
請求項１に記載のモジュール式トレイを得ることと、
第１の構成要素をアンプルの内側容積に挿入することと、
第２の構成要素をアンプルの内側容積に挿入することと、
第３の構成要素をアンプルの内側容積に挿入することと、
第１の構成要素、第２の構成要素、および第３の構成要素を互いに接続することと
を含む、方法。

【手続補正2】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１

【補正方法】変更

【補正の内容】

【図1】

【手続補正3】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図２Ｂ

【補正方法】変更

【補正の内容】

【図2B】

【手続補正4】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図２Ｃ

【補正方法】変更

【補正の内容】

【図2C】

【手続補正5】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図３Ａ

【補正方法】変更

【補正の内容】

【図3A】

【手続補正6】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図３Ｂ

【補正方法】変更

【補正の内容】

【図3B】

【手続補正7】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図４Ａ

【補正方法】変更

【補正の内容】

【図4A】

【手続補正8】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図４Ｂ

【補正方法】変更

【補正の内容】

【図4B】

【手続補正9】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図５

【補正方法】変更

【補正の内容】

【図5】

【国際調査報告】