特表2024-536793荷電粒子装置及び方法

発明の名称　荷電粒子装置及び方法

出願人　エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．　（識別番号 504151804）

　　　　特許公開件数ランキング 173 位（63件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 271 位（35件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2024-536793

公報発行日　2024年10月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2024-536793

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